JP4894842B2 - Color filter manufacturing method, display device manufacturing method, coating method - Google Patents

Color filter manufacturing method, display device manufacturing method, coating method Download PDF

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本発明は、カラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、塗布方法に関する。詳細には、インクジェット方式によるカラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、塗布方法に関する。   The present invention relates to a color filter manufacturing method, a display device manufacturing method, and a coating method. Specifically, the present invention relates to an ink jet color filter manufacturing method, a display device manufacturing method, and a coating method.

近年、パーソナルコンピュータや携帯電話の普及に伴い、高精細かつ軽薄な表示装置が必要とされる。表示装置は、例えば、LCD(液晶ディスプレイパネル)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、有機EL(ElectroLuminescent Display)である。これらの表示装置の構成部材として、カラーフィルタが用いられる。   In recent years, with the widespread use of personal computers and mobile phones, high-definition and thin display devices are required. The display device is, for example, an LCD (Liquid Crystal Display Panel), a PDP (Plasma Display Panel), or an organic EL (Electro Luminescent Display). A color filter is used as a constituent member of these display devices.

カラーフィルタにおける着色層の形成方法として、インクジェット法、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法がある。
インクジェット法では、基板上にパターン形成されたインク受容層にインクを塗布することにより、着色層が形成される。あるいは、基板上に遮光部により画設された開口部にインクを塗布することにより、着色層が形成される。
As a method for forming a colored layer in a color filter, there are various methods such as an inkjet method, a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, and a printing method.
In the ink jet method, a colored layer is formed by applying ink to an ink receiving layer patterned on a substrate. Alternatively, the colored layer is formed by applying ink to the opening provided by the light shielding portion on the substrate.

また、画素領域毎に異なる量のインクを塗布することにより、画素列毎のインク総量を合わせるカラーフィルタの製造方法が提案されている(例えば、[特許文献1]参照。)。   In addition, a color filter manufacturing method has been proposed in which a different amount of ink is applied to each pixel region to match the total ink amount for each pixel column (see, for example, [Patent Document 1]).

特開2007−178956号公報JP 2007-178906 A

しかしながら、[特許文献1]のカラーフィルタ製造方法では、画素列単位ではインク総量を合わせることができるが、画素領域単位ではインク量が異なるので、画素領域毎の色度や着色層形状が異なるという問題点がある。画素領域毎の色度が異なると、カラーフィルタの色合いや反射について、人間の視覚に違和感が生じる。画素領域毎の着色層形状が異なると、表示装置を形成する際に封入される液晶の層厚に相当するギャップが不均一となり、表示装置の品質に影響するという問題点がある。   However, in the color filter manufacturing method of [Patent Document 1], the total amount of ink can be adjusted in units of pixel columns, but since the amount of ink is different in units of pixel regions, the chromaticity and color layer shape of each pixel region are different. There is a problem. If the chromaticity of each pixel area is different, the human vision is uncomfortable with respect to the hue and reflection of the color filter. If the color layer shape for each pixel region is different, the gap corresponding to the layer thickness of the liquid crystal sealed when forming the display device becomes non-uniform, which affects the quality of the display device.

本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、画素領域等の所定領域毎に塗布量を均一とすることができるカラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、塗布方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a color filter manufacturing method, a display device manufacturing method, and a coating method capable of making the coating amount uniform for each predetermined region such as a pixel region. For the purpose.

前述した目的を達成するために第1の発明は、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、前記基板上の同一の画素領域に対して複数のノズルから着色層形成用のインクを吐出して塗布を行ってカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法であって、前記画素領域に塗布する前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、前記ノズル毎に前記インク1滴分の液滴量を設定する液滴量設定ステップと、前記目標量及び前記インク1滴分の液滴量に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル毎に前記画素領域に吐出する前記インクの液滴数を算出する液滴数算出ステップと、前記算出された液滴数分の前記インクを前記ノズルから前記画素領域に吐出する吐出ステップと、を具備し、前記インクジェットヘッドの前記走査を複数回行い、同一の前記画素領域に対して前記インクを前記走査毎に異なるノズルから吐出することを特徴とするカラーフィルタ製造方法である。 In order to achieve the above-mentioned object, the first invention performs at least one scan by moving an inkjet head having a plurality of nozzles relative to the substrate, and performs the same pixel region on the substrate. A color filter manufacturing method for manufacturing a color filter by discharging and applying colored layer forming ink from a plurality of nozzles, and a target amount setting step of setting a target amount of the ink to be applied to the pixel region A droplet amount setting step for setting a droplet amount for one drop of ink for each nozzle, and a plurality of droplets used for coating each pixel region based on the target amount and the droplet amount for one drop of ink. A droplet number calculating step for calculating the number of droplets of the ink discharged to the pixel region for each nozzle, and discharging the ink corresponding to the calculated droplet number from the nozzle to the pixel region. Comprising the step out, and performed a plurality of times the scanning of the ink jet head is a color filter manufacturing method characterized by discharging the ink to the same of the pixel area from the different nozzles for each of the scan .

第1の発明のカラーフィルタ製造方法では、1つの画素領域に塗布するインクの目標量を設定し、ノズル毎にインク1滴分の液滴量を設定し、設定された目標量及びインク1滴分の液滴量に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル毎に画素領域に吐出するインクの液滴数を算出し、インクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、算出された液滴数分のインクをノズルから画素領域に吐出して塗布を行ってカラーフィルタを製造する。   In the color filter manufacturing method of the first invention, a target amount of ink to be applied to one pixel region is set, a droplet amount for one ink droplet is set for each nozzle, and the set target amount and one ink droplet are set. The number of ink droplets to be ejected to the pixel region is calculated for each of the plurality of nozzles used for application of each pixel region based on the amount of the minute droplets, and the inkjet head is moved relative to the substrate to at least one The color filter is manufactured by performing scanning once and applying the ink by ejecting the ink corresponding to the calculated number of droplets from the nozzle to the pixel region.

第1の発明では、1つの画素領域に塗布するインクの目標量及びインク1滴分の液滴量に基づいて、各画素領域の塗布に用いるノズルと液滴数との組み合わせを算出して各画素領域にインクを塗布することにより、画素列単位だけでなく画素領域単位で塗布されるインク量が同一となり、各画素領域における着色層形状や厚さを均一とすることができる。尚、インク量については、インク重量を用いてもよいし、インク体積を用いてもよい。   In the first invention, based on the target amount of ink to be applied to one pixel region and the amount of droplets for one drop of ink, a combination of the nozzle and the number of droplets used for application of each pixel region is calculated. By applying ink to the pixel region, the amount of ink applied not only in the pixel column unit but also in the pixel region unit becomes the same, and the colored layer shape and thickness in each pixel region can be made uniform. As for the ink amount, the ink weight or the ink volume may be used.

また、インクジェットヘッドのノズルから最初に吐出されるインク量が不安定な場合には、液滴数について所定の閾値(例えば、3滴)を設けて、当該閾値より小さい液滴数の解は除外して液滴数を算出することが望ましい。これにより、インク量が不安定となる液滴数の解を除外して、目標とするインク量で正確に各画素領域を塗布することができる。   In addition, when the amount of ink initially ejected from the nozzle of the inkjet head is unstable, a predetermined threshold (for example, 3 drops) is provided for the number of droplets, and solutions with the number of droplets smaller than the threshold are excluded. Thus, it is desirable to calculate the number of droplets. Accordingly, each pixel region can be accurately applied with the target ink amount, excluding the solution of the number of droplets in which the ink amount becomes unstable.

また、インクジェットヘッドに使用不能なノズルが含まれる場合には、使用不能なノズルから吐出されるインクの液滴数を「0滴」とし、残りのノズルから吐出されるインクの液滴数を調整することにより、各画素領域に塗布されるインク量を均一にすることができる。例えば、インクジェットヘッドがノズル列方向に複数連結された長尺ヘッドのノズルのうち、長尺ヘッドの継ぎ目近傍のノズルは使用不能であるので液滴数を「0滴」とする。   If the inkjet head contains unusable nozzles, the number of ink droplets ejected from the unusable nozzles is set to “0”, and the number of ink droplets ejected from the remaining nozzles is adjusted. By doing so, the amount of ink applied to each pixel region can be made uniform. For example, among the nozzles of the long head in which a plurality of ink jet heads are connected in the nozzle row direction, the nozzles near the joints of the long heads cannot be used, so the number of droplets is “0 droplet”.

