JP2005305242A - Drawing method using liquid drop delivery device, liquid drop delivery device, method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus and electronic instrument - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板上の画素領域に機能液滴を吐出する液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。 The present invention relates to a drawing method using a droplet discharge device that discharges functional droplets onto a pixel region on a substrate, a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.
従来、複数の画素(画素領域)を主走査方向および副走査方向にマトリクス状に配列したカラーフィルタ等の基板に対し、多数のオリフィス(ノズル)のオリフィス間距離(ノズルピッチ)が前記副走査方向における前記複数の画素の幅よりも小さくなるように構成されたインクジェットヘッド(機能液滴吐出ヘッド)を主走査方向および副走査方向に移動させながら、インクジェットヘッドから画素内に着色インク(機能液滴)を吐出させる液滴吐出装置を用いた描画方法が知られている。そして、インクジェットヘッドに対する基板の相対的な移動軌跡の蛇行、インクジェットヘッドに形成されたオリフィスの配列位置の寸法公差、および着色インクの飛行曲がり等に起因して、インクジェットヘッドから吐出される着色インクの着弾位置がずれる可能性がある場合であっても、着色インクを画素内に確実に着弾させるべく、副走査方向における各画素の中心に最も近いオリフィスからのみ着色インクを吐出し、他のオリフィスからは着色インクを吐出しないことが考えられている(特許文献1参照。)。
ところで、複数の画素を区画するブラックマトリックス(バンク部)は、撥水処理が為され、各画素は、着弾した着色インクが拡がるように親液(親水)処理が為されている。しかしながら、従来の液滴吐出装置を用いた描画方法では、各画素の中心に着色インクを吐出することとなるため、各画素が親液性であったとしても、着弾した着色インクがブラックマトリックスの近傍まで拡がらず、色ムラの原因となっていた。かかる問題は、特に粘性の高い着色インクを用いた場合に顕著であった。 By the way, the black matrix (bank portion) that partitions a plurality of pixels is subjected to water repellent treatment, and each pixel is subjected to lyophilic (hydrophilic) treatment so that the colored ink that has landed is spread. However, in a conventional drawing method using a droplet discharge device, colored ink is discharged to the center of each pixel. Therefore, even if each pixel is lyophilic, the landed colored ink is black matrix. It did not spread to the vicinity, causing color unevenness. Such a problem is particularly noticeable when a highly viscous colored ink is used.
本発明は、区画壁部に機能液滴が着弾することを防止できると共に、画素領域内のバンク部近傍まで機能液滴を確実に行き渡らせることができる液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。 The present invention provides a drawing method and a liquid using a droplet discharge device that can prevent functional droplets from landing on a partition wall and can reliably distribute functional droplets to the vicinity of a bank in a pixel region. It is an object to provide a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.
本発明の液滴吐出装置を用いた描画方法は、バンク部により区画した複数の画素領域を主走査方向および副走査方向に配列した基板に対し、多数のノズルのノズルピッチが副走査方向における複数の画素領域の画素ピッチよりも小さくなるように構成された機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、多数のノズルから複数の画素領域内に機能液滴を吐出・着弾させて描画動作を行う液滴吐出装置を用いた描画方法であって、基板と平行な面内における基板と機能液滴吐出ヘッドとのアライメントに基づいて、多数のノズルのうち、主走査方向に延在するバンク部の複数の縦バンク部位に臨むものを画素間ノズルとし、その他のノズルを画素内ノズルとして特定するノズル特定工程と、特定した画素内ノズルを駆動とし、画素間ノズルを非駆動として描画動作を行う描画工程と、を備えたことを特徴とする。 The drawing method using the droplet discharge device of the present invention has a plurality of nozzle pitches in the sub-scanning direction in a sub-scanning direction with respect to a substrate in which a plurality of pixel regions partitioned by a bank portion are arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction. The functional liquid droplet ejection head configured to be smaller than the pixel pitch of the pixel area is relatively moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction, and the functional liquid droplets from a large number of nozzles into the plurality of pixel areas. Is a drawing method using a droplet discharge device that performs a drawing operation by discharging and landing the ink, and based on the alignment between the substrate and the functional droplet discharge head in a plane parallel to the substrate, A nozzle specifying step for specifying a plurality of vertical bank portions of the bank portion extending in the main scanning direction as inter-pixel nozzles and other nozzles as intra-pixel nozzles, And driving the Le, characterized in that and a rendering step of performing rendering operation in the non-driven nozzle between pixels.
また、本発明の液滴吐出装置は、バンク部により区画した複数の画素領域を主走査方向および副走査方向に配列した基板に対し、多数のノズルのノズルピッチが副走査方向における複数の画素領域の画素ピッチよりも小さくなるように構成された機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向および副走査方向に相対的に移動させながら、多数のノズルから複数の画素領域内に機能液滴を吐出・着弾させて描画動作を行う液滴吐出装置であって、機能液滴吐出ヘッドと、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、基板に対し機能液滴吐出ヘッドを主走査方向および副走査方向へ相対的に移動させる移動手段と、移動手段を制御すると共に、多数のノズルの吐出タイミングを制御する制御手段と、基板と平行な面内における基板と機能液滴吐出ヘッドとのアライメントに基づいて、多数のノズルのうち、主走査方向に延在するバンク部の複数の縦バンク部位に臨むものを画素間ノズルとし、その他のノズルを画素内ノズルとして特定するノズル特定手段と、を備え、制御手段は、描画動作に際して、特定された画素内ノズルを駆動とし、画素間ノズルを非駆動とするように制御することを特徴とする。 Further, the droplet discharge device of the present invention has a plurality of pixel areas in the sub-scanning direction in which the nozzle pitch of a large number of nozzles is relative to a substrate in which a plurality of pixel areas partitioned by the bank portion are arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction. The functional liquid droplet ejection head, which is configured to be smaller than the pixel pitch, is relatively moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction, while functional liquid droplets are ejected from a large number of nozzles into a plurality of pixel areas. A droplet discharge device that performs a drawing operation by landing and mounting a functional droplet discharge head and a functional droplet discharge head, and relative to the substrate in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Moving means for controlling the movement, control means for controlling the moving means, and controlling the discharge timing of a large number of nozzles, and the relationship between the substrate and the functional liquid droplet discharge head in a plane parallel to the substrate. A nozzle specifying means for specifying the nozzles facing the plurality of vertical bank portions of the bank portion extending in the main scanning direction among the multiple nozzles based on the element as nozzles between pixels and the other nozzles as nozzles within the pixel, And the control means controls to drive the specified intra-pixel nozzle and non-drive the inter-pixel nozzle during the drawing operation.
この構成によれば、多数のノズルのうち、縦バンク部位に臨むものだけを画素間ノズルとして特定し、これを非駆動とし、その他のノズルを画素内ノズルとして特定し、これを駆動として、描画動作が行われる。このため、縦バンク部位に機能液滴が着弾することがなく、機能液滴を着弾させるべき画素領域に隣接する画素領域に機能液滴が流れ込むことを防止できると共に、各画素領域内の縦バンク部位近傍に機能液滴を吐出・着弾させることができ、画素領域内のバンク部近傍まで機能液滴を確実に行き渡らせることができる。
また、画素ピッチがノズルピッチの整数倍となっていないために、画素領域毎に画素内ノズルの個数が異なる場合であっても、非駆動とする画素間ノズルを的確に特定することができる。したがって、画素ピッチが異なる複数種の基板に対して、同一の機能液滴吐出ヘッドを用いて描画動作を行うことができる。
According to this configuration, among the many nozzles, only the nozzle facing the vertical bank portion is specified as the inter-pixel nozzle, this is not driven, the other nozzles are specified as the intra-pixel nozzles, and this is driven to draw Operation is performed. For this reason, the functional liquid droplets do not land on the vertical bank part, and it is possible to prevent the functional liquid droplets from flowing into the pixel area adjacent to the pixel area where the functional liquid droplets should land, and the vertical bank in each pixel area. The functional liquid droplets can be ejected and landed in the vicinity of the part, and the functional liquid droplets can be reliably distributed to the vicinity of the bank portion in the pixel region.
In addition, since the pixel pitch is not an integral multiple of the nozzle pitch, the inter-pixel nozzles that are not driven can be accurately identified even when the number of nozzles in the pixel differs for each pixel region. Therefore, a drawing operation can be performed on a plurality of types of substrates having different pixel pitches using the same functional liquid droplet ejection head.
上記の液滴吐出装置を用いた描画方法において、ノズル特定工程では、基板と平行な面内において、各縦バンク部位の幅内に位置するノズルのほか、少なくとも一部が各縦バンク部位を副走査方向の両側にノズルのノズル径の略1/10の寸法だけそれぞれ拡げた仮想画素間部位とオーバーラップするノズルを、画素間ノズルとして特定することが好ましい。 In the drawing method using the above-described droplet discharge device, in the nozzle specifying step, at least a part of each vertical bank part is subordinate to the nozzle located within the width of each vertical bank part in a plane parallel to the substrate. It is preferable to specify, as an inter-pixel nozzle, a nozzle that overlaps with an inter-virtual pixel portion expanded by approximately 1/10 of the nozzle diameter of the nozzle on both sides in the scanning direction.
また、上記の液滴吐出装置において、ノズル特定手段は、基板と平行な面内において、各縦バンク部位の幅内に位置するノズルのほか、少なくとも一部が各縦バンク部位を副走査方向の両側にノズルのノズル径の略1/10の寸法だけそれぞれ拡げた仮想画素間部位とオーバーラップするノズルを、画素間ノズルとして特定することが好ましい。 Further, in the above-described droplet discharge device, the nozzle specifying means includes at least a part of each vertical bank portion in the sub-scanning direction in addition to the nozzles positioned within the width of each vertical bank portion in a plane parallel to the substrate. It is preferable to specify, as the inter-pixel nozzle, a nozzle that overlaps the portion between the virtual pixels expanded on the both sides by approximately 1/10 of the nozzle diameter.
この構成によれば、縦バンク部位に機能液滴を誤って着弾させるおそれのあるノズルを確実に画素間ノズルとして特定することができると共に、縦バンク部位の近傍に位置していても、縦バンク部位に機能液滴を着弾させるおそれのないノズルを画素間ノズルとして特定することがない。 According to this configuration, it is possible to reliably identify a nozzle that may cause a functional droplet to land on the vertical bank portion as an inter-pixel nozzle, and even if the nozzle is located in the vicinity of the vertical bank portion, No nozzle that does not cause functional droplets to land on the part is identified as an inter-pixel nozzle.
