JP4894138B2 - Resin composition, resin layer, carrier material with resin layer, and circuit board - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂組成物、樹脂層、樹脂層付きキャリア材料および回路基板に関する。   The present invention relates to a resin composition, a resin layer, a carrier material with a resin layer, and a circuit board.

近年の電子機器の高機能化および軽薄短小化の要求に伴い、回路基板等の電子部品の高密度集積化、さらには高密度実装化が進んできている。このような電子部品の高密度化に伴い、電気信号も高速伝送化が要求されている。   With recent demands for higher functionality and lighter and thinner electronic devices, electronic components such as circuit boards have been increasingly integrated and densely packaged. Along with the increase in the density of electronic components, electrical signals are also required to be transmitted at high speed.

しかし、このように電気信号の高速伝送化に対しては、回路基板を構成する導体部分および絶縁層からの電気損失を低減させる必要がある。特に、絶縁層に起因する電気信号の損失は、電気信号の周波数の増大に伴い、顕著に増加し、GHz帯においては、電気信号が劣化する主要因となる。   However, in order to increase the electrical signal transmission speed as described above, it is necessary to reduce the electrical loss from the conductor portion and the insulating layer constituting the circuit board. In particular, the loss of the electric signal due to the insulating layer increases remarkably with an increase in the frequency of the electric signal, and becomes a main factor for deterioration of the electric signal in the GHz band.

回路基板の絶縁層を構成する材料としては、主としてエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂が用いられてきた(例えば特許文献1参照)。
しかし、上述したような電気信号の高速化に対する要求には、エポキシ樹脂等は誘電率、誘電正接等の電気特性が不十分であり、近年要求されている電気信号の高速伝送化に対応することが困難となる場合がある。
As a material constituting the insulating layer of the circuit board, epoxy resin and polyimide resin have been mainly used (for example, refer to Patent Document 1).
However, epoxy resin, etc. has insufficient electrical characteristics such as dielectric constant and dielectric loss tangent to meet the demands for high-speed electrical signals as described above, and can respond to high-speed transmission of electrical signals that have been required in recent years. May be difficult.

特開平5−121396号公報JP-A-5-121396

本発明の目的は、回路基板の樹脂層とした場合に電気特性に優れ、かつ電気信号の劣化の少ない樹脂組成物を提供することにある。
また、本発明の目的は、電気特性に優れ、かつ電気信号の劣化の少ない樹脂層および樹脂層付きキャリア材料を提供することにある。
また、本発明の目的は、電気信号の高速伝送化が可能な回路基板を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a resin composition that is excellent in electrical characteristics and less deteriorated in electrical signals when used as a resin layer of a circuit board.
Another object of the present invention is to provide a resin layer and a carrier material with a resin layer that are excellent in electrical characteristics and have little deterioration of electrical signals.
Another object of the present invention is to provide a circuit board capable of high-speed transmission of electrical signals.

このような目的は、以下(1)〜(9)に記載の本発明により達成される。
(1)回路基板の樹脂層を構成する樹脂組成物であって、
主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有している、ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)7(XSiO1.0)1]Σ8、官能化ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)4(RXSiO1.5)3]Σ7および官能化ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)4(RXSiO1.0)2(RX’SiO1.0)1]Σ7のうちのいずれか1種を置換基として側鎖に有するノルボルネン型ポリマーの繰り返し単位と、下記式(II)で表されるノルボルネン型モノマーとの付加共重合体である第1の環状オレフィン系樹脂と、
前記第1の環状オレフィン系樹脂と異なる、下記式(V)で表わされる繰り返し単位を有するポリマーである第2の環状オレフィン系樹脂と、を含み、
前記第1の環状オレフィン系樹脂の含有量が、前記樹脂組成物全体の1〜50重量%であり、かつ、前記第2の環状オレフィン系樹脂の含有量が、前記樹脂組成物全体の50〜99重量%であることを特徴とする樹脂組成物。