第2の発明は、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、前記基板上の同一の画素領域に対して複数のノズルから着色層形成用のインクを吐出して塗布を行ってカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造ステップと、前記カラーフィルタにスペーサを形成するスペーサ形成ステップと、前記カラーフィルタとアレイ基板とを貼り合わせる貼り合わせステップと、前記カラーフィルタと前記アレイ基板の周辺部分にシール材を設けるシール材形成ステップと、前記カラーフィルタと前記アレイ基板間に液晶を封入する液晶封入ステップと、を具備する表示装置の製造方法であって、前記カラーフィルタ製造ステップに前記画素領域に塗布する前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、前記ノズル毎に前記インク1滴分の液滴量を設定する液滴量設定ステップと、前記目標量及び前記インク1滴分の液滴量に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル毎に前記画素領域に吐出する前記インクの液滴数を算出する液滴数算出ステップと、前記算出された液滴数分の前記インクを前記ノズルから前記画素領域に吐出する吐出ステップと、を具備し、前記インクジェットヘッドの前記走査を、複数回行い、同一の前記画素領域に対して、前記インクを前記走査毎に異なるノズルから吐出することを特徴とする表示装置の製造方法である。 According to a second aspect of the present invention, an inkjet head having a plurality of nozzles is moved relative to the substrate to perform scanning at least once, and a colored layer is formed from the plurality of nozzles for the same pixel region on the substrate. A color filter manufacturing step of manufacturing a color filter by discharging ink for application and manufacturing, a spacer forming step of forming a spacer on the color filter, a bonding step of bonding the color filter and the array substrate, A manufacturing method of a display device comprising: a sealing material forming step of providing a sealing material in a peripheral portion of the color filter and the array substrate; and a liquid crystal sealing step of sealing a liquid crystal between the color filter and the array substrate. Setting a target amount of the ink to be applied to the pixel area in the color filter manufacturing step. Based on the target amount setting step, the droplet amount setting step for setting the droplet amount for one drop of ink for each nozzle, and the target amount and the droplet amount for one drop of ink, A droplet number calculating step for calculating the number of droplets of the ink discharged to the pixel region for each of a plurality of nozzles used for coating, and discharging the ink corresponding to the calculated droplet number from the nozzle to the pixel region. An ejection step, wherein the scanning of the inkjet head is performed a plurality of times, and the ink is ejected from different nozzles for each scanning to the same pixel region. It is a manufacturing method.

第2の発明は、第1の発明によって作製されたカラーフィルタを備える表示装置の製造方法に関する発明である。   2nd invention is invention regarding the manufacturing method of a display apparatus provided with the color filter produced by 1st invention.

第3の発明は、塗布領域全体を複数の所定領域に分け、複数のノズルを有する塗布ヘッドを前記塗布領域に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、同一の前記所定領域に対して複数のノズルから塗布液を吐出して塗布を行う塗布方法であって、前記所定領域に塗布する前記塗布液の目標量を設定する目標量設定ステップと、前記ノズル毎に前記塗布液1滴分の液滴量を設定する液滴量設定ステップと、前記目標量及び前記塗布液1滴分の液滴量に基づいて、各所定領域の塗布に用いる複数のノズル毎に前記所定領域に吐出する前記塗布液の液滴数を算出する液滴数算出ステップと、前記算出された液滴数分の前記塗布液を前記ノズルから前記所定領域に吐出する吐出ステップと、を具備し、前記塗布ヘッドの前記走査を、複数回行い、同一の前記所定領域に対して、前記塗布液を前記走査毎に異なるノズルから吐出することを特徴とする塗布方法である。 According to a third aspect of the present invention, the entire coating area is divided into a plurality of predetermined areas, the coating head having a plurality of nozzles is moved relative to the coating area to perform at least one scan, and the same predetermined area A coating method for performing coating by discharging a coating liquid from a plurality of nozzles, a target amount setting step for setting a target amount of the coating liquid to be applied to the predetermined region, and the coating liquid for each nozzle The predetermined area is set for each of a plurality of nozzles used for coating each predetermined area based on a droplet volume setting step for setting a droplet volume for one drop, and the target volume and the droplet volume for one drop of the coating liquid. A droplet number calculating step for calculating the number of droplets of the coating liquid to be discharged on, and a discharging step for discharging the coating liquid for the calculated number of droplets from the nozzle to the predetermined region , The scanning of the coating head is Times performed, identical to said predetermined region is a coating method characterized by discharging from different nozzles of the coating liquid for each of the scan.

第3の発明の塗布方法では、塗布領域全体を所定領域に分け、1つの所定領域に塗布する塗布液の目標量を設定し、ノズル毎に塗布液1滴分の液滴量を設定し、設定された目標量及び塗布液1滴分の液滴量に基づいて、各所定領域の塗布に用いる複数のノズル毎に所定領域に吐出する塗布液の液滴数を算出し、複数のノズルを有する塗布ヘッドを塗布領域に対して相対的に移動させて複数回の走査を行い、算出された液滴数分の塗布液をノズルから所定領域に吐出して塗布を行う。   In the coating method of the third invention, the entire coating area is divided into predetermined areas, a target amount of coating liquid to be applied to one predetermined area is set, a droplet amount for one drop of the coating liquid is set for each nozzle, Based on the set target amount and the droplet amount for one drop of the coating liquid, the number of droplets of the coating liquid ejected to the predetermined area is calculated for each of the plurality of nozzles used for coating each predetermined area. The coating head having the coating head is moved relative to the coating area to perform scanning a plurality of times, and coating is performed by ejecting the coating liquid corresponding to the calculated number of droplets from the nozzle to a predetermined area.

第1の発明のカラーフィルタ製造方法では、画素領域単位で塗布するインクの目標量を設定して使用するノズル毎に液滴数を算出したが、第3の発明の塗布方法では、画素領域単位に限られず、塗布領域全体を所定領域(例えば、1μm四方)に分け、この所定領域単位で使用するノズル及び塗布液の液滴数を設定する。   In the color filter manufacturing method of the first invention, the number of droplets is calculated for each nozzle to be used by setting a target amount of ink to be applied in pixel area units. In the coating method of the third invention, the number of droplets is calculated in pixel area units. However, the entire coating area is divided into predetermined areas (for example, 1 μm square), and the number of nozzles to be used and the number of droplets of the coating liquid are set for each predetermined area.

これにより、塗布領域全体について塗布量を均一化することができる。例えば、液晶を挟むポリイミド等の配向膜をアレイ基板やカラーフィルタの表面にインクジェット方式によって形成する場合にも適用することができる。
また、塗布領域全体を排他的に分割して所定領域を設定した場合には、塗布むら等の欠陥が発生することがあるので、隣接する所定領域については当該所定領域の端部同士が重なる位置に配置することにより、所定領域の端部については重ね塗りを行って塗布むら等の欠陥の発生を防止することができる。
Thereby, the application amount can be made uniform for the entire application region. For example, the present invention can also be applied to the case where an alignment film such as polyimide sandwiching liquid crystal is formed on the surface of an array substrate or a color filter by an ink jet method.
In addition, when the predetermined area is set by dividing the entire application area exclusively, defects such as coating unevenness may occur, and therefore, for adjacent predetermined areas, positions where the end portions of the predetermined areas overlap each other By disposing in the above, it is possible to prevent the occurrence of defects such as coating unevenness by performing overcoating on the end portion of the predetermined region.

本発明によれば、画素領域等の所定領域毎に塗布量を均一とすることができるカラーフィルタ製造方法、表示装置の製造方法、塗布方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a color filter manufacturing method, a display device manufacturing method, and a coating method that can make the coating amount uniform for each predetermined region such as a pixel region.

以下、添付図面を参照しながら、本発明に係るカラーフィルタ製造装置及びカラーフィルタ製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。   Hereinafter, preferred embodiments of a color filter manufacturing apparatus and a color filter manufacturing method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description and the accompanying drawings, the same reference numerals are given to components having substantially the same functional configuration, and redundant description will be omitted.

(1.カラーフィルタ製造装置1の構成)
最初に、図1を参照しながら、カラーフィルタ製造装置1の構成について説明する。
図1は、カラーフィルタ製造装置1の構成図である。
(1. Configuration of color filter manufacturing apparatus 1)
First, the configuration of the color filter manufacturing apparatus 1 will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram of a color filter manufacturing apparatus 1.

カラーフィルタ製造装置1は、制御部2、基板3が載置される吸着テーブル4、インクジェットヘッド5、移動部6、アライメントカメラ7、液滴数設定部10から構成される。カラーフィルタ製造装置1は、基板3に対してインクジェットヘッド5のノズル9からインクを吐出してパターニングを行い、カラーフィルタを製造する装置である。   The color filter manufacturing apparatus 1 includes a control unit 2, a suction table 4 on which a substrate 3 is placed, an inkjet head 5, a moving unit 6, an alignment camera 7, and a droplet number setting unit 10. The color filter manufacturing apparatus 1 is an apparatus for manufacturing a color filter by ejecting ink from a nozzle 9 of an inkjet head 5 to the substrate 3 and performing patterning.

基板3は、ガラス基板やフィルム基板である。
吸着テーブル4は、基板3を吸着して固定するテーブルである。基板の吸着は、例えば、吸着テーブル4と基板3との間の空気を減圧あるいは真空にすることにより行われる。この場合、吸着テーブルには、空気を吸引するための小孔(図示しない)が設けられ、吸着の際には当該孔を通じて真空ポンプ(図示しない)等により空気の吸引が行われる。
The substrate 3 is a glass substrate or a film substrate.
The suction table 4 is a table that sucks and fixes the substrate 3. The adsorption of the substrate is performed, for example, by reducing the pressure or vacuum of the air between the adsorption table 4 and the substrate 3. In this case, the suction table is provided with a small hole (not shown) for sucking air, and at the time of suction, air is sucked by a vacuum pump (not shown) or the like through the hole.