上記の液滴吐出装置を用いた描画方法および上記の液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドは、ノズルピッチが画素領域内に着弾した機能液滴の着弾径よりも小さくなるように構成されていること好ましい。 In the drawing method using the liquid droplet ejection device and the liquid droplet ejection device, the functional liquid droplet ejection head is configured such that the nozzle pitch is smaller than the landing diameter of the functional liquid droplet landed in the pixel region. It is preferable.
この構成によれば、各画素領域に対して、機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる(主走査を行う)だけで、画素領域の全域を機能液で満たすことができ、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に相対的に移動させる必要がない。 According to this configuration, the entire functional area of the pixel area can be functioned by simply ejecting the functional liquid droplets (main scanning is performed) while moving the functional liquid droplet ejection head relative to the pixel area in the main scanning direction. The liquid can be filled with liquid, and there is no need to move the functional liquid droplet ejection head relatively in the sub-scanning direction.
上記の液滴吐出装置を用いた描画方法において、描画工程において、各画素領域に対し、各画素内ノズルから複数ショットの機能液滴の吐出が行われるようになっており、複数の画素領域への液滴着弾量が均一になるように各画素内ノズルのショット数を調整することが好ましい。 In the drawing method using the droplet discharge device, a plurality of shots of functional droplets are discharged from the nozzles in each pixel to each pixel region in the drawing step. It is preferable to adjust the number of shots of the nozzles in each pixel so that the amount of liquid droplet landing is uniform.
また、上記の液滴吐出装置において、制御手段は、描画動作に際し、各画素領域に対し、各画素内ノズルから複数ショットの機能液滴の吐出を行わせるようになっており、複数の画素領域への液滴着弾量が均一になるように各画素内ノズルのショット数を調整することが好ましい。 Further, in the above-described liquid droplet ejection apparatus, the control unit is configured to cause each pixel area to eject a plurality of shots of functional liquid droplets from the nozzles in each pixel during the drawing operation. It is preferable to adjust the number of shots of the nozzles in each pixel so that the amount of droplet landing on the nozzle is uniform.
この構成によれば、画素ピッチがノズルピッチの整数倍となっていないために、複数の画素領域間で画素内ノズルの個数が異なる場合であっても、各画素内ノズルのショット数を調整することで、複数の画素領域への液滴着弾量を均一化することができる。したがって、複数の画素領域間で濃度ムラが生ずることを防止することができる。 According to this configuration, since the pixel pitch is not an integral multiple of the nozzle pitch, the number of shots of each intra-pixel nozzle is adjusted even when the number of intra-pixel nozzles is different among a plurality of pixel areas. As a result, the amount of droplet landing on a plurality of pixel regions can be made uniform. Therefore, it is possible to prevent density unevenness from occurring between a plurality of pixel regions.
上記の液滴吐出装置を用いた描画方法において、描画工程における描画動作は、各画素領域の縦バンク部位側の外端部に位置する画素内ノズルが存在しないときに、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に微小移動した後、外端部に対し、画素内ノズルにより機能液滴を吐出することで行われることが好ましい。 In the drawing method using the above-described droplet discharge device, the drawing operation in the drawing step is performed when the functional droplet discharge head is operated when there is no nozzle in the pixel located at the outer end portion on the vertical bank portion side of each pixel region. It is preferable to perform this by discharging a functional liquid droplet by an in-pixel nozzle to the outer end after fine movement in the sub-scanning direction.
また、上記の液滴吐出装置において、制御手段は、描画動作に際し、各画素領域の縦バンク部位側の外端部に位置する画素内ノズルが存在しないときに、機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に微小移動させた後、外端部に対し、画素内ノズルにより機能液滴を吐出させることが好ましい。 Further, in the above-described liquid droplet ejection apparatus, the control unit performs sub-scanning of the functional liquid droplet ejection head when there is no nozzle in the pixel located at the outer end portion on the vertical bank portion side of each pixel area during the drawing operation. It is preferable to eject the functional liquid droplets by the nozzles in the pixels to the outer end after the fine movement in the direction.
この構成によれば、外端部に位置していたノズルが画素間ノズルとして特定されるために、外端部に位置する画素内ノズルが存在しないときであっても、縦バンク部位近傍の外端部に対して、機能液滴を確実に着弾させることができる。 According to this configuration, since the nozzle located at the outer end portion is specified as the inter-pixel nozzle, even when there is no intra-pixel nozzle located at the outer end portion, the outer portion in the vicinity of the vertical bank portion is not detected. It is possible to reliably land the functional droplet on the end portion.
この場合、多数のノズルは、1の描画ラインを構成すると共に、副走査方向と平行なn個のノズル列で構成されていることが好ましい。 In this case, it is preferable that the large number of nozzles constitute one drawing line and n nozzle rows parallel to the sub-scanning direction.
この構成によれば、n個のノズル列が副走査方向に対して傾いていないことで、同一ノズル列内の複数のノズル間で吐出タイミングを変える必要がない。したがって、機能液滴吐出ヘッドに対して複雑な吐出駆動制御を行う必要がない。 According to this configuration, since the n nozzle rows are not inclined with respect to the sub-scanning direction, there is no need to change the discharge timing among a plurality of nozzles in the same nozzle row. Therefore, it is not necessary to perform complicated ejection drive control on the functional droplet ejection head.
この場合、各ノズル列における複数のノズルのノズル列内ピッチは、ノズルピッチのn倍のピッチであり、n個のノズル列は、多数のノズルが副走査方向にノズルピッチで配置されるように副走査方向に相互に位置ずれして、主走査方向に配設されていることが好ましい。 In this case, the pitch in the nozzle row of the plurality of nozzles in each nozzle row is n times the nozzle pitch, and the n nozzle rows are arranged such that a large number of nozzles are arranged at the nozzle pitch in the sub-scanning direction. It is preferable that they are displaced in the sub-scanning direction and arranged in the main scanning direction.
この構成によれば、複数のノズルが比較的大きいノズル列内ピッチでノズル列を構成している機能液滴吐出ヘッドを用いた場合であっても、副走査方向における多数のノズルのノズルピッチを所望のピッチに構成することができ、ノズルピッチをノズル径より小さくすることも可能である。
なお、この場合、機能液滴吐出ヘッドは、n個のノズル列のうち1または複数個のノズル列を有する複数の単位ヘッドにより構成されていることが好ましい。これによれば、機能液滴吐出ヘッドが複数の単位ヘッドによって構成されていることで、同型の単位ヘッドを大量生産することができるため、機能液滴吐出ヘッドを安価に製造することができる。
According to this configuration, even when a functional liquid droplet ejection head is used in which a plurality of nozzles form a nozzle row with a relatively large pitch within the nozzle row, the nozzle pitch of a large number of nozzles in the sub-scanning direction can be reduced. It can be configured to a desired pitch, and the nozzle pitch can be made smaller than the nozzle diameter.
In this case, the functional liquid droplet ejection head is preferably composed of a plurality of unit heads having one or a plurality of nozzle rows out of the n nozzle rows. According to this, since the functional liquid droplet ejection head is composed of a plurality of unit heads, the same type of unit head can be mass-produced, and thus the functional liquid droplet ejection head can be manufactured at low cost.
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。 A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming portion made of functional droplets is formed on a substrate using the above-described droplet discharge device.
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。 In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that the above-described droplet discharge device is used to form a film forming portion using functional droplets on a substrate.
これらの構成によれば、複数の画素領域間において色ムラや混色が生ずることのない液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、PDP装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)やSED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。 According to these configurations, a highly reliable electro-optical device can be manufactured because it is manufactured using a droplet discharge device that does not cause color unevenness or color mixing between a plurality of pixel regions. As the electro-optical device (flat panel display), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device. Further, as the electro-optical device, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable.
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。 An electronic apparatus according to the present invention includes the above-described electro-optical device.
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。 In this case, examples of the electronic device include a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display, and various electric products.
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の実施形態について説明する。この液滴吐出装置は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上に機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、液滴吐出装置による機能液滴の吐出対象(描画対象)となる基板について簡単に説明する。 Hereinafter, embodiments of a droplet discharge device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. This liquid droplet ejection device introduces a functional liquid such as special ink or light-emitting resin liquid into a functional liquid droplet ejection head, and forms a film forming portion with functional liquid droplets on a substrate such as a color filter. is there. Therefore, first, a substrate that is a functional liquid droplet ejection target (drawing target) by the liquid droplet ejection apparatus will be briefly described.