Figure 0004894138

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(2)前記置換基は、下記式(I)で表されるヘテロレプティックPOSS[(RSiO1.5)7(XSiO1.0)1]Σ8である上記(1)に記載の樹脂組成物。
Figure 0004894138
(3)前記置換基を有するノルボルネン型モノマーの繰り返し単位の含有量は、前記付加共重合体の5〜80モル%である上記(1)または(2)に記載の樹脂組成物。
(4)前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、前記第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量よりも大きいものである上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(5)前記第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、10,000〜500,000である上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(6)前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、100,000〜700,000である上記(1)ないし(5)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(7)上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の樹脂組成物で構成されていることを特徴とする樹脂層。
(8)上記(7)に記載の樹脂層が、キャリア材料の少なくとも片面に形成されていることを特徴とする樹脂層付きキャリア材料。
(9)上記(7)に記載の樹脂層を有していることを特徴とする回路基板。 Such an object is achieved by the present invention described in the following (1) to (9).
(1) A resin composition constituting a resin layer of a circuit board,
Heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 7 (XSiO 1.0 ) 1 ] Σ8 , functionalized heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 4 (RXSiO 1.5) 3] Σ7 and functionalized heteroleptic POSS [(RSiO 1.5) 4 ( RXSiO 1.0) 2 (RX'SiO 1.0) 1] in the side chain as a substituent of any one of Shiguma7 A first cyclic olefin-based resin which is an addition copolymer of a norbornene-type polymer repeating unit and a norbornene-type monomer represented by the following formula (II):
A second cyclic olefin-based resin that is a polymer having a repeating unit represented by the following formula (V), different from the first cyclic olefin-based resin,
The content of the first cyclic olefin resin is 1 to 50% by weight of the whole resin composition, and the content of the second cyclic olefin resin is 50 to 50% of the whole resin composition. 99% by weight of a resin composition.
Figure 0004894138

Figure 0004894138
(2) The resin composition according to (1), wherein the substituent is heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 7 (XSiO 1.0 ) 1 ] Σ8 represented by the following formula (I).
Figure 0004894138
(3) The resin composition according to the above (1) or (2), wherein the content of the repeating unit of the norbornene monomer having a substituent is 5 to 80 mol% of the addition copolymer.
(4) The resin according to any one of (1) to (3), wherein a weight average molecular weight of the second cyclic olefin resin is larger than a weight average molecular weight of the first cyclic olefin resin. Composition.
(5) The resin composition according to any one of (1) to (4), wherein the first cyclic olefin-based resin has a weight average molecular weight of 10,000 to 500,000.
(6) The resin composition according to any one of (1) to (5), wherein the second cyclic olefin-based resin has a weight average molecular weight of 100,000 to 700,000.
(7) A resin layer comprising the resin composition according to any one of (1) to (6) above.
(8) A resin material with a resin layer, wherein the resin layer according to (7) is formed on at least one surface of the carrier material.
(9) A circuit board having the resin layer according to (7).

本発明によれば、回路基板の樹脂層とした場合に電気特性に優れ、かつ電気信号の劣化が少ない樹脂組成物を得ることができる。
また、本発明によれば、電気特性に優れ、かつ電気信号の劣化の少ない樹脂層および樹脂層付きキャリア材料を得ることができる。
また、本発明によれば、電気信号の高速伝送化が可能な回路基板を得ることができる。
また、式(I)ないし(III)のいずれかで表される置換基を側鎖に有している場合、弾性率を向上することができ、かつ線膨張係数を低下することもできる。
また、前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量が前記第1の環状オレフィン系樹脂のそれよりも大きい場合、特に樹脂層の成膜性を向上することができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when it is set as the resin layer of a circuit board, the resin composition which is excellent in an electrical property and has little deterioration of an electrical signal can be obtained.
In addition, according to the present invention, it is possible to obtain a resin layer and a carrier material with a resin layer that are excellent in electrical characteristics and have little deterioration of electrical signals.
In addition, according to the present invention, a circuit board capable of high-speed transmission of electrical signals can be obtained.
Further, when the side chain has a substituent represented by any one of formulas (I) to (III), the elastic modulus can be improved and the linear expansion coefficient can be lowered.
In addition, when the weight average molecular weight of the second cyclic olefin resin is larger than that of the first cyclic olefin resin, the film formability of the resin layer can be improved.

