JP4897759B2 - Organic electroluminescent device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は有機電界発光素子に係り、特に開口率を改善するための有機電界発光素子の構成とその製造方法に関する。 The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly to a configuration of an organic electroluminescent device for improving an aperture ratio and a manufacturing method thereof.
一般的に、有機電界発光素子は、電子(electron)注入電極(cathode)と正孔(hole)注入電極(anode)から各々電子と正孔を発光層内部に注入させて、注入された電子と正孔が結合した励起子(exciton)が励起状態から基底状態に落ちる時発光する素子である。 In general, an organic electroluminescent device is formed by injecting electrons and holes into an emission layer from an electron injection electrode (cathode) and a hole injection electrode (anode), respectively. It is an element that emits light when excitons to which holes are coupled fall from the excited state to the ground state.
このような原理によって従来の薄膜液晶表示素子(LCD)とは違って別途の光源を必要としないので素子の体積と重量を減らすことができる長所がある。 Unlike the conventional thin film liquid crystal display device (LCD), this principle does not require a separate light source, so that the volume and weight of the device can be reduced.
また、有機電界発光素子は、高品位パネル特性(低電力、高輝度、高反応速度、低重量)を示す。このような特性のために有機電界発光素子は移動通信端末機、CNS、PDA、Camcorder、Palm PC等大部分のコンシューマー(consumer)電子応用製品に用いることができる強力な次世代ディスプレーとして認められている。 In addition, the organic electroluminescent element exhibits high-quality panel characteristics (low power, high brightness, high reaction speed, low weight). OLED is recognized as a powerful next-generation display that can be used in most consumer electronics applications such as mobile communication terminals, CNS, PDA, Camcorder, and Palm PC. Yes.
また製造工程が単純なために生産原価を既存のLCDより多く減らすことができる長所がある。 In addition, since the manufacturing process is simple, the production cost can be reduced more than the existing LCD.
このような有機電界発光素子を駆動する方式は、パッシブ・マトリックス型とアクティブ・マトリックス型に分けることができる。 The method of driving such an organic electroluminescent element can be divided into a passive matrix type and an active matrix type.
前記パッシブ・マトリックス型有機電界発光素子は、その構成が単純で製造方法も単純だが高い消費電力と表示素子の大面積化に難しさがあり、配線の数が増加すればするほど開口率が低下する短所がある。 The passive matrix organic electroluminescence device has a simple structure and a simple manufacturing method, but has a high power consumption and a difficulty in increasing the area of the display device, and the aperture ratio decreases as the number of wirings increases. There are disadvantages.
反面アクティブ・マトリックス型有機電界発光素子は、高い発光効率と高画質を提供することができる長所がある。 On the other hand, the active matrix organic electroluminescent device has an advantage that it can provide high luminous efficiency and high image quality.
図1は、関連技術の有機電界発光素子の構成を概略的に示した図面である。 FIG. 1 is a drawing schematically showing a configuration of an organic electroluminescent element according to related art.
図示したように、有機電界発光素子10は、透明な第1基板12の上部に薄膜トランジスタTアレー部14と、前記薄膜トランジスタアレー部14の上部に第1電極16と有機発光層18と第2電極20が構成される。
As shown in the drawing, the organic
このとき、前記発光層18は、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーを表現するようにするため、一般的な方法では前記各画素Pごとに赤、緑、青色を発光する別途の有機物質をパターニングして用いる。
At this time, the
前記第1基板12が吸湿剤22が付着された第2基板28とシーラント26を通して合着されることによってカプセル化された有機電界発光素子10が完成される。
The
このとき、前記吸湿剤22は、カプセル内部に浸透する水分と酸素を除去するためのものであり、第2基板28の一部をエッチングして、そのエッチングされた部分に吸湿剤22を充填してテープ25で固定する。 At this time, the moisture absorbent 22 is for removing moisture and oxygen penetrating into the capsule, and a part of the second substrate 28 is etched, and the etched part is filled with the moisture absorbent 22. And fix with tape 25.
以下、図2を参照して有機電界発光素子の一画素に対応するアレー部を概略的に説明する。 Hereinafter, an array unit corresponding to one pixel of the organic electroluminescent element will be schematically described with reference to FIG.
図2は、関連技術の有機電界発光素子に含まれる薄膜トランジスタアレー部を概略的に示した平面図である。 FIG. 2 is a plan view schematically showing a thin film transistor array part included in an organic electroluminescence device according to the related art.
一般的に、アクティブ・マトリックス型薄膜トランジスタアレー部は、基板12に定義された複数の画素ごとにスイッチング素子TSと駆動素子TDとストレージキャパシタCSTが構成され、動作の特性によって前記スイッチング素子TSまたは駆動素子TDは各々一つ以上の薄膜トランジスタの組合せで構成されることができる。
Generally, active matrix thin-film transistor array unit, the switching element T S and the driving element T D and the storage capacitor C ST is formed for each of a plurality of pixels defined in the
このとき、前記基板12は、透明な絶縁基板を使用し、その材質としてはガラスやプラスチックを例に挙げることができる。
At this time, the
図示したように、基板12上に相互に所定間隔離隔して1方向に構成されたゲート配線32と、前記ゲート配線32と絶縁膜をはさんで相互に交差するデータ配線34が構成される。
As shown in the figure, a
同時に、前記データ配線34と平行に離隔された位置に1方向に電源配線35が構成される。
At the same time,
前記スイッチング素子TSと駆動素子TDとして各々ゲート電極36、38とアクティブ層40、42とソース電極46、48及びドレイン電極50、52を含む薄膜トランジスタが用いられる。
Wherein each thin film transistor including a
前述した構成において、前記スイッチング素子TSのゲート電極36は、前記ゲート配線32と連結されて、前記ソース電極46は前記データ配線34と連結される。
In the configuration described above, the
前記スイッチング素子TSのドレイン電極50は、前記駆動素子TDのゲート電極38と第1コンタクトホール54を通して連結される。
The
前記駆動素子TDのソース電極48は、前記電源配線36と第2コンタクトホール56を通して連結される。
The
また、前記駆動素子TDのドレイン電極52は、画素部Pに構成された第1電極16と接触するように構成される。
Further, the
このとき、前記電源配線35とその下部の多結晶シリコン層である第1電極16は、絶縁膜をはさんで重なりストレージキャパシタCSTを形成する。
At this time, the
以下、図3を参照して前述したように構成された薄膜トランジスタアレー部を含む有機電界発光素子の断面構成を説明する。 Hereinafter, a cross-sectional configuration of the organic electroluminescent device including the thin film transistor array configured as described above with reference to FIG. 3 will be described.