図1に示すように、カラーフィルタ500の基板W上には、複数のパネル形成領域Waがマトリクス状に配列されている。このパネル形成領域Waは、後述する液滴吐出装置1(図3参照)による描画処理等の製造工程を経た後、個々に切り出されることにより、カラーフィルタ等の電気光学装置となるものである。さらに、基板Wの左右短辺部位には、それぞれ基板アライメントマークWm,Wmが形成されており、この基板アライメントマークWm,Wmにより、液滴吐出装置1に導入された基板Wが位置認識される。
As shown in FIG. 1, on the substrate W of the
図2(a)に示すように、各パネル形成領域Waには、縦方向(同図の上下方向)に延在する縦バンク部位507bvおよび横方向(同図の左右方向)に延在する横バンク部位507bhから成る区画壁部507b(バンク部)により区画した複数の画素領域507aがマトリクス状に配列されている。各画素領域507aは、区画壁部507bで囲まれた凹部となっており、後述する機能液滴吐出ヘッド16によりR(赤)・G(緑)・B(青)3色の成膜部(着色層508R、508G、508B)を形成する際に、機能液滴の着弾領域となる(図18参照)。なお、複数の画素領域507aの配列パターンは、マトリクスの縦列においてすべて同色となるストライプ配列となっているが、マトリクスの縦列・横列に並んだ任意の3つの画素が、R・G・Bの3色となるモザイク配列であってもよい。また、複数の画素領域507aが千鳥を為すデルタ配列であってもよい。
As shown in FIG. 2A, each panel forming area Wa has a vertical bank portion 507bv extending in the vertical direction (vertical direction in the figure) and a horizontal bank extending in the horizontal direction (horizontal direction in the figure). A plurality of
また、詳細は後述するが、基板Wが液滴吐出装置1に導入されると、上記の基板アライメントマークWm,Wmにより、複数の画素領域507aのマトリクスの縦方向および横方向(各画素領域507aの幅方向および長手方向)が液滴吐出装置1の主走査方向および副走査方向とそれぞれ平行になるように、位置補正される。
Although details will be described later, when the substrate W is introduced into the droplet discharge device 1, the vertical and horizontal directions of the matrix of the plurality of
図2(b)に示すように、複数の画素領域507aは、例えば40インチの高精細テレビに使用されるカラーフィルタでは精細度80ppiに構成されており、マトリクスの横方向(副走査方向)における画素ピッチPDhが略320μm、マトリクスの縦方向(主走査方向)における画素ピッチPDvが略180μmで配列されている。また、この場合、各画素領域507aは、その長手方向(副走査方向)の画素寸法LLが略300μmであり、その幅方向(主走査方向)の画素寸法LWが略100μmである。すなわち、縦バンク部位507bvの幅Wvは略20μmであり、横バンク部位507bhの幅Whは略80μmである。また、各画素領域507aに対する液滴着弾量は例えば750ピコリットル程度であり、機能液滴吐出ヘッド16の各ノズル75(図4参照)から略10ピコリットルの機能液滴が複数ショット打ち込まれることとなる(詳細は後述する)。
As shown in FIG. 2B, the plurality of
なお、図2(b)の符号507vは、縦バンク部位507bvをマトリクスの横方向(副走査方向)の両側に機能液滴吐出ヘッド16のノズル径Rn(後述する)の略1/10の寸法(略2.5μm)だけそれぞれ拡げた仮想画素間部位である。また、符号507amは、画素領域507aの縦バンク部位507bv側の外端部である。そして、副走査方向における外端部507amの寸法Lmは、画素領域507aの長手方向の画素寸法LLの例えば略1/10(略30μm)である。詳細は後述するが、これらの仮想画素間部位507vおよび外端部507amは、液滴吐出装置1の制御装置7(図7参照)により認識される部位となる。
In FIG. 2B,
また、後述するように、区画壁部507b(バンク503、図18参照)は疎液(疎水)性の樹脂材料で構成されているため、区画壁部507bに機能液滴が着弾しても、その機能液滴は隣接する画素領域507a内へ流れ込むようになっている。一方、ガラス板(石英ガラス)で構成された基板Wの表面は、表面処理により親液(親水)性となっており、着弾した機能液滴は、基板Wに対して5°〜15°の接触角を為す球冠状(ドーム状)となり、その着弾径RD(図12参照)は略30μmである。
なお、カラーフィルタ等の電気光学装置の構造およびその製造方法については、後程詳細に説明する。
Further, as will be described later, the
The structure of an electro-optical device such as a color filter and the manufacturing method thereof will be described in detail later.
続いて、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。図3に示すように、液滴吐出装置1は、機台2と、機台2上の全域に広く載置された描画装置3と、機台2上の端部に設置されたヘッド機能回復装置4と、ヘッド機能回復装置4の各種ユニットを一括載置して機台2上を移動させるメンテナンス系移動テーブル5と、を備え、ヘッド機能回復装置4により機能液滴吐出ヘッド16の機能回復処理を行うと共に、描画装置3により基板W上に機能液滴を吐出する描画動作を行うようにしている。さらに、同図では図示省略したが、この液滴吐出装置1には、各機能液滴吐出ヘッド16に機能液を供給する給液タンク等を備える機能液供給機構6(図7参照)や、上記の描画装置3やヘッド機能回復装置4等の各構成装置を統括制御する制御装置7(図7参照)等が組み込まれている。
Next, the droplet discharge device according to the present invention will be described. As shown in FIG. 3, the droplet discharge device 1 includes a
まず、液滴吐出装置1の描画装置3およびこれによる描画動作について説明する。描画装置3は、X軸テーブル12およびX軸テーブル12に直交するY軸テーブル13から成るXY移動機構11と、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けたメインキャリッジ14と、メインキャリッジ14に垂設したヘッドユニット15とを有している。そして、ヘッドユニット15には、サブキャリッジ51(図4参照)を介して、複数(24個)の機能液滴吐出ヘッド16(図3では、単一の長方形で示す)が搭載されている。そして、基板Wは、X軸テーブル12の端部に臨む一対の基板認識カメラ17,17により、X軸テーブル12に位置決めされた状態で搭載されている。
First, the
X軸テーブル12は、基板Wを吸着搭載する吸着テーブル23および基板θ軸テーブル24等から成るセットテーブル22と、セットテーブル22をX軸方向(主走査方向)にスライド自在に支持するX軸スライダ21と、主走査方向に延在し、セットテーブル22を介して基板Wを主走査方向に移動させる一対のX軸リニアモータ(図示省略)と、一対のX軸リニアモータの間に並設され、X軸スライダ21の移動を案内する一対のX軸ガイドレール(図示省略)と、を備えている。一対のX軸リニアモータを駆動すると、一対のX軸ガイドレールをガイドにしながら、X軸スライダ21が主走査方向に移動し、セットテーブル22にセットされた基板Wが主走査方向に移動する。一対のX軸ガイドレールの間には、X軸リニアスケール(図示省略)が併設されており、詳細は後述するが、タイミング信号供給手段123(図8参照)は、これに基づいて、X軸テーブル12を移動するセットテーブル22の刻々の位置を正確に把握し、駆動波形生成手段124(図8参照)に供給する吐出タイミング用基準パルスを得ている。
なお、図3では図示しないが、基板θ軸テーブル24には、ヘッド認識カメラ25(図7参照)が固定されており、セットテーブル22に対して、ヘッドユニット15の位置を補正可能となっている。
The X-axis table 12 includes a set table 22 including a suction table 23 on which a substrate W is sucked and mounted, a substrate θ-axis table 24, and the like, and an X-axis slider that slidably supports the set table 22 in the X-axis direction (main scanning direction). 21, a pair of X-axis linear motors (not shown) that extend in the main scanning direction and move the substrate W in the main scanning direction via the set table 22, and a pair of X-axis linear motors. And a pair of X-axis guide rails (not shown) for guiding the movement of the
Although not shown in FIG. 3, a head recognition camera 25 (see FIG. 7) is fixed to the substrate θ-axis table 24, and the position of the
同様に、Y軸テーブル13は、メインキャリッジ14を吊設するブリッジプレート(図示省略)と、ブリッジプレートを支持するY軸スライダ31と、Y軸方向(副走査方向)に延在し、Y軸スライダ31を介してブリッジプレートを副走査方向に移動させる一対のY軸リニアモータ(図示省略)と、一対のY軸リニアモータに並設され、ブリッジプレートの移動を案内する一対のY軸ガイドレール(図示省略)と、ブリッジプレートの移動位置を検出するためのY軸リニアスケール(図示省略)と、を備えている。Y軸リニアモータを駆動すると、Y軸スライダ31がY軸ガイドレールを案内にして副走査方向を平行移動し、ブリッジプレートを副走査方向に移動させる。
Similarly, the Y-axis table 13 extends in the Y-axis direction (sub-scanning direction), a bridge plate (not shown) that suspends the
X軸テーブル12は、機台2上に直接支持される一方、Y軸テーブル13は、機台2上に立設した左右の支柱33,33に支持されている。X軸テーブル12とメンテナンス系移動テーブル5とは、主走査方向に相互に平行に配設されており、Y軸テーブル13は、X軸テーブル12とメンテナンス系移動テーブル5とを跨ぐように延在している。
The X-axis table 12 is directly supported on the
そして、Y軸テーブル13は、これに搭載したヘッドユニット15を、X軸テーブル12の直上部に位置する描画エリア41と、メンテナンス系移動テーブル5の直上部に位置する機能回復エリア42との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Y軸テーブル13は、X軸テーブル12に導入した基板Wに描画を行う場合には、ヘッドユニット15を描画エリア41に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド16の機能回復処理を行う場合には、ヘッドユニット15を機能回復エリア42に臨ませる。
The Y-axis table 13 includes the
一方、X軸テーブル12の一方の端部は、基板WをX軸テーブル12にセットするための基板導入エリア43となっており、この基板導入エリア43には、上記一対の基板認識カメラ17,17が配設されている。そして、この一対の基板認識カメラ17,17により、吸着テーブル23上に供給された基板Wの2箇所の基板アライメントマークWm,Wmが同時に認識され、この認識結果に基づいて、基板Wのアライメントが為される。
なお、上述したように、基板Wがθ補正されると、複数の画素領域507aのマトリクスの縦列および横列は、主走査方向および副走査方向とそれぞれ平行になる。したがって、基板Wは、機能液滴吐出ヘッド16に対し、複数の画素領域507aが主走査方向および副走査方向にマトリクス状に配列された状態で、セットテーブル22にセットされることとなる。
On the other hand, one end of the X-axis table 12 serves as a
As described above, when the substrate W is θ-corrected, the vertical and horizontal rows of the matrix of the plurality of
図4に示すように、ヘッドユニット15は、サブキャリッジ51と、サブキャリッジ51に搭載した24個の機能液滴吐出ヘッド16と、各機能液滴吐出ヘッド16をサブキャリッジ51に個々に取り付けるための24個のヘッド保持部材(図示省略)とを備えている。各機能液滴吐出ヘッド16は、複数(180個)のノズル75から構成される2列のノズル列74を有しており、液滴吐出装置1に搭載されたヘッドユニット15では、各ノズル列74が副走査方向と平行になっている。これによれば、2列のノズル列74が副走査方向に対して傾いていないことで、同一ノズル列74内の複数のノズル75間で吐出タイミングを変える必要がない。
As shown in FIG. 4, the
24個の機能液滴吐出ヘッド16は、12個ずつ左右に二分され配設されている。さらに、各12個の機能液滴吐出ヘッド16は、4個ずつ3組に分けられ、3組の機能液滴吐出ヘッド16が主走査方向に相互に位置ずれするように、階段状に配設されている。すなわち、24個の機能液滴吐出ヘッド16の多数のノズルにより、1の描画ラインLPが構成され、各組4個の機能液滴吐出ヘッド16により、部分描画ラインLPpが構成されるようになっている。なお、図4では表されていないが、各組4個の機能液滴吐出ヘッド16は、副走査方向に互いにわずかに位置ずれしている(詳細は後述する)。もっとも、機能液滴吐出ヘッド16の個数および配列は任意であり、例えば、複数の機能液滴吐出ヘッド16を副走査方向に1列に並べてもよく、また、単一の機能液滴吐出ヘッド16によりヘッドユニット15を構成してもよい。
Twenty-four functional liquid droplet ejection heads 16 are divided into left and right halves. Furthermore, each of the twelve functional liquid droplet ejection heads 16 is divided into three groups of four, and the three functional liquid droplet ejection heads 16 are arranged in a stepped manner so that they are displaced from each other in the main scanning direction. Has been. That is, one drawing line LP is constituted by a large number of nozzles of the 24 functional liquid droplet ejection heads 16, and a partial drawing line LPp is constituted by each group of four functional liquid droplet ejection heads 16. ing. Although not shown in FIG. 4, the four functional liquid droplet ejection heads 16 in each set are slightly displaced from each other in the sub-scanning direction (details will be described later). However, the number and arrangement of the functional liquid droplet ejection heads 16 are arbitrary. For example, a plurality of functional liquid droplet ejection heads 16 may be arranged in a line in the sub-scanning direction. The
サブキャリッジ51は、略方形のヘッドプレート52と、ヘッドプレート52の短辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン53,53とを有している。ヘッドプレート52は、ステンレス等の厚板で構成され、24個の機能液滴吐出ヘッド16を取り付けるための装着開口(図示省略)が形成されている。一対の基準ピン53,53は、ヘッド認識カメラ25の画像認識により、ヘッドユニット15をX軸、Y軸およびθ軸方向に位置決めするための基準となるものである。
The sub-carriage 51 includes a substantially
さらに、サブキャリッジ51には、図示しないが、24個の機能液滴吐出ヘッド16にそれぞれ接続される24個のヘッド側配管部材と、機能液供給機構の給液タンクに連なる24個の装置側配管部材とをそれぞれ着脱自在に接続する配管ジョイントが設けられている。また、24個の機能液滴吐出ヘッド16の上方に位置して、これら機能液滴吐出ヘッド16に接続される配線接続アッセンブリが設けられている。そして、配線接続アッセンブリは、フレキシブルフラットケーブを介して後述するヘッドドライバ111(図7参照)に接続されるようになっている。 Further, although not shown, the sub-carriage 51 includes 24 head-side piping members respectively connected to the 24 functional liquid droplet ejection heads 16 and 24 apparatus sides connected to the liquid supply tank of the functional liquid supply mechanism. Piping joints are provided for detachably connecting the piping members. Further, a wiring connection assembly connected to the functional droplet discharge heads 16 is provided above the 24 functional droplet discharge heads 16. The wiring connection assembly is connected to a head driver 111 (see FIG. 7) described later via a flexible flat cable.