以下、本発明の樹脂組成物、樹脂層、樹脂層付きキャリア材料および回路基板について詳細に説明する。
本発明の樹脂組成物は、回路基板の樹脂層を構成する樹脂組成物であって、主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂と、前記第1の環状オレフィン系樹脂と異なる第2の環状オレフィン系樹脂と、を含むことを特徴とする。
また、本発明の樹脂層は、上記に記載の樹脂組成物で構成されていることを特徴とする。
また、本発明の樹脂層付きキャリア材料は、上記に記載の樹脂層が、キャリア材料の少なくとも片面に形成されていることを特徴とする。
また、本発明の回路基板は、上記に記載の樹脂層を有していることを特徴とする。
Hereinafter, the resin composition, resin layer, carrier material with a resin layer, and circuit board of the present invention will be described in detail.
The resin composition of the present invention is a resin composition that constitutes a resin layer of a circuit board, and is mainly composed of silicon and oxygen, and at least partly has a substituent having a cyclic structure in the side chain. And a second cyclic olefin resin different from the first cyclic olefin resin.
Moreover, the resin layer of this invention is comprised by the resin composition as described above, It is characterized by the above-mentioned.
The carrier material with a resin layer of the present invention is characterized in that the resin layer described above is formed on at least one side of the carrier material.
Moreover, the circuit board of the present invention is characterized by having the resin layer described above.

まず、樹脂組成物について説明する。
本発明の樹脂組成物は、回路基板の樹脂層を構成するものである。電気信号の高速伝送化が要求される回路基板に、電気特性が優れる樹脂層を提供するためである。
First, the resin composition will be described.
The resin composition of this invention comprises the resin layer of a circuit board. This is to provide a resin layer with excellent electrical characteristics on a circuit board that requires high-speed transmission of electrical signals.

前記樹脂組成物は、主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂を含むことを特徴とする。これにより、優れた電気特性(低誘電率および低誘電正接)を維持しながら、基板と前記樹脂組成物で構成される樹脂層との密着性を向上することができる。
前記置換基は、特に限定されないが、シルセスオキサン構造を有していることが好ましく、特に前記シルセスオキサン構造が多面体構造(籠型構造)を形成していることが好ましい。これにより、特に力学特性、例えば弾性率や膨張係数を向上することができる。
前記置換基の具体例としては、例えばヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)7(XSiO1.0)1]Σ8(下記式I)、官能化ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)4(RXSiO1.5)3]Σ7(下記式III)、官能化ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)4(RXSiO1.0)2(RX'SiO1.0)1]Σ7(下記式IV)等が挙げられる。
The resin composition includes a first cyclic olefin resin mainly composed of silicon and oxygen, and having a substituent having a cyclic structure in at least a part in a side chain. Thereby, the adhesiveness of a board | substrate and the resin layer comprised with the said resin composition can be improved, maintaining the outstanding electrical property (low dielectric constant and low dielectric loss tangent).
Although the said substituent is not specifically limited, It is preferable that it has a silsesquioxane structure, and it is preferable that the said silsesquioxane structure forms the polyhedral structure (saddle-type structure) especially. Thereby, especially dynamic characteristics, such as an elastic modulus and an expansion coefficient, can be improved.
Specific examples of the substituent include heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 7 (XSiO 1.0 ) 1 ] Σ8 (formula I below), functionalized heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 4 (RXSiO 1.5 ) 3 ] Σ7 (formula III below), functionalized heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 4 (RXSiO 1.0 ) 2 (RX′SiO 1.0 ) 1 ] Σ7 (formula IV below) and the like.

Figure 0004894138
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前記第1の環状オレフィン系樹脂は、前記置換基の中でも具体的に下記式(I)で表されるものを側鎖に有していることが好ましい。これにより、特に力学特性、例えば弾性率や膨張係数を向上することができる。   It is preferable that the first cyclic olefin-based resin has a side chain specifically represented by the following formula (I) among the substituents. Thereby, especially dynamic characteristics, such as an elastic modulus and an expansion coefficient, can be improved.

Figure 0004894138
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前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびイソブチル基等が挙げられる。前記シクロアルキル基としては、例えばシクロヘキシル基、シクロペンチル基およびメチルシクロヘキシル基等の(C3−C15)シクロアルキル基が挙げられる。前記アルコキシシリル基としては、例えばトリメトキシシリル基、トリエトキシシリル基およびトリエトキシシリルエチル基等のアルコキシシリル基等が挙げられる。   Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and an isobutyl group. Examples of the cycloalkyl group include (C3-C15) cycloalkyl groups such as a cyclohexyl group, a cyclopentyl group, and a methylcyclohexyl group. Examples of the alkoxysilyl group include alkoxysilyl groups such as a trimethoxysilyl group, a triethoxysilyl group, and a triethoxysilylethyl group.