インクジェットヘッド5は、着色剤等を含むインクを吐出する装置である。インクジェットヘッド5は、基板3上に形成されたインク受容層にインクを塗布したり、遮光部により画設された開口部にインクを塗布する。
移動部6は、吸着テーブル4及びインクジェットヘッド5の移動及び位置決めを行う装置である。尚、移動機構としては、汎用のガイド機構や移動用アクチュエータを用いることができる。例えば、移動用アクチュエータとして、ステップモータ、サーボモータ、リニアモータを用い、ガイド機構として、直線移動機構、エアースライドを用いることができる。
アライメントカメラ7は、基板3の位置座標を検出するために、基板3の所定箇所(基板上に形成されるアライメントマーク等)を撮像するカメラである。
The ink jet head 5 is a device that ejects ink containing a colorant and the like. The inkjet head 5 applies ink to an ink receiving layer formed on the substrate 3 or applies ink to an opening provided by a light shielding portion.
The moving unit 6 is a device that moves and positions the suction table 4 and the inkjet head 5. A general-purpose guide mechanism or a moving actuator can be used as the moving mechanism. For example, a step motor, a servo motor, or a linear motor can be used as the moving actuator, and a linear moving mechanism or an air slide can be used as the guide mechanism.
The alignment camera 7 is a camera that captures an image of a predetermined portion (such as an alignment mark formed on the substrate) of the substrate 3 in order to detect the position coordinates of the substrate 3.

液滴数設定部10は、インクジェットヘッド5のノズル9毎に吐出するインクの液滴数を設定するものである。液滴数設定部10は、塗布情報設定部11、ノズル情報設定部12、液滴数情報算出部13、記憶部14を有する。記憶部14には、塗布情報15、ノズル情報16、液滴数情報17を保持する。
塗布情報設定部11は、塗布情報15を作成して記憶部14に保持する。塗布情報15については後述する。ノズル情報設定部12は、ノズル情報16を作成して記憶部14に保持する。ノズル情報16については後述する。液滴数情報算出部13は、塗布情報15及びノズル情報16に基づいて液滴数情報17を算出して記憶部14に保持する。液滴数情報17の算出については後述する。
The droplet number setting unit 10 sets the number of droplets of ink ejected for each nozzle 9 of the inkjet head 5. The droplet number setting unit 10 includes an application information setting unit 11, a nozzle information setting unit 12, a droplet number information calculation unit 13, and a storage unit 14. The storage unit 14 stores application information 15, nozzle information 16, and droplet number information 17.
The application information setting unit 11 creates application information 15 and holds it in the storage unit 14. The application information 15 will be described later. The nozzle information setting unit 12 creates nozzle information 16 and stores it in the storage unit 14. The nozzle information 16 will be described later. The droplet number information calculation unit 13 calculates droplet number information 17 based on the application information 15 and the nozzle information 16 and stores the calculated droplet number information 17 in the storage unit 14. The calculation of the droplet number information 17 will be described later.

(2.塗布方法)
次に、図2〜図4を参照しながら、カラーフィルタ製造装置1による塗布方法について説明する。
図2は、インクジェットヘッド5のノズル番号及びノズル数の関係を示す図である。
図3は、インクジェットヘッド5による基板3のスキャン(走査)を示す図である。
(2. Application method)
Next, a coating method using the color filter manufacturing apparatus 1 will be described with reference to FIGS.
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the nozzle number and the number of nozzles of the inkjet head 5.
FIG. 3 is a diagram illustrating scanning of the substrate 3 by the inkjet head 5.

インクジェットヘッド5は、ノズルN01(ノズル番号1)〜ノズルN(ノズル番号N)までのN個のノズルを有する。これらのN個のノズルは、1列に配置される。インクジェットヘッド5は、基板3の同一の画素列に対して複数回のスキャンを行う。スキャン回数及びスキャン間のインクジェットヘッド5の移動量は、分散数Bによって決定される。分散数Bとは、同一の画素領域に対してインクの塗布に用いるノズルの数であるため、本実施の形態においては、分散数Bの回数分スキャンが行われることとなる。インクジェットヘッド5は、一方向についてスキャンを終了すると、N/B個のノズル数分ノズル列方向に移動して、逆方向に次のスキャンを行う。同一の画素列に対して分散数Bの回数分スキャンが行われる。図3に示すように、第1スキャン〜第4スキャンでは、それぞれ、インクジェットヘッド5−1〜インクジェットヘッド5−4の位置から矢印方向にスキャンが行われる。   The inkjet head 5 has N nozzles from nozzle N01 (nozzle number 1) to nozzle N (nozzle number N). These N nozzles are arranged in a row. The inkjet head 5 scans the same pixel column on the substrate 3 a plurality of times. The number of scans and the amount of movement of the inkjet head 5 between scans are determined by the dispersion number B. Since the dispersion number B is the number of nozzles used for applying ink to the same pixel region, in this embodiment, scanning is performed for the number of times of the dispersion number B. When the inkjet head 5 finishes scanning in one direction, it moves in the nozzle row direction by the number of N / B nozzles and performs the next scan in the reverse direction. The same number of scans is performed on the same pixel column as many times as the number of distributions B. As shown in FIG. 3, in the first scan to the fourth scan, scanning is performed in the direction of the arrow from the position of the inkjet head 5-1 to the inkjet head 5-4, respectively.

図4は、インクジェットヘッド5のグループ31とノズル番号32との関係を示す図である。
インクジェットヘッド5のN個のノズル9は、分散数Bの数のノズルから構成されるグループに分類される。インクジェットヘッド5のノズル列方向の移動量に相当するN/B個間隔で同一グループのノズルが割り当てられる。第1グループには、ノズル番号1、1+N/B、1+2N/B、…、1+(B−1)N/BのB個のノズルが割り当てられ、第2グループには、ノズル番号2、2+N/B、2+2N/B、…、2+(B−1)N/BのB個のノズルが割り当てられ、第N/Bグループには、ノズル番号N/B、2N/B、3N/B、…、NのB個のノズルが割り当てられる。同一の画素列に属する各画素領域に対しては、同一グループに属するノズルからインクが吐出される。
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the group 31 of the inkjet head 5 and the nozzle number 32.
The N nozzles 9 of the inkjet head 5 are classified into a group composed of a number B of dispersion numbers. The nozzles of the same group are assigned at intervals of N / B corresponding to the movement amount of the inkjet head 5 in the nozzle row direction. B nozzles of nozzle numbers 1, 1 + N / B, 1 + 2N / B,..., 1+ (B−1) N / B are assigned to the first group, and nozzle numbers 2, 2 + N / B are assigned to the second group. B, 2 + 2N / B,..., 2+ (B-1) N / B B nozzles are assigned, and the N / B group has nozzle numbers N / B, 2N / B, 3N / B,. N B nozzles are assigned. For each pixel region belonging to the same pixel column, ink is ejected from nozzles belonging to the same group.

(3.塗布情報15、ノズル情報16、液滴数情報17)
次に、図5〜図9を参照しながら、塗布情報15、ノズル情報16、液滴数情報17について説明する。尚、以下の説明では、色R(RED)、色G(GREEN)、色B(BLUE)のうち、色R(RED)のインクを塗布する場合について説明する。また、インクジェットヘッド5のノズル9の数はN=20であり、分散数はB=4、グループ数(N/B)=(20/4)=5、として説明する。
(3. Application information 15, nozzle information 16, droplet number information 17)
Next, the application information 15, nozzle information 16, and droplet number information 17 will be described with reference to FIGS. In the following description, a case where ink of color R (RED) is applied among color R (RED), color G (GREEN), and color B (BLUE) will be described. The number of nozzles 9 in the inkjet head 5 is N = 20, the number of dispersions is B = 4, and the number of groups (N / B) = (20/4) = 5.

(3−1.インクジェットヘッド5)
図5は、インクジェットヘッド5を示す図である。
図5のインクジェットヘッド5は、着色層形成用のインクとして色R(RED)のインクを吐出するインクジェットヘッドである。図5のインクジェットヘッド5は、ノズルN01〜ノズルN20の20個のノズル9、インク供給部21を備える。インク供給部21は、インクが充填されるチャンバ、インクをノズル9に供給するためインク配管、ノズル毎にインク吐出量を制御する吐出量制御部等から構成される。吐出量制御部は、例えば、ノズル毎に設けられたピエゾ素子の印加電圧を制御することによりインク吐出量を制御する。
(3-1. Inkjet head 5)
FIG. 5 is a diagram showing the inkjet head 5.
The ink jet head 5 in FIG. 5 is an ink jet head that ejects ink of color R (RED) as the ink for forming the colored layer. The ink jet head 5 of FIG. 5 includes 20 nozzles 9 of nozzles N01 to N20 and an ink supply unit 21. The ink supply unit 21 includes a chamber filled with ink, an ink pipe for supplying ink to the nozzles 9, a discharge amount control unit for controlling the ink discharge amount for each nozzle, and the like. For example, the ejection amount control unit controls the ink ejection amount by controlling the voltage applied to the piezoelectric element provided for each nozzle.