図5に示すように、機能液滴吐出ヘッド16は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針62,62を有する機能液導入部61と、機能液導入部61に連なる2連のヘッド基板63と、機能液導入部61の下方(同図では上方)に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体64と、を備えている。図示しないが、各接続針62は、配管アダプタを介してヘッド側配管部材に接続されており、機能液導入部61は、各接続針62から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体64は、圧電振動子等で構成される2連のポンプ部71と、2本のノズル列74,74を相互に平行に形成したノズル面73を有するノズルプレート72と、を有している。各ノズル列74は、180個のノズル75が等ピッチで並べられて構成されている。
As shown in FIG. 5, the functional liquid
図6に示すように、各ノズル75のノズル径Rnは、例えば、25μmである。また、各ノズル列74の長さLnは、例えば1インチ(略25.4mm)であって、各ノズル列74は、180個のノズル75が等ピッチで並べられて構成されている。すなわち、この場合、180個のノズル75のノズル列内ピッチPNiは略140μmである。そして、2列のノズル列74は、ノズル列内ピッチPNiの1/2倍の長さ(略70μm)ずつノズル列方向(副走査方向)に相互に位置ずれするように、形成されている。さらに、上述した各組4個の機能液滴吐出ヘッド16は、ノズル列内ピッチPNi1/8倍の長さ(略17.5μm)ずつノズル列方向(副走査方向)に相互に位置ずれするように、ヘッドプレート52に配設されている。
As shown in FIG. 6, the nozzle diameter Rn of each
そのため、各組4個の機能液滴吐出ヘッド16は、副走査方向における多数のノズル75のノズルピッチPNが、ノズル列内ピッチPNiの1/8倍のピッチ(略17.5μm)となるように構成されている。すなわち、各組4個の機能液滴吐出ヘッド16において、各ノズル列74における複数のノズル75のノズル列内ピッチPNiは、ノズルピッチPNの8倍のピッチであり、8個のノズル列74は、多数(180×8個)のノズル75が副走査方向にノズルピッチPNで配置されるように副走査方向に相互に位置ずれして、主走査方向に配設されている。そして、多数のノズル75のノズルピッチPN(略17.5μm)は、副走査方向における画素ピッチPDh(320μm)よりも小さくなっている。このため、各画素領域507aに複数のノズル75が位置することとなる。さらに、180個のノズル75が比較的大きいノズル列内ピッチPNi(略140μm)でノズル列74を構成している機能液滴吐出ヘッド16を用いた場合であっても、ノズルピッチPNを所望のピッチ(略17.5μm)に構成することができる。
Therefore, each set of four functional liquid droplet ejection heads 16 has a nozzle pitch PN of a large number of
なお、本実施形態では、各組4個の機能液滴吐出ヘッド16において、副走査方向における並び順を主走査方向における並び順と異なるものとしているが、副走査方向における並び順を主走査方向における並び順と同一にして、多数のノズル75のノズルピッチPNがノズル列内ピッチPNiの1/8倍のピッチとなるように構成してもよい。
また、各機能液滴吐出ヘッド16は、ヘッド内流路の構造上両端部に位置するノズル75からの吐出量が、中央部に位置するノズル75からの吐出量に比べて多くなることから、例えば、11番目から170番目までの160個のノズル75のみから機能液滴を吐出し、1番目から10番目および171番目から180番目までの20個のノズルからは機能液滴を吐出しないようにすることが好ましい。
In this embodiment, in each group of four functional liquid droplet ejection heads 16, the arrangement order in the sub-scanning direction is different from the arrangement order in the main scanning direction, but the arrangement order in the sub-scanning direction is different from the main scanning direction. The nozzle pitch PN of a large number of
In addition, each functional liquid
一方、図5に示すように、ヘッド基板63には、2連のコネクタ76,76が設けられており、各コネクタ76は上記の配線接続アッセンブリを介してヘッドドライバ111に接続されている。そして、上記のタイミング信号供給手段123から出力された吐出タイミング用基準パルスに応じて、制御装置7からヘッドドライバ111を介して各ポンプ部71に駆動波形が印加される(詳細は後述する)。なお、各ノズル75の吐出周波数は、例えば略10kHzである。
On the other hand, as shown in FIG. 5, the
そして、各画素領域507a内に着弾した機能液滴の着弾径RDは、略30μmとなる(図12参照)。したがって、機能液滴吐出ヘッド16は、副走査方向における多数のノズル75のノズルピッチPN(略17.5μm)が、上述したように画素ピッチPDhよりも小さくなっていると共に、機能液滴の着弾径RD(略30μm)よりも小さくなるように構成されている。これによれば、各画素領域507aに対して、機能液滴吐出ヘッド16を主走査方向に相対的に移動させながら機能液滴を吐出させる(主走査を行う)だけで、画素領域507aの全域に機能液を拡げることができる(図12参照)。したがって、機能液滴吐出ヘッド16を副走査方向に相対的に移動させる必要がないため、効率良く描画動作を行うことができる(詳細は後述する)。
Then, the landing diameter RD of the functional liquid droplet landed in each
ここで、図1を参照して、基板Wに対する描画装置3の一連の吐出動作(描画動作)について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、基板Wと平行な面内における基板Wと機能液滴吐出ヘッド16とのアライメントが行われる。
すなわち、作業に供する基板W用のヘッドユニット15が液滴吐出装置1に運び込まれ、これがメインキャリッジ14にセットされると、Y軸テーブル13がヘッドユニット15を、ヘッド認識カメラ25の位置(描画エリア41)に移動させ、ヘッド認識カメラ25で基準ピン53を検出することにより、ヘッドユニット15が位置認識される。そして、この認識結果に基づいて、メインキャリッジ14のヘッドθ軸テーブル32によりヘッドユニット15がθ補正され、且つヘッドユニット15の主走査方向および副走査方向の位置補正がデータ上で行われる。位置補正後、ヘッドユニット15はホーム位置に戻る。一方、X軸テーブル12のセットテーブル22上に、基板導入エリア43において基板Wが導入されると、この位置で一対の基板認識カメラ17,17により、2箇所の基板アライメントマークWm,Wmを検出することで、基板Wを位置認識する。そして、この認識結果に基づいて、基板θ軸テーブル24により基板Wがθ補正され、且つ、基板Wの主走査方向および副走査方向の位置補正がデータ上で行われる。位置補正後、基板Wはホーム位置に戻る。このようにして、基板Wと機能液滴吐出ヘッド16とのアライメントが完了する。
Here, with reference to FIG. 1, a series of ejection operations (drawing operations) of the
That is, when the
そして、詳細は後述するが、描画装置3は、X軸方向への基板Wの移動を主走査とし、Y軸方向へのヘッドユニット15の移動を副走査として、制御装置7による制御を受けながら、区画壁部507bの縦バンク部位507bvに臨む画素間ノズル75bを非駆動とし、その他の画素内ノズル75iを駆動として、基板Wに描画を行っている。すなわち、ヘッドユニット15を描画エリア41に臨ませておいて、X軸テーブル12による基板Wの往復移動に同期して、複数の画素領域507a内のそれぞれに画素内ノズル75iから複数ショットの機能液滴を吐出・着弾させ、主走査が行われる。また、Y軸テーブル13により適宜、ヘッドユニット15を往復移動させ、副走査が行われる。この一連の動作により、基板Wに所望の機能液滴の選択的吐出、すなわち描画動作が行われる。そして、R・G・Bの3色の機能液でカラー描画された基板Wの全パネル形成領域Waを個々に切り出すことにより、複数のパネルを得ることができる。
なお、本実施形態では、ヘッドユニット15に対して、基板Wを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット15を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニット15を固定とし、基板Wを主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。また、本実施形態では、往動時および復動時のいずれにも機能液滴の吐出(往復描画動作)が行われるが、復動時には機能液滴の吐出が行われない構成としてもよい。
As will be described in detail later, the
In the present embodiment, the substrate W is moved in the main scanning direction with respect to the
続いて、図3を参照して、液滴吐出装置1におけるヘッド機能回復装置4およびこれによる機能液滴吐出ヘッド16の機能回復処理について簡単に説明する。機能液滴吐出ヘッド16の機能回復処理は、メンテナンス系移動テーブル5によりこれに載置したヘッド機能回復装置4の各種ユニットを機能回復エリア42に移動させると共に、上述したようにY軸テーブル13によりヘッドユニット15を機能回復エリア42に移動させることで行われる。
Next, with reference to FIG. 3, the head
メンテナンス系移動テーブル5は、機台2本体の長手方向(主走査方向)に延在しており、機能回復処理を行うヘッド機能回復装置4の各種ユニットを分散して載置する共通ベース91と、共通ベース91を主走査方向にスライド自在に支持する一対のガイドレール92と、モータ駆動のX軸移動機構(図示省略)とを備えており、共通ベース91上に分散して載置されたヘッド機能回復装置4の各種ユニットを主走査方向に移動して機能回復エリア42に位置させる。
The maintenance system moving table 5 extends in the longitudinal direction (main scanning direction) of the
ヘッド機能回復装置4は、上記のメンテナンス系移動テーブル5上に互いに隣接して載置され、液滴吐出装置1の稼動停止時に機能液滴吐出ヘッド16のノズル75の乾燥を防止すべくこれを封止する保管ユニット81と、機能液滴吐出ヘッド16内で増粘した機能液を除去するための吸引(クリーニング)を行う吸引ユニット82と、機能液滴吐出ヘッド16のノズル面73を払拭するワイピングユニット83とを備えている。
なお、吸引ユニット82による吸引は、上記の機能回復処理のほか、機能液滴吐出ヘッド16を交換等して、給液タンクから機能液滴吐出ヘッド16に至る機能液流路に機能液を導入する場合にも行われる。
The head
The suction by the
次に、図7を参照して、制御装置7により構成される液滴吐出装置1全体の制御系について説明する。まず、制御装置7は、パソコン等で構成されており、制御装置本体には、キーボード101aやマウス等の入力装置、FDドライブやCD−ROMドライブ等の各種ドライブ、モニター等の周辺機器が接続されている。 Next, with reference to FIG. 7, a control system of the entire droplet discharge device 1 constituted by the control device 7 will be described. First, the control device 7 is composed of a personal computer or the like, and the control device main body is connected with input devices such as a keyboard 101a and a mouse, various drives such as an FD drive and a CD-ROM drive, and peripheral devices such as a monitor. ing.