前記第1の環状オレフィン系樹脂を構成する環状オレフィンモノマーとしては、例えばシクロヘキセン、シクロオクテン等の単環体、ノルボルネン、ノルボルナジエン、ジシクロペンタジエン、ジヒドロジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、トリシクロペンタジエン、ジヒドロトリシクロペンタジエン、テトラシクロペンタジエン、ジヒドロテトラシクロペンタジエン等の多環体が挙げられる。さらに、後述するように、これらの環状オレフィンモノマーに置換基(官能基)が結合したモノマーも用いることができる。   Examples of the cyclic olefin monomer constituting the first cyclic olefin-based resin include, for example, a monocyclic product such as cyclohexene and cyclooctene, norbornene, norbornadiene, dicyclopentadiene, dihydrodicyclopentadiene, tetracyclododecene, tricyclopentadiene, Examples include polycyclic compounds such as dihydrotricyclopentadiene, tetracyclopentadiene, and dihydrotetracyclopentadiene. Furthermore, as described later, monomers in which a substituent (functional group) is bonded to these cyclic olefin monomers can also be used.

このような環状オレフィンモノマーの重合体には、例えば環状オレフィンモノマーの(共)重合体、環状オレフィンモノマーとα−オレフィン類等の共重合可能な他のモノマーとの共重合体、およびこれらの共重合体の水素添加物等が挙げられる。これらの公知の重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。これら環状オレフィン系樹脂は、公知の重合法により製造することが可能であり、その重合方法には付加重合法と開環重合法とが挙げられる。このうち、ノルボルネン型モノマーを重合(特に、付加(共)重合)することによって得られたポリマーが好ましいが、本発明はなんらこれに限定されるものではない。   Such polymers of cyclic olefin monomers include, for example, (co) polymers of cyclic olefin monomers, copolymers of cyclic olefin monomers and other copolymerizable monomers such as α-olefins, and copolymers thereof. Examples thereof include a hydrogenated product of a polymer. Examples of these known polymers include random copolymers, block copolymers, and alternating copolymers. These cyclic olefin-based resins can be produced by a known polymerization method, and examples of the polymerization method include an addition polymerization method and a ring-opening polymerization method. Of these, polymers obtained by polymerizing norbornene-type monomers (particularly addition (co) polymerization) are preferred, but the present invention is not limited thereto.

前記第1の環状オレフィン系樹脂の付加重合体としては、(1)ノルボルネン型モノマーを付加(共)重合させて得られるノルボルネン型モノマーの付加(共)重合体、(2)ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、(3)ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体が挙げられる。これらの樹脂は公知のすべての重合方法で得ることができる。   Examples of the addition polymer of the first cyclic olefin resin include (1) addition (co) polymer of norbornene type monomer obtained by addition (co) polymerization of norbornene type monomer, and (2) norbornene type monomer and ethylene. And addition copolymers with α-olefins, (3) addition copolymers with norbornene type monomers and non-conjugated dienes, and other monomers as required. These resins can be obtained by all known polymerization methods.

前記第1の環状オレフィン系樹脂の開環重合体としては、(4)ノルボルネン型モノマーの開環(共)重合体、及び必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂、(5)ノルボルネン型モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、及び必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂、(6)ノルボルネン型モノマーと非共役ジエン、又は他のモノマーとの開環共重合体、及び必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂が挙げられる。これらの樹脂は公知のすべての重合方法で得ることができる。上記のうち、(1)ノルボルネン型モノマーを付加(共)重合させて得られる付加(共)重合体が好ましいが、本発明はなんらこれに限定されるものではない。   Examples of the ring-opening polymer of the first cyclic olefin-based resin include (4) a ring-opening (co) polymer of a norbornene-type monomer, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary (5) ) A ring-opening copolymer of norbornene-type monomer and ethylene or α-olefins, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary, (6) norbornene-type monomer and non-conjugated diene, or other Examples thereof include a ring-opening copolymer with a monomer, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary. These resins can be obtained by all known polymerization methods. Among these, (1) addition (co) polymers obtained by addition (co) polymerization of norbornene type monomers are preferred, but the present invention is not limited to these.