(3−2.カラーフィルタ23)
図6は、基板3にインクが塗布されて形成されたカラーフィルタ23を示す図である。
基板3には遮光部25が形成される。遮光部25によって複数の画素領域27が画設される。図6のカラーフィルタ23では、画素列29−1、29−2、…、29−5には、色Rのインクが塗布される。画素列29−1は、画素領域R01、R11、R21、…、R51、…を含み、画素列29−2は、画素領域R02、R12、R22、…、R52、…を含み、画素列29−3は、画素領域R03、R13、R23、…、R53、…を含み、画素列29−4は、画素領域R04、R14、R24、…、R54、…を含み、画素列29−5は、画素領域R05、R15、R25、…、R55、…を含む。画素列29−1、29−2、…、29−5の各画素領域には、それぞれ、第1グループ(ノズルN01、N06、N11、N16)、第2グループ(ノズルN02、N07、N12、N17)、…、第5グループ(ノズルN05、N10、N15、N20)に属する4つのノズルからインクが吐出される。
(3-2. Color filter 23)
FIG. 6 is a diagram illustrating the color filter 23 formed by applying ink to the substrate 3.
A light shielding portion 25 is formed on the substrate 3. A plurality of pixel regions 27 are provided by the light shielding unit 25. In the color filter 23 of FIG. 6, the color R ink is applied to the pixel rows 29-1, 29-2,..., 29-5. The pixel column 29-1 includes pixel regions R01, R11, R21,..., R51,..., And the pixel column 29-2 includes pixel regions R02, R12, R22,. 3 includes pixel regions R03, R13, R23,..., R53,..., And the pixel column 29-4 includes pixel regions R04, R14, R24,. Regions R05, R15, R25,..., R55,. In each pixel region of the pixel columns 29-1, 29-2,..., 29-5, a first group (nozzles N01, N06, N11, N16) and a second group (nozzles N02, N07, N12, N17) are respectively provided. , ..., ink is ejected from four nozzles belonging to the fifth group (nozzles N05, N10, N15, N20).

(3−3.塗布情報15)
図7は、塗布情報15を示す図である。
塗布情報15は、塗布量や塗布方法に関する情報である。塗布情報15は、画素領域内重量33[T]や画素領域内液滴数34や分散数35[B]の項目を有する。画素領域内重量33[T]は、1つの画素領域に塗布するインクの目標量を示し、例えば、「20ng」である。画素領域内液滴数34は、標準的なノズルによってインクを塗布する場合のインクの液滴数を示し、例えば、「40滴」である。分散数35[B]は、同一の画素列に対するスキャン回数(塗布回数、重ね塗り回数)に相当し、例えば、「4」である。
(3-3. Application information 15)
FIG. 7 is a diagram showing the application information 15.
The application information 15 is information relating to the application amount and the application method. The application information 15 includes items such as a pixel region weight 33 [T], a pixel region droplet number 34 and a dispersion number 35 [B]. The pixel area weight 33 [T] indicates a target amount of ink to be applied to one pixel area, and is, for example, “20 ng”. The number of droplets 34 in the pixel area indicates the number of ink droplets when ink is applied by a standard nozzle, and is, for example, “40 droplets”. The dispersion number 35 [B] corresponds to the number of scans (the number of times of application and the number of times of overcoating) for the same pixel row, and is “4”, for example.

(3−4.ノズル情報16)
図8は、ノズル情報16を示す図である。
ノズル情報16は、インクジェットヘッド5のノズル9に関する情報である。ノズル情報16は、ノズル36、液滴重量37[W]、グループ38、塗布画素領域39の項目を有する。ノズル36は、インクジェットヘッド5のノズル9を識別するための識別子を示し、例えば、「N01」である。液滴重量37[W]は、インクジェットヘッド5のノズル9から吐出されるインク1滴あたりの重量を示し、例えば、「W01(ng/滴)」である。グループ38は、各ノズルが属するグループを示し、例えば、「第1グループ」である。尚、ノズル36とグループ38との関係は、図4のノズル番号32とグループ31との関係と同様である。塗布画素領域39[R]は、ノズル毎に塗布対象の画素領域を示し、例えば、「画素列29−1(R01、R11、R21、…)」である。
(3-4. Nozzle information 16)
FIG. 8 is a diagram showing the nozzle information 16.
The nozzle information 16 is information relating to the nozzles 9 of the inkjet head 5. The nozzle information 16 includes items of a nozzle 36, a droplet weight 37 [W], a group 38, and a coating pixel region 39. The nozzle 36 indicates an identifier for identifying the nozzle 9 of the inkjet head 5, and is “N01”, for example. The droplet weight 37 [W] indicates the weight per one droplet of ink ejected from the nozzle 9 of the inkjet head 5, and is, for example, “W01 (ng / drop)”. The group 38 indicates a group to which each nozzle belongs, and is, for example, a “first group”. The relationship between the nozzle 36 and the group 38 is the same as the relationship between the nozzle number 32 and the group 31 in FIG. The application pixel region 39 [R] indicates a pixel region to be applied for each nozzle, and is, for example, “pixel row 29-1 (R01, R11, R21,...)”.

(3−5.液滴数情報17)
図9は、液滴数情報17を示す図である。
液滴数情報17は、スキャン毎及び画素領域毎及びノズル毎にインクの液滴数を示す情報である。例えば、画素領域R01には、第1スキャンにおいてノズルN01から9滴のインクが吐出され、第2スキャンにおいてノズルN06から9滴のインクが吐出され、第3スキャンにおいてノズルN11から10滴のインクが吐出され、第4スキャンにおいてノズルN16から12滴のインクが吐出される。液滴数情報17は、塗布情報15及びノズル情報16に基づいて算出される。
(3-5. Number of droplets information 17)
FIG. 9 is a diagram showing the droplet number information 17.
The droplet number information 17 is information indicating the number of ink droplets for each scan, each pixel region, and each nozzle. For example, in the pixel region R01, 9 drops of ink are ejected from the nozzle N01 in the first scan, 9 drops of ink are ejected from the nozzle N06 in the second scan, and 10 drops of ink are ejected from the nozzle N11 in the third scan. In the fourth scan, 12 drops of ink are ejected from the nozzle N16. The droplet number information 17 is calculated based on the application information 15 and the nozzle information 16.

(4.カラーフィルタ製造装置1の動作)
次に、図10及び図11を参照しながら、カラーフィルタ製造装置1の動作について説明する。
図10は、カラーフィルタ製造装置1の動作を示すフローチャートである。
(4. Operation of the color filter manufacturing apparatus 1)
Next, the operation of the color filter manufacturing apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 10 and 11.
FIG. 10 is a flowchart showing the operation of the color filter manufacturing apparatus 1.

カラーフィルタ製造装置1は、操作者の操作指示によって、1つの画素領域に塗布するインクの目標量である画素領域内重量33[T]を含む塗布情報15を設定する(ステップ1001)。カラーフィルタ製造装置1は、操作者の操作指示によって、インク1滴当たりの液滴重量37[W]を含むノズル情報16を設定する(ステップ1002)。例えば、複数の液滴(例えば、10万滴)の重量を電子天秤等の測定機器を用いて測定し、インク1滴当たりの液滴重量37[W]が算出される。   The color filter manufacturing apparatus 1 sets application information 15 including a pixel area weight 33 [T], which is a target amount of ink applied to one pixel area, according to an operation instruction from the operator (step 1001). The color filter manufacturing apparatus 1 sets the nozzle information 16 including the droplet weight 37 [W] per droplet of ink according to the operation instruction of the operator (step 1002). For example, the weight of a plurality of droplets (for example, 100,000 droplets) is measured using a measuring instrument such as an electronic balance, and the droplet weight 37 [W] per droplet of ink is calculated.

カラーフィルタ製造装置1は、塗布情報15及びノズル情報16に基づいて、画素領域[R]の塗布に用いる複数のノズル[N]及び当該ノズル[N]のインク1滴当たりの液滴重量37[W]を読み出す(ステップ1003)。カラーフィルタ製造装置1は、画素領域内重量33[T]及びインク1滴当たりの液滴重量37[W]に基づいて、画素領域[R]の塗布に用いる各ノズル[N]毎に、液滴数[D]を算出する。   Based on the application information 15 and the nozzle information 16, the color filter manufacturing apparatus 1 uses a plurality of nozzles [N] used for application of the pixel region [R] and a droplet weight 37 [1] per ink droplet of the nozzle [N]. W] is read (step 1003). The color filter manufacturing apparatus 1 uses a liquid for each nozzle [N] used for application of the pixel region [R] based on the weight 33 [T] in the pixel region and the droplet weight 37 [W] per droplet of ink. The number of drops [D] is calculated.

具体的には、画素領域R01について、
T[ng]=(W01[ng/滴]×D01[滴])
+(W06[ng/滴]×D06[滴])
+(W11[ng/滴]×D11[滴])
+(W16[ng/滴]×D16[滴])、
として、上式を満たすノズルN01の液滴数D01、ノズルN06の液滴数D06、ノズルN11の液滴数D11、ノズルN16の液滴数D16が算出される。
Specifically, for the pixel region R01,
T [ng] = (W01 [ng / drop] × D01 [drop])
+ (W06 [ng / drop] x D06 [drop])
+ (W11 [ng / drop] × D11 [drop])
+ (W16 [ng / drop] x D16 [drop]),
As a result, the number of droplets D01 of nozzle N01, the number of droplets D06 of nozzle N06, the number of droplets D11 of nozzle N11, and the number of droplets D16 of nozzle N16 are calculated.

