JP3198221B2 - Method for manufacturing inkjet head, inkjet head, and inkjet head recording apparatus - Google Patents

Method for manufacturing inkjet head, inkjet head, and inkjet head recording apparatus

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JP3198221B2
JP3198221B2 JP26659094A JP26659094A JP3198221B2 JP 3198221 B2 JP3198221 B2 JP 3198221B2 JP 26659094 A JP26659094 A JP 26659094A JP 26659094 A JP26659094 A JP 26659094A JP 3198221 B2 JP3198221 B2 JP 3198221B2
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晴彦 寺井
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    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/20Modules

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、基台(以下、「ベース
プレート」と称する)上に、複数のエネルギー発生素子
(以下、「ヒーター」と称する)を有する基板(以下、
「ヒーターボード」と称する)を複数個配列し、各ヒー
ターに対応する複数のインク流路用溝とインク流路用溝
の各々に連通した複数のインク吐出口を有する一つの天
板を組付けて成るフルラインタイプのインクジェットヘ
ッドの製造方法、インクジェットヘッド、およびインク
ジェットヘッド記録装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a substrate (hereinafter, referred to as "heater") having a plurality of energy generating elements (hereinafter, referred to as "heater") on a base (hereinafter, referred to as "base plate").
A plurality of "heater boards") are arranged, and a single top plate having a plurality of ink passage grooves corresponding to each heater and a plurality of ink ejection ports communicating with each of the ink passage grooves is assembled. The present invention relates to a method of manufacturing a full line type ink jet head, an ink jet head, and an ink jet head recording apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、128ノズル、256ノズル、A
4幅などのフルラインタイプのインクジェットヘッド
は、Siやガラスなどからなる複数個のヒーターボード
同士の端面を、特開平2−212162号公報(欧州特
許第0376514号明細書)に示されているように直
線状に突き当てて配列し、その上に、ヒーターと対応す
る複数のインク流路用溝と各インク流路用溝と連通した
複数のインク吐出口とを有する一つの天板を接合するこ
とにより製造されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, 128 nozzles, 256 nozzles, A
In a full line type ink jet head having a width of 4 or the like, the end faces of a plurality of heater boards made of Si, glass, or the like are described in JP-A-2-212162 (European Patent No. 0376514). And a top plate having a plurality of ink passage grooves corresponding to the heater and a plurality of ink ejection ports communicating with the respective ink passage grooves is joined thereon. It is manufactured by.

【0003】その他、特開平4−229278号公報
(米国特許第5098503号明細書)に示されている
ようなヒーターボードと天板のユニットの一部に切欠き
部を作り、そこをベースプレート上にある基準に突き当
てる方法もある。
In addition, a notch is formed in a part of a unit of a heater board and a top plate as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-229278 (US Pat. No. 5,098,503), and the cutout is formed on a base plate. There are ways to hit a certain criterion.

【0004】一方、複数のヒーターが形成された1個の
ヒーターボード上に、各ヒーターに対応するインク流路
用溝等が形成された天板を組付けて成るインクジェット
ヘッドの製造方法においては、インクを加熱するための
ヒーターと、このヒーターで加熱・沸騰され、泡状とな
ったインクを記録媒体に向けて吐出するインク吐出口と
連通するインク流路用溝とを、ミクロンオーダで正確に
位置決めする必要性から、前記ヒーターボード上のヒー
ターを撮像する第1の撮像工程と、この第1の撮像工程
で撮影された画像情報から、基準となるヒーターを示す
認識マークが存在するか否かを判断する判断工程と、こ
の判断工程で、認識マークの存在が確認された場合に、
基準となるヒーターの位置を測定する第1の測定工程
と、前記基準となるヒーターに対応した基準となるノズ
ル穴を撮像する第2の撮像工程と、この第2の撮像工程
で撮影された画像情報から、前記基準となるノズル穴の
位置を測定する第2の測定工程と、前記第1及び第2の
測定工程における測定結果に基づき、前記基準となるヒ
ーターと前記基準となるノズル穴とが、ノズル穴の並び
方向に関して一致するように、前記ヒーターボードもし
くは前記天板を移動させる移動工程とを有する製造方法
が知られている。
On the other hand, in a method of manufacturing an ink jet head in which a top plate having ink passage grooves and the like corresponding to each heater is assembled on one heater board having a plurality of heaters formed thereon. A heater for heating the ink and a groove for the ink flow path communicating with the ink discharge port for discharging the bubbled ink heated and boiled by the heater toward the recording medium are accurately formed on the order of microns. From the necessity of positioning, a first imaging step of imaging the heater on the heater board, and from the image information captured in the first imaging step, whether or not a recognition mark indicating a heater serving as a reference exists. In the determination step of determining the presence of the recognition mark in this determination step,
A first measurement step of measuring a position of a reference heater, a second imaging step of imaging a reference nozzle hole corresponding to the reference heater, and an image captured in the second imaging step. From the information, a second measurement step of measuring the position of the reference nozzle hole, and based on the measurement results in the first and second measurement steps, the reference heater and the reference nozzle hole are And a moving step of moving the heater board or the top plate so as to coincide with the arrangement direction of the nozzle holes.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のフルラインタイプのインクジェットヘッドの製造方
法では次のような問題点が生ずる。 (1)突き当て方法による配列のためヒーターボードの
切断精度のバラツキが、そのまま配列精度になってしま
うという問題点がある。この問題点を図13を参照して
説明する。図13は、ヒーターボード同士を直線状に突
き当てて配列した状態を示している。この図に示すよう
に、複数個のヒーターボード101をベースプレート1
03上に、各ヒーターボード101の端部同士を突き当
てて一直線に配列する場合、ヒーターボード101の切
断精度が影響して各ヒーターボード101の中心ピッチ
Pがばらつく。このため、突き当てて配列した複数のヒ
ーターボード上に、各ヒーターに対応すべき複数のイン
ク流路用溝が形成された一つの天板を組付けるときに、
インク流路用溝の位置とヒーターの位置が対応しない事
が生じてしまう。 (2)基準となる突き当てコマなどを機械加工で精度を
出さなくてはならなくなり、非常に困難である。 (3)上記(1)と同様、突き当てにより配列精度を出
すため、ヒーターボード等の切断精度が厳しく、量産性
あるいは装置能力上問題がある。 (4)突き当てによる配列のため切断精度のバラツキに
より、位置補正等の手段を用いることができないという
問題がある。
However, the above-described conventional method for manufacturing a full-line type ink jet head has the following problems. (1) There is a problem in that the variation in the cutting accuracy of the heater board becomes the alignment accuracy as it is due to the arrangement by the abutting method. This problem will be described with reference to FIG. FIG. 13 shows a state in which the heater boards are arranged in a straight line with each other. As shown in this figure, a plurality of heater boards 101 are
In the case where the ends of the heater boards 101 are abutted against each other and arranged in a straight line, the cutting pitch of the heater boards 101 influences, and the center pitch P of the heater boards 101 varies. For this reason, when assembling one top plate on which a plurality of ink flow channel grooves to be corresponding to each heater are formed on a plurality of heater boards arranged in abutting manner,
The position of the groove for the ink flow path and the position of the heater do not correspond to each other. (2) It is very difficult to obtain the accuracy by mechanical processing of a reference abutment piece or the like, which is very difficult. (3) Similar to the above (1), since the arrangement accuracy is obtained by abutting, the cutting accuracy of the heater board or the like is strict, and there is a problem in mass productivity or device capacity. (4) There is a problem that a means such as position correction cannot be used due to variation in cutting accuracy due to the arrangement by abutting.

【0006】一方、長尺ヘッドとするために、ベースプ
レート上にヒーターボードを複数配列し、その上に、ヒ
ーターと対応する複数のインク流路用溝と各インク流路
用溝と連通した複数のインク吐出口とを有する一つの天
板を接合する組み付けを行った場合、ヒーターボードの
配列精度が少しでも悪いと、天板のインク流路用溝がヒ
ーターボード同士の隙間をまたぎ、クロストーク現象の
原因となる。また、ひどくなると不吐出、ショボ等にな
ることもある。
On the other hand, in order to form a long head, a plurality of heater boards are arranged on a base plate, and a plurality of ink passage grooves corresponding to the heaters and a plurality of ink passage grooves communicating with the respective ink passage grooves are formed thereon. If a single top plate with an ink discharge port is assembled, if the heater board alignment accuracy is a little poor, the ink flow channel grooves in the top plate will straddle the gap between the heater boards, causing a crosstalk phenomenon. Cause. In addition, when it becomes severe, non-discharge, shobo, etc. may occur.

【0007】そこで本発明は、上記従来技術の有する問
題点に鑑み、天板のインク流路用溝とヒーターボードの
ヒーターとの位置精度が良く、クロストーク現象等を防
止し、低コストでかつ歩留りが良いフルラインタイプの
インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッ
ド、およびインクジェットヘッド記録装置を提供するこ
とを目的とする。
Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has good positional accuracy between the ink flow channel groove of the top plate and the heater of the heater board, prevents the crosstalk phenomenon and the like, and has a low cost. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a full-line type ink jet head having a good yield, an ink jet head, and an ink jet head recording apparatus.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第1の発明は、複数個のエネルギー発生素子を有する
基板を基台上に複数個配列した後、該各エネルギー発生
素子に対応する複数のインク流路用溝が形成された一つ
の天板を前記基台に接合するインクジェットヘッドの製
造方法において、前記基台に前記基板を互いに隙間を設
け、かつ、該隙間量を前記基板の配列方向の切断精度に
よって変えて配列したことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a first aspect of the present invention is to arrange a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base and to correspond to each of the energy generating elements. In a method for manufacturing an ink jet head in which one top plate having a plurality of ink flow path grooves formed thereon is joined to the base, a gap is provided between the substrates on the base, and the amount of the gap is set to The arrangement is characterized by being changed according to the cutting precision in the arrangement direction.

【0009】このインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、前記基台の前記基板を配置する面には、ある特定
の枠パターンが形成されていることを特徴とし、前記基
板を前記基台に複数個配列する際、前記枠パターンの中
に接着剤を塗布した後、前記基板を前記基台に置き、前
記基板の位置を前記接着剤が固まるまで保持することを
特徴とする方法や、前記基板を前記基台に置き、前記基
板の外側から接着剤を前記基板下の前記枠パターン内に
流し込み、前記基板の位置を前記接着剤が固まるまで保
持することを特徴とする方法でもよい。
In this method of manufacturing an ink jet head, a specific frame pattern is formed on a surface of the base on which the substrate is arranged, and a plurality of the substrates are arranged on the base. At this time, after applying an adhesive in the frame pattern, the substrate is placed on the base, and the position of the substrate is held until the adhesive is solidified. Alternatively, the method may be such that the adhesive is poured from outside the substrate into the frame pattern below the substrate, and the position of the substrate is held until the adhesive is solidified.