前記第1の環状オレフィン系樹脂の付加重合体は、金属触媒による配位重合、又はラジカル重合によって得られる。このうち、配位重合においては、モノマーを、遷移金属触媒存在下、溶液中で重合することによってポリマーが得られる(NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science: part B, Polymer Physics, Vol.37, 3003-3010(1999))。
配位重合に用いる金属触媒として代表的なニッケルと白金触媒は、PCT WO 9733198とPCT WO 00/20472に述べられている。配位重合用金属触媒の例としては、(トルエン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(メシレン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(ベンゼン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(テトラヒドロ)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(エチルアセテート)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(ジオキサン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル等の公知の金属触媒が挙げられる。
The addition polymer of the first cyclic olefin resin is obtained by coordination polymerization using a metal catalyst or radical polymerization. Among them, in coordination polymerization, a polymer is obtained by polymerizing a monomer in a solution in the presence of a transition metal catalyst (NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science: part B, Polymer Physics, Vol. 37, 3003-3010 (1999)).
Representative nickel and platinum catalysts as metal catalysts for coordination polymerization are described in PCT WO 9733198 and PCT WO 00/20472. Examples of metal catalysts for coordination polymerization include (toluene) bis (perfluorophenyl) nickel, (mesylene) bis (perfluorophenyl) nickel, (benzene) bis (perfluorophenyl) nickel, bis (tetrahydro) bis ( Known metal catalysts such as perfluorophenyl) nickel, bis (ethyl acetate) bis (perfluorophenyl) nickel, and bis (dioxane) bis (perfluorophenyl) nickel may be mentioned.

ラジカル重合技術については、Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons, 13, 708(1988)に述べられている。
一般的にはラジカル重合は、ラジカル開始剤の存在下で温度を50〜150℃に上げ、モノマーを溶液中で反応させる。ラジカル開始剤としては、例えばアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウリル、アゾビスイソカプトロニトリル、アゾビスイソレロニトリル、t−ブチル過酸化水素等が挙げられる。
The radical polymerization technique is described in Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons, 13, 708 (1988).
Generally, in radical polymerization, the temperature is raised to 50 to 150 ° C. in the presence of a radical initiator, and the monomer is reacted in a solution. Examples of the radical initiator include azobisisobutyronitrile (AIBN), benzoyl peroxide, lauryl peroxide, azobisisocapronitrile, azobisisoleronitrile, t-butyl hydrogen peroxide, and the like.

前記第1の環状オレフィン系樹脂の開環重合体は、公知の開環重合法により、チタンやタングステン化合物を触媒として、少なくとも一種以上のノルボルネン型モノマーを開環(共)重合して開環(共)重合体を製造し、次いで必要に応じて通常の水素添加方法により前記開環(共)重合体中の炭素−炭素二重結合を水素添加して熱可塑性飽和ノルボルネン系樹脂を製造することによって得られる。   The ring-opening polymer of the first cyclic olefin-based resin is formed by ring-opening (co) polymerizing at least one or more norbornene-type monomers by a known ring-opening polymerization method using titanium or a tungsten compound as a catalyst. A co) polymer, and then, if necessary, a hydrogenated carbon-carbon double bond in the ring-opened (co) polymer by a conventional hydrogenation method to produce a thermoplastic saturated norbornene resin. Obtained by.

このような第1の環状オレフィン系樹脂を重合するのに適当な溶媒としては、例えば炭化水素や芳香族溶媒等が挙げられる。炭化水素溶媒の具体例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンやシクロヘキサン等であるがこれに限定されない。芳香族溶媒の具体例としては、ベンゼン、トルエン、キシレンやメシチレン等であるがこれに限定されない。ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチルアセテート、エステル、ラクトン、ケトン、アミドも使用できる。これら溶剤を単独や混合しても重合溶媒として使用できる。   Suitable solvents for polymerizing such first cyclic olefin-based resin include, for example, hydrocarbons and aromatic solvents. Specific examples of the hydrocarbon solvent include pentane, hexane, heptane, and cyclohexane, but are not limited thereto. Specific examples of the aromatic solvent include benzene, toluene, xylene and mesitylene, but are not limited thereto. Diethyl ether, tetrahydrofuran, ethyl acetate, ester, lactone, ketone, amide can also be used. These solvents can be used alone or as a polymerization solvent.