液滴吐出装置1の制御系は、基本的に、キーボード101aやモニターを有してオペレータとのインタフェースを行う操作部101と、ヘッド認識カメラ25や基板認識カメラ17および各種カメラを有し、画像認識を行う画像認識部102と、機能液滴吐出ヘッド16等を駆動する各種ドライバを有する駆動部103と、これら各部を含め液滴吐出装置1を統括制御する制御部104と、を備えている。
The control system of the droplet discharge device 1 basically includes an
駆動部103は、機能液滴吐出ヘッド16を吐出駆動制御するヘッドドライバ111と、X軸テーブル12およびY軸テーブル13の各モータをそれぞれ駆動制御する描画系移動用ドライバ112と、メンテナンス系移動テーブル5を駆動制御するメンテナンス系移動用ドライバ113と、ヘッド機能回復装置4の吸引ユニット82およびワイピングユニット83を駆動制御するメンテナンス用ドライバ114とを備えている。
The
制御部104は、CPU120、ROM130と、RAM140と、P−CON150とを備え、これらは互いにバス160を介して接続されている。ROM130は、CPU120で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域や、描画動作を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。RAM140は、各種レジスタ群や、オペレータが操作部101により入力した各種データ等を記憶する記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。P−CON150には、操作部101、画像認識部102の各種カメラおよび駆動部103の各種ドライバのほか、上記の機能液供給機構6等が接続されており、CPU120の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。
The
そして、CPU120は、ROM130内の制御プログラムに従って、P−CON150を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、RAM140内の各種データ等を処理した後、P−CON150を介して駆動部103に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置1全体を制御している。
Then, the
ここで、制御装置7による描画装置3の描画動作に対する制御について詳細に説明する。制御装置7は、描画装置3による描画動作に際し、区画壁部507bの縦バンク部位507bvに臨む画素間ノズル75bを非駆動とし、その他の画素内ノズル75iを駆動として、基板Wに対して画素内ノズル75iのみから機能液滴を吐出している。
Here, the control with respect to the drawing operation | movement of the
図8に示すように、制御装置7において、ROM130は、ヘッドユニット15を搭載したY軸テーブル13のホーム位置に関するヘッド位置データを記憶するヘッド位置データ記憶部131と、基板Wを載置したX軸テーブル12のホーム位置に関する基板位置データを記憶する基板位置データ記憶部132とを有している。また、RAM140は、ヘッド認識カメラ25の位置認識により補正されたヘッド位置データを記憶するヘッド位置補正データ記憶部141と、基板認識カメラ17の位置認識により補正された基板位置データを記憶する基板位置補正データ記憶部142とを有している。さらに、RAM140は、上記の操作部101を介して入力された多数のノズル75の個数およびノズルピッチPN等に関するノズル情報を記憶するノズル情報記憶部143と、複数の画素領域507aの個数、各画素領域の画素寸法LL,LWおよび画素ピッチPDhや、仮想画素間部位507vおよび外端部507am等に関する画素情報を記憶する画素情報記憶部144とを有している。
As shown in FIG. 8, in the control device 7, the
一方、CPU120は、ノズル特定手段121と、ノズル位置判定手段122と、タイミング信号供給手段123と、駆動波形生成手段124と、移動制御手段125と、これら各手段を関連付けて制御する統括制御手段126と、を備えている。
On the other hand, the
図9に示すように、ノズル特定手段121は、ヘッド位置補正データ記憶部141に記憶されたデータ補正されたヘッド位置データと、基板位置補正データ記憶部142に記憶されたデータ補正された基板位置データとに基づいて、すなわち、基板Wと水平な面内における基板Wと機能液滴吐出ヘッド16とのアライメントに基づいて、多数のノズル75のうち、上記の縦バンク部位507bvに臨むものを画素間ノズル75b(同図では白抜きして示す)とし、その他のノズル75を画素内ノズル75i(同図では塗りつぶして示す)として特定する。
As illustrated in FIG. 9, the
すなわち、上述したように、各画素領域507aは、ノズルピッチPNが略17.5μm、副走査方向における画素ピッチPDhが略320μmであることから、ノズルピッチPNが画素ピッチPDhの整数倍となっていない(略18.3倍)ため、ノズル特定手段121により、各縦バンク部位507bvに臨む2個または3個のノズル75が画素間ノズル75bとして特定され、各画素領域507aに臨む15個または16個のノズル75が画素内ノズル75iとして特定される。
That is, as described above, in each
同図では、図示左側の縦バンク部位507bvにおいては、2個のノズル75が画素間ノズル75bとして特定され、図示中央および右側の縦バンク部位507bvにおいては、3個のノズル75が画素間ノズル75bとして特定されている。また、図示左側の画素領域507aにおいては、15個のノズル75が画素内ノズル75iとして特定され、図示右側の画素領域507aにおいては、16個のノズル75が画素内ノズル75iとして特定されている。このように、画素ピッチPDhがノズルピッチPNの整数倍となっていないために、画素領域507a毎に画素内ノズル75iの個数が異なる場合であっても、非駆動とする画素間ノズル75bを的確に特定することができる。したがって、画素ピッチPDhが異なる複数種の基板Wに対して、同一の機能液滴吐出ヘッド16を用いて描画動作を行うことができる。そして、ノズル特定手段121は、特定した画素間ノズル75bおよび画素内ノズル75iに関するノズル特定情報を統括制御手段126に入力する。
In the drawing, two
詳細には、ノズル特定手段121は、各縦バンク部位507bvの幅Wv内に位置するノズル75を画素間ノズル75bとして特定し、さらに、少なくとも一部が各仮想画素間部位507vとオーバーラップするノズル75を画素間ノズル75bとして特定する。もっとも、本実施形態では、ノズル径Rnが縦バンク部位507bvの幅Wvよりも大きいため、ノズル75が各縦バンク部位507bvの幅内に位置することはない。
Specifically, the
ここで、少なくとも一部が仮想画素間部位507vとオーバーラップするノズル75は、縦バンク部位507bvと接近しているため、機能液滴の飛行曲がり等が生ずる可能性がある場合に、縦バンク部位507bvに機能液滴を誤って着弾させるおそれがある。一方、仮想画素間部位507vとオーバーラップすることなく画素領域507aに位置しているノズル75は、縦バンク部位507bvとある程度離れているため、飛行曲がり等が生ずる可能性がある場合であっても、縦バンク部位507bvに機能液滴を誤って着弾させるおそれがない。したがって、ノズル特定手段121は、縦バンク部位507bvに機能液滴を誤って着弾させるおそれのあるノズル75を確実に画素間ノズル75bとして特定することができると共に、縦バンク部位507bvの近傍に位置していても、縦バンク部位507bvに機能液滴を着弾させるおそれのないノズル75を画素間ノズル75bとして特定することがない。したがって、画素領域507a内の縦バンク部位507bv近傍に機能液滴を吐出・着弾させることができ、画素領域507a内の縦バンク部位507bv近傍まで機能液滴を確実に行き渡らせることができる。
Here, since the
なお、本実施形態では、上述したように、縦バンク部位507bvを副走査方向の両側に機能液滴吐出ヘッド16のノズル径Rnの略1/10の寸法(略2.5μm)だけそれぞれ拡げた部位を仮想画素間部位507vとしたが、縦バンク部位507bvの幅Wvや液滴吐出装置1の描画精度等に応じて、縦バンク部位507bvを拡げる寸法(閾値)を変更することが好ましい。また、ノズル径Rnに対して各縦バンク部位507bvの幅Wvが十分大きい場合には、各縦バンク部位507bvの幅Wv内に位置するノズル75のみを画素間ノズル75bとして特定するようにしてもよい。
また、同図では、部分描画ラインLPpを構成する8個のノズル列74の複数のノズル75を1列に並べて示している。そのため、各ノズル75は、実際のノズル径Rn(図6参照)よりも小さくして描かれている。
In the present embodiment, as described above, the vertical bank portion 507bv is expanded on both sides in the sub-scanning direction by approximately 1/10 of the nozzle diameter Rn of the functional liquid droplet ejection head 16 (approximately 2.5 μm). Although the part is the
Further, in the drawing, a plurality of
ノズル位置判定手段122は、各画素領域507aの縦バンク部位507bv側の外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在するか否かを判定し、その判定結果を統括制御手段126へ出力する。例えば、図10(a)に示す場合は、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在すると判定する。一方、図10(b)に示す場合は、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在しないと判定する。すなわち、この場合、外端部507amに位置するノズル75は、その一部が縦バンク部位507bv(仮想画素間部位507v)に掛かっていることから、画素間ノズル75bとして特定されてしまうため、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在しないと判定される。
なお、外端部507amの寸法Lm(図2(b)参照)は、機能液滴の着弾径RD等に応じて、適宜設定することが好ましい。
The nozzle
The dimension Lm (see FIG. 2B) of the outer end portion 507am is preferably set as appropriate according to the landing diameter RD of the functional liquid droplets.