【0010】加えて、前記基板を前記基台に複数個配列
する際、前記基板の裏面に接着剤を塗布した後、前記基
板を前記基台に配置することを特徴とする方法でもよ
い。
In addition, when arranging a plurality of the substrates on the base, an adhesive may be applied to a back surface of the substrate, and then the substrate may be arranged on the base.

【0011】さらに、上記のいずれかのインクジェット
ヘッドの製造方法において、前記基板を前記基台に複数
個配列する際、前記基板の配列方向の幅寸法がばらつい
ていて、前記基板の配列方向の一側面から当該基板の一
側面に最も近い当該基板上のエネルギー発生素子までの
距離と、当該基板の他側面から当該基板の他側面に最も
近い当該基板のエネルギー発生素子までの距離が著しく
異なる場合、前記天板と前記基台を接合する際に前記各
エネルギー発生素子が前記天板の各インク流路用溝から
はみ出さない範囲で、これから配置する基板を正規の配
列位置から先に配置してある基板側あるいはその反対側
にずらして配置することを特徴とする。
Further, in any one of the above-described methods for manufacturing an ink jet head, when arranging a plurality of the substrates on the base, the width in the arrangement direction of the substrates may vary, and When the distance from the side surface to the energy generating element on the substrate closest to one side of the substrate and the distance from the other side of the substrate to the energy generating element of the substrate closest to the other side of the substrate are significantly different, When joining the top plate and the base, the energy-generating elements do not protrude from the ink flow channel grooves of the top plate, and the substrates to be arranged are arranged first from the regular arrangement position. It is characterized by being shifted to a certain substrate side or the opposite side.

【0012】このような場合、前記基板の寸法を予め非
接触法により複数個測定して、前記各基板のエネルギー
発生素子が前記天板のインク流路用溝の内側に入るよう
に前記各基板を組み合わせておき、順に配列していく方
法や、前記基板を配置する直前に前記基板の寸法を非接
触法により測定し、その測定寸法をもとに位置補正を行
なった後、配置する方法でもよい。
In such a case, a plurality of dimensions of the substrates are measured in advance by a non-contact method, and the energy generating elements of the substrates are placed inside the ink flow channel grooves of the top plate. In combination, a method of sequentially arranging or a method of measuring the dimensions of the substrate by a non-contact method immediately before arranging the substrate, correcting the position based on the measured dimensions, and then arranging the same. Good.

【0013】また、上記のいずれかのインクジェットヘ
ッドの製造方法において、前記基板を前記基台に複数個
配列する際、前記天板のインク流路用溝の加工によるズ
レに合わせて、前記基板の配列位置を補正して配置する
ことを特徴としてもよい。
In any one of the above-described methods for manufacturing an ink jet head, when arranging a plurality of the substrates on the base, the substrates are arranged in accordance with a shift caused by processing of the ink flow channel grooves of the top plate. The arrangement may be characterized by correcting the arrangement position.

【0014】上記目的を達成するために第2の発明は、
複数個のエネルギー発生素子を有する基板を基台上に複
数個配列した後、該各エネルギー発生素子に対応する複
数のインク流路用溝および該各インク流路用溝と連通す
る複数の吐出口が形成された天板を前記基台に接合する
インクジェットヘッドの製造方法において、前記各基板
の所定位置には認識マークが設けられており、前記各基
板のうち基準となる基板を撮像し、該基準となる基板の
認識マークの位置を測定する第1の測定工程と、前記基
準となる基板の認識マークとは別の、少なくとも二つの
基板の認識マークにおいて、前記基準となる基板の認識
マークの位置に対する正規の位置からのずれ量をそれぞ
れ測定し、それらの測定結果に基づき、前記基準となる
基板のエネルギー発生素子に対し、基準となる吐出口を
配置させたい位置を算出する演算工程と、該基準となる
吐出口を撮像し、前記基準となる吐出口の位置を測定す
る第2の測定工程と、前記演算工程の算出結果と前記第
2の測定工程の測定結果に基づき、該基準となる吐出口
を配置させたい位置と前記基準となる吐出口とが、吐出
口の並び方向に関して一致するように、前記基台もしく
は前記天板を移動させる移動工程と、を具備することを
特徴とする。
[0014] To achieve the above object, a second invention provides
After arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, a plurality of ink flow path grooves corresponding to the respective energy generating elements and a plurality of ejection ports communicating with the respective ink flow path grooves In the method for manufacturing an ink jet head for joining the top plate formed with the base to the base, a recognition mark is provided at a predetermined position of each substrate, and an image of a reference substrate among the respective substrates is taken. A first measurement step of measuring the position of the reference board recognition mark, and at least two board recognition marks different from the reference board recognition mark, wherein the reference board recognition mark is The amount of deviation from the normal position with respect to the position is measured, and based on the measurement results, the position where the reference discharge port is to be disposed with respect to the energy generation element of the reference substrate. A calculating step of calculating, a second measurement step of imaging the reference discharge port, and measuring the position of the reference discharge port, a calculation result of the calculation step, and a measurement result of the second measurement step A moving step of moving the base or the top plate such that the position at which the reference discharge port is to be arranged and the reference discharge port match with respect to the direction in which the discharge ports are arranged. It is characterized by having.

【0015】このインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、前記認識マークは、各基板上の中央に位置するエ
ネルギー発生素子に対応して付されていることを特徴と
する。
In this method of manufacturing an ink jet head, the identification mark is provided corresponding to an energy generating element located at the center of each substrate.

【0016】また上記同様、複数個のエネルギー発生素
子を有する基板を基台上に複数個配列した後、該各エネ
ルギー発生素子に対応する複数のインク流路用溝および
該各インク流路用溝と連通する複数の吐出口が形成され
た天板を前記基台に接合するインクジェットヘッドの製
造方法において、前記基板間の隙間を撮像し、該隙間の
位置を測定する第1の測定工程と、前記隙間に対応する
前記インク流路用溝間の溝壁を撮像し、該溝壁を測定す
る第2の測定工程と、前記第1及び第2の測定工程にお
ける測定結果に基づき、前記隙間と前記溝壁とが、吐出
口の並び方向に関して一致するように、前記基台もしく
は前記天板を移動させる移動工程と、を具備することを
特徴とするものや、前記各基板のうち基準となる基板間
の隙間を撮像し、該基準となる基板間の隙間の位置を測
定する第1の測定工程と、前記基準となる基板間の隙間
とは別の、少なくとも二箇所の基板間の隙間において、
前記基準となる基板間の隙間の位置に対する正規の位置
からのずれ量をそれぞれ測定し、それらの測定結果に基
づき、前記基準となる基板間の隙間に対し、基準となる
インク流路用溝間の溝壁を配置させたい位置を算出する
演算工程と、該基準となるインク流路用溝間の溝壁を撮
像し、前記基準となるインク流路用溝間の溝壁の位置を
測定する第2の測定工程と、前記演算工程の算出結果
と、前記第2の測定工程の測定結果に基づき、該基準と
なるインク流路用溝間の溝壁を配置させたい位置と前記
基準となるインク流路用溝間の溝壁とが、吐出口の並び
方向に関して一致するように、前記基台もしくは前記天
板を移動させる移動工程と、を具備することを特徴とす
るものも考えられる。
In the same manner as described above, after arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, a plurality of ink flow path grooves corresponding to the respective energy generating elements and the respective ink flow path grooves A method for manufacturing an inkjet head in which a top plate formed with a plurality of discharge ports communicating with a base is joined to the base, a first measurement step of imaging a gap between the substrates and measuring a position of the gap; Imaging a groove wall between the ink flow channel grooves corresponding to the gap, a second measurement step of measuring the groove wall, and the gap based on a measurement result in the first and second measurement steps. A moving step of moving the base or the top plate so that the groove wall coincides with the arrangement direction of the discharge ports, and a reference among the substrates. Image the gap between the substrates, A first measurement step of measuring the position of the gap between the substrates as a reference, different from the gap between the substrates to be the reference, in the gap between the substrates of the at least two positions,
The amount of deviation from the normal position with respect to the position of the gap between the reference substrates is measured, and based on the measurement results, the gap between the reference ink flow channels and the gap between the reference ink flow channels is determined. Calculating the position at which the groove wall is to be disposed, imaging the groove wall between the reference ink flow channel grooves, and measuring the position of the reference groove wall between the ink flow channel grooves. Based on a second measurement step, a calculation result of the calculation step, and a measurement result of the second measurement step, a position where the groove wall between the ink flow path grooves serving as the reference is to be arranged and the reference position. A moving step of moving the base or the top plate such that the groove walls between the ink flow channel grooves are aligned with respect to the direction in which the ejection ports are arranged may be provided.

【0017】さらに、上記のいずれかの製造方法によっ
て製造されたことを特徴とするインクジェットヘッドも
本発明に属する。
Furthermore, an ink jet head manufactured by any one of the above manufacturing methods also belongs to the present invention.

【0018】このようなインクジェットヘッドにおい
て、前記エネルギー発生素子は、インク吐出用の熱エネ
ルギーを発生するための電気熱変換体であり、前記電気
熱変換体によって印加される熱エネルギーにより、イン
クに生じる膜沸騰を利用して吐出口よりインクを吐出さ
せることを特徴とする。
In such an ink jet head, the energy generating element is an electrothermal converter for generating thermal energy for discharging ink, and is generated in the ink by the thermal energy applied by the electrothermal converter. It is characterized in that ink is ejected from an ejection port using film boiling.

【0019】加えて、上記のインクジェットヘッドを備
え、記録信号に基づいてインクを前記インクジェットヘ
ッドの吐出口から吐出して記録を行なうインクジェット
ヘッド記録装置も本発明に属する。
In addition, an ink jet head recording apparatus which includes the above ink jet head and performs recording by discharging ink from the discharge port of the ink jet head based on a recording signal also belongs to the present invention.

【0020】[0020]

【作用】上記のとおりに構成された第1の発明では、複
数個のエネルギー発生素子を有する基板を基台に複数個
配列する際に互いに隙間を設け、かつ該隙間量を基板の
配列方向の切断精度によって変えることで、基板の配列
方向の切断精度がばらついていても、配列した各エネル
ギー発生素子の位置を天板に形成された複数のインク流
路用溝の位置とずれることなく対応させることが可能と
なる。
According to the first aspect of the present invention, when arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, a gap is provided between the substrates and the amount of the gap is determined in the arrangement direction of the substrates. By changing according to the cutting precision, even if the cutting precision in the arrangement direction of the substrate varies, the positions of the arranged energy generating elements correspond to the positions of the plurality of ink flow channel grooves formed on the top plate without being shifted. It becomes possible.

