JP4899661B2 - 基板の搬送方法、及び基板の搬送装置 - Google Patents
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Description
複数の第1の開口部が形成されたキャリアプレート上に基板を配置する工程と、
前記キャリアプレートの裏面側において、前記複数の第1の開口部それぞれの位置に対応するようにして複数の第2の開口部が形成され、前記複数の第1の開口部と異なる位置において前記キャリアプレートの前記裏面が露出するようにして第3の開口部が形成された吸着冶具を配置する工程と、
前記キャリアプレート及び前記基板とを、前記キャリアプレートの前記複数の第1の開口部並びに前記吸着治具の前記複数の第2の開口部及び前記第3の開口部を介して同時に真空吸引し、前記キャリアプレートを前記吸着治具に対して固定するとともに、前記基板を前記キャリアプレートに対して固定する工程と、
前記キャリアプレート及び前記基板を前記吸着治具から開放した後に、搬送する工程と、
を具えることを特徴とする、基板の搬送方法に関する。
基板を配置し、後の操作に供するための複数の第1の開口部が形成されたキャリアプレートと、
前記キャリアプレートの裏面側において、前記複数の第1の開口部それぞれの位置に対応するようにして複数の第2の開口部が形成されるとともに、前記複数の第1の開口部と異なる位置において前記キャリアプレートの前記裏面が露出するようにして第3の開口部が形成され、前記キャリアプレート及び前記基板とを、前記キャリアプレートの前記複数の第1の開口部並びに前記吸着治具の前記複数の第2の開口部及び前記第3の開口部を介して同時に真空吸引し、前記基板を前記キャリアプレートに対して固定するとともに、前記キャリアプレートを固定するための前記吸着治具と、
前記キャリアプレート及び前記基板を前記吸着治具から開放した後に、搬送するための搬送手段と、
を具えることを特徴とする、基板の搬送装置に関する。
11 キャリアプレート
12 基板
13 吸着部材
Claims (8)
- 複数の第1の開口部が形成されたキャリアプレート上に基板を配置する工程と、
前記キャリアプレートの裏面側において、前記複数の第1の開口部それぞれの位置に対応するようにして複数の第2の開口部が形成され、前記複数の第1の開口部と異なる位置において前記キャリアプレートの前記裏面が露出するようにして第3の開口部が形成された吸着冶具を配置する工程と、
前記キャリアプレート及び前記基板とを、前記キャリアプレートの前記複数の第1の開口部並びに前記吸着治具の前記複数の第2の開口部及び前記第3の開口部を介して同時に真空吸引し、前記キャリアプレートを前記吸着治具に対して固定するとともに、前記基板を前記キャリアプレートに対して固定する工程と、
前記キャリアプレート及び前記基板を前記吸着治具から開放した後に、搬送する工程と、
を具えることを特徴とする、基板の搬送方法。 - 前記基板を前記吸着治具に対して固定した際に、前記基板に対して印刷を施すことを特徴とする、請求項1に記載の基板の搬送方法。
- 前記基板を前記吸着治具に対して固定した際に、前記基板に対して電子部品のマウントを施すことを特徴とする、請求項1に記載の基板の搬送方法。
- 前記基板を前記吸着治具に対して固定した際に、少なくとも前記電子部品のマウント状態を検査することを特徴とする、請求項1に記載の基板の搬送方法。
- 基板を配置し、後の操作に供するための複数の第1の開口部が形成されたキャリアプレートと、
前記キャリアプレートの裏面側において、前記複数の第1の開口部それぞれの位置に対応するようにして複数の第2の開口部が形成されるとともに、前記複数の第1の開口部と異なる位置において前記キャリアプレートの前記裏面が露出するようにして第3の開口部が形成され、前記キャリアプレート及び前記基板とを、前記キャリアプレートの前記複数の第1の開口部並びに前記吸着治具の前記複数の第2の開口部及び前記第3の開口部を介して同時に真空吸引し、前記基板を前記キャリアプレートに対して固定するとともに、前記キャリアプレートを固定するための前記吸着治具と、
前記キャリアプレート及び前記基板を前記吸着治具から開放した後に、搬送するための搬送手段と、
を具えることを特徴とする、基板の搬送装置。 - 前記基板に対して印刷を施すための印刷手段を具えることを特徴とする、請求項5に記載の基板の搬送装置。
- 前記基板に対して電子部品のマウントを施すためのマウント手段を具えることを特徴とする、請求項5に記載の基板の搬送装置。
- 少なくとも前記電子部品のマウント状態を検査するための検査手段を具えることを特徴とする、請求項5に記載の基板の搬送装置。
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