同様にして、画素領域R02について、
T[ng]=(W02[ng/滴]×D02[滴])
+(W07[ng/滴]×D07[滴])
+(W12[ng/滴]×D12[滴])
+(W17[ng/滴]×D17[滴])、
として、上式を満たすノズルN02の液滴数D02、ノズルN07の液滴数D07、ノズルN12の液滴数D12、ノズルN17の液滴数D17が算出される。
Similarly, for the pixel region R02,
T [ng] = (W02 [ng / drop] × D02 [drop])
+ (W07 [ng / drop] × D07 [drop])
+ (W12 [ng / drop] × D12 [drop])
+ (W17 [ng / drop] x D17 [drop]),
As a result, the number of droplets D02 of the nozzle N02, the number of droplets D07 of the nozzle N07, the number of droplets D12 of the nozzle N12, and the number of droplets D17 of the nozzle N17 are calculated.

カラーフィルタ製造装置1は、算出された液滴数[D]に基づいて、液滴数情報17を作成して記憶部14に保存する(ステップ1005)。
カラーフィルタ製造装置1は、液滴数情報17に基づいて、スキャン毎及び画素領域毎に、使用するノズル[N]及び当該ノズル[N]によって塗布するインクの液滴数[D]を設定して、基板3に対して塗布を行う(ステップ1006)。カラーフィルタ製造装置1は、色G(GREEN)や色B(BLUE)の画素領域に対しても同様の処理を行う。
The color filter manufacturing apparatus 1 creates droplet number information 17 based on the calculated droplet number [D] and stores it in the storage unit 14 (step 1005).
Based on the droplet number information 17, the color filter manufacturing apparatus 1 sets the nozzle [N] to be used and the number of droplets [D] of ink applied by the nozzle [N] for each scan and each pixel region. Then, coating is performed on the substrate 3 (step 1006). The color filter manufacturing apparatus 1 performs the same processing on the pixel areas of the color G (GREEN) and the color B (BLUE).

以上の過程を経て、カラーフィルタ製造装置1は、1つの画素領域に塗布するインクの目標量である画素領域内重量33[T]及びインク1滴当たりの液滴重量37[W]に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル[N]と液滴数[D]との組み合わせを示す液滴数情報17を算出し、この液滴数情報17に基づいてスキャン毎及び画素領域毎に使用するノズル[N]及び液滴数[D]を設定して基板3の各画素領域にインクを塗布する。   Through the above process, the color filter manufacturing apparatus 1 is based on the pixel area weight 33 [T], which is the target amount of ink applied to one pixel area, and the droplet weight 37 [W] per ink drop. In addition, droplet number information 17 indicating a combination of a plurality of nozzles [N] and the number of droplets [D] used for coating each pixel region is calculated. Based on the droplet number information 17, each scan and each pixel region are calculated. The nozzle [N] and the number of droplets [D] to be used are set, and ink is applied to each pixel region of the substrate 3.

図11は、色Rのインクが塗布された基板3の断面図である。図11は、基板3に塗布された色Rのインクの液滴数を画素領域毎及びノズル毎に示す。
画素領域R01、画素領域R02、画素領域R03、画素領域R04、画素領域R05は、それぞれ、スキャン毎に異なるノズルによってインクが塗布される。画素領域R01、画素領域R02、画素領域R03、画素領域R04、画素領域R05には、それぞれ、第1グループの4つのノズル、第2グループの4つのノズル、第3グループの4つのノズル、第4グループの4つのノズル、第5グループの4つのノズルによって4回のスキャンが行われてインクが塗布される。
スキャン毎、画素領域毎、ノズル毎に塗布されるインクの液滴数が異なるが、最終的には各画素領域[R]には同一の画素領域内重量33[T]のインクが塗布されるので、各画素領域[R]の着色層形状や厚さは均一である。
FIG. 11 is a cross-sectional view of the substrate 3 to which the color R ink is applied. FIG. 11 shows the number of droplets of color R ink applied to the substrate 3 for each pixel region and each nozzle.
In the pixel area R01, the pixel area R02, the pixel area R03, the pixel area R04, and the pixel area R05, ink is applied by different nozzles for each scan. The pixel region R01, the pixel region R02, the pixel region R03, the pixel region R04, and the pixel region R05 include four nozzles in the first group, four nozzles in the second group, four nozzles in the third group, and fourth nozzles, respectively. Four scans are performed by four nozzles in the group and four nozzles in the fifth group to apply ink.
Although the number of ink droplets to be applied is different for each scan, each pixel region, and each nozzle, finally, each pixel region [R] is applied with the same in-pixel weight 33 [T]. Therefore, the color layer shape and thickness of each pixel region [R] are uniform.

仮に、1つの画素領域に対して同一のノズルからインク吐出を行う場合には、液滴数を調整したとしても、当該ノズルの1滴当たりのインク量の整数倍でしか画素領域におけるインク塗布量を調整できない。
例えば、1つの画素領域に塗布するインクの目標量を1000ngとする場合、画素領域毎に均一な塗布量とするためには、各画素領域における実際のインク塗布量を目標量±3ng(997ng〜1003ng)とすることが望ましい。1つの画素領域に対して、1滴当たりのインク量が20ng程度の同一のノズルからインク吐出を行う場合には、±20ngの整数倍程度でしか画素領域におけるインク塗布量を調整できないので、画素領域毎に均一な塗布量とすることが困難である。
If ink is ejected from the same nozzle to one pixel area, even if the number of droplets is adjusted, the amount of ink applied to the pixel area can only be an integer multiple of the amount of ink per drop of the nozzle. Cannot be adjusted.
For example, when the target amount of ink applied to one pixel region is set to 1000 ng, the actual ink application amount in each pixel region is set to a target amount ± 3 ng (997 ng to 1003 ng). In the case where ink is ejected from the same nozzle having an ink amount of about 20 ng per one pixel region, the ink application amount in the pixel region can be adjusted only by an integer multiple of ± 20 ng. It is difficult to obtain a uniform coating amount for each region.

本発明の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置1は、1つの画素領域に対して複数回のスキャンを行い、異なる複数のノズルから各ノズル毎に算出された液滴数分のインク吐出を行う。異なるノズル間の1滴当たりのインク量の差異は、1滴当たりのインク量より大幅に小さいので、1滴当たりのインク量の差異を考慮してノズル毎に液滴数を調整することにより、画素領域におけるインク塗布量を高精度に調整することができる。   The color filter manufacturing apparatus 1 according to the embodiment of the present invention scans a single pixel region a plurality of times, and ejects ink corresponding to the number of droplets calculated for each nozzle from a plurality of different nozzles. Since the difference in ink amount per drop between different nozzles is significantly smaller than the ink amount per drop, by adjusting the number of droplets for each nozzle in consideration of the difference in ink amount per drop, The ink application amount in the pixel region can be adjusted with high accuracy.

このように、1つの画素領域に塗布するインクの目標量である画素領域内重量33[T]及びインク1滴当たりの液滴重量37[W]に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル[N]と液滴数[D]との組み合わせを算出して各画素領域にインクを塗布することにより、画素列単位だけでなく画素領域単位で塗布されるインク量が同一となり、各画素領域における着色層形状や厚さを均一とすることができる。これにより、カラーフィルタの色合いや反射外観を向上させることができる。また、表示装置を形成する際に封入される液晶の層厚に相当するギャップが均一となり、表示装置の品質を向上させることができる。   As described above, based on the pixel area weight 33 [T], which is the target amount of ink applied to one pixel area, and the droplet weight 37 [W] per ink drop, a plurality of pixels used for application of each pixel area. By calculating the combination of the nozzle [N] and the number of droplets [D] and applying the ink to each pixel region, the amount of ink applied not only in the pixel column unit but also in the pixel region unit becomes the same. The colored layer shape and thickness in the pixel region can be made uniform. Thereby, the hue and reflective appearance of the color filter can be improved. Further, the gap corresponding to the layer thickness of the liquid crystal sealed when forming the display device becomes uniform, and the quality of the display device can be improved.

尚、図10のステップ1004の処理において、インクジェットヘッド5のノズル9から最初に吐出されるインク量が不安定な場合には、液滴数[D]について所定の閾値(例えば、3滴)を設けて、当該閾値より小さい液滴数の解は除外して液滴数情報17を算出することが望ましい。これにより、インク量が不安定となる液滴数の解を除外して、目標とするインク量で正確に各画素領域を塗布することができる。   In the process of step 1004 in FIG. 10, when the amount of ink initially ejected from the nozzle 9 of the inkjet head 5 is unstable, a predetermined threshold (for example, 3 drops) is set for the number of droplets [D]. It is desirable to calculate the droplet number information 17 by excluding the solution for the droplet number smaller than the threshold. Accordingly, each pixel region can be accurately applied with the target ink amount, excluding the solution of the number of droplets in which the ink amount becomes unstable.