【0021】また、上記のとおりに構成された第2の発
明では、基台上に複数個配列された、複数個のエネルギ
ー発生素子を有する基板に対し、一つの天板を組付けす
る前、まず、基準となる基板の認識マークを撮像し、該
認識マークの位置を測定し、さらに、これとは別に少な
くとも二箇所以上の基板の認識マークを測定し、これら
の測定結果に基づき、前記基準となる基板のエネルギー
発生素子に対し、配置させたい基準となる吐出口の位置
を算出する。次いで、天板の組付け後、天板の吐出口を
撮像し、基準となる吐出口の位置を測定し、前記配置さ
せたい基準となる吐出口の位置に前記基準となる吐出口
が、吐出口の並び方向に関して一致するように、前記基
台もしくは前記天板を移動させる。
Further, in the second invention configured as described above, before assembling one top plate to the substrate having a plurality of energy generating elements arranged on the base, First, an image of the recognition mark of the reference substrate is taken, the position of the recognition mark is measured, and further, the recognition marks of at least two or more substrates are measured separately. Based on the measurement results, the reference mark is obtained. With respect to the energy generating element of the substrate to be disposed, the position of the discharge port to be disposed is calculated. Next, after assembling the top plate, an image of the discharge port of the top plate is taken, the position of the reference discharge port is measured, and the reference discharge port is placed at the position of the reference discharge port to be arranged. The base or the top board is moved so as to be coincident with respect to the direction in which the exits are arranged.

【0022】この事により、天板の位置精度が向上し、
基板間の隙間にインク流路が重なることがなくなる。よ
って、クロストーク現象及び不吐出、ショボ等が防止さ
れることとなる。
This improves the positional accuracy of the top plate,
The ink flow path does not overlap the gap between the substrates. Therefore, the crosstalk phenomenon, non-discharge, shoveling, and the like are prevented.

【0023】[0023]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0024】図1は、本発明の製造方法を用いて作成さ
れる長尺型インクジェットヘッドの一例を示す概略斜視
図、図2は図1に示す天板の構造図であり、(a)は平
面図、(b)は正面図、(c)は底面図、(d)は
(b)のX−X線拡大断面図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a long type ink jet head produced by using the manufacturing method of the present invention, FIG. 2 is a structural view of a top plate shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4B is a plan view, FIG. 4B is a front view, FIG. 4C is a bottom view, and FIG. 4D is an enlarged cross-sectional view taken along line XX of FIG.

【0025】図1に示されるインクジェットヘッドは、
インク吐出口の密度360dpi(70.5μm)、イ
ンクの吐出口数3008ノズル(印字幅212mm)か
らなるフルラインタイプ(長尺型)のもので、金属やセ
ラミックなどの材質で造られたベースプレート2を備え
ている。
The ink jet head shown in FIG.
A base plate 2 made of a material such as metal or ceramic is a full line type (long type) having a density of 360 dpi (70.5 μm) of ink discharge ports and 3008 nozzles of ink discharge (print width 212 mm). Have.

【0026】このベースプレート2上には、ガラスやS
i等からなる複数個の基板としてのヒーターボード1
が、そのベースプレート2の一端に揃えられて一直線上
に配列されている。
On the base plate 2, glass or S
Heater board 1 as a plurality of substrates made of i etc.
Are aligned on one end of the base plate 2 and arranged on a straight line.

【0027】各ヒーターボード1上の、ベースプレート
2の一端側の位置には、複数個の、エネルギー発生素子
としてのヒーター10がヒーターボード2の配列方向と
同じ方向に一定ピッチで配列している。
At a position on one end side of the base plate 2 on each heater board 1, a plurality of heaters 10 as energy generating elements are arranged at a constant pitch in the same direction as the arrangement direction of the heater boards 2.

【0028】各ヒーターボード1上の、ベースプレート
2の他端側の位置には、電力パッドがヒーターボード1
の配列方向と同一方向に配列している。なお、エネルギ
ー発生素子としてのヒーター10は、インク吐出用の電
気熱変換体であって、本発明はこれに限られず、ヒータ
ー10の電気熱変換体に代えて、積層圧電素子を用いて
もよい。
An electric power pad is provided on each heater board 1 at a position on the other end side of the base plate 2.
Are arranged in the same direction as the arrangement direction. Note that the heater 10 as an energy generating element is an electrothermal transducer for discharging ink, and the present invention is not limited to this. Instead of the electrothermal transducer of the heater 10, a laminated piezoelectric element may be used. .

【0029】さらにベースプレート2上には、各々のヒ
ータボード1の電力パッドに信号線や電力供給線を配す
るための、一枚の配線基板12が固定されている。この
とき、ヒーターボード1上の電力パッドと、配線基板1
2上に設けられた信号・電力供給パッドとは所定の位置
関係になるように設置され、金ワイヤー11などで電気
的に接続されている。
Further, on the base plate 2, a single wiring board 12 for arranging signal lines and power supply lines to power pads of each heater board 1 is fixed. At this time, the power pad on the heater board 1 and the wiring board 1
2 are arranged in a predetermined positional relationship with the signal / power supply pads provided thereon and are electrically connected by gold wires 11 or the like.

【0030】配線基板12には、外部からの印字信号や
駆動電力を供給するためのコネクター13が取り付けら
れている。
The wiring board 12 is provided with a connector 13 for supplying an external printing signal and driving power.

【0031】そして、複数個のヒーターボード1上を覆
うように天板7が接着される。図2に示すように、天板
7は樹脂の成形からなり、同時にインクを貯留するため
の共通液室用凹部15、およびインクを供給するための
共通液室用凹部15と連通するインク供給口18も形成
される。また、各ヒーター10に対応して形成された複
数のインク流路用溝(ノズル用溝)16、および各イン
ク流路用溝(ノズル用溝)16に対応して形成された複
数のインク吐出口17は、エキシマレーザーなどでレザ
ー加工される。
Then, a top plate 7 is adhered so as to cover the plurality of heater boards 1. As shown in FIG. 2, the top plate 7 is formed of resin, and at the same time, a common liquid chamber recess 15 for storing ink and an ink supply port communicating with the common liquid chamber recess 15 for supplying ink. 18 are also formed. In addition, a plurality of ink flow channel grooves (nozzle grooves) 16 formed corresponding to each heater 10 and a plurality of ink ejection grooves formed corresponding to each ink flow channel groove (nozzle grooves) 16. The outlet 17 is leather-processed with an excimer laser or the like.

【0032】あるいは、ガラスや金属などを用いて天板
7を作製する場合には、切削またはエッチング等により
インク流路用溝16、共通液室用凹部15、インク吐出
口17を加工することも可能である。
Alternatively, when the top plate 7 is manufactured using glass, metal, or the like, the grooves 16 for the ink flow path, the concave portions 15 for the common liquid chamber, and the ink discharge ports 17 may be processed by cutting or etching. It is possible.

【0033】ここで、各インク吐出口17からインクが
吐出されるときの動作について説明すると、共通液室用
凹部15にインク供給口18から供給されて一時的に貯
えられたインクは、毛細管現象により各インク流路用溝
16に侵入し、各インク吐出口17でメニスカスを形成
して各インク流路17を満たした状態を保つ。このと
き、外部装置より図1に示すコネクター13および配線
基板12を通じ、所定のヒーター10が通電されて発熱
すると、そのヒーター10上のインクが急激に加熱され
てインク流路内で気泡が発生し、この気泡の膨張により
所定のインク吐出口からインクが吐出される。
Here, the operation when ink is ejected from each ink ejection port 17 will be described. The ink supplied from the ink supply port 18 to the common liquid chamber concave portion 15 and temporarily stored therein is a capillary phenomenon. As a result, the ink flows into each ink flow channel groove 16 and forms a meniscus at each ink discharge port 17 to maintain a state in which each ink flow channel 17 is filled. At this time, when a predetermined heater 10 is energized and generates heat from the external device through the connector 13 and the wiring board 12 shown in FIG. 1, the ink on the heater 10 is rapidly heated and bubbles are generated in the ink flow path. The ink is ejected from a predetermined ink ejection port by the expansion of the bubble.

【0034】このようなインクジェットヘッドを備え、
記録信号に基づいてインクを前記インックジェットヘッ
ドの吐出口から吐出して記録を行なうインクジェットヘ
ッド記録装置も製造できる。
With such an ink jet head,
An ink jet head recording apparatus that performs recording by discharging ink from the discharge port of the ink jet head based on a recording signal can also be manufactured.

【0035】その1 次に、上記構成のインクジェットヘッドの製造時にベー
スプレートに複数個のヒーターボードを配列するときの
種々の方法について詳述する。
[0035] Part 1 will now be described in detail various methods when arranging a plurality of heater board to the base plate at the time of manufacture of the ink-jet head having the above structure.

【0036】(第1の実施例)図3は、本発明のインク
ジェットヘッドの製造方法の第1の実施例を説明するた
めの、ベースプレートにヒーターボードを直接置いて接
着固定した際の概略図である。
(First Embodiment) FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a first embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention, in which a heater board is directly placed on a base plate and bonded and fixed. is there.

【0037】本実施例における製造方法では、図3に示
すように、まず、ヒーターボード1を配列する面に枠パ
ターンが加工されたベースプレート2に予め接着剤3を
塗布しておく。そして、別の箇所にて被接触法で位置決
めされたヒーターボード1を、ベースプレート2の接着
剤3の塗布された各位置にヒーターボード1間に隙間を
開けて一列に配置し、前記枠パターンに形成された接着
剤塗布領域内の区画された吸引孔(不図示)より、ヒー
ターボード1をベースプレート2に吸引させ、接着剤3
が固まった時点で吸引を解除する。
In the manufacturing method of this embodiment, as shown in FIG. 3, first, an adhesive 3 is applied in advance to a base plate 2 having a frame pattern formed on a surface on which the heater boards 1 are arranged. Then, the heater boards 1 positioned by the contacting method at different locations are arranged in a line with a gap between the heater boards 1 at each position of the base plate 2 where the adhesive 3 is applied, and are arranged in the frame pattern. The heater board 1 is sucked into the base plate 2 from a suction hole (not shown) defined in the formed adhesive application area, and the adhesive 3
Release the suction when is solidified.

【0038】但し、接着剤3は、ヒーターボード1を配
置した際、接着剤塗布領域からはみ出さない量としてお
く。また、ヒーターボード間の隙間によりヒーターボー
ドの切断精度を吸収するようにヒーターボードを配列し
た。
However, the amount of the adhesive 3 is set so as not to protrude from the adhesive application area when the heater board 1 is arranged. Further, the heater boards were arranged so as to absorb the cutting precision of the heater boards by the gap between the heater boards.