図3は、図2のIII−IIIに沿って切断した有機電界発光素子の断面図である。(駆動素子と発光部の断面のみを示した図面である。) 3 is a cross-sectional view of the organic electroluminescent device cut along III-III in FIG. (It is a drawing showing only a cross section of the driving element and the light emitting portion.)
図示したように、有機電界発光素子は、ゲート電極38と、アクティブ層42とソース電極56とドレイン電極52を含む駆動素子である薄膜トランジスタTDが構成されて、駆動素子TDの上部には絶縁膜57をはさんで駆動素子TDのドレイン電極52と接触する第1電極16と、第1電極16の上部に特定した色の光を発光する発光層18と、発光層18の上部には第2電極20が構成される。発光層18と第1電極16及び第2電極20は有機電界発光ダイオードDELを構成する。
As shown, the organic electroluminescent device includes a
前記駆動素子TDとは並列でストレージキャパシタCSTが構成され、ソース電極56はストレージキャパシタCSTの第2キャパシタ電極(電源配線)35と接触して構成され、前記第2キャパシタ電極35の下部には第1キャパシタ電極15が構成される。
Wherein the driving element T D is constituted by the storage capacitor C ST in parallel, the
前記駆動素子TDとストレージキャパシタCSTと有機発光層18が構成された基板の全面には第2電極20が構成される。
The driving element T D and the storage capacitor C ST and the organic
前述したように構成された有機電界発光素子の全体的な構成は、以下図4を参照すると分かる。 The overall configuration of the organic electroluminescent device configured as described above can be understood with reference to FIG.
以下、図4は関連技術の有機電界発光素子の等価回路図である。 FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of an organic electroluminescence device according to the related art.
図示したように、基板12の全面に相互に離隔して平行に構成されたデータ配線34と電源配線35が構成されていて、前記データ配線34と電源配線35と垂直に交差した前記データ配線34とは画素領域Pを定義するゲート配線32が構成される。
As shown in the figure, the
前記画素領域P内には前述した構成でスイッチング素子TSと駆動素子TDとキャパシタCSTが構成される。 Switching element T S and the driving element T D and the capacitor C ST is composed of the above-described configuration in the pixel region P.
前述した構成において、前記電源配線35の構成により発光部の面積が小さくなる短所がある。発光部の面積が小さくなれば同一の輝度を示すために必要な電流密度が大きくなって有機電界発光素子の寿命に大きい影響を及ぼすようになる。
In the configuration described above, the configuration of the
また、背面発光時に最小3本以上の配線によって開口率の低下を引き起こして十分な輝度を出すためにさらに多くの電流を必要とするためにさらに深刻な問題になることがある。 In addition, when the light is emitted from the back surface, a minimum of three or more wires cause a decrease in the aperture ratio and require a larger amount of current to obtain sufficient luminance, which may be a more serious problem.
そして、配線数の数が増加するほどライン性不良が増加する可能性が大きくなって収率を低下する要因として働く。 Then, as the number of wirings increases, the possibility that the line defect will increase increases, which acts as a factor that lowers the yield.
本発明は前述した問題を解決するための目的で提案されたものであって、本発明による有機電界発光素子は、前記電源配線を隣接した画素に同時に連結する。 The present invention has been proposed for the purpose of solving the above-described problems, and the organic electroluminescent device according to the present invention simultaneously connects the power supply wiring to adjacent pixels.
このような構成は、前記電源配線の本数を1/2に減らすことができるので従来に比べて開口率がけたはずれに改善されて、電流レベルを高めなくても良いので素子の寿命を延ばすことができる。 Such a configuration can reduce the number of the power supply lines to ½, so that the aperture ratio is improved compared to the conventional case and the current level does not need to be increased, thereby extending the life of the element. Can do.
また、配線が減るためにライン性不良が発生する確率を減らすことができる。 In addition, since the wiring is reduced, the probability of occurrence of a line defect can be reduced.
前述したような目的を達成するための本発明による有機電界発光素子は基板と;前記基板上部の複数本のゲート配線と;前記複数本のゲート配線と相互に交差する前記基板上部の複数本のデータ配線と;前記基板上部に形成されて相互に連結される複数個のスイッチング素子及び駆動素子と;前記基板上部に形成されて前記複数本のデータ配線に平行して少なくとも二個の前記駆動素子と電気的に連結される電源配線を含む。 In order to achieve the above-mentioned object, an organic electroluminescent device according to the present invention comprises: a substrate; a plurality of gate wirings on the substrate; and a plurality of gates on the substrate intersecting with the gate wirings. A plurality of switching elements and driving elements formed on the substrate and connected to each other; and at least two driving elements formed on the substrate in parallel with the plurality of data lines. Power supply wiring that is electrically connected to the power supply.