(5.長尺ヘッド)
次に、図12〜図16を参照しながら、本発明の実施形態に係る長尺ヘッドを用いたインクの塗布について説明する。
図12は、複数のインクジェットヘッドの配置を示す図である。
一般に、複数のインクジェットヘッドを用いてインクを塗布する場合、図12に示すように、複数のインクジェットヘッド51及びインクジェットヘッド52が千鳥状に配置される。インクジェットヘッド51のノズルピッチ53及びインクジェットヘッド52のノズルピッチ54及びヘッド間ノズルピッチ55は同一長である。これらの複数のインクジェットヘッドを用いてインクを塗布することにより生産性が向上する。
しかしながら、インクジェットヘッド51及びインクジェットヘッド52は千鳥状に配置されるので、設置スペースが必要となる。また、インクジェットヘッド51とインクジェットヘッド52とでは塗布方向のインク着弾位置が異なるので、塗布タイミングを調整する必要がある。
(5. Long head)
Next, ink application using the long head according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 12 is a diagram showing the arrangement of a plurality of inkjet heads.
Generally, when applying ink using a plurality of ink jet heads, a plurality of ink jet heads 51 and ink jet heads 52 are arranged in a staggered manner as shown in FIG. The nozzle pitch 53 of the inkjet head 51, the nozzle pitch 54 of the inkjet head 52, and the nozzle pitch 55 between the heads have the same length. Productivity is improved by applying ink using the plurality of inkjet heads.
However, since the inkjet head 51 and the inkjet head 52 are arranged in a staggered manner, an installation space is required. Further, since the ink landing positions in the application direction are different between the inkjet head 51 and the inkjet head 52, it is necessary to adjust the application timing.

図13及び図14及び図15は、それぞれ、長尺ヘッド60及び長尺ヘッド70及び長尺ヘッド80を示す図である。
図13の長尺ヘッド60は、インクジェットヘッド61の部材の右端及びインクジェットヘッド62の部材の左端を切り取って連結したものである。インクジェットヘッド61のノズルピッチ63及びインクジェットヘッド62のノズルピッチ64及びヘッド間ノズルピッチ65は同一長である。連結位置66のノズルについては、インク供給部21の設置スペースを設けることができないので、使用できない。従って、従来のカラーフィルタ製造装置では、長尺ヘッド60を用いてインクを塗布した場合に塗布できない画素領域が生じる。
FIGS. 13, 14, and 15 are diagrams showing the long head 60, the long head 70, and the long head 80, respectively.
The long head 60 in FIG. 13 is obtained by cutting and connecting the right end of the member of the ink jet head 61 and the left end of the member of the ink jet head 62. The nozzle pitch 63 of the inkjet head 61, the nozzle pitch 64 of the inkjet head 62, and the nozzle pitch 65 between the heads are the same length. The nozzle at the connection position 66 cannot be used because the installation space for the ink supply unit 21 cannot be provided. Therefore, in the conventional color filter manufacturing apparatus, pixel areas that cannot be applied when ink is applied using the long head 60 are generated.

図14の長尺ヘッド70は、インクジェットヘッド71の右端のノズル位置及びインクジェットヘッド72の左端のノズル位置で切り取って連結したものである。ヘッド間ノズルピッチ75は、インクジェットヘッド71のノズルピッチ73及びインクジェットヘッド72のノズルピッチ74の2倍である。連結位置76のノズルについては、ノズルが切断されているので使用できない。従って、従来のカラーフィルタ製造装置では、長尺ヘッド70を用いてインクを塗布した場合に塗布できない画素領域が生じる。   The long head 70 in FIG. 14 is cut and connected at the nozzle position at the right end of the inkjet head 71 and the nozzle position at the left end of the inkjet head 72. The inter-head nozzle pitch 75 is twice the nozzle pitch 73 of the inkjet head 71 and the nozzle pitch 74 of the inkjet head 72. The nozzle at the connection position 76 cannot be used because the nozzle is cut. Therefore, in the conventional color filter manufacturing apparatus, pixel areas that cannot be applied when ink is applied using the long head 70 are generated.

図15の長尺ヘッド80は、インクジェットヘッド81の右端とインクジェットヘッド82の左端とを連結したものである。ヘッド間ノズルピッチ85は、インクジェットヘッド81のノズルピッチ83及びインクジェットヘッド82のノズルピッチ84の整数倍(例えば、2倍)である。連結位置には、ヘッド間ノズルピッチ85を調整するための部材を設けてもよい。連結位置86には、ノズルが存在しない。従って、従来のカラーフィルタ製造装置では、長尺ヘッド80を用いてインクを塗布した場合に塗布できない画素領域が生じる。   The long head 80 in FIG. 15 is obtained by connecting the right end of the inkjet head 81 and the left end of the inkjet head 82. The inter-head nozzle pitch 85 is an integral multiple (for example, twice) of the nozzle pitch 83 of the inkjet head 81 and the nozzle pitch 84 of the inkjet head 82. A member for adjusting the inter-head nozzle pitch 85 may be provided at the connection position. There is no nozzle at the connection position 86. Accordingly, in the conventional color filter manufacturing apparatus, pixel areas that cannot be applied when ink is applied using the long head 80 are generated.

図16は、長尺ヘッドについて算出された液滴数情報90を示す図である。
本発明の実施形態に係るカラーフィルタ製造装置1では、インクの液滴数をスキャン毎及び画素領域毎及びノズル毎に設定する。そこで、カラーフィルタ製造装置1は、図10のステップ1004の処理において、上記の長尺ヘッド60あるいは長尺ヘッド70あるいは長尺ヘッド80について、各画素領域の塗布に用いるノズル[N]と液滴数[D]との組み合わせ算出する際に、使用不能なノズルについては「0滴」として液滴数情報90を算出する。例えば、インクジェットヘッド5の両端のノズルN01及びノズルN20が使用不能である場合、カラーフィルタ製造装置1は、液滴数データ91「ノズルN01:0滴」及び液滴数データ92「ノズルN20:0滴」として液滴数情報90を算出する。
FIG. 16 is a diagram showing droplet number information 90 calculated for the long head.
In the color filter manufacturing apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the number of ink droplets is set for each scan, for each pixel region, and for each nozzle. Therefore, the color filter manufacturing apparatus 1 uses the nozzle [N] and the droplets used for coating each pixel region in the long head 60, the long head 70, or the long head 80 in the process of step 1004 in FIG. When calculating the combination with the number [D], the droplet number information 90 is calculated as “0 droplet” for an unusable nozzle. For example, when the nozzle N01 and the nozzle N20 at both ends of the inkjet head 5 are unusable, the color filter manufacturing apparatus 1 uses the droplet number data 91 “nozzle N01: 0 droplet” and the droplet number data 92 “nozzle N20: 0”. As the “droplet”, the droplet number information 90 is calculated.

このように、カラーフィルタ製造装置1は、複数のインクジェットヘッドを連結した長尺ヘッドを用いて、同一の画素領域に対して複数回のスキャンを行って異なるノズルによってインクを塗布する場合、使用不能なノズルから吐出するインクの液滴数を「0滴」とし、残りのノズルから吐出するインクの液滴数を調整することにより、各画素領域に塗布されるインク量を均一にすることができる。また、長尺ヘッドを用いることにより生産性を向上させることができる。また、複数のインクジェットヘッドを千鳥状に配置することに代えて長尺ヘッドを用いることにより、塗布方向のインク着弾位置が一致するので塗布タイミングを調整する必要がない。連結位置近傍のノズルが使用不能な場合のみならず、ノズルの目詰まり等によってノズルが使用不能になった場合にも適用することができるので、長尺ヘッドの一部のノズルが使用不能となった場合であっても、当該長尺ヘッドを交換することなく継続使用することができ、維持管理負担を軽減することができる。   As described above, the color filter manufacturing apparatus 1 cannot be used when a long head in which a plurality of ink jet heads are connected and the same pixel region is scanned a plurality of times and ink is applied by different nozzles. By setting the number of ink droplets discharged from various nozzles to “0 droplets” and adjusting the number of ink droplets discharged from the remaining nozzles, the amount of ink applied to each pixel region can be made uniform. . Moreover, productivity can be improved by using a long head. Further, by using a long head instead of arranging a plurality of inkjet heads in a staggered manner, the ink landing positions in the application direction coincide with each other, so that it is not necessary to adjust the application timing. This is applicable not only when the nozzles near the connection position are unusable, but also when the nozzles are unusable due to nozzle clogging, etc., so some nozzles of the long head are unusable. Even in such a case, the long head can be used continuously without replacement, and the maintenance burden can be reduced.

(6.表示装置101の製造)
図17は、表示装置101を示す図である。ここでは、表示装置101として液晶ディスプレイパネルを挙げて説明する。
基板102は、カラーフィルタ製造装置1により製造されたカラーフィルタである。基板102には、液晶封入空間を確保するためのスペーサ106が形成される。基板103は、TFT(Thin Film Transistor)等のアレイ基板である。基板102と基板103とを貼り合わせ、基板の周辺部分にシール材104を設け、基板間に液晶107を封入することにより、表示装置101が製造される。
(6. Production of display device 101)
FIG. 17 is a diagram illustrating the display device 101. Here, a liquid crystal display panel will be described as the display device 101.
The substrate 102 is a color filter manufactured by the color filter manufacturing apparatus 1. The substrate 102 is formed with a spacer 106 for securing a liquid crystal sealing space. The substrate 103 is an array substrate such as a TFT (Thin Film Transistor). The display device 101 is manufactured by bonding the substrate 102 and the substrate 103, providing the sealant 104 around the substrate, and enclosing the liquid crystal 107 between the substrates.

(7.その他)
尚、上述の実施形態では、インク量としてインク重量を測定するものとして説明したが、インク体積を測定するようにしてもよい。例えば、インクの液滴を立体的に測定することによりインクの体積が求められる。
(7. Others)
In the above-described embodiment, the ink weight is measured as the ink amount. However, the ink volume may be measured. For example, the volume of the ink is obtained by measuring the ink droplet three-dimensionally.