【0039】ベースプレートにヒーターボードを直接置
くので、配列したヒーターボード上面の平面度が向上す
る。
Since the heater boards are placed directly on the base plate, the flatness of the upper surface of the arranged heater boards is improved.

【0040】(第2の実施例)図4は、本発明のインク
ジェットヘッドの製造方法の第2の実施例を説明するた
めの図である。
(Second Embodiment) FIG. 4 is a view for explaining a second embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【0041】上記第1の実施例において各ヒーターボー
ドをベースプレート上に配置する際、予めベースプレー
ト上に接着剤を塗布しておいたが、本実施例において
は、図4に示すように、ヒーターボード1をクランプす
るための吸引孔5、塗布領域6を形成する枠パターン、
および塗布領域6の位置にヒーターボードが置かれた後
ヒーターボード1の外側より塗布領域6へ接着剤3を注
入することができる注入口4をベースプレート2に加工
しておき、各々のヒーターボード1を配置した後、注入
口4から接着剤4を注入し、ヒーターボード1を固定す
る方法とした。
When each heater board is arranged on the base plate in the first embodiment, an adhesive is previously applied on the base plate. In the present embodiment, as shown in FIG. A suction hole 5 for clamping 1, a frame pattern forming an application area 6,
After the heater board is placed at the position of the application area 6, an injection port 4 into which the adhesive 3 can be injected from the outside of the heater board 1 to the application area 6 is processed in the base plate 2. After that, the adhesive 4 was injected from the injection port 4 to fix the heater board 1.

【0042】すなわち、まず、第1の実施例と同様に、
別の箇所にて非接触法により位置決めされたヒーターボ
ード1をベースプレート2上に一列に配置して吸引孔4
により吸着固定する。その後、ヒーターボード1の注入
口4から接着剤3を塗布領域6に流し込む。この際、接
着剤注入の順番はヒーターボードを複数個すべて配置し
た後にまとめて行なってもかまわない。その後、接着剤
3が固着したら吸引孔からの吸引を解除する。
That is, first, similarly to the first embodiment,
The heater boards 1 positioned at another location by the non-contact method are arranged in a row on the base plate 2 so that the suction holes 4
To fix by suction. After that, the adhesive 3 is poured into the application area 6 from the inlet 4 of the heater board 1. At this time, the order of the adhesive injection may be performed after all the heater boards are arranged. Thereafter, when the adhesive 3 is fixed, the suction from the suction hole is released.

【0043】なお、注入口4の位置は、ヒーターボード
下の塗布領域6内に通じるように形成されていれば、図
2に示す箇所に限られない。
The position of the injection port 4 is not limited to the position shown in FIG. 2 as long as it is formed so as to communicate with the inside of the coating area 6 below the heater board.

【0044】(第3の実施例)図5は、本発明のインク
ジェットヘッドの製造方法の第3の実施例を説明するた
めの図である。
(Third Embodiment) FIG. 5 is a view for explaining a third embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【0045】上記第1および第2の実施例においては接
着剤をベースプレート側に塗布していたが、本実施例に
おいては、図5に示すように、ヒーターボード1側に接
着剤3を塗布してベースプレート2に押し付けながら置
く。
In the first and second embodiments, the adhesive is applied to the base plate side. In this embodiment, as shown in FIG. 5, the adhesive 3 is applied to the heater board 1 side. And put it on the base plate 2 while pressing it.

【0046】まず、上記第1および第2の実施例と同様
に、別の箇所にて非接触法により位置決めされたヒータ
ーボード1をベースプレート2に配置する前に、ヒータ
ーボード1の裏面に接着剤3を1ヶ所あるいは数ヶ所塗
布する。この際、接着剤3はベースプレート2に形成さ
れている吸引孔5を避けて塗布するものとする。
First, similarly to the first and second embodiments, before disposing the heater board 1 positioned at another location by the non-contact method on the base plate 2, an adhesive is applied to the back surface of the heater board 1. 3 is applied in one place or several places. At this time, the adhesive 3 is applied so as to avoid the suction holes 5 formed in the base plate 2.

【0047】そして、ベースプレート2上にヒーターボ
ードを一列に配置し、吸引孔5よりヒーターボード1を
吸引した後、接着剤3が固まったら上記第1および第2
の実施例と同様に吸引を解除する。
After the heater boards are arranged in a line on the base plate 2 and the heater board 1 is sucked through the suction holes 5, when the adhesive 3 is hardened, the first and second heater boards are set.
The suction is released in the same manner as in the embodiment.

【0048】なお、接着剤3はシリコン系の硬化収縮率
の小さいものを使用し、硬化時のヒーターボード2のズ
レを防止している。接着剤の材質については第1および
第2の実施例も同様とした。
The adhesive 3 is made of a silicone-based material having a small curing shrinkage, and prevents the heater board 2 from shifting during curing. The material of the adhesive was the same in the first and second embodiments.

【0049】(第4の実施例)図6が本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第4の実施例を説明するため
の図である。
(Fourth Embodiment) FIG. 6 is a view for explaining a fourth embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【0050】本実施例における製造方法では、図6
(A)に示すように、ベースプレート上に配列されてい
る切断公差内のヒーターボード1aに対して、切断公差
より大きめのヒーターボード1bを通常の配列位置に置
くと、ヒーターボードの切断ばらつきによりヒーターボ
ードの端部同士がぶつかってしまう。そのため、図6
(B)に示すように吐出性能を害さない範囲で配列方向
にヒーターボードをずらして置く。
According to the manufacturing method of this embodiment, FIG.
As shown in (A), when a heater board 1b larger than the cutting tolerance is placed in a normal arrangement position with respect to the heater board 1a within the cutting tolerance arranged on the base plate, the heater board is cut due to variation in cutting of the heater board. The ends of the board hit each other. Therefore, FIG.
As shown in (B), the heater boards are shifted in the arrangement direction within a range that does not impair the ejection performance.

【0051】また、すべてのヒーターボードの寸法が切
断公差内であっても、ヒーターボードの一端部からその
ヒーターボードの一端部に最も近いそのヒーターボード
上のヒーターまでの距離と、ヒーターボードの他端部か
らそのヒーターボードの他端部に最も近いそのヒーター
ボード上のヒーターまでの距離とが著しく異なった場
合、ヒーターボードを吐出性能を害さない範囲で先に配
置してあるヒーターボード側あるいはその反対側に配置
する。
Even if the dimensions of all the heater boards are within the cutting tolerance, the distance from one end of the heater board to the heater on the heater board closest to the one end of the heater board and the other lengths of the heater board If the distance from the end to the heater on the heater board closest to the other end of the heater board is significantly different, the heater board or the heater board which is placed earlier as long as the discharge performance is not impaired. Place on the other side.

【0052】本実施例では、「吐出性能を害さない範
囲」をヒーターボード上のヒーターが天板7のインク流
路用溝の内側にある範囲とした(±8μm)。
In the present embodiment, the “range that does not impair the ejection performance” is the range where the heater on the heater board is inside the ink flow channel groove of the top plate 7 (± 8 μm).

【0053】その結果、図6(c)に示すように、天板
7を接合した場合でもヒーターがインク流路用溝の内側
に確実にあり印字には何の問題も起きない。
As a result, as shown in FIG. 6 (c), even when the top plate 7 is joined, the heater is surely inside the ink flow channel groove, and no problem occurs in printing.

【0054】また、ずらして置いたヒーターボード1b
の次に置くヒーターボードは、そのずらし量に対して反
対側にずれる寸法を持つヒーターボードを置くことが好
ましい。
Also, the heater board 1b which is staggered
It is preferable to place a heater board having a dimension shifted to the opposite side with respect to the amount of displacement.

【0055】またこのとき、予めヒーターボードの寸法
を非接触法により測定し、ヒーターボードを組み合わせ
ておき順に一列に配置していく。例えば、画像処理など
の非接触法を用いてヒーターボードをその配列方向にお
ける幅によって選別し、別々のトレーに分け、このとき
の選別データをもとに各ヒーターボードのヒーターが長
尺の天板7のインク流路用溝の内側に入るような数種類
の組合せを計算し、その中で最も適している組合せを用
いて一列に配置する。あるいは配置する直前にヒーター
ボードの寸法を前記同様に非接触法により測定し、その
寸法に合わせて位置補正を行ないながら配置してもよ
い。
At this time, the dimensions of the heater boards are measured in advance by a non-contact method, and the heater boards are combined and arranged in a line in order. For example, using a non-contact method such as image processing, heater boards are sorted according to their width in the arrangement direction, divided into separate trays, and based on the sorting data at this time, the heater of each heater board is a long top plate. A number of combinations that fall inside the ink channel groove of No. 7 are calculated, and the most suitable combination among them is arranged in a line. Alternatively, the dimensions of the heater boards may be measured by a non-contact method just before the placement as described above, and the heater boards may be placed while performing position correction according to the dimensions.

【0056】さらに本発明は、長尺の天板のインク流路
用溝のピッチズレに対しても適応できる。
Further, the present invention can be applied to the pitch deviation of the ink passage groove of the long top plate.

【0057】すなわち、長尺の天板を射出成形等で製作
し、インク流路用溝や吐出口をエキシマ・レーザ等で加
工した際にインク流路用溝のピッチ等に加工ズレ(ピッ
チズレ)が生じた場合、一列に配置したヒーターボード
のヒーターの位置に対応すべきインク流路用溝の位置
を、非接触法により予め別の位置で測定するかあるいは
配置する直前に前記同様に非接触法にて測定し、そのデ
ータをもとにヒーターボードの配列位置を補正し、確実
にノズル壁内側にヒーターが入るようにする。
That is, when a long top plate is manufactured by injection molding or the like, and the grooves for the ink flow path and the discharge ports are processed by excimer laser or the like, the processing deviation (pitch deviation) to the pitch of the groove for the ink flow path. Occurs, the position of the groove for the ink flow path corresponding to the position of the heater of the heater board arranged in a line is measured at another position in advance by a non-contact method, or immediately before the arrangement, the non-contact Method, and based on the data, the arrangement position of the heater board is corrected to ensure that the heater enters the inside of the nozzle wall.