さらにまた、本発明による有機電界発光素子は、第1基板と;前記第1基板と向かい合って離隔されている第2基板と;前記第1基板の内側面に形成される複数本のゲート配線と;前記第1基板の内側面に形成されて前記複数本のゲート配線と交差する複数本のデータ配線と;前記第1基板の上部に形成されて相互に連結される複数個のスイッチング素子及び駆動素子と;前記複数本のデータ配線に平行して前記複数個の駆動素子のうち少なくとも二個と電気的に連結される電源配線と;前記複数個の駆動素子と連結される複数個の連結電極と;前記第2基板の内側面に形成される複数個の第1電極と;前記複数個の第1電極上部に形成される有機電界発光層と;前記有機電界発光層上部に形成されて、各々が前記複数個の連結電極中の一つと接触する複数個の第2電極を含む。 Furthermore, an organic electroluminescent device according to the present invention includes: a first substrate; a second substrate facing and spaced apart from the first substrate; a plurality of gate wirings formed on an inner surface of the first substrate; A plurality of data lines formed on an inner surface of the first substrate and intersecting with the plurality of gate lines; a plurality of switching elements formed on the first substrate and connected to each other; A power supply wiring electrically connected to at least two of the plurality of driving elements in parallel to the plurality of data wirings; a plurality of connection electrodes connected to the plurality of driving elements; A plurality of first electrodes formed on an inner surface of the second substrate; an organic electroluminescent layer formed on the plurality of first electrodes; and formed on the organic electroluminescent layer; Each one of the plurality of connecting electrodes and A plurality of second electrodes in contact are included.
さらにまた、本発明による有機電界発光素子の製造方法は、第1基板上にポリシリコンを含む複数個のスイッチングアクティブ層、複数個の駆動アクティブ層と複数個のアクティブパターンを形成する段階と;前記複数個のスイッチングアクティブ層、複数個の駆動アクティブ層と複数個のアクティブパターン上部に第1絶縁膜を形成する段階と;前記第1絶縁膜上部に前記複数個のスイッチングアクティブ層上に延びる複数個のスイッチングゲート電極を形成する段階と;前記第1絶縁膜上部に前記複数個の駆動アクティブ層上に延びる複数個の駆動ゲート電極を形成する段階と;前記複数個のスイッチングアクティブ層、複数個の駆動アクティブ層と複数個のアクティブパターンを不純物でドーピングして前記複数個のスイッチングアクティブ層の各々にスイッチングソース領域とスイッチングドレイン領域を形成して、前記複数個の駆動アクティブ層の各々に駆動ソース領域と駆動ドレイン領域を形成する段階と;前記複数個のスイッチングゲート電極と複数個の駆動ゲート電極上部に第2絶縁膜を形成する段階と;前記第2絶縁膜上部に電源配線を形成する段階と;前記電源配線上部に第3絶縁膜を形成する段階と;前記第3絶縁膜上部に前記スイッチングソース領域と接触する複数個のスイッチングソース電極を形成する段階と;前記第3絶縁膜上部に前記スイッチングドレイン領域と接触する複数個のスイッチングドレイン電極を形成する段階と;前記第3絶縁膜上部に前記駆動ソース領域と接触する複数個の駆動ソース電極を形成する段階と;前記第3絶縁膜上部に前記駆動ドレイン領域と接触してそのうち少なくとも二個は前記電源配線に連結される複数個の駆動ドレイン電極を形成する段階を含む。 Furthermore, the method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention includes forming a plurality of switching active layers, a plurality of driving active layers, and a plurality of active patterns including polysilicon on a first substrate; Forming a plurality of switching active layers, a plurality of driving active layers and a plurality of active patterns on a plurality of active patterns; and a plurality of layers extending on the plurality of switching active layers on the first insulating films. Forming a plurality of driving gate electrodes extending on the plurality of driving active layers on the first insulating film; and a plurality of switching active layers, a plurality of switching active layers, The driving active layer and a plurality of active patterns are doped with impurities to switch the plurality of switching active layers. Forming a switching source region and a switching drain region in each of the active layers, and forming a driving source region and a driving drain region in each of the plurality of driving active layers; Forming a second insulating film on the driving gate electrodes; forming a power wiring on the second insulating film; forming a third insulating film on the power wiring; Forming a plurality of switching source electrodes in contact with the switching source region on the insulating film; forming a plurality of switching drain electrodes in contact with the switching drain region on the third insulating film; Forming a plurality of driving source electrodes in contact with the driving source region on the third insulating film; and on the third insulating film. Of which at least two contacts with the serial driving drain region includes forming a plurality of driving drain electrode connected to the power supply wiring.
本発明による有機電界発光素子は、相互に隣接した画素に対して一つの電源配線を形成することによって、既存に比べて電源配線の本数を1/2に減らす結果を得ることができる。 The organic electroluminescent device according to the present invention can obtain a result that the number of power supply lines is reduced to ½ compared to the existing one by forming one power supply line for pixels adjacent to each other.
したがって、開口率をけたはずれに改善する効果があるのみならず、ライン不良を防止できて材料費を節約できるので生産収率を改善する効果がある。 Therefore, not only the aperture ratio is greatly improved, but also the line yield can be prevented and the material cost can be saved, thereby improving the production yield.
以下、添付した図面を参照して本発明による望ましい実施例を説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
−−第1実施例−−
本発明は電源配線を構成することにおいて、隣接した画素に構成された各駆動素子のソース電極が一つの電源配線に同時に連結されるように構成することを特徴とする。
--First Example--
The present invention is characterized in that the power supply wiring is configured such that the source electrodes of the driving elements formed in adjacent pixels are simultaneously connected to one power supply wiring.
以下、図5は本発明による有機電界発光素子の等価回路図である。 FIG. 5 is an equivalent circuit diagram of the organic electroluminescent device according to the present invention.