また、上述した実施の形態に対してさまざまな変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。
例えば、上述した実施の形態においては、1つの画素領域27に対して、インクジェットヘッド5のスキャン毎に異なるノズルからインクが塗布される例を示したが、これに限られない。インクジェットヘッド5が基板3に対して相対移動(スキャン)する際に、基板3上の1つの画素領域27に対して、インクジェットヘッド5に含まれる複数のノズルが対面する場合には、一回のスキャン中に、1つの画素領域27に対して複数のノズルからインクが吐出されるようにしてもよい。
Various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, an example of modification will be described.
For example, in the above-described embodiment, an example in which ink is applied to one pixel region 27 from different nozzles for each scan of the inkjet head 5 has been described, but the present invention is not limited thereto. When a plurality of nozzles included in the inkjet head 5 face one pixel region 27 on the substrate 3 when the inkjet head 5 moves relative to the substrate 3 (scanning), one time is required. During scanning, ink may be ejected from a plurality of nozzles to one pixel region 27.

上述した実施の形態において、インクジェットヘッド5の基板3に対する相対移動方向が、平面視長方形形状からなる画素領域27の長手方向と平行になっている例を示したが、これに限られず、図18に示すように、インクジェットヘッド5のカラーフィルタ23(基板3)に対する相対移動方向が、平面視長方形形状からなる画素領域27の長手方向(図18中の矢印方向)に直行するように構成すれば、インクジェットヘッド5が基板3に対してスキャンする際に、基板3上の1つの画素領域27に対して、インクジェットヘッド5に含まれる複数のノズル9が対面するようになる。図18に示す例によれば、図18においては、画素領域R01,R02,R03,R04,R05・・・の各画素領域には、第1グループに属する4つのノズルからインクが吐出される。つまり、一回のスキャン中に、ひとつの画素領域27に対して複数(四つ)のノズル9からインクを塗布することができる。ひとつの画素領域27にインクを塗布する複数のノズル9の各々に対して、上述した方法により液滴数を算出することができる。算出された液滴数でインクを吐出していくことにより、各画素領域27に塗布されるインク総量を目標量に精度よく近づけることが可能となり、また、インクの塗布量を画素領域27間において均一化させることができる。なお、図18に示す例においては、分散数は4となっている。   In the embodiment described above, the example in which the relative movement direction of the inkjet head 5 with respect to the substrate 3 is parallel to the longitudinal direction of the pixel region 27 having a rectangular shape in plan view is not limited to this. As shown in FIG. 5, if the relative movement direction of the inkjet head 5 with respect to the color filter 23 (substrate 3) is configured to be orthogonal to the longitudinal direction (arrow direction in FIG. 18) of the pixel region 27 having a rectangular shape in plan view. When the inkjet head 5 scans the substrate 3, the plurality of nozzles 9 included in the inkjet head 5 face one pixel region 27 on the substrate 3. According to the example shown in FIG. 18, in FIG. 18, ink is ejected from the four nozzles belonging to the first group to each pixel region of the pixel regions R01, R02, R03, R04, R05. That is, it is possible to apply ink from a plurality (four) of nozzles 9 to one pixel region 27 during one scan. The number of droplets can be calculated by the above-described method for each of the plurality of nozzles 9 that apply ink to one pixel region 27. By ejecting ink with the calculated number of droplets, the total amount of ink applied to each pixel region 27 can be brought close to the target amount with high accuracy, and the amount of ink applied can be changed between the pixel regions 27. It can be made uniform. In the example shown in FIG. 18, the number of distributions is 4.

また、上述の実施形態では、画素領域に着色層形成用のインクを塗布する場合について説明したがこれに限られない。塗布領域全体を所定領域(例えば、1μm四方)に分け、同一の所定領域に対して複数回のスキャンを行って異なるノズルによって塗布液を塗布し、所定領域毎に使用するノズル及び塗布液の液滴数を設定してもよい。これにより、塗布領域全体について塗布量を均一化することができる。例えば、液晶を挟むポリイミド等の配向膜をアレイ基板やカラーフィルタの表面にインクジェット方式によって形成する場合にも適用することができる。   In the above-described embodiment, the case where the color layer forming ink is applied to the pixel region has been described. However, the present invention is not limited to this. The entire coating area is divided into predetermined areas (for example, 1 μm square), the same predetermined area is scanned a plurality of times, and the coating liquid is applied by different nozzles. The number of drops may be set. Thereby, the application amount can be made uniform for the entire application region. For example, the present invention can also be applied to the case where an alignment film such as polyimide sandwiching liquid crystal is formed on the surface of an array substrate or a color filter by an ink jet method.

また、塗布領域全体を排他的に分割して所定領域を設定した場合には、塗布むら等の欠陥が発生することがあるので、隣接する所定領域については当該所定領域の端部を重ねて設定することにより、所定領域の端部については重ね塗りを行って塗布むら等の欠陥の発生を防止することができる。   In addition, when a predetermined area is set by dividing the entire coating area exclusively, defects such as coating unevenness may occur, so the adjacent predetermined areas are set by overlapping the end portions of the predetermined area. By doing so, it is possible to prevent the occurrence of defects such as coating unevenness by performing overcoating on the end portion of the predetermined region.

以上、添付図面を参照しながら、本発明にかかるカラーフィルタ製造装置及び製造方法の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of the color filter manufacturing apparatus and manufacturing method concerning this invention was described referring an accompanying drawing, this invention is not limited to this example. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea disclosed in the present application, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.

カラーフィルタ製造装置1の構成図Configuration of color filter manufacturing apparatus 1 インクジェットヘッド5のノズル番号及びノズル数の関係を示す図The figure which shows the relationship between the nozzle number of the inkjet head 5, and the number of nozzles インクジェットヘッド5による基板3のスキャン(走査)を示す図The figure which shows the scan (scanning) of the board | substrate 3 by the inkjet head 5. FIG. インクジェットヘッド5のグループ31とノズル番号32との関係を示す図The figure which shows the relationship between the group 31 of the inkjet head 5, and the nozzle number 32 インクジェットヘッド5を示す図The figure which shows the inkjet head 5 基板3にインクが塗布されて形成されたカラーフィルタ23を示す図The figure which shows the color filter 23 formed by apply | coating the ink to the board | substrate 3. 塗布情報15を示す図The figure which shows the application information 15 ノズル情報16を示す図The figure which shows the nozzle information 16 液滴数情報17を示す図The figure which shows the droplet number information 17 カラーフィルタ製造装置1の動作を示すフローチャートFlow chart showing the operation of the color filter manufacturing apparatus 1 色Rのインクが塗布された基板3の断面図Sectional drawing of the board | substrate 3 with which the ink of color R was apply | coated 複数のインクジェットヘッドの配置を示す図Diagram showing the arrangement of multiple inkjet heads 長尺ヘッド60を示す図The figure which shows the elongate head 60 長尺ヘッド70を示す図The figure which shows the elongate head 70 長尺ヘッド80を示す図The figure which shows the elongate head 80 長尺ヘッドについて算出された液滴数情報90を示す図The figure which shows the droplet number information 90 calculated about the elongate head 表示装置101を示す図The figure which shows the display apparatus 101 他の実施の形態におけるインクジェットヘッド5のカラーフィルタ23に対する相対移動の方向を説明する図The figure explaining the direction of relative movement with respect to the color filter 23 of the inkjet head 5 in other embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1………カラーフィルタ製造装置
2………制御部
3………基板
4………吸着テーブル
5………インクジェットヘッド
6………移動部
7………アライメントカメラ
9………ノズル
10………液滴数設定部
11………塗布情報設定部
12………ノズル情報設定部
13………液滴数情報設定部
14………記憶部
15………塗布情報
16………ノズル情報
17、90………液滴数情報
21………インク供給部
23………カラーフィルタ
25………遮光部
27………画素領域
29−1、29−2、…、29−5………画素列
31、38………グループ
33………画素領域内重量[T]
35………分散数[B]
37………液滴重量[W]
51、52、61、62、71、72、81、82………インクジェットヘッド
60、70、80………長尺ヘッド
66、76、86………連結位置
101………表示装置
102………カラーフィルタ基板
103………アレイ基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ......... Color filter manufacturing apparatus 2 ......... Control part 3 ......... Substrate 4 ......... Suction table 5 ......... Inkjet head 6 ......... Moving part 7 ......... Alignment camera 9 ......... Nozzle 10 ... …… Droplet number setting unit 11 ………… Application information setting unit 12 ………… Nozzle information setting unit 13 ………… Droplet number information setting unit 14 ………… Storage unit 15 ………… Application information 16 ………… Nozzle Information 17, 90 ......... Droplet number information 21 ......... Ink supply unit 23 ......... Color filter 25 ......... Shading unit 27 ......... Pixel areas 29-1, 29-2, ..., 29-5 ... ...... Pixel row 31, 38 ......... Group 33 ......... Weight in pixel area [T]
35 ......... Distribution number [B]
37 .... Droplet weight [W]
51, 52, 61, 62, 71, 72, 81, 82 ......... Inkjet head 60, 70, 80 ... ... Long heads 66, 76, 86 ... ... Connection position 101 ... ... Display device 102 ... ... color filter substrate 103 ... …… array substrate

Claims (13)

複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、前記基板上の同一の画素領域に対して複数のノズルから着色層形成用のインクを吐出して塗布を行ってカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造方法であって、
前記画素領域に塗布する前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、
前記ノズル毎に前記インク1滴分の液滴量を設定する液滴量設定ステップと、
前記目標量及び前記インク1滴分の液滴量に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル毎に前記画素領域に吐出する前記インクの液滴数を算出する液滴数算出ステップと、
前記算出された液滴数分の前記インクを前記ノズルから前記画素領域に吐出する吐出ステップと、
を具備し、
前記インクジェットヘッドの前記走査を、複数回行い、
同一の前記画素領域に対して、前記インクを前記走査毎に異なるノズルから吐出することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
An inkjet head having a plurality of nozzles is moved relative to the substrate to perform scanning at least once, and ink for forming a colored layer is ejected from the plurality of nozzles to the same pixel region on the substrate. A color filter manufacturing method for manufacturing a color filter by coating,
A target amount setting step for setting a target amount of the ink to be applied to the pixel region;
A droplet amount setting step of setting a droplet amount for one droplet of the ink for each nozzle;
A droplet number calculating step of calculating the number of droplets of the ink to be ejected to the pixel region for each of a plurality of nozzles used for application of the pixel region based on the target amount and the droplet amount of one ink droplet; ,
An ejection step of ejecting the ink for the calculated number of droplets from the nozzle to the pixel region;
Equipped with,
The scanning of the inkjet head is performed a plurality of times,
A method for producing a color filter , wherein the ink is ejected from different nozzles for each scan to the same pixel region .
前記液滴数算出ステップは、各ノズルについて所定数以上の液滴数を算出することを特徴とする請求項に記載のカラーフィルタ製造方法。 The color filter manufacturing method according to claim 1 , wherein the droplet number calculating step calculates a predetermined number or more of droplets for each nozzle. 前記液滴数算出ステップは、前記複数のノズルのうち少なくとも1つのノズルの液滴数を0滴とすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタ製造方法。 3. The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein, in the droplet number calculating step, the number of droplets of at least one of the plurality of nozzles is set to 0. 4. 前記液滴数算出ステップは、前記インクジェットヘッドがノズル列方向に複数連結された長尺ヘッドのノズルのうち前記長尺ヘッドの継ぎ目近傍のノズルの液滴数を0滴とすることを特徴とする請求項に記載のカラーフィルタ製造方法。 In the droplet number calculating step, the number of droplets of a nozzle near the joint of the long head among the nozzles of the long head in which a plurality of the inkjet heads are connected in the nozzle row direction is set to 0. The color filter manufacturing method according to claim 3 . 複数のノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、前記基板上の同一の画素領域に対して複数のノズルから着色層形成用のインクを吐出して塗布を行ってカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造ステップと、
前記カラーフィルタにスペーサを形成するスペーサ形成ステップと、
前記カラーフィルタとアレイ基板とを貼り合わせる貼り合わせステップと、
前記カラーフィルタと前記アレイ基板の周辺部分にシール材を設けるシール材形成ステップと、
前記カラーフィルタと前記アレイ基板間に液晶を封入する液晶封入ステップと、
を具備する表示装置の製造方法であって、
前記カラーフィルタ製造ステップに
前記画素領域に塗布する前記インクの目標量を設定する目標量設定ステップと、
前記ノズル毎に前記インク1滴分の液滴量を設定する液滴量設定ステップと、
前記目標量及び前記インク1滴分の液滴量に基づいて、各画素領域の塗布に用いる複数のノズル毎に前記画素領域に吐出する前記インクの液滴数を算出する液滴数算出ステップと、
前記算出された液滴数分の前記インクを前記ノズルから前記画素領域に吐出する吐出ステップと、
を具備し、
前記インクジェットヘッドの前記走査を、複数回行い、
同一の前記画素領域に対して、前記インクを前記走査毎に異なるノズルから吐出することを特徴とする表示装置の製造方法。
An inkjet head having a plurality of nozzles is moved relative to the substrate to perform scanning at least once, and ink for forming a colored layer is ejected from the plurality of nozzles to the same pixel region on the substrate. A color filter production step for producing a color filter by coating,
A spacer forming step of forming a spacer on the color filter;
A bonding step of bonding the color filter and the array substrate;
A sealing material forming step of providing a sealing material in a peripheral portion of the color filter and the array substrate;
A liquid crystal sealing step for sealing liquid crystal between the color filter and the array substrate;
A manufacturing method of a display device comprising:
A target amount setting step for setting a target amount of the ink to be applied to the pixel region in the color filter manufacturing step;
A droplet amount setting step of setting a droplet amount for one droplet of the ink for each nozzle;
A droplet number calculating step of calculating the number of droplets of the ink to be ejected to the pixel region for each of a plurality of nozzles used for application of the pixel region based on the target amount and the droplet amount of one ink droplet; ,
An ejection step of ejecting the ink for the calculated number of droplets from the nozzle to the pixel region;
Equipped with,
The scanning of the inkjet head is performed a plurality of times,
A manufacturing method of a display device , wherein the ink is ejected from different nozzles for each scanning to the same pixel region .
前記液滴数算出ステップは、各ノズルについて所定数以上の液滴数を算出することを特徴とする請求項に記載の表示装置の製造方法。 6. The method for manufacturing a display device according to claim 5 , wherein the droplet number calculating step calculates a predetermined number or more of droplets for each nozzle. 前記液滴数算出ステップは、前記複数のノズルのうち少なくとも1つのノズルの液滴数を0滴とすることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の表示装置の製造方法。 The method for manufacturing a display device according to claim 5 , wherein the number of droplets calculating step sets the number of droplets of at least one of the plurality of nozzles to zero. 前記液滴数算出ステップは、前記インクジェットヘッドがノズル列方向に複数連結された長尺ヘッドのノズルのうち前記長尺ヘッドの継ぎ目近傍のノズルの液滴数を0滴とすることを特徴とする請求項に記載の表示装置の製造方法。 In the droplet number calculating step, the number of droplets of a nozzle near the joint of the long head among the nozzles of the long head in which a plurality of the inkjet heads are connected in the nozzle row direction is set to 0. A method for manufacturing the display device according to claim 7 . 塗布領域全体を複数の所定領域に分け、複数のノズルを有する塗布ヘッドを前記塗布領域に対して相対的に移動させて少なくとも一回の走査を行い、同一の前記所定領域に対して複数のノズルから塗布液を吐出して塗布を行う塗布方法であって、
前記所定領域に塗布する前記塗布液の目標量を設定する目標量設定ステップと、
前記ノズル毎に前記塗布液1滴分の液滴量を設定する液滴量設定ステップと、
前記目標量及び前記塗布液1滴分の液滴量に基づいて、各所定領域の塗布に用いる複数のノズル毎に前記所定領域に吐出する前記塗布液の液滴数を算出する液滴数算出ステップと、
前記算出された液滴数分の前記塗布液を前記ノズルから前記所定領域に吐出する吐出ステップと、
を具備し、
前記塗布ヘッドの前記走査を、複数回行い、
同一の前記所定領域に対して、前記塗布液を前記走査毎に異なるノズルから吐出することを特徴とする塗布方法。
The entire coating area is divided into a plurality of predetermined areas, a coating head having a plurality of nozzles is moved relative to the coating area to perform at least one scan, and a plurality of nozzles for the same predetermined area A coating method for performing coating by discharging a coating liquid from
A target amount setting step for setting a target amount of the coating liquid to be applied to the predetermined region;
A droplet amount setting step for setting a droplet amount for one droplet of the coating liquid for each nozzle;
Based on the target amount and the droplet amount for one drop of the coating liquid, the number of droplets for calculating the number of droplets of the coating liquid to be ejected to the predetermined area for each of a plurality of nozzles used for coating each predetermined area Steps,
A discharge step of discharging the coating liquid for the calculated number of droplets from the nozzle to the predetermined region;
Equipped with,
The scanning of the coating head is performed a plurality of times,
A coating method, wherein the coating liquid is ejected from different nozzles for each scan to the same predetermined region .
前記液滴数算出ステップは、各ノズルについて所定数以上の液滴数を算出することを特徴とする請求項に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 9 , wherein the droplet number calculating step calculates a predetermined number or more of droplets for each nozzle. 前記液滴数算出ステップは、前記複数のノズルのうち少なくとも1つのノズルの液滴数を0滴とすることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の塗布方法。 11. The coating method according to claim 9 , wherein the droplet number calculation step sets the number of droplets of at least one of the plurality of nozzles to 0. 前記液滴数算出ステップは、前記塗布ヘッドがノズル列方向に複数連結された長尺ヘッドのノズルのうち前記長尺ヘッドの継ぎ目近傍のノズルの液滴数を0滴とすることを特徴とする請求項11に記載の塗布方法。 In the droplet number calculating step, the number of droplets of a nozzle in the vicinity of a joint of the long head among the nozzles of a long head in which a plurality of coating heads are connected in the nozzle row direction is set to 0. The coating method according to claim 11 . 隣接する前記所定領域については、当該所定領域の端部同士が重なる位置に配置されることを特徴とする請求項から請求項12までのいずれかに記載の塗布方法。 The coating method according to any one of claims 9 to 12 , wherein the adjacent predetermined areas are arranged at positions where ends of the predetermined areas overlap each other.
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