【0058】(第5の実施例)図7は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第5の実施例を説明するため
の図であり、図(A)および図(B)はベースプレート
にヒーターボードを突き当てる際の位置決めの方法を示
している。これらの図において、符号1aは先に配列し
てあるヒーターボード、符号1bはこれからベースプレ
ートに配列するヒーターボード、Δxは隣接するヒータ
ーボードの隙間、Δyは隣接するヒーターボードのイン
ク吐出方向のずれである。
(Fifth Embodiment) FIGS. 7A and 7B are views for explaining a fifth embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention. FIGS. 7A and 7B show a heater board on a base plate. 2 shows a method of positioning when abutting is performed. In these figures, reference numeral 1a denotes a heater board arranged earlier, reference numeral 1b denotes a heater board to be arranged on a base plate, Δx denotes a gap between adjacent heater boards, and Δy denotes a shift in the ink ejection direction of an adjacent heater board. is there.

【0059】上述の第1乃至第4の実施例において、ヒ
ーターボードをベースプレート上に配置する前に位置決
めを行なわなくてはならない。そこでその一例を示す。
In the first to fourth embodiments described above, positioning must be performed before the heater board is placed on the base plate. Therefore, an example is shown.

【0060】本実施例における製造方法では、図7
(A)に示すように、まず、これから配置するヒーター
ボード1bをベースプレート2の上空で一度止め、隣接
するヒーターボードの隙間Δxを画像処理などの非接触
法で測定しつつ、横方向の位置決めを行なう。その際、
ヒーターボードの隙間Δxの値はヒーターボードの切断
精度のバラツキによりその都度変えられる。
According to the manufacturing method of this embodiment, FIG.
As shown in (A), first, the heater board 1b to be arranged is temporarily stopped once above the base plate 2, and the gap Δx between the adjacent heater boards is measured by a non-contact method such as image processing while positioning in the lateral direction. Do. that time,
The value of the gap Δx between the heater boards can be changed each time due to variations in the cutting accuracy of the heater boards.

【0061】また、図7(B)に示すように、インク吐
出方向のずれは、ヒーターボードをベースプレート2の
上空で止めた状態で、ヒーターボードの表面を上方から
前記同様、画像処理などの非接触法で測定し、隣接する
ヒーターボードの吐出方向のずれ量Δyがゼロになるよ
うにこれから配置するヒーターボード1bを移動させ
る。
As shown in FIG. 7 (B), the displacement of the ink ejection direction can be corrected by setting the surface of the heater board from above in a state where the heater board is stopped above the base plate 2 in the same manner as described above. The heater board 1b to be disposed is moved so that the displacement Δy in the discharge direction of the adjacent heater boards is measured by the contact method and becomes zero.

【0062】以上の2方向の位置決めが行なわれたヒー
ターボード1bをベースプレート2に一列に配置する。
The heater boards 1 b having been positioned in the above two directions are arranged in a row on the base plate 2.

【0063】その結果、隣接するヒーターボードの隙間
Δxは設定値に対して±1μm以下となりインクの吐出
方向のずれΔyは±2μm以下となった。図8は図6に
示したヒーターボードの概略図である。
As a result, the gap Δx between the adjacent heater boards was ± 1 μm or less with respect to the set value, and the deviation Δy in the ink ejection direction was ± 2 μm or less. FIG. 8 is a schematic diagram of the heater board shown in FIG.

【0064】その2 次に、図1および図2に示したインクジェットヘッドの
製造時に複数個のヒーターボードが配列されたベースプ
レート上に天板を組付けるときの方法について詳述す
る。
[0064] Part 2 will now be described in detail how the time of assembling the top plate on the base plate in which a plurality of heater boards are arranged in the production of ink-jet head shown in FIGS.

【0065】ここで先ず天板の組付け方法の説明の前
に、天板の組付け等に使用するインクジェットヘッドの
組立装置の構成について説明する。
Here, before describing the method of assembling the top plate, the structure of an assembling apparatus for an ink jet head used for assembling the top plate will be described.

【0066】図8は本発明のインクジェットヘッドの製
造方法で使用する組立装置の一例を示す概略斜視図であ
る。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing an example of an assembling apparatus used in the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【0067】図8に示す組立装置は、y方向に移動する
y方向移動機構20と、y方向移動機構20に搭載され
x方向に移動するx方向移動機構21と、x方向移動機
構21に搭載され、x方向移動機構21上に置かれたベ
ースプレート2をクランプするためのベースプレートク
ランプ23と、ベースプレート上に一直線に配列された
複数個のヒーターボード1に組付けた天板7をクランプ
するために天板7の上面側と前面側に配置された天板上
面クランプ24および天板前面クランプ25と、ヒータ
ーボード1の位置を計測するためのヒーターボード画像
処理用カメラ26と、天板7の形成された吐出口の穴の
位置を計測するための穴画像処理用カメラ27と、天板
7の両側端部付近にそれぞれ配設され、ヒーターボード
1の配列方向に対して天板7の位置をずらす天板位置調
整手段28(天板1の片側端部付近の天板位置調整手段
は不図示)と、から構成される。
The assembling apparatus shown in FIG. 8 includes a y-direction moving mechanism 20 which moves in the y-direction, an x-direction moving mechanism 21 which is mounted on the y-direction moving mechanism 20 and which moves in the x-direction, and which is mounted on the x-direction moving mechanism 21. And a base plate clamp 23 for clamping the base plate 2 placed on the x-direction moving mechanism 21 and a top plate 7 attached to a plurality of heater boards 1 arranged in a straight line on the base plate. Forming a top plate top clamp 24 and a top plate front clamp 25 disposed on the top and front sides of the top plate 7, a heater board image processing camera 26 for measuring the position of the heater board 1, and the formation of the top plate 7 A hole image processing camera 27 for measuring the position of the formed discharge port hole, and a hole image processing camera 27 disposed near both side ends of the top plate 7, respectively, in the arrangement direction of the heater board 1. Top position adjusting means 28 for shifting the position of the top plate 7 Te (top position adjusting means in the vicinity of one end portion of the top plate 1 is not shown) composed of a.

【0068】図9はヒーターボードの概略図であり、図
8に示した組立装置のヒーターボード画像処理用カメラ
26による画像処理のため、各々のヒーターボード1上
のX軸方向に関して略中央に位置するヒーター10の近
傍には、このヒータ10が基準ヒーターであることを認
識させるための認識マーク8が付されている。また以下
の実施例の説明では、ヒーターボード1がベースプレー
ト上に11個並べてあるものとする。
FIG. 9 is a schematic view of the heater board. The heater board 1 is located at substantially the center in the X-axis direction on each heater board 1 for image processing by the heater board image processing camera 26 of the assembling apparatus shown in FIG. A recognition mark 8 for recognizing that the heater 10 is a reference heater is provided in the vicinity of the heater 10. In the following description of the embodiment, it is assumed that 11 heater boards 1 are arranged on a base plate.

【0069】以下、図8に示した組立装置による種々の
製造方法を述べる。
Hereinafter, various manufacturing methods using the assembling apparatus shown in FIG. 8 will be described.

【0070】(第6の実施例)図10は、本発明の製造
方法の第6の実施例における画像処理を説明するための
図である。
(Sixth Embodiment) FIG. 10 is a view for explaining image processing in a sixth embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【0071】図8を参照して本実施例の製造方法を説明
すると、まず、ヒーターボード1が11枚配列されたベ
ースプレート2をx方向移動機構21上の所定の位置に
置き、ベースプレートクランプ23で固定する。次い
で、y方向移動機構20により、ヒーターボード画像処
理用カメラ26でヒーターボード1が観察できる位置ま
で移動する。ここで、基準となる6番目(11個配列さ
れた真ん中)のヒーターボード1を観察し、認識マーク
8の位置を画像処理する。この結果を基準とし、x方向
移動機構21により、1番目のヒーターボード1を観察
できる位置まで移動する。この時、基準とした6番目の
ヒーターボード1の認識マーク8から正確に移動させる
(本実施例では、45.12mm=0.0705×12
8×(6−1))。この状態で1番目のヒーターボード
1の認識マーク8の位置を画像処理を行い、同様の方法
で11番目のヒーターボード1の認識マーク8の位置も
画像処理を行う。
Referring to FIG. 8, the manufacturing method of the present embodiment will be described. First, a base plate 2 on which 11 heater boards 1 are arranged is placed at a predetermined position on an x-direction moving mechanism 21, and a base plate clamp 23 is used. Fix it. Next, the heater board 1 is moved by the y-direction moving mechanism 20 to a position where the heater board 1 can be observed by the heater board image processing camera 26. At this point, the sixth (11 middle) heater board 1 serving as a reference is observed, and the position of the recognition mark 8 is image-processed. Based on this result, the x-direction moving mechanism 21 is moved to a position where the first heater board 1 can be observed. At this time, it is accurately moved from the recognition mark 8 of the sixth heater board 1 as a reference (45.12 mm = 0.0705 × 12 in this embodiment).
8 x (6-1)). In this state, image processing is performed on the position of the recognition mark 8 on the first heater board 1, and image processing is also performed on the position of the recognition mark 8 on the eleventh heater board 1 in the same manner.

【0072】上述の測定結果により、配列精度がでてい
ないヒーターボード列に対する天板組付けの際の校正値
を求める。
Based on the above measurement results, a calibration value when assembling the top plate to a heater board row where the arrangement accuracy is not sufficient is obtained.

【0073】図10(A)に示すように、基準に対し左
右にずれている時の校正値は、 校正値=基準+(X1 +X2 )/2(左、右の最大値) となる。また、図10(B)に示すように、基準に対し
片方向にずれている時の校正値は、 校正値=基準+X4 /2(片方向の最大値) となる。
As shown in FIG. 10 (A), the calibration value when shifted from the reference to the left or right is as follows: calibration value = reference + (X 1 + X 2 ) / 2 (maximum value of left and right) . Further, as shown in FIG. 10 (B), the calibration value when the image is shifted one-way with respect to the reference is a calibration value equal to the reference + X 4/2 (maximum one-way).

【0074】次に図8に戻り、天板7を配列されたヒー
ターボード1に置き、天板上面クランプ24、天板前面
クランプ25を押し当てることにより、ヒーターボード
1と天板7との隙間をなくし、穴画像処理用カメラ27
でインク吐出口の穴を観察する。ここで、天板位置調整
手段28により前述した校正値の位置に基準穴を合わせ
る。
Next, returning to FIG. 8, the top plate 7 is placed on the arranged heater boards 1 and the top plate top clamp 24 and the top plate front clamp 25 are pressed against each other, so that the gap between the heater board 1 and the top plate 7 is increased. The hole image processing camera 27
Observe the hole of the ink ejection port with. Here, the reference hole is adjusted by the top plate position adjusting means 28 to the position of the above-described calibration value.