図示したように、相互に所定間隔平行に離隔された電源配線112とデータ配線111を構成して、前記データ配線111と交差した画素領域Pを定義するゲート配線101を構成する。
As shown in the drawing, a
前記画素領域P内にはデータ配線111と連結された図2で説明した構成で配置するスイッチング素子TSと駆動素子TDとストレージキャパシタCSTと有機電界発光ダイオードDELが構成される。
Switching element T S and the driving element T D and the storage capacitor C ST and organic light emitting diode D EL is configured to place in the configuration described in FIG. 2, which is connected to the
前述した構成において、前記電源配線112は、相互に平行に隣接した画素領域Pに構成された隣接駆動素子TD1、TD2と同時に連結されるように構成する。
In the configuration described above, the
このような構成は、前記電源配線112の本数を1/2に減らして開口率をさらに確保することができるのみならず材料費を節減して生産性を改善することができる構成である。
In such a configuration, the number of the
以下、図6を参照して前述したような等価回路構成を有する本発明による有機電界発光素子の薄膜トランジスタアレー部の構成を詳細に説明する。 Hereinafter, the configuration of the thin film transistor array part of the organic electroluminescence device according to the present invention having the equivalent circuit configuration as described above with reference to FIG. 6 will be described in detail.
図6は、本発明による有機電界発光素子に構成される薄膜トランジスタアレー部の一部を概略的に示した平面図である。 FIG. 6 is a plan view schematically showing a part of a thin film transistor array part included in the organic electroluminescent device according to the present invention.
図示したように、基板100上に1方向にゲート配線101を形成して、前記ゲート配線101と垂直に交差する第1及び2データ配線111、111′と電源配線112を形成する。第1及び2データ配線111、111′と電源配線112は相互に平行して一定間隔離隔されている。
As shown in the figure, a
前記ゲート配線101と第1及び2データ配線111、111′が交差する領域を各々第1及び2画素領域P1、P2と称し、各画素領域P1、P2には第1及び2スイッチング素子TS1、TS2と第1及び2駆動素子TD1、TD2と第1及び2ストレージキャパシタCST1、CST2が構成される。
Regions where the
前記第1及び2ストレージキャパシタCST1、CST2は、電源配線112を第1キャパシタ電極として共通で用いて、その下部の第1及び2アクティブパターン105、105′を各々第2キャパシタ電極として用いる。
The first and second storage capacitors C ST1 and C ST2 commonly use the
前記第1スイッチング素子TS1は、スイッチングアクティブ層103、スイッチングゲート電極107、スイッチングソース電極117とスイッチングドレイン電極119を含んで、第1駆動素子TD1は駆動アクティブ層103、駆動ゲート電極108、駆動ソース電極116と駆動ドレイン電極118を含む。前記スイッチングドレイン電極119は前記駆動ゲート電極108と電気的に接触するように構成する。
The first switching element T S1 includes a switching
前記スイッチングソース電極117は、データ配線111と連結されて映像信号の印加を受け、前記駆動ドレイン電極118は有機電界発光ダイオード(図示せず)の第1電極122と連結されるようにして、駆動ソース電極116は電源配線112と連結されるようにする。第2スイッチング素子TS2及び第2駆動素子TD2の構成は第1スイッチング素子TS1及び第1駆動素子TD1の構成と各々同様である。
The switching
前述した構成において、前記電源配線112は、隣接した第1及び2画素P1、P2に構成される隣接した第1及び2駆動ソース電極116、116′に同時に連結されるように構成する。したがって、第1及び2駆動素子TD1、TD2は電源配線112に対して対称になるように第1及び2画素領域P1、P2に配置される。また、多結晶シリコンからなる隣接した第1及び2アクティブパターン105、105′は各々隣接した第1及び2画素領域P1、P2の第1及び2スイッチングアクティブ層103、103′から延長形成される。
In the above-described configuration, the
このような構成は、全体的に前記電源配線112の本数を1/2に減らす効果があるために従来に比べて開口率が改善されて、ライン性不良を防止できる長所がある。特に、背面発光方式の有機電界発光素子における開口率は一般的に制限的なので開口率改善は背面発光方式の有機電界発光素子においてさらに効果的である。
Such a configuration has an advantage of reducing the number of the
以下、図7Aないし図7Eを参照して本発明による有機電界発光素子の断面構造と製造方法を説明する。(隣接した画素に構成された各駆動素子とこれに連結された発光部の断面を参照して説明する。) Hereinafter, a cross-sectional structure and a manufacturing method of the organic electroluminescent device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 7A to 7E. (This will be described with reference to the cross-sections of the driving elements configured in adjacent pixels and the light emitting units connected thereto.)
図7Aないし図7Eは、図6のVII−VIIに沿って切断した断面図である。 7A to 7E are cross-sectional views taken along line VII-VII in FIG.
