JP4913351B2 - パターン化単分子膜および該単分子膜の製造方法 - Google Patents
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また高井たちによって、自己組織化単分子膜にVUV(Vacuum Ultra−violet:真空紫外)光を当てて微細パターンを形成し、分子配線として利用できる可能性が見出されている(例えば非特許文献1、2参照)。
しかしながら前記した真空紫外光を用いた微細パターンの形成にはフォトマスクを用いていることから、マスクサイズが微細化の限界を決めており、現在のパターニング技術に対してアドバンテージ(優位性)がない。
さらに単分子膜上で連鎖重合反応を起させて分子配線としての利用が研究されているが、初期の単分子膜の制御と同時に欠陥の制御を行なわなくてはならず、各欠陥位置まで毎回チップ(Tip)を制御し動かさなくてはいけないなど、現時点では自由なパターン制御は不可能である。
また、表面粗さを部分的に増大させ抵抗率の変化を利用して配線基板として利用する方法が提案されている(例えば特許文献1参照)。
また、自己組織化単分子膜の原子を置換し、パターンを形成する方法が提案されている(例えば非特許文献3、4参照)。
さらに、電圧パルスにより連鎖重合反応をおこさせ、分子配線をつくる方法も提案されている(例えば非特許文献5参照)。
また、請求項2に記載の発明は、前記自己組織化単分子膜の表面粗さが0.3nm以下である請求項1に記載のパターン化単分子膜を特徴とする。
また、請求項3に記載の発明は、Si基板の(100)面上に形成された、シロキサン骨格を持つ極性部位と炭素数が12以上のトランス構造のみの直鎖アルキル鎖の無極性部位で構成された有機の自己組織化単分子膜であって、該自己組織化単分子膜を形成している分子がSi基板面に対して垂直に並んでいる膜に、走査型トンネル顕微鏡の探針を用いたトンネル電流を放射して、該有機単分子膜を部分的に取り除くパターン化単分子膜の製造方法を特徴とする。
まず平滑基板としてSi基板の(100)面を用い、その上にシロキサン系アルキル化合物を用いて自己組織化膜を形成する(図1)。次にSTM装置上でプローブ電極(Pt−Rh合金)をパターニングしたい部分に移動させ、−0.5Vのバイアス電圧を印加し、トンネル電流が0.3nAになるところでプローブ電極を固定する。
ここで−15.0Vの電圧を印加すると、電圧印加された部分だけの単分子膜を取り除く事ができる。この状態を維持したままSTM探針またはサンプルを動かすことにより自由にナノオーダーの微細パターンが形成される。
さらに、取り除かれた部分の空間を維持するためにはこの空間に隣接分子が倒れこまないようにアルキル鎖間に働くファンデルワールス力を利用する必要がある。そのためアルキル鎖間のファンデルワールス力が一番強く作用しあうようにアルキル鎖はall−trance構造を持っていることが重要である(図3)。
我々が調べたその結果を図4に示す。
図4の横軸はアルキル鎖の炭素数を表し、縦軸はCH2対称伸縮、CH2非対称伸縮のATR測定による波数を表す。
このようにall−trance構造を持ったアルキル鎖を構成するにはアルキル鎖の炭素数が12以上であることが必要である。
図5の横軸qは2π/dを表す。ここでdは、SAM膜の膜厚を表す。0次の反射ピークと1次の反射ピークの周期位置がq=1.31nm−1に確認された。この際の膜厚は2.4nmであった。この膜厚の2.4nmはオクタデシルトリクロロシランの分子鎖長と一致しており、分子がほぼ基板から垂直に立っていることが確認できた。
また、Si基板上には1〜3nm自然酸化膜が形成されるが、この範囲内の実験で自然酸化膜の影響は見られなかった。しかしながら100nmの熱酸化膜を形成して同様の実験を行ったところSAM膜の構造に乱れが生じた。このことから、自然酸化膜レベルが好ましい。また構造の乱れに関しては膜厚同様X線反射率測定から、フィッティングにより見積もる事ができ、表面粗さが0.3nm以下が必要である。
図1に示すような自己組織化単分子膜が形成されている事は図5に示すX線反射率測定と、図6のATR測定によって確認した。
ここで−15.0Vの電圧を印加し、図2に示すような直径約8nmの領域にわたってOTS分子を取り除いた(図7参照)。
このままサンプル基板を動かすことにより、所望の10nm以下の幅で微細パターンの形成ができた。
Claims (3)
- Si基板の(100)面上に形成された、シロキサン骨格を持つ極性部位と炭素数が12以上のトランス構造のみの直鎖アルキル鎖の無極性部位で構成された有機の自己組織化単分子膜であって、該自己組織化単分子膜を形成している分子がSi基板面に対して垂直に並んでいる膜に、走査型トンネル顕微鏡の探針を用いたトンネル電流を放射して該単分子膜を部分的に取り除いたことを特徴とするパターン化単分子膜。
- 前記自己組織化単分子膜の表面粗さが0.3nm以下であることを特徴とする請求項1に記載のパターン化単分子膜。
- Si基板の(100)面上に形成された、シロキサン骨格を持つ極性部位と炭素数が12以上のトランス構造のみの直鎖アルキル鎖の無極性部位で構成された有機の自己組織化単分子膜であって、該自己組織化単分子膜を形成している分子がSi基板面に対して垂直に並んでいる膜に、走査型トンネル顕微鏡の探針を用いたトンネル電流を放射して、該有機単分子膜を部分的に取り除くことを特徴とするパターン化単分子膜の製造方法。
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