前記第1の環状オレフィン系樹脂の分子量は、開始剤とモノマーの比を変えたり、重合時間を変えたりすることにより制御することができる。上記の配位重合用が用いられる場合、米国特許No.6,136,499に開示されるように、分子量を連鎖移動触媒の使用により制御することができる。この発明においては、エチレン、プロピレン、1−ヘキサン、1−デセン、4−メチル−1−ペンテン等のα−オレフィンが分子量制御するのに適当である。   The molecular weight of the first cyclic olefin resin can be controlled by changing the ratio of the initiator and the monomer or changing the polymerization time. When the above-mentioned coordination polymerization is used, US Pat. As disclosed in US Pat. No. 6,136,499, the molecular weight can be controlled through the use of a chain transfer catalyst. In the present invention, α-olefins such as ethylene, propylene, 1-hexane, 1-decene, 4-methyl-1-pentene are suitable for controlling the molecular weight.

このような第1の環状オレフィン系樹脂の中でもノルボルネン系樹脂が好ましく用いられ、特にノルボルネン系樹脂の付加(共)重合体が好ましい。これにより、得られる樹脂層の電気特性(例えば誘電率が低い)が特に優れる。すなわち前記樹脂組成物は、主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1のノルボルネン系樹脂を含むことが好ましい。これにより、電気信号の劣化を防止することができることに加え、耐熱性にも優れることができる。前記置換基には、上述したものと同様のものを用いることができる。   Among such first cyclic olefin resins, norbornene resins are preferably used, and addition (co) polymers of norbornene resins are particularly preferable. Thereby, the electrical characteristics (for example, dielectric constant is low) of the resin layer obtained are especially excellent. That is, it is preferable that the resin composition includes a first norbornene-based resin mainly composed of silicon and oxygen and having a substituent having a cyclic structure in at least a part in a side chain. Thereby, in addition to preventing the deterioration of the electric signal, the heat resistance can also be improved. As the substituent, the same ones as described above can be used.

以下、主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1のノルボルネン系樹脂について、さらに詳細に説明する。
このような主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1のノルボルネン系樹脂は、特に限定されないが、側鎖に前記置換基を有するノルボルネン型モノマーの繰り返し単位と、下記式(II)で表されるノルボルネン型モノマーとの付加共重合体であることが特に好ましい。
Hereinafter, the first norbornene-based resin that is mainly composed of silicon and oxygen and has a substituent having a cyclic structure in at least a part in the side chain will be described in more detail.
Such a first norbornene-based resin mainly composed of silicon and oxygen and having a substituent in the side chain at least partially has a cyclic structure is not particularly limited, but the norbornene having the substituent in the side chain is not particularly limited. An addition copolymer of a repeating unit of a type monomer and a norbornene type monomer represented by the following formula (II) is particularly preferable.

Figure 0004894138
Figure 0004894138

前記アルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基およびイソブチル基等の側鎖を有している(C1−C20)アルキル基が挙げられる。前記アルケニル基としては、例えば(C3−C10)アルケニル基等が挙げられる。前記アルキニル基としては、例えばエチニル基、プロペニル基、ヘキセイニル基、オクテニル基およびヘプテニル基等の(C2−C20)アルキニル基等が挙げられる。前記アリール基としては、例えばフェニル基、トリル基、ナフチル基、およびフェニルエチニル基等の(C6−C40)アリール基等が挙げられる。前記アラルキル基としては、例えばベンジル基、(C7−C15)アラルキル基等が挙げられる。前記エステル基としては、例えばメチルエステル基、エチルエステル基、n−ブチルエステル基、t−ブチルエステル基およびn−プロピルエステル基等のエステル基等が挙げられる。前記(メタ)アクリル基としては、例えばメタクリロキシメチル基等の(メタ)アクリル基等が挙げられる。前記エポキシ基としては、例えばグリシジルエーテル基等のエポキシ基等が挙げられる。   Examples of the alkyl group include (C1-C20) alkyl groups having a side chain such as a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and an isobutyl group. Examples of the alkenyl group include a (C3-C10) alkenyl group. Examples of the alkynyl group include (C2-C20) alkynyl groups such as ethynyl group, propenyl group, hexenyl group, octenyl group and heptenyl group. Examples of the aryl group include (C6-C40) aryl groups such as a phenyl group, a tolyl group, a naphthyl group, and a phenylethynyl group. Examples of the aralkyl group include