図7Aに示したように、前記基板100の上部に絶縁物質からなるバッファ層(第1絶縁層:102)を形成する。
As shown in FIG. 7A, a buffer layer (first insulating layer: 102) made of an insulating material is formed on the
前記バッファ層102が形成された基板100は、隣接した第1及び2画素領域P1、P2と、隣接した第1及び2キャパシタ領域C1、C2を定義する。各画素領域P1、P2はスイッチング領域(図示せず)と駆動領域Dを含む。
The
次に、多結晶シリコンからなる第1スイッチングアクティブ層(図示せず)、第1駆動アクティブ層104と第1アクティブパターン105をスイッチング領域、駆動領域Dと第1キャパシタ領域C1のバッファ層102上部に各々形成する。同様に、多結晶シリコンからなる第2スイッチングアクティブ層(図示せず)、第2駆動アクティブ層104′と第2アクティブパターン105′をスイッチング領域、駆動領域Dと第2キャパシタ領域C2のバッファ層102上部に各々形成する。隣接した第1及び2キャパシタ領域C1、C2の第1及び2アクティブパターン105、105′は隣接した第1及び2画素領域P1、P2のスイッチング領域の第1及び2スイッチングアクティブ層から延長形成される。
Next, a first switching active layer (not shown) made of polycrystalline silicon, a first driving
連続して、前記アクティブパターンが形成された基板100の全面に絶縁物質を蒸着して第2絶縁膜であるゲート絶縁膜106を形成した後、前記第1及び2スイッチングアクティブ層(図示せず)と第1及び2駆動アクティブ層104、104′上部の第2絶縁膜106上に第1及び2スイッチングゲート電極(図示せず)と第1及び2駆動ゲート電極108、108′を各々形成する。
Subsequently, an insulating material is deposited on the entire surface of the
前記ゲート絶縁膜106は、窒化シリコン(SiNx)と酸化シリコン(SiO2)を含む無機絶縁物質グループ中から選択された一つを蒸着して形成し、前記第1及び2スイッチングゲート電極(図示せず)と第1及び2駆動ゲート電極108、108′は、アルミニウム(Al)とアルミニウム合金と銅(Cu)とタングステン(W)とタンタル(Ta)とモリブデン(Mo)を含んだ導電性金属グループ中から選択された一つで形成する。
The
また、前記ゲート絶縁膜106は、蒸着後そのまま置くこともでき、前記第1及び2スイッチングゲート電極(図示せず)と第1及び2駆動ゲート電極108、108′と同一な形状にエッチングすることもできる。
The
次に、前記第1及び2スイッチングアクティブ層、第1及び2駆動アクティブ層104、104′と第1及び2アクティブパターン105、105′を不純物ドーピングする。不純物ドーピング時に、第1駆動ゲート電極108をドーピングマスクとして利用するので、ドーピング後第1駆動アクティブ層104は第1駆動チャネル領域104a、第1駆動ソース電極104bと第1駆動ドレイン電極104cに区分されるようになる。同様に、ドーピング後第2駆動アクティブ層104′は第2駆動チャネル領域104a′、第2駆動ソース電極104b′と第2駆動ドレイン電極104c′に区分されるようになる。図7Aには図示しなかったが、第1及び2スイッチングアクティブ層も第1及び2駆動チャネル領域、第1及び2駆動ソース電極と第1及び2駆動ドレイン電極に各々区分されるようになる。
Next, the first and second switching active layers, the first and second driving
次に、前記ゲート電極108が形成された基板100の全面に窒化シリコン(SiNx)と酸化シリコン(SiO2)を含む無機絶縁物質グループ中から選択された一つで層間絶縁膜(第3絶縁膜:110)を形成する。
Next, an interlayer insulating film (third insulating film) selected from an inorganic insulating material group including silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiO 2 ) on the entire surface of the
連続して、前記層間絶縁膜110上部領域中相互に隣接する第1及び2画素領域P1、P2間に1方向に構成された電源配線112を形成する。
A
前記電源配線112は、前述したようなアルミニウム(Al)とアルミニウム合金と銅(Cu)とタングステン(W)とタンタル(Ta)とモリブデン(Mo)を含んだ導電性金属グループ中から選択された一つで形成する。
The
図7Bに示したように、前記電源配線112が形成された基板100の全面に第4絶縁膜113を形成してパターニングにより、第1及び2スイッチングソースコンタクトホール(図示せず)、第1及び2スイッチングドレインコンタクトホール(図示せず)、第1及び2駆動ソースコンタクトホール114a、114a′、第1及び2駆動ドレインコンタクトホール114b、114b′と第1及び2電源コンタクトホール115、115′を形成する。第1駆動ソースコンタクトホール114aと第1駆動ドレインコンタクトホール114bは第1駆動ソース領域104bと第1駆動ドレイン領域104cを各々露出し、同様に第1スイッチングソースコンタクトホールと第1スイッチングドレインコンタクトホールは第1スイッチングソース領域と第1スイッチングドレイン領域を各々露出する。前記電源配線112を露出する第1及び2電源コンタクトホール115、115′は隣接した第1及び2画素領域P1、P2の駆動領域Dに各々配置される。
As shown in FIG. 7B, a fourth
次に、図7Cに示したように、第4絶縁膜113が形成された基板100の全面に前述したようなアルミニウム(Al)とアルミニウム合金と銅(Cu)とタングステン(W)とタンタル(Ta)とモリブデン(Mo)を含んだ導電性金属を蒸着してパターニングして、第1及び2スイッチングソース電極(図示せず)、第1及び2スイッチングドレイン電極(図示せず)、第1及び2駆動ソース電極116、116′と第1及び2駆動ドレイン電極118、118′を形成する。前記第1駆動ソース電極116と第1駆動ドレイン電極118は第1駆動ソース領域104bと第1駆動ドレイン領域104cに各々連結される。図7Cに図示しなかったが、同様に第1スイッチングソース電極と第1スイッチングドレイン電極は第1スイッチングソース領域と第1スイッチングドレイン領域に各々連結される。
Next, as shown in FIG. 7C, the aluminum (Al), aluminum alloy, copper (Cu), tungsten (W), and tantalum (Ta) as described above are formed on the entire surface of the
このとき、前記第1及び2駆動ソース電極116、116′は、同一な電源配線112に第1及び2電源コンタクトホール115、115′を通して各々連結される。
At this time, the first and second
このような構成は、一つの電源配線112を利用して相互に隣接した第1及び2画素領域P1、P2に構成された第1及び2駆動素子TD1、TD2に同一な信号を印加することができる構成である。第1及び2駆動素子TD1、TD2は電源配線112に対して対称的に配置することができ、第1及び2駆動ゲート電極108、108′は第1及び2スイッチングドレイン電極(図示せず)に各々連結される。
In such a configuration, the same signal is applied to the first and second driving elements T D1 and T D2 configured in the first and second pixel regions P1 and P2 adjacent to each other using one
次に、図7Dに示したように、前記ソース及びドレイン電極116、118が形成された基板100の全面に第5絶縁膜120を形成してパターニングして、前記第1及び2駆動ドレイン電極118、118′を露出する工程を進める。
Next, as shown in FIG. 7D, a fifth insulating
連続して、前記第5絶縁膜120上部に第1及び2下部電極122、122′を形成する。前記第1及び2下部電極122、122′は第1及び2駆動ドレイン電極118、118′に各々連結される。また、前記第1及び2下部電極122、122′は第1及び2画素領域P1、P2まで各々延びる。前記第1及び2下部電極122、122′はホール注入電極である陽極(anode)をなしていて、主にITO(インジウム−スズ−オキサイド)またはIZO(インジウム−亜鉛−オキサイド)のような仕事関数(work function)が高い透明な物質を含む。