タイミング信号供給手段123は、上述したように、セットテーブル22の移動に伴って得られた吐出タイミング用基準パルスを統括制御手段126に供給する。この吐出タイミング用基準パルスに基づいて駆動波形が生成されるため、主走査方向へ移動する基板Wに対して、適切なタイミングで機能液滴を吐出することができる。
As described above, the timing
駆動波形生成手段124は、ノズル特定手段121から出力されたノズル特定情報と、タイミング信号供給手段123から供給された吐出タイミング用基準パルスとを統括制御手段126から受け、これらに基づいてヘッドドライバ111を介して各画素内ノズル75iに印加される駆動波形を生成する。
具体的には、駆動波形生成手段124は、各画素領域507aに臨む画素内ノズル75iが15個のとき、各画素内ノズル75iに対し、機能液滴を5ショット吐出するように、駆動波形を生成する。このため、各画素領域507aに対する液滴着弾量は、略750ピコリットルとなる。そして、各画素領域507aに臨む画素内ノズル75iが16個のときは、一部の画素内ノズル75iに対し機能液滴を4ショットだけ吐出するように駆動波形を生成し、複数の画素領域507aへの液滴着弾量が略750ピコリットルとなるようにする。これによれば、画素ピッチPDhがノズルピッチPNの整数倍となっていないために、複数の画素領域507a間で画素内ノズル75iの個数が異なる場合であっても、各画素内ノズル75iのショット数を調整することで、複数の画素領域507aへの液滴着弾量を均一化することができる。したがって、複数の画素領域507a間で濃度ムラが生ずることを防止することができる。
The drive
Specifically, the drive
移動制御手段125は、ノズル情報記憶部143に記憶されたノズル情報および画素情報記憶部144に記憶された画素情報、並びにノズル位置判定手段122から出力された判定結果に基づいて、基板Wの全域(全パネル形成領域Wa)が描画されるように、主走査および副走査の回数を制御する。そして、本実施形態では、1描画ラインLP分の各画素領域507aに対して、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在すると判定された場合は1回の主走査を行い、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在すると判定された場合は2回に亘る主走査を行って、その後、次の1描画ラインLP分の副走査を行うようにしている(詳細は後述する)。また、移動制御手段125は、基板Wを載置したX軸テーブル12およびヘッドユニット15を搭載したY軸テーブル13が定速で移動するように、描画系移動用ドライバ112に駆動信号を出力している。
Based on the nozzle information stored in the nozzle information storage unit 143, the pixel information stored in the pixel
ここで、図11ないし図16を参照して、描画装置3の各画素領域507aに対する一連の吐出動作について説明する。まず、上述したように、機能液滴を吐出する前の準備として、基板Wの位置補正と、ヘッドユニット15の位置補正が行われ、基板Wと機能液滴吐出ヘッド16とのアライメントが為される。続いて、制御装置7のノズル特定手段121により、画素間ノズル75bおよび画素内ノズル75iが特定される(図11参照)。これによれば、基板と平行な面内における基板と機能液滴吐出ヘッドとのアライメントに基づいて画素内ノズルおよび画素間ノズルを特定することで、基板と平行な面内における基板と機能液滴吐出ヘッドとの位置関係が変わった場合であっても、バンク部上に位置するノズルを画素間ノズルとして正確に特定することができる。
また、ノズル位置判定手段122により、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在するか否か判定される。以下、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在すると判定された場合と、存在しないと判定された場合とに分けて説明する。
Here, with reference to FIGS. 11 to 16, a series of ejection operations for each
Further, the nozzle
図11は、ノズル特定手段121により画素間ノズル75bおよび画素内ノズル75iが特定された後、ノズル位置判定手段122によりが外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在すると判定された状態を示す図である。この場合、図12に示すように、制御装置7は、特定された画素内ノズル75iを駆動とし、画素間ノズル75bを非駆動として、各画素内ノズル75iから機能液滴を5ショット吐出させ、各画素領域507aに対して機能液滴を吐出・着弾させる。これによれば、多数のノズル75のうち、縦バンク部位507bvに臨むものだけを画素間ノズル75bとして特定し、これを非駆動とし、その他のノズル75を画素内ノズル75iとして特定し、これを駆動として描画動作が行われる。このため、縦バンク部位507bvに機能液滴が着弾することがなく、機能液滴を着弾させるべき画素領域507aに隣接する画素領域507aに機能液滴が流れ込むことを防止できると共に、各画素領域507a内の縦バンク部位507bv近傍に機能液滴を吐出・着弾させることができ、画素領域507a内の縦バンク部位507bv近傍まで機能液滴を確実に行き渡らせることができる。
FIG. 11 shows a state in which after the
ここで、図12の図示左側の画素領域507aにおいては、画素内ノズル75iが15個存在し、図示右側の画素領域507aにおいては、画素内ノズル75iが16個存在している。そのため、制御装置7は、図示右側の画素領域507aに臨む16個の画素内ノズル75iのうち、一部の画素内ノズル75iからは機能液滴を4ショットだけ吐出・着弾させている。
そして、各画素領域507aに対する主走査が終了すると、1描画ラインLP分の副走査が行われ、次の1描画ラインLPに対応する各画素領域507aに対して、主走査が行われる。
Here, in the
When main scanning for each
図13は、ノズル特定手段121により画素間ノズル75bおよび画素内ノズル75iが特定された後、ノズル位置判定手段122によりが外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在しないと判定された状態を示す図である。同図では、図示左側の画素領域507aにおいて、図示左側の外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在していない。
FIG. 13 shows a state in which after the
図14ない図16に示すように、制御装置7は、まず、特定された画素内ノズル75iを駆動とし、画素間ノズル75bを非駆動として、各画素内ノズル75iから機能液滴を5ショット吐出させ、各画素領域507aに対して機能液滴を吐出・着弾させる。このとき、図示左側の画素領域507aの左側の外端部507amに対しては、機能液滴が着弾していない(図14参照)。続いて、制御装置7は、ヘッドユニット15(機能液滴吐出ヘッド16)を副走査方向に微小移動させる(図15参照)。その後、外端部507amに対し、画素内ノズル75iにより機能液滴を吐出させる(図16参照)。このようにすることで、外端部507amに位置していたノズル75が画素間ノズル75bとして特定されるために、外端部507amに位置する画素内ノズル75iが存在しないときであっても、縦バンク部位507bv近傍の外端部507amに対して、機能液滴を確実に着弾させることができる。
なお、この場合も、図示左側の画素領域507aにおいては、画素内ノズル75iが15個存在し、図示右側の画素領域507aにおいては、画素内ノズル75iが16個存在しているため、ショット数を調整している。
As shown in FIG. 16 which is not shown in FIG. 14, the control device 7 first discharges five functional droplets from each
Also in this case, in the
なお、複数の画素領域507aがデルタ配列である場合、例えば、主走査方向に並ぶ複数の画素領域列に対し、奇数番目の画素領域列に対して偶数番目の画素領域列が副走査方向の画素ピッチPDhの1/2だけ副走査方向に位置ずれしている場合は、まず、奇数番目の画素領域列の各画素領域507aに対して上記の吐出動作を行い、その後、偶数番目の画素領域列の各画素領域507aに対して上記の吐出動作を行うようにする。
In the case where the plurality of
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置1によれば、区画壁部507bに機能液滴が着弾することを防止できると共に、画素領域507a内の縦バンク部位507bv近傍まで機能液滴を確実に行き渡らせることができる。
As described above, according to the droplet discharge device 1 of the present embodiment, it is possible to prevent the functional droplet from landing on the
次に、本実施形態の液滴吐出装置1を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。 Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the droplet discharge device 1 of this embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device ( FED devices, SED devices), and active matrix substrates formed in these display devices will be described as an example for their structures and manufacturing methods. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.