【0075】以上のような方法をとることにより、ベー
スプレート上に配列された複数個のヒーターボードに対
する天板の位置精度が向上し、ヒーターボードの隙間
に、インク流路が重なることがなくなる。よって、クロ
ストーク現象及び不吐出、ショボ等を防止できる。ま
た、本実施例では、校正値を求めるのに6番目と11番
目の2つのヒーターボードに画像処理を行なったが、本
発明はこれに限られるものではなく、より天板の位置精
度を向上させるために、基準となる中央のヒーターボー
ドと異なる2つ以上のヒーターボードに行なってもよ
い。
By adopting the above-described method, the positional accuracy of the top plate with respect to the plurality of heater boards arranged on the base plate is improved, and the ink flow path does not overlap the gap between the heater boards. Therefore, it is possible to prevent the crosstalk phenomenon, non-discharge, shoveling, and the like. Further, in this embodiment, the image processing is performed on the sixth and eleventh heater boards to obtain the calibration value. However, the present invention is not limited to this, and the position accuracy of the top plate is further improved. In order to perform this, the heating may be performed on two or more heater boards different from the central heater board serving as a reference.

【0076】(第7の実施例)図11は本発明の製造方
法の第7の実施例における画像処理を説明するための図
である。
(Seventh Embodiment) FIG. 11 is a view for explaining image processing in a seventh embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【0077】前記第6の実施例と同様に図8を参照し、
本実施例の製造方法について説明すると、まず、ヒータ
ーボード1が11枚配列されたベースプレート2をx方
向移動機構21上の所定の位置に置き、ベースプレート
クランプ23で固定する。次いで、x方向移動機構21
により、穴画像処理用カメラ27で5番目と6番目のヒ
ーターボードの隙間の位置が観察できる位置まで移動す
る。ここで5番目と6番目のヒーターボードの隙間を画
像処理する。
Referring to FIG. 8 similarly to the sixth embodiment,
Describing the manufacturing method of the present embodiment, first, the base plate 2 on which the 11 heater boards 1 are arranged is placed at a predetermined position on the x-direction moving mechanism 21 and fixed by the base plate clamp 23. Next, the x-direction moving mechanism 21
As a result, the hole image processing camera 27 moves to a position where the positions of the gaps between the fifth and sixth heater boards can be observed. Here, image processing is performed on the gap between the fifth and sixth heater boards.

【0078】次に、配列されたヒーターボード1に天板
7を置き、天板上面クランプ24、天板前面クランプ2
5を押し当てることにより、ヒーターボード1と天板7
との隙間をなくし、穴画像処理用カメラ27で5番目と
6番目のヒーターボードの隙間付近のインク吐出口17
を観察する。
Next, the top plate 7 is placed on the arranged heater boards 1, and the top plate top clamp 24 and the top plate front clamp 2
5, the heater board 1 and the top plate 7 are pressed.
Between the fifth and sixth heater boards by the hole image processing camera 27.
Observe.

【0079】ここで、天板位置調整手段28により、前
述した画像処理の結果に基づき天板7をずらし、図11
に示すように、インク流路用溝16間の溝壁29がヒー
ターボード1間の隙間にくるように合わせる。
Here, the top plate 7 is shifted by the top plate position adjusting means 28 based on the result of the image processing described above.
As shown in (2), the groove walls 29 between the ink flow channel grooves 16 are aligned with the gap between the heater boards 1.

【0080】以上のような方法をとることにより、第6
の実施例と同様の効果が得られる。また、ヒーターボー
ド画像処理用カメラ26を使用しないため、第6の実施
例より安価に製造することができる。
By adopting the above method, the sixth
The same effect as that of the embodiment can be obtained. In addition, since the heater board image processing camera 26 is not used, it can be manufactured at a lower cost than the sixth embodiment.

【0081】(第8の実施例)図12は本発明の製造方
法の第8の実施例における画像処理を説明するための図
である。
(Eighth Embodiment) FIG. 12 is a view for explaining image processing in an eighth embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【0082】前記第7および第8の実施例と同様に図8
を参照し、本実施例の製造方法について説明すると、ま
ず、ヒーターボード1が11枚配列されたベースプレー
ト2をx方向移動機構21上の所定の位置に置き、ベー
スプレートクランプ23で固定する。次いで、x方向移
動機構21により、穴画像処理用カメラ27で5番目と
6番目のヒーターボードの隙間の位置が観察できる位置
まで移動する。ここで5番目と6番目のヒーターボード
の隙間を画像処理する。この結果を基準とし、x方向移
動機構21により、1番目と2番目のヒーターボード間
の隙間を観察できる位置まで移動する。この時、基準と
した5番目と6番目のヒーターボード間の隙間から正確
に移動させる(本実施例では36.096mm=0.0
705×128×(5−1))。この状態で1番目と2
番目のヒーターボードの隙間の画像処理を行い、同様の
方法で10番目と11番目のヒーターボード間の隙間の
画像処理を行う。
As in the seventh and eighth embodiments, FIG.
First, the base plate 2 on which the 11 heater boards 1 are arranged is placed at a predetermined position on the x-direction moving mechanism 21 and fixed by the base plate clamp 23. Next, the x-direction moving mechanism 21 moves the hole image processing camera 27 to a position where the position of the gap between the fifth and sixth heater boards can be observed. Here, image processing is performed on the gap between the fifth and sixth heater boards. Based on this result, the x-direction moving mechanism 21 is moved to a position where the gap between the first and second heater boards can be observed. At this time, the heater board is accurately moved from the gap between the fifth and sixth heater boards (in this embodiment, 36.096 mm = 0.0).
705 x 128 x (5-1)). In this state the first and second
Image processing of the gap between the tenth heater board is performed, and image processing of the gap between the tenth and eleventh heater boards is performed in the same manner.

【0083】上述の測定結果により、配列精度がでてい
ないヒーターボード列に対する天板組付けの際の校正値
を求める。
Based on the above-described measurement results, a calibration value when assembling the top plate to a heater board row where the arrangement accuracy is not sufficient is obtained.

【0084】図12(A)に示すように、基準に対し左
右にずれている時の校正値は、 校正値=基準+(X1 +X2 )/2(左、右の最大値) となる。また、図12(B)に示すように、基準に対し
片方向にずれている時の校正値は、 校正値=基準+X4 /2(片方向の最大値) となる。
As shown in FIG. 12 (A), the calibration value when shifted from the reference to the left and right is: calibration value = reference + (X 1 + X 2 ) / 2 (maximum value of left and right) . Further, as shown in FIG. 12 (B), the calibration value when the image is shifted one-way with respect to the reference is a calibration value equal to the reference + X 4/2 (maximum one-way).

【0085】次に図8に戻り、天板7を配列されたヒー
ターボード1に置き、天板上面クランプ24、天板前面
クランプ25を押し当てることにより、ヒーターボード
1と天板7との隙間をなくし、穴画像処理用カメラ27
で、5番目と6番目のヒーターボード間の隙間付近のイ
ンク吐出口を観察する。
Next, returning to FIG. 8, the top plate 7 is placed on the arranged heater boards 1 and the top plate top clamp 24 and the top plate front clamp 25 are pressed against each other, so that the gap between the heater board 1 and the top plate 7 is increased. The hole image processing camera 27
Then, the ink ejection ports near the gap between the fifth and sixth heater boards are observed.

【0086】ここで、天板位置調整手段28により、天
板のインク流路用溝間の溝壁のうちの基準溝壁を前記し
た校正値の位置に合わせる。
Here, the reference groove wall among the groove walls between the ink flow path grooves of the top plate is adjusted to the position of the calibration value by the top plate position adjusting means 28.

【0087】以上のような構成をとることにより、第7
の実施例よりも、さらに天板の位置精度が向上し、第7
の実施例と同等以上の効果を得ることができる。また、
本実施例では、校正値を求めるのに基準以外に2箇所
で、すなわち1番目と2番目のヒーターボードの隙間、
および10番目と11番目のヒーターボード間の隙間に
画像処理を行なったが、本発明はこれに限られるもので
はなく、より天板の位置精度を向上させるために、基準
となる5番目と6番目のヒーターボード間の隙間と異な
る2箇所以上のヒーターボード間の隙間に行なってもよ
い。
With the above configuration, the seventh
The position accuracy of the top plate is further improved as compared with the embodiment of FIG.
It is possible to obtain an effect equal to or more than that of the embodiment. Also,
In this embodiment, the calibration value is determined at two places other than the reference, that is, the gap between the first and second heater boards,
Although image processing was performed on the gaps between the tenth and eleventh heater boards, the present invention is not limited to this, and in order to further improve the positional accuracy of the top plate, the fifth and sixth reference points were used. This may be performed in a gap between two or more heater boards different from the gap between the second heater boards.

【0088】[0088]

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects.

【0089】請求項1に記載した発明においては、複数
のエネルギー発生素子を有する基板間に隙間を設け、か
つ、該隙間量を基板の配列方向によって変えて配列した
ことにより、切断精度のバラツキが吸収できる。
According to the first aspect of the present invention, a gap is provided between substrates having a plurality of energy generating elements, and the gap amount is changed depending on the arrangement direction of the substrates. Can be absorbed.

【0090】請求項2に記載した発明においては、基台
の基板を配置する面に枠パターンを形成したことによ
り、ゴミなどの異物の混入による配列ミスを防止するこ
とができる。
According to the second aspect of the present invention, since the frame pattern is formed on the surface of the base on which the substrate is arranged, it is possible to prevent misalignment due to entry of foreign matter such as dust.

【0091】請求項3、4、5に記載した発明において
は、接着剤を用いた基板の配置固定が高精度に行なうこ
とができる。
According to the third, fourth and fifth aspects of the present invention, the arrangement and fixing of the substrate using an adhesive can be performed with high precision.

【0092】請求項6に記載した発明においては、吐出
性能を害さない範囲で配列位置をずらせるため、切断の
公差範囲を広げ、基板の切断による歩留りの向上にもつ
ながる。
According to the sixth aspect of the present invention, since the arrangement position is shifted within a range that does not impair the ejection performance, the cutting tolerance range is widened, and the yield by cutting the substrate is improved.

【0093】請求項7、8に記載した発明においては、
基板間の隙間や基板の配列方向の寸法などを非接触法で
測定し、配列するため、機械加工による位置決めコマ等
の基準を作る場合に比べ加工精度による問題もなく、さ
らには基板の配置位置のバラツキも問題とならない。
[0093] In the invention described in claims 7 and 8,
Since gaps between substrates and dimensions in the direction of arrangement of the substrates are measured and arranged by a non-contact method, there is no problem due to processing accuracy compared to the case of creating a reference such as a positioning frame by machining, and furthermore, the arrangement position of the substrates Does not matter.

【0094】また、基台上に基板を配置するまで、隣接
したヒーターボードを確認できるため、配列時のミスの
減少や補正可能となり、歩留りの向上にもつながる。
Further, since the adjacent heater boards can be confirmed until the substrate is arranged on the base, errors in arrangement can be reduced and corrected, and the yield can be improved.

【0095】請求項9に記載の発明においては、天板の
インク流路用溝ピッチにも合わせて配列可能なため、天
板の成形あるいは加工による歩留りの向上にもつなが
る。
According to the ninth aspect of the present invention, since the arrangement can be made in accordance with the pitch of the ink passage grooves of the top plate, the yield can be improved by molding or processing the top plate.

【0096】請求項10、11に記載の発明において
は、複数のエネルギー発生素子を有する基板を複数個配
列した基台に一つの天板を接合する際、天板組付け前に
画像処理によって基板の配列ずれを二箇所以上で測定
し、これらのずれ量に基づき、基準となる吐出口を配置
させたい位置を求め、天板組付け後に基準となる吐出口
の位置を測定し、この基準となる吐出口を、前記基準と
なる吐出口を配置させたい位置に、基台もしくは天板を
ずらして配置させることにより、基台上に複数の配列さ
れた各基板の対する天板の位置精度が向上し、基板間の
隙間に、インク流路が重なることがなくなる。よってク
ロストーク現象及び不吐出、ショボ等を防止することが
できる。
According to the tenth and eleventh aspects of the present invention, when one top plate is joined to a base on which a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements are arranged, image processing is performed before assembling the top plate. Is measured at two or more locations, based on the amount of these shifts, determine the position where the reference discharge port is to be arranged, and measure the position of the reference discharge port after assembling the top plate. By disposing the base or the top plate at a position where the discharge port serving as the reference is to be arranged, the position accuracy of the top plate with respect to each of the plurality of substrates arranged on the base is improved. Thus, the ink flow path does not overlap the gap between the substrates. Therefore, it is possible to prevent the crosstalk phenomenon, non-discharge, shoveling, and the like.

【0097】請求項12に記載した発明においては、複
数のエネルギー発生素子を有する基板を複数個配列した
基台に一つの天板を接合する際、天板組付け後に基板間
の隙間の位置と該隙間に対応すべきインク流路用溝間の
溝壁の位置とを測定し、これらの測定結果に基いて、基
板間の隙間に、該隙間に対応すべきインク流路用溝間の
溝壁が合うように基台もしくは天板をずらして配置させ
ることにより、請求項10、11と同様の効果が得られ
るとともに、天板組付け前に基板の配列位置を測定しな
くてもよいので、コストが低減できる。
According to the twelfth aspect of the present invention, when one top plate is joined to a base on which a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements are arranged, the position of the gap between the substrates after the top plate is assembled is determined. The positions of the groove walls between the ink flow path grooves that should correspond to the gaps are measured, and based on the measurement results, the grooves between the ink flow path grooves that should correspond to the gaps are formed in the gaps between the substrates. By displacing the base or the top plate so that the walls are aligned, the same effect as in claims 10 and 11 can be obtained, and the arrangement position of the substrates does not need to be measured before assembling the top plate. The cost can be reduced.

【0098】請求項13に記載した発明においては、複
数のエネルギー発生素子を有する基板を複数個配列した
基台に一つの天板を接合する際、天板組付け前に画像処
理によって基板間の隙間の配列ずれを二箇所以上で測定
し、これらのずれ量に基づき、基準となるインク流路用
溝間の溝壁を配置させたい位置を求め、天板組付け後に
基準となるインク流路用溝間の溝壁の位置を測定し、こ
の基準となるインク流路用溝間の溝壁を、前記基準とな
るインク流路用溝間の溝壁を配置させたい位置に、基台
もしくは天板をずらして配置させることにより、請求項
10、11と同様の効果が得られ、かつ、請求項12に
記載した発明と同等以上の効果を奏する。
According to the thirteenth aspect of the present invention, when one top plate is joined to a base on which a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements are arranged, an image processing is performed before the top plate is assembled. The gap displacement of the gap is measured at two or more locations, and based on these displacement amounts, the position where the groove wall between the reference ink passage grooves is to be arranged is determined. The position of the groove wall between the grooves for ink flow is measured, and the groove wall between the grooves for the ink flow path serving as the reference is placed at a position where the groove wall between the grooves for the ink flow path serving as the reference is to be arranged, a base or By displacing the top plate, effects similar to those of the tenth and eleventh aspects can be obtained, and effects equivalent to or greater than those of the invention described in the twelfth aspect can be obtained.

【0099】請求項14に記載した発明においては、請
求項1乃至13のいずれかに記載の製造方法により、目
的に応じた自由幅のインクジェットヘッドが低コストで
かつ、歩留りがよく製作することが可能となった。
According to the fourteenth aspect of the present invention, an ink jet head having a free width suitable for the purpose can be manufactured at a low cost and a good yield by the manufacturing method according to any one of the first to thirteenth aspects. It has become possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の製造方法を用いて作製される長尺型イ
ンクジェットヘッドの一例を示す概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a long ink jet head manufactured by using the manufacturing method of the present invention.

【図2】図1に示す天板の構造図であり、(a)は平面
図、(b)は正面図、(c)は底面図、(d)は(b)
のX−X線拡大断面図である。
2 (a) is a plan view, FIG. 2 (b) is a front view, FIG. 2 (c) is a bottom view, and FIG. 2 (d) is (b)
FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along line XX of FIG.

【図3】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
1の実施例を説明するための、ベースプレートにヒータ
ーボードを直接置き接着固定した際の概略図である。
FIG. 3 is a schematic view illustrating a first embodiment of a method for manufacturing an ink jet head according to the present invention, in which a heater board is directly placed on a base plate and fixedly adhered thereto.

【図4】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
2の実施例を説明するための図である。
FIG. 4 is a view for explaining a second embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【図5】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
3の実施例を説明するための図である。
FIG. 5 is a view for explaining a third embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【図6】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
4の実施例を説明するための図である。
FIG. 6 is a view for explaining a fourth embodiment of the method for manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【図7】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
6の実施例を説明するための図である。
FIG. 7 is a view for explaining a sixth embodiment of the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【図8】本発明のインクジェットヘッドの製造方法で使
用する組立装置の一例を示す概略斜視図である。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing an example of an assembling apparatus used in the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention.

【図9】ヒーターボードの概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram of a heater board.

【図10】本発明の製造方法の第6の実施例における画
像処理を説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining image processing in a sixth embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図11】本発明の製造方法の第7の実施例における画
像処理を説明するための図である。
FIG. 11 is a view for explaining image processing in a seventh embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図12】本発明の製造方法の第7の実施例における画
像処理を説明するための図である。
FIG. 12 is a diagram for explaining image processing in a seventh embodiment of the manufacturing method of the present invention.

【図13】ヒーターボード同士を直線状に突き当てて配
列した状態を示した図である。
FIG. 13 is a diagram showing a state in which heater boards are arranged in a straight line by abutting each other.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヒーターボード 2 ベースプレート 3 接着剤 4 注入口 5 吸引孔 6 塗布領域 7 天板 8 認識マーク 10 ヒーター 11 金ワイヤー 12 配線基板 13 コネクター 15 共通液室用凹部 16 インク流路用溝 17 インク吐出口 18 インク供給口 20 y方向移動機構 21 x方向移動機構 22 ベースプレート 23 ベースプレートクランプ 24 天板上面クランプ 25 天板前面クランプ 26 ヒーターボード画像処理用カメラ 27 穴画像処理用カメラ 28 天板位置調整手段 29 溝壁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heater board 2 Base plate 3 Adhesive 4 Inlet 5 Suction hole 6 Application area 7 Top plate 8 Recognition mark 10 Heater 11 Gold wire 12 Wiring board 13 Connector 15 Common liquid chamber recess 16 Ink channel groove 17 Ink discharge port 18 Ink supply port 20 Y direction moving mechanism 21 X direction moving mechanism 22 Base plate 23 Base plate clamp 24 Top plate upper surface clamp 25 Top plate front clamp 26 Heater board image processing camera 27 Hole image processing camera 28 Top plate position adjusting means 29 Groove wall

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺井 晴彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 工藤 清光 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−184860(JP,A) 特開 平4−229278(JP,A) 特開 平7−241994(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/16 B41J 2/05 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Haruhiko Terai 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Kiyomitsu Kudo 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon (56) References JP-A-3-184860 (JP, A) JP-A-4-229278 (JP, A) JP-A-7-241994 (JP, A) (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B41J 2/16 B41J 2/05