Subsequently, first and second
図7Eに示したように、前記第1及び2下部電極122、122′が形成された基板100の全面に第6絶縁膜124を形成した後パターニングして、前記第1及び2下部電極122、122′を露出する工程を進める。
As shown in FIG. 7E, a sixth insulating
連続して、前記第1及び2下部電極122、122′の上部に単層または多層で構成された第1及び2発光層126、126′を各々形成する。
Continuously, first and second light emitting layers 126 and 126 ′ having a single layer or multiple layers are formed on the first and second
次に、前記第1及び2発光層126、126′の上部に電子注入電極である陰極をなす上部電極128を基板の全面に形成する工程を進めるのに、上部電極128はカルシウム(Ca)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)を含む金属グループ中から選択された一つで形成する。
Next, in order to proceed with a process of forming an
前述したような工程を通して本発明による有機電界発光素子を製作することができる。 The organic electroluminescent device according to the present invention can be manufactured through the processes as described above.
以下、第2実施例は本発明の変形例であって、前記薄膜トランジスタアレー部と発光部を別途に形成してこれを合着して構成した有機電界発光素子を提案する。 The second embodiment is a modification of the present invention, and proposes an organic electroluminescent device in which the thin film transistor array portion and the light emitting portion are separately formed and bonded together.
−−第2実施例−−
本発明の第2実施例は、第1実施例のように形成された薄膜トランジスタアレー部と発光部を別途に構成してこれを合着する方法で有機電界発光素子を製作することを特徴とする。
--- Second Example-
The second embodiment of the present invention is characterized in that an organic electroluminescent device is manufactured by separately forming a thin film transistor array portion and a light emitting portion formed as in the first embodiment and bonding them together. .
図8は、本発明の第2実施例による有機電界発光素子の構成を概略的に示した断面図である。 FIG. 8 is a cross-sectional view schematically illustrating a configuration of an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention.
図8に図示した図面は、有機電界発光素子の一部に対応する発光部を図示したものである。 The drawing illustrated in FIG. 8 illustrates a light emitting unit corresponding to a part of the organic electroluminescent element.
図示したように、第1実施例で説明した本発明による薄膜トランジスタTアレー部が構成された第1基板100と、ホール注入電極である第1電極202と発光層208と電子注入電極である第2電極210が構成された第2基板200をシーラント300を通して合着することによって有機電界発光素子を製作する。
As shown in the drawing, the
このとき、前記薄膜トランジスタTに連結された連結パターン140は、前記第1基板100と第2基板200を合着する工程中に前記第2電極210と接触するようになる。
At this time, the connection pattern 140 connected to the thin film transistor T comes into contact with the
前述した構成において、前記薄膜トランジスタアレー部は、前述した図7Aないし図7Cの工程と同一であるのでこれを省略する。 In the above-described configuration, the thin film transistor array portion is the same as the above-described steps of FIGS.
単に、前記図7Cの工程であるソース及びドレイン電極を形成した後、駆動素子のドレイン電極と接触する前記連結パターン140を形成する工程が進められることが第1実施例の工程とは異なる点である。 The difference from the process of the first embodiment is that the process of forming the connection pattern 140 in contact with the drain electrode of the driving element is advanced after the source and drain electrodes, which are the processes of FIG. 7C, are formed. is there.
以下、図9Aないし図9Cを参照して、本発明の第2実施例による発光部の形成工程を説明する。 Hereinafter, a process of forming the light emitting unit according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9A to 9C.
図9Aないし図9Cは、本発明の第2実施例による有機電界発光素子の構成を示した図面である。 9A to 9C are views illustrating a configuration of an organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention.
図9Aに示したように、透明な絶縁基板200上に第1電極202を形成する。
As shown in FIG. 9A, the
前記第1電極202は、有機発光層(図示せず)にホール(hole)を注入する電極である陰極(cathode)を構成するのに、アルミニウム(Al)とカルシウム(Ca)とマグネシウム(Mg)中から選択された一つで形成したりリチウムフッ素/アルミニウム(LiF/Al)の二重金属層で形成することができる。
The
次に、図9Bに示したように、前記第1電極202の上部に前記各画素領域Pに対応して位置して赤(R)、緑(G)、青色(B)の光を発光する有機発光層204を形成する。
Next, as shown in FIG. 9B, red (R), green (G), and blue (B) light is emitted on the
このとき、前記有機発光層204は、単層または多層で構成することができ、前記有機膜が多層で構成される場合には、主発光層204aにホール輸送層(Hole Transporting Layer)204bと電子輸送層(Electron Transporting Layer:ETL)204cをさらに構成する。
At this time, the organic
次に、図9Cに示したように、前記発光層204の上部にホールを注入する陽極役割を有する第2電極206を形成する工程を進める。
Next, as shown in FIG. 9C, a process of forming a second electrode 206 having an anode function of injecting holes into the
前記第2電極206は、各画素領域Pに対応して配置し、相互に独立するように構成する。 The second electrode 206 is disposed corresponding to each pixel region P and is configured to be independent of each other.