まず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図17は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図18は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ500(フィルタ基体500A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図18(a)に示すように、基板(W)501上にブラックマトリクス502を形成する。ブラックマトリクス502は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス502を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス502を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 17 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 18 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter
First, in the black matrix forming step (S101), a
続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス502上に重畳する状態でバンク503を形成する。即ち、まず図18(b)に示すように、基板501およびブラックマトリクス502を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層504を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム505で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図18(c)に示すように、レジスト層504の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層504をパターニングして、バンク503を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク503とその下のブラックマトリクス502は、各画素領域507aを区画する区画壁部507bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド16により着色層(成膜部)508R、508G、508Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
Subsequently, in the bank formation step (S102), a
Further, as shown in FIG. 18C, the resist
The
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体500Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク503の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)501の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク503(区画壁部507b)に囲まれた各画素領域507a内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
The
In the present embodiment, as the material for the
次に、着色層形成工程(S103)では、図18(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド16によって機能液滴を吐出して区画壁部507bで囲まれた各画素領域507a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド16を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 18 (d), functional droplets are ejected by the functional
その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層508R、508G、508Bを形成する。着色層508R、508G、508Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図18(e)に示すように、基板501、区画壁部507b、および着色層508R、508G、508Bの上面を覆うように保護膜509を形成する。
即ち、基板501の着色層508R、508G、508Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜509が形成される。
そして、保護膜509を形成した後、カラーフィルタ500は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the
Then, after forming the
図19は、上記のカラーフィルタ500を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置520に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ500は図18に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
FIG. 19 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the
この液晶装置520は、カラーフィルタ500、ガラス基板等からなる対向基板521、および、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層522により概略構成されており、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板521およびカラーフィルタ500の外面(液晶層522側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板521側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
The
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the
カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層側)には、図19において左右方向に長尺な短冊状の第1電極523が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極523のカラーフィルタ500側とは反対側の面を覆うように第1配向膜524が形成されている。
一方、対向基板521におけるカラーフィルタ500と対向する面には、カラーフィルタ500の第1電極523と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極526が所定の間隔で複数形成され、この第2電極526の液晶層522側の面を覆うように第2配向膜527が形成されている。これらの第1電極523および第2電極526は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
On the protective film 509 (the liquid crystal layer side) of the
On the other hand, a plurality of strip-shaped
液晶層522内に設けられたスペーサ528は、液晶層522の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材529は液晶層522内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極523の一端部は引き回し配線523aとしてシール材529の外側まで延在している。
そして、第1電極523と第2電極526とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The
A portion where the
通常の製造工程では、カラーフィルタ500に、第1電極523のパターニングおよび第1配向膜524の塗布を行ってカラーフィルタ500側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板521に、第2電極526のパターニングおよび第2配向膜527の塗布を行って対向基板521側の部分を作成する。その後、対向基板521側の部分にスペーサ528およびシール材529を作り込み、この状態でカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材529の注入口から液晶層522を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
In a normal manufacturing process, patterning of the
実施形態の液滴吐出装置1は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板521側の部分にカラーフィルタ500側の部分を貼り合わせる前に、シール材529で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材529の印刷を、機能液滴吐出ヘッド16で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜524,527の塗布を機能液滴吐出ヘッド16で行うことも可能である。
The droplet discharge device 1 according to the embodiment applies, for example, a spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap, and before the portion on the
図20は、本実施形態において製造したカラーフィルタ500を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置530が上記液晶装置520と大きく異なる点は、カラーフィルタ500を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置530は、カラーフィルタ500とガラス基板等からなる対向基板531との間にSTN液晶からなる液晶層532が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板531およびカラーフィルタ500の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
FIG. 20 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the
The
The
カラーフィルタ500の保護膜509上(液晶層532側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極533が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極533の液晶層532側の面を覆うように第1配向膜534が形成されている。
対向基板531のカラーフィルタ500と対向する面上には、カラーフィルタ500側の第1電極533と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極536が所定の間隔で形成され、この第2電極536の液晶層532側の面を覆うように第2配向膜537が形成されている。
On the
A plurality of strip-shaped
液晶層532には、この液晶層532の厚さを一定に保持するためのスペーサ538と、液晶層532内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材539が設けられている。
そして、上記した液晶装置520と同様に、第1電極533と第2電極536との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ500の着色層508R、508G、508Bが位置するように構成されている。
The
Similarly to the
図21は、本発明を適用したカラーフィルタ500を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置550は、カラーフィルタ500を図中上側(観測者側)に配置したものである。
FIG. 21 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a
In the
この液晶装置550は、カラーフィルタ500と、これに対向するように配置された対向基板551と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ500の上面側(観測者側)に配置された偏光板555と、対向基板551の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ500の保護膜509の表面(対向基板551側の面)には液晶駆動用の電極556が形成されている。この電極556は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極560が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極556の画素電極560とは反対側の面を覆った状態で配向膜557が設けられている。
The
A liquid
対向基板551のカラーフィルタ500と対向する面には絶縁層558が形成されており、この絶縁層558上には、走査線561および信号線562が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線561と信号線562とに囲まれた領域内には画素電極560が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極560上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
An insulating
また、画素電極560の切欠部と走査線561と信号線562とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ563が組み込まれて構成されている。そして、走査線561と信号線562に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ563をオン・オフして画素電極560への通電制御を行うことができるように構成されている。
In addition, a
なお、上記の各例の液晶装置520,530,550は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
Note that the
次に、図22は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置600と称する)の要部断面図である。 Next, FIG. 22 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 600) of the organic EL device.
この表示装置600は、基板(W)601上に、回路素子部602、発光素子部603および陰極604が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置600においては、発光素子部603から基板601側に発した光が、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部603から基板601の反対側に発した光が陰極604により反射された後、回路素子部602および基板601を透過して観測者側に出射されるようになっている。
The
In the
回路素子部602と基板601との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜606が形成され、この下地保護膜606上(発光素子部603側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜607が形成されている。この半導体膜607の左右の領域には、ソース領域607aおよびドレイン領域607bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域607cとなっている。
A base
また、回路素子部602には、下地保護膜606および半導体膜607を覆う透明なゲート絶縁膜608が形成され、このゲート絶縁膜608上の半導体膜607のチャネル領域607cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極609が形成されている。このゲート電極609およびゲート絶縁膜608上には、透明な第1層間絶縁膜611aと第2層間絶縁膜611bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜611a、611bを貫通して、半導体膜607のソース領域607a、ドレイン領域607bにそれぞれ連通するコンタクトホール612a,612bが形成されている。
In the
そして、第2層間絶縁膜611b上には、ITO等からなる透明な画素電極613が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極613は、コンタクトホール612aを通じてソース領域607aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜611a上には電源線614が配設されており、この電源線614は、コンタクトホール612bを通じてドレイン領域607bに接続されている。
A
A
このように、回路素子部602には、各画素電極613に接続された駆動用の薄膜トランジスタ615がそれぞれ形成されている。
Thus, the driving
上記発光素子部603は、複数の画素電極613上の各々に積層された機能層617と、各画素電極613および機能層617の間に備えられて各機能層617を区画するバンク部618とにより概略構成されている。
これら画素電極613、機能層617、および、機能層617上に配設された陰極604によって発光素子が構成されている。なお、画素電極613は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極613の間にバンク部618が形成されている。
The light emitting
The
バンク部618は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層618a(第1バンク層)と、この無機物バンク層618a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層618b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部618の一部は、画素電極613の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部618の間には、画素電極613に対して上方に向けて次第に拡開した開口部619が形成されている。
The
An
上記機能層617は、開口部619内において画素電極613上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層617aと、この正孔注入/輸送層617a上に形成された発光層617bとにより構成されている。なお、この発光層617bに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入/輸送層617aは、画素電極613側から正孔を輸送して発光層617bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層617aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
The
The hole injection /
発光層617bは、赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)のいずれかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層617bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層617aを再溶解させることなく発光層617bを形成することができる。
The
そして、発光層617bでは、正孔注入/輸送層617aから注入された正孔と、陰極604から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
The
陰極604は、発光素子部603の全面を覆う状態で形成されており、画素電極613と対になって機能層617に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極604の上部には図示しない封止部材が配置される。
The
次に、上記の表示装置600の製造工程を図23〜図31を参照して説明する。
この表示装置600は、図23に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、および対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
Next, a manufacturing process of the
As shown in FIG. 23, the
まず、バンク部形成工程(S111)では、図24に示すように、第2層間絶縁膜611b上に無機物バンク層618aを形成する。この無機物バンク層618aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層618aの一部は画素電極613の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層618aを形成したならば、図25に示すように、無機物バンク層618a上に有機物バンク層618bを形成する。この有機物バンク層618bも無機物バンク層618aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部618が形成される。また、これに伴い、各バンク部618間には、画素電極613に対して上方に開口した開口部619が形成される。この開口部619は、画素領域を規定する。
First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 24, an
When the
In this way, the
表面処理工程(S112)では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層618aの第1積層部618aaおよび画素電極613の電極面613aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極613であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層618bの壁面618sおよび有機物バンク層618bの上面618tに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド16を用いて機能層617を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部619から溢れ出るのを防止することが可能となる。
In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The region to be subjected to the lyophilic treatment is the first laminated portion 618aa of the
In addition, the lyophobic treatment is performed on the
By performing this surface treatment process, when the
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体600Aが得られる。この表示装置基体600Aは、図1に示した液滴吐出装置1のセットテーブル22に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)および発光層形成工程(S114)が行われる。 Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the set table 22 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. .