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数個のエネルギー発生素子を有する基
板を基台上に複数個配列した後、該各エネルギー発生素
子に対応する複数のインク流路用溝が形成された一つの
天板を前記基台に接合するインクジェットヘッドの製造
方法において、 前記基台に前記基板を互いに隙間を設け、かつ、該隙間
量を前記基板の配列方向の切断精度によって変えて配列
したことを特徴とする、インクジェットヘッドの製造方
法。
After arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, one top plate having a plurality of ink flow channel grooves corresponding to each of the energy generating elements is mounted on the base plate. In the method for manufacturing an ink jet head to be joined to a base, the substrate is provided with a gap in the base, and the gap is arranged by changing the amount of the gap depending on the cutting accuracy in the arrangement direction of the substrate. Head manufacturing method.
【請求項2】 前記基台の前記基板を配置する面には、
ある特定の枠パターンが形成されていることを特徴とす
る、請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
2. A surface of the base on which the substrate is arranged,
The method according to claim 1, wherein a specific frame pattern is formed.
【請求項3】 前記基板を前記基台に複数個配列する
際、前記枠パターンの中に接着剤を塗布した後、前記基
板を前記基台に置き、前記基板の位置を前記接着剤が固
まるまで保持することを特徴とする、請求項2に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。
3. When arranging a plurality of the substrates on the base, after applying an adhesive in the frame pattern, the substrate is placed on the base, and the position of the substrate is set by the adhesive. The method for manufacturing an ink jet head according to claim 2, wherein the ink jet head is held.
【請求項4】 前記基板を前記基台に複数個配列する
際、前記基板を前記基台に置き、前記基板の外側から接
着剤を前記基板下の前記枠パターン内に流し込み、前記
基板の位置を前記接着剤が固まるまで保持することを特
徴とする、請求項2に記載のインクジェットヘッドの製
造方法。
4. When arranging a plurality of substrates on the base, the substrate is placed on the base, and an adhesive is poured into the frame pattern below the substrate from outside the substrate, and the position of the substrate is adjusted. 3. The method according to claim 2, wherein the adhesive is held until the adhesive hardens.
【請求項5】 前記基板を前記基台に複数個配列する
際、前記基板の裏面に接着剤を塗布した後、前記基板を
前記基台に配置することを特徴とする、請求項1に記載
のインクジェットヘッドの製造方法。
5. The method according to claim 1, wherein, when arranging a plurality of substrates on the base, applying an adhesive to a back surface of the substrate and then arranging the substrates on the base. Of manufacturing an inkjet head.
【請求項6】 前記基板を前記基台に複数個配列する
際、前記基板の配列方向の幅寸法がばらついていて、前
記基板の配列方向の一側面から当該基板の一側面に最も
近い当該基板上のエネルギー発生素子までの距離と、当
該基板の他側面から当該基板の他側面に最も近い当該基
板のエネルギー発生素子までの距離が著しく異なる場
合、前記天板と前記基台を接合する際に前記各エネルギ
ー発生素子が前記天板の各インク流路用溝からはみ出さ
ない範囲で、これから配置する基板を正規の配列位置か
ら先に配置してある基板側あるいはその反対側にずらし
て配置することを特徴とする、請求項1乃至5のいずれ
か1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6. When arranging a plurality of substrates on the base, the width of the substrates in the arrangement direction varies, and the substrate is closest to one side of the substrate from one side in the arrangement direction of the substrates. When the distance to the upper energy generating element and the distance from the other side of the substrate to the energy generating element of the substrate closest to the other side of the substrate are significantly different, when joining the top plate and the base, As long as each of the energy generating elements does not protrude from each of the ink flow channel grooves of the top plate, the substrate to be arranged is shifted from the regular arrangement position to the substrate arranged earlier or to the opposite side thereof. The method for manufacturing an ink jet head according to any one of claims 1 to 5, wherein:
【請求項7】 前記基板の寸法を予め非接触法により複
数個測定して、前記各基板のエネルギー発生素子が前記
天板のインク流路用溝の内側に入るように前記各基板を
組み合わせておき、順に配列していくことを特徴とす
る、請求項6に記載のインクジェットヘッド製造方法。
7. A plurality of dimensions of the substrates are measured in advance by a non-contact method, and the respective substrates are combined so that the energy generating elements of the respective substrates enter inside the ink flow channel grooves of the top plate. 7. The method according to claim 6, wherein the ink jet heads are arranged one after another.
【請求項8】 前記基板を配置する直前に前記基板の寸
法を非接触法により測定し、その測定寸法をもとに位置
補正を行なった後、配置することを特徴とする、請求項
6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. The method according to claim 6, wherein the dimensions of the substrate are measured by a non-contact method immediately before the substrate is arranged, the position is corrected based on the measured dimension, and then the substrate is arranged. The manufacturing method of the inkjet head according to the above.
【請求項9】 前記基板を前記基台に複数個配列する
際、前記天板のインク流路用溝の加工によるズレに合わ
せて、前記基板の配列位置を補正して配置することを特
徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載のイン
クジェットヘッドの製造方法。
9. When arranging a plurality of the substrates on the base, the arrangement positions of the substrates are corrected and arranged in accordance with a shift caused by processing of an ink flow channel groove of the top plate. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein
【請求項10】 複数個のエネルギー発生素子を有する
基板を基台上に複数個配列した後、該各エネルギー発生
素子に対応する複数のインク流路用溝および該各インク
流路用溝と連通する複数の吐出口が形成された天板を前
記基台に接合するインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、 前記各基板の所定位置には認識マークが設けられてお
り、 前記各基板のうち基準となる基板を撮像し、該基準とな
る基板の認識マークの位置を測定する第1の測定工程
と、 前記基準となる基板の認識マークとは別の、少なくとも
二つの基板の認識マークにおいて、前記基準となる基板
の認識マークの位置に対する正規の位置からのずれ量を
それぞれ測定し、それらの測定結果に基づき、前記基準
となる基板のエネルギー発生素子に対し、基準となる吐
出口を配置させたい位置を算出する演算工程と、 該基準となる吐出口を撮像し、前記基準となる吐出口の
位置を測定する第2の測定工程と、 前記演算工程の算出結果と前記第2の測定工程の測定結
果に基づき、該基準となる吐出口を配置させたい位置と
前記基準となる吐出口とが、吐出口の並び方向に関して
一致するように、前記基台もしくは前記天板を移動させ
る移動工程と、を具備することを特徴とする、インクジ
ェットヘッドの製造方法。
10. After arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, communicating with the plurality of ink flow path grooves corresponding to the respective energy generating elements and the respective ink flow path grooves. In a method for manufacturing an ink jet head for joining a top plate having a plurality of discharge ports formed thereon to the base, a recognition mark is provided at a predetermined position on each of the substrates, and a reference substrate among the substrates A first measurement step of imaging the reference mark of the substrate serving as the reference, and the reference mark of at least two boards different from the reference mark of the board serving as the reference. The amount of deviation from the normal position with respect to the position of the recognition mark on the substrate is measured, and based on the measurement results, the reference discharge port is determined for the energy generation element of the reference substrate. A calculation step of calculating a position to be arranged; a second measurement step of imaging the reference discharge port and measuring a position of the reference discharge port; and a calculation result of the calculation step and the second Based on the measurement result of the measurement step, the base or the top plate is moved such that the position where the reference discharge port is to be arranged and the reference discharge port match with respect to the arrangement direction of the discharge ports. And a moving step.
【請求項11】 前記認識マークは、各基板上の中央に
位置するエネルギー発生素子に対応して付されているこ
とを特徴とする、請求項10に記載のインクジェットヘ
ッドの製造方法。
11. The method according to claim 10, wherein the recognition mark is provided corresponding to an energy generating element located at the center of each substrate.
【請求項12】 複数個のエネルギー発生素子を有する
基板を基台上に複数個配列した後、該各エネルギー発生
素子に対応する複数のインク流路用溝および該各インク
流路用溝と連通する複数の吐出口が形成された天板を前
記基台に接合するインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、 前記基板間の隙間を撮像し、該隙間の位置を測定する第
1の測定工程と、 前記隙間に対応する前記インク流路用溝間の溝壁を撮像
し、該溝壁を測定する第2の測定工程と、 前記第1及び第2の測定工程における測定結果に基づ
き、前記隙間と前記溝壁とが、吐出口の並び方向に関し
て一致するように、前記基台もしくは前記天板を移動さ
せる移動工程と、を具備することを特徴とする、インク
ジェットヘッドの製造方法。
12. After arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, communicating with the plurality of ink flow path grooves corresponding to the respective energy generating elements and the respective ink flow path grooves. A method for manufacturing an inkjet head in which a top plate having a plurality of discharge ports formed thereon is joined to the base, wherein a first measurement step of imaging a gap between the substrates and measuring a position of the gap; Imaging a groove wall between the ink flow channel grooves corresponding to and measuring the groove wall; and the gap and the groove based on the measurement results in the first and second measurement steps. A moving step of moving the base or the top plate such that a wall coincides with the arrangement direction of the ejection ports.
【請求項13】 複数個のエネルギー発生素子を有する
基板を基台上に複数個配列した後、該各エネルギー発生
素子に対応する複数のインク流路用溝および該各インク
流路用溝と連通する複数の吐出口が形成された天板を前
記基台に接合してなるインクジェットヘッドの製造方法
において、 前記各基板のうち基準となる基板間の隙間を撮像し、該
基準となる基板間の隙間の位置を測定する第1の測定工
程と、 前記基準となる基板間の隙間とは別の、少なくとも二箇
所の基板間の隙間において、前記基準となる基板間の隙
間の位置に対する正規の位置からのずれ量をそれぞれ測
定し、それらの測定結果に基づき、前記基準となる基板
間の隙間に対し、基準となるインク流路用溝間の溝壁を
配置させたい位置を算出する演算工程と、 該基準となるインク流路用溝間の溝壁を撮像し、前記基
準となるインク流路用溝間の溝壁の位置を測定する第2
の測定工程と、 前記演算工程の算出結果と、前記第2の測定工程の測定
結果に基づき、該基準となるインク流路用溝間の溝壁を
配置させたい位置と前記基準となるインク流路用溝間の
溝壁とが、吐出口の並び方向に関して一致するように、
前記基台もしくは前記天板を移動させる移動工程と、を
具備することを特徴とする、インクジェットヘッドの製
造方法。
13. After arranging a plurality of substrates having a plurality of energy generating elements on a base, communicating with the plurality of ink flow path grooves corresponding to the respective energy generating elements and the respective ink flow path grooves. In a method of manufacturing an ink jet head in which a top plate having a plurality of discharge ports formed thereon is joined to the base, a gap between reference substrates among the respective substrates is imaged, and A first measuring step of measuring the position of the gap; and a regular position with respect to the position of the gap between the reference substrates in at least two gaps between the substrates different from the gap between the reference substrates. And calculating a position where the groove wall between the reference ink flow channel grooves is to be arranged with respect to the gap between the reference substrates based on the measurement results. The standard Imaging a groove wall between the ink flow grooves and measuring a position of the groove wall between the ink flow grooves serving as the reference;
Based on the calculation result of the calculation step and the measurement result of the second measurement step, the position where the groove wall between the ink flow path grooves serving as the reference is to be arranged and the reference ink flow As the groove walls between the road grooves match with respect to the arrangement direction of the discharge ports,
And a moving step of moving the base or the top plate.
【請求項14】 請求項1乃至13のいずれか1項に記
載のインクジェットヘッドの製造方法によって製造され
たことを特徴とするインクジェットヘッド。
14. An ink-jet head manufactured by the method for manufacturing an ink-jet head according to claim 1. Description:
【請求項15】 前記エネルギー発生素子は、インク吐
出用の熱エネルギーを発生するための電気熱変換体であ
る、請求項14に記載のインクジェットヘッド。
15. The ink jet head according to claim 14, wherein said energy generating element is an electrothermal converter for generating thermal energy for discharging ink.
【請求項16】 前記電気熱変換体によって印加される
熱エネルギーにより、インクに生じる膜沸騰を利用して
吐出口よりインクを吐出させることを特徴とする、請求
項15に記載のインクジェットヘッド。
16. The ink jet head according to claim 15, wherein the ink is ejected from an ejection port by using film boiling generated in the ink by thermal energy applied by the electrothermal transducer.
【請求項17】 請求項16に記載のインクジェットヘ
ッドを備え、記録信号に基づいてインクを前記インクジ
ェットヘッドの吐出口から吐出して記録を行なうインク
ジェットヘッド記録装置。
17. An ink jet head recording apparatus, comprising: the ink jet head according to claim 16; and recording by discharging ink from a discharge port of the ink jet head based on a recording signal.
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