前記第2電極206を形成する物質は、ITOまたはIZOのような仕事関数が高い透明な物質で形成することができる。 The material forming the second electrode 206 may be a transparent material having a high work function such as ITO or IZO.
前述したように形成された発光部と、前で連結電極が形成された薄膜トランジスタアレー部を合着することによって本発明の第2実施例による有機電界発光素子を製作することができる。 The organic light emitting device according to the second embodiment of the present invention can be manufactured by attaching the light emitting part formed as described above and the thin film transistor array part in which the connection electrode is formed in advance.
101:ゲート配線
111:データ配線
112:電源配線
101: Gate wiring 111: Data wiring 112: Power supply wiring
Claims (23)
基板と、
前記基板上部の複数のゲート配線と、
各々が前記複数のゲート配線と相互に交差する前記基板上部の複数のデータ配線と、
前記基板上部に形成されて相互に連結される複数のスイッチング素子及び駆動素子と、 前記基板上部に形成され、前記複数のデータ配線に平行する電源配線とを含み、
前記複数のスイッチング素子の各々が1つのアクティブ層、前記アクティブ層上のゲート絶縁層、及び前記ゲート絶縁層上のスイッチングゲート電極を含み、
前記電源配線と、前記電源配線の下にあって、前記複数のスイッチング素子のアクティブ層から延在して同一材料よりなる層である少なくとも2つのアクティブパターンとが重畳し、
前記複数のアクティブパターンと前記電源配線は、それぞれ、第1のキャパシタ電極と第2のキャパシタ電極として使用され、それにより、1つのストレージキャパシタを形成する有機電界発光素子。 An organic electroluminescent device,
A substrate ,
A plurality of gate wirings on the substrate ;
A plurality of data lines on the substrate, each intersecting with the plurality of gate lines ;
Wherein a plurality of switching elements and driving elements which are connected to each other are formed above the substrate, is formed on the substrate upper, include a power supply line and parallel to the plurality of data lines,
Each of the plurality of switching elements includes an active layer, a gate insulating layer on the active layer, and a switching gate electrode on the gate insulating layer;
The power supply wiring and at least two active patterns which are under the power supply wiring and extend from the active layers of the plurality of switching elements and are layers made of the same material overlap,
Wherein the plurality of active patterns and the power supply lines are respectively used as the first capacitor electrode and the second capacitor electrode, whereby an organic electroluminescence device forming one of the storage capacitor.
各々が前記複数の駆動素子のうちの1つと接続される複数の第1の駆動電極と、
前記複数の第1の駆動電極上に位置する有機電界発光層と、
前記有機電界発光層上に位置する複数の第2の電極と、
をさらに含むことを特徴とする有機電界発光素子。 The organic electroluminescent device according to claim 2,
A plurality of first driving electrodes, each of which is connected with one of said plurality of drive elements,
An organic electroluminescent layer disposed on the plurality of first driving electrode,
A plurality of second electrodes located on the organic electroluminescent layer,
An organic electroluminescent device further comprising:
第1基板と、
前記第1基板と向かい合って離隔されている第2基板と、
前記第1基板の内側面に形成される複数のゲート配線と、
前記第1基板の内側面に形成されて、各々が前記複数のゲート配線と交差する複数のデータ配線と、
前記第1基板の上部に形成されて相互に連結される複数のスイッチング素子及び駆動素子と、
前記第1基板上の前記複数のデータ配線に平行に配置され、前記複数の駆動素子のうちの少なくとも2つと電気的に接続された電源配線と、
前記複数の駆動素子と連結される複数の連結電極と、
前記第2基板の内側面に形成される複数の第1電極と、
前記複数の第1電極上部に形成される有機電界発光層と、
前記有機電界発光層上部に形成されて、各々が前記複数の連結電極のうちの一つと接触する複数の第2電極とを含み、
前記複数のスイッチング素子の各々は、1つのアクティブ層、前記アクティブ層上のゲート絶縁層、及び前記ゲート絶縁層上のスイッチングゲート電極を含み、
前記電源配線と、前記電源配線の下にあって、前記複数のスイッチング素子のアクティブ層から延在して同一材料よりなる層である少なくとも2つのアクティブパターンとが重畳し、
前記アクティブパターンと前記電源配線は、それぞれ、第1のキャパシタ電極と第2のキャパシタ電極として使用され、それにより、1つのストレージキャパシタを形成する有機電界発光素子。 An organic electroluminescent device,
A first substrate ;
A second substrate facing and spaced apart from the first substrate ;
A plurality of gate lines formed on an inner surface of the first substrate ;
A plurality of data lines formed on an inner surface of the first substrate, each intersecting the plurality of gate lines ;
A plurality of switching elements and driving elements formed on the first substrate and connected to each other ;
Disposed in parallel to the plurality of data lines on the first substrate, at least two and electrically connected to the power supply wiring of the plurality of drive elements,
A plurality of connection electrodes connected to the plurality of drive elements ;
A plurality of first electrodes formed on an inner surface of the second substrate ;
An organic electroluminescent layer formed on the plurality of first electrodes ;
A plurality of second electrodes formed on the organic electroluminescent layer, each in contact with one of the plurality of connection electrodes;
Each of the plurality of switching elements includes one active layer, a gate insulating layer on the active layer, and a switching gate electrode on the gate insulating layer,
The power supply wiring and at least two active patterns which are under the power supply wiring and extend from the active layers of the plurality of switching elements and are layers made of the same material overlap,
The active pattern and the power supply line, respectively, is used as the first capacitor electrode and the second capacitor electrode, whereby an organic electroluminescence device forming one of the storage capacitor.