図26に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド16から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部619内に吐出する。その後、図27に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面613a)613上に正孔注入/輸送層617aを形成する。
As shown in FIG. 26, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid
次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層617aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層617aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層617aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617a上に吐出しても、正孔注入/輸送層617aと発光層617bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層617bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層617aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層617a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層617aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層617aに均一に塗布することができる。
Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection /
However, since the hole injection /
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection /
By performing such treatment, the surface of the hole injection /
そして次に、図28に示すように、各色のうちのいずれか(図28の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部619)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層617a上に広がって開口部619内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部618の上面618t上に着弾した場合でも、この上面618tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部619内に転がり込み易くなっている。
Then, as shown in FIG. 28, the pixel composition (second liquid composition containing a light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 28)) is used as a functional droplet. A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection /
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図29に示すように、正孔注入/輸送層617a上に発光層617bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層617bが形成されている。
Thereafter, by performing a drying process or the like, the discharged second composition is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 29, the hole injection /
同様に、機能液滴吐出ヘッド16を用い、図30に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層617bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)および緑色(G))に対応する発光層617bを形成する。なお、発光層617bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
Similarly, using the functional liquid
以上のようにして、画素電極613上に機能層617、即ち、正孔注入/輸送層617aおよび発光層617bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。
As described above, the
対向電極形成工程(S115)では、図31に示すように、発光層617bおよび有機物バンク層618bの全面に陰極604(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極604は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極604の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 31, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the
On top of the
このようにして陰極604を形成した後、この陰極604の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置600が得られる。
After forming the
次に、図32は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置700と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置700を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置700は、互いに対向して配置された第1基板701、第2基板702、およびこれらの間に形成される放電表示部703を含んで概略構成される。放電表示部703は、複数の放電室705により構成されている。これらの複数の放電室705のうち、赤色放電室705R、緑色放電室705G、青色放電室705Bの3つの放電室705が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
Next, FIG. 32 is an exploded perspective view of a main part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the
The
第1基板701の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極706が形成され、このアドレス電極706と第1基板701の上面とを覆うように誘電体層707が形成されている。誘電体層707上には、各アドレス電極706の間に位置し、且つ各アドレス電極706に沿うように隔壁708が立設されている。この隔壁708は、図示するようにアドレス電極706の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極706と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁708によって仕切られた領域が放電室705となっている。
A region partitioned by the
放電室705内には蛍光体709が配置されている。蛍光体709は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室705Rの底部には赤色蛍光体709Rが、緑色放電室705Gの底部には緑色蛍光体709Gが、青色放電室705Bの底部には青色蛍光体709Bが各々配置されている。
A
第2基板702の図中下側の面には、上記アドレス電極706と直交する方向に複数の表示電極711が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層712、およびMgOなどからなる保護膜713が形成されている。
第1基板701と第2基板702とは、アドレス電極706と表示電極711が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極706と表示電極711は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極706,711に通電することにより、放電表示部703において蛍光体709が励起発光し、カラー表示が可能となる。
On the lower surface of the
The
When the
本実施形態においては、上記アドレス電極706、表示電極711、および蛍光体709を、図1に示した液滴吐出装置1を用いて形成することができる。以下、第1基板701におけるアドレス電極706の形成工程を例示する。
この場合、第1基板701を液滴吐出装置1のセットテーブル22に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド16により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
In the present embodiment, the
In this case, the following steps are performed with the
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極706が形成される。
When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the
ところで、上記においてはアドレス電極706の形成を例示したが、上記表示電極711および蛍光体709についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極711の形成の場合、アドレス電極706の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体709の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド16から液滴として吐出し、対応する色の放電室705内に着弾させる。
By the way, although the formation of the
In the case of forming the
Further, in the case of forming the
次に、図33は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置800と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を断面として示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、およびこれらの間に形成される電界放出表示部803を含んで概略構成される。電界放出表示部803は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部805により構成されている。
Next, FIG. 33 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the
The
第1基板801の上面には、カソード電極806を構成する第1素子電極806aおよび第2素子電極806bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bで仕切られた部分には、ギャップ808を形成した導電性膜807が形成されている。すなわち、第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807により複数の電子放出部805が構成されている。導電性膜807は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ808は、導電性膜807を成膜した後、フォーミング等で形成される。
On the upper surface of the
第2基板802の下面には、カソード電極806に対峙するアノード電極809が形成されている。アノード電極809の下面には、格子状のバンク部811が形成され、このバンク部811で囲まれた下向きの各開口部812に、電子放出部805に対応するように蛍光体813が配置されている。蛍光体813は、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部812には、赤色蛍光体813R、緑色蛍光体813Gおよび青色蛍光体813Bが、上記した所定のパターンで配置されている。
An
そして、このように構成した第1基板801と第2基板802とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置800では、導電性膜(ギャップ808)807を介して、陰極である第1素子電極806aまたは第2素子電極806bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極809に形成した蛍光体813に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
The
この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極806a、第2素子電極806b、導電性膜807およびアノード電極809を、液滴吐出装置1を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体813R,813G,813Bを、液滴吐出装置1を用いて形成することができる。
Also in this case, as in the other embodiments, the
第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807は、図34(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図34(b)に示すように、予め第1素子電極806a、第2素子電極806bおよび導電性膜807を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極806aおよび第2素子電極806bを形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜807を形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)する。そして、導電性膜807を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板801および第2基板802に対する親液化処理や、バンク部811,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
The
上記した液滴吐出装置1を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。 By using the droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.
1…液滴吐出装置 7…制御装置 11…XY移動機構 16…機能液滴吐出ヘッド 75…ノズル 75a…画素間ノズル 75i…画素内ノズル 507a…画素領域 507am…外端部 507b…区画壁部 507bv…縦バンク部位 507v…仮想画素間部位 LP…描画ライン 画素ピッチ…PDh PN…ノズルピッチ PNi…ノズル列内ピッチ RD… W…基板 Wv…幅(縦バンク部位)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge device 7 ...
Claims (15)
前記基板と平行な面内における前記基板と前記機能液滴吐出ヘッドとのアライメントに基づいて、前記多数のノズルのうち、前記主走査方向に延在する前記バンク部の複数の縦バンク部位に臨むものを画素間ノズルとし、その他のノズルを画素内ノズルとして特定するノズル特定工程と、
特定した前記画素内ノズルを駆動とし、前記画素間ノズルを非駆動として前記描画動作を行う描画工程と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置を用いた描画方法。 The nozzle pitch of a large number of nozzles is smaller than the pixel pitch of the plurality of pixel regions in the sub-scanning direction with respect to the substrate in which the plurality of pixel regions partitioned by the bank portion are arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Drawing operation is performed by ejecting and landing functional droplets from the multiple nozzles into the plurality of pixel regions while moving the configured functional droplet ejection head relatively in the main scanning direction and the sub-scanning direction. A drawing method using a droplet discharge device for performing
Based on the alignment between the substrate and the functional liquid droplet ejection head in a plane parallel to the substrate, the plurality of nozzles face a plurality of vertical bank portions of the bank portion extending in the main scanning direction. A nozzle specifying step of specifying the nozzle as an inter-pixel nozzle and the other nozzles as a nozzle in the pixel;
A drawing step of driving the specified nozzle in the pixel and performing the drawing operation with the nozzle between pixels not driven;
A drawing method using a droplet discharge device characterized by comprising:
前記複数の画素領域への液滴着弾量が均一になるように前記各画素内ノズルのショット数を調整することを特徴とする請求項3に記載の液滴吐出装置を用いた描画方法。 In the drawing step, a plurality of shots of functional liquid droplets are ejected from the nozzles in each pixel with respect to each pixel region.
4. The drawing method using the droplet discharge device according to claim 3, wherein the number of shots of the nozzles in each pixel is adjusted so that droplet landing amounts on the plurality of pixel regions are uniform.
前記機能液滴吐出ヘッドを前記副走査方向に微小移動した後、前記外端部に対し、前記画素内ノズルにより機能液滴を吐出することで行われることを特徴とする請求項3または4に記載の液滴吐出装置を用いた描画方法。 The drawing operation in the drawing step is performed when there is no nozzle in the pixel located at the outer end portion on the vertical bank part side of each pixel region.
5. The method according to claim 3, wherein the functional liquid droplet ejection head is finely moved in the sub-scanning direction, and then functional liquid droplets are ejected to the outer end portion by the nozzle in the pixel. A drawing method using the described droplet discharge apparatus.
前記機能液滴吐出ヘッドと、
前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、前記基板に対し前記機能液滴吐出ヘッドを前記主走査方向および前記副走査方向へ相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段を制御すると共に、前記多数のノズルの吐出タイミングを制御する制御手段と、
前記基板と平行な面内における前記基板と前記機能液滴吐出ヘッドとのアライメントに基づいて、前記多数のノズルのうち、前記主走査方向に延在する前記バンク部の複数の縦バンク部位に臨むものを画素間ノズルとし、その他のノズルを画素内ノズルとして特定するノズル特定手段と、を備え、
前記制御手段は、前記描画動作に際して、特定された前記画素内ノズルを駆動とし、前記画素間ノズルを非駆動とするように制御することを特徴とする液滴吐出装置。 The nozzle pitch of a large number of nozzles is smaller than the pixel pitch of the plurality of pixel regions in the sub-scanning direction with respect to the substrate in which the plurality of pixel regions partitioned by the bank portion are arranged in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Drawing operation is performed by ejecting and landing functional droplets from the multiple nozzles into the plurality of pixel regions while moving the configured functional droplet ejection head relatively in the main scanning direction and the sub-scanning direction. A droplet discharge device for performing
The functional liquid droplet ejection head;
A moving means for mounting the functional liquid droplet ejection head and moving the functional liquid droplet ejection head relative to the substrate in the main scanning direction and the sub-scanning direction;
Control means for controlling the moving means and controlling the discharge timing of the multiple nozzles;
Based on the alignment between the substrate and the functional liquid droplet ejection head in a plane parallel to the substrate, the plurality of nozzles face a plurality of vertical bank portions of the bank portion extending in the main scanning direction. A nozzle specifying means for specifying the nozzle as an inter-pixel nozzle and the other nozzles as a nozzle in the pixel,
In the drawing operation, the control unit performs control so that the specified intra-pixel nozzle is driven and the inter-pixel nozzle is not driven.
前記複数の画素領域への液滴着弾量が均一になるように前記各画素内ノズルのショット数を調整することを特徴とする請求項8に記載の液滴吐出装置。 The control means is configured to cause a plurality of shots of functional liquid droplets to be ejected from the nozzles in each pixel to each pixel region during the drawing operation.
9. The droplet discharge device according to claim 8, wherein the number of shots of the nozzles in each pixel is adjusted so that droplet landing amounts on the plurality of pixel regions are uniform.
前記機能液滴吐出ヘッドを前記副走査方向に微小移動させた後、前記外端部に対し、前記画素内ノズルにより機能液滴を吐出させることを特徴とする請求項8または9に記載の液滴吐出装置。 The control means, during the drawing operation, when there is no in-pixel nozzle located at the outer end portion on the vertical bank portion side of each pixel region,
10. The liquid according to claim 8, wherein the functional liquid droplet ejection head is finely moved in the sub-scanning direction, and then functional liquid droplets are ejected to the outer end portion by the nozzle in the pixel. Drop ejection device.
前記n個のノズル列は、前記多数のノズルが前記副走査方向に前記ノズルピッチで配置されるように前記副走査方向に相互に位置ずれして、前記主走査方向に配設されていることを特徴とする請求項11に記載の液滴吐出装置。 The pitch in the nozzle row of the plurality of nozzles in each nozzle row is a pitch n times the nozzle pitch,
The n nozzle rows are arranged in the main scanning direction so as to be displaced from each other in the sub scanning direction so that the large number of nozzles are arranged at the nozzle pitch in the sub scanning direction. The droplet discharge device according to claim 11.
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