第1基板上にポリシリコンを含む複数のスイッチングアクティブ層、複数の駆動アクティブ層、及び前記スイッチングアクティブ層から延在して同一材料よりなる層である複数のアクティブパターンを形成する段階と;
前記複数のスイッチングアクティブ層、複数の駆動アクティブ層及び複数のアクティブパターン上部に第1絶縁膜を形成する段階と;
前記第1絶縁膜上部に前記複数のスイッチングアクティブ層上に延びる複数のスイッチングゲート電極を形成する段階と;
前記第1絶縁膜上部に前記複数の駆動アクティブ層上に延びる複数の駆動ゲート電極を形成する段階と;
前記複数のスイッチングアクティブ層、複数の駆動アクティブ層及び複数のアクティブパターンを不純物でドーピングして前記複数のスイッチングアクティブ層の各々にスイッチングソース領域とスイッチングドレイン領域を形成して、前記複数の駆動アクティブ層の各々に駆動ソース領域と駆動ドレイン領域を形成する段階と;
前記複数のスイッチングゲート電極と複数の駆動ゲート電極上部に第2絶縁膜を形成する段階と;
前記第2絶縁膜上部に電源配線を形成する段階と;
前記電源配線上部に第3絶縁膜を形成する段階と;
前記第3絶縁膜上部に前記スイッチングソース領域と接触する複数のスイッチングソース電極を形成する段階と;
前記第3絶縁膜上部に前記スイッチングドレイン領域と接触する複数のスイッチングドレイン電極を形成する段階と;
前記第3絶縁膜上部に前記駆動ソース領域と接触する複数の駆動ソース電極を形成する段階と;
前記第3絶縁膜上部に前記駆動ドレイン領域と接触してそのうち少なくとも2つは前記電源配線に連結される複数の駆動ドレイン電極を形成する段階とを含み、
前記電源配線と少なくとも2つの前記アクティブパターンとが重畳し、前記アクティブパターンと前記電源配線は、それぞれ、第1のキャパシタ電極と第2のキャパシタ電極として使用され、それにより、1つのストレージキャパシタを形成することを特徴とする有機電界発光素子製造方法。 An organic electroluminescent device manufacturing method comprising:
Forming a plurality of switching active layers including polysilicon on a first substrate, a plurality of driving active layers , and a plurality of active patterns extending from the switching active layers and made of the same material ;
Forming a first insulating film on the plurality of switching active layers, the plurality of driving active layers, and the plurality of active patterns;
Forming a plurality of switching gate electrodes extending on the plurality of switching active layers on the first insulating film;
Forming a plurality of driving gate electrodes extending on the plurality of driving active layers on the first insulating film;
The plurality of switching active layers, the plurality of driving active layers, and the plurality of active patterns are doped with impurities to form a switching source region and a switching drain region in each of the plurality of switching active layers. Forming a drive source region and a drive drain region in each of the;
Forming a second insulating film on the plurality of switching gate electrodes and the plurality of driving gate electrodes;
Forming a power wiring on the second insulating film;
Forming a third insulating film on the power line;
Forming a plurality of switching source electrodes in contact with the switching source region on the third insulating film;
Forming a plurality of switching drain electrodes in contact with the switching drain region on the third insulating film;
Forming a plurality of driving source electrodes in contact with the driving source region on the third insulating film;
The third of which at least two in contact with the driving drain region in the insulating film top saw including a step of forming a plurality of driving drain electrode connected to the power supply line,
The power wiring and at least two active patterns overlap, and the active pattern and the power wiring are used as a first capacitor electrode and a second capacitor electrode, respectively, thereby forming one storage capacitor An organic electroluminescent device manufacturing method characterized by comprising:
前記第4絶縁膜上部に前記複数の駆動ドレイン電極に接触する複数の第1電極を形成する段階と;
前記複数の第1電極上部に有機電界発光層を形成する段階と;
前記有機電界発光層上部に複数の第2電極を形成する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項21に記載の有機電界発光素子製造方法。 Forming a fourth insulating film on the plurality of switching source electrodes, a plurality of switching drain electrodes, a plurality of driving source electrodes and a plurality of driving drain electrodes;
Forming a plurality of first electrodes in contact with the plurality of driving drain electrodes on the fourth insulating film;
Forming an organic electroluminescent layer on the plurality of first electrodes;
The method of claim 21 , further comprising forming a plurality of second electrodes on the organic electroluminescent layer.
前記第4絶縁膜上部に前記複数の駆動ドレイン電極と接触する複数の連結電極を形成する段階と;
第2基板上部に複数の第1電極を形成する段階と;
前記複数の第1電極上部に有機電界発光層を形成する段階と;
前記有機電界発光層上部に複数の第2電極を形成する段階と;
前記複数の連結電極と前記複数の第2電極が接触するように前記第1及び2基板を合着する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項21に記載の有機電界発光素子製造方法。 Forming a fourth insulating film on the plurality of switching source electrodes, a plurality of switching drain electrodes, a plurality of driving source electrodes and a plurality of driving drain electrodes;
Forming a plurality of connection electrodes in contact with the plurality of driving drain electrodes on the fourth insulating film;
Forming a plurality of first electrodes on the second substrate;
Forming an organic electroluminescent layer on the plurality of first electrodes;
Forming a plurality of second electrodes on the organic electroluminescent layer;
The method according to claim 21 , further comprising the step of bonding the first and second substrates so that the plurality of connection electrodes and the plurality of second electrodes are in contact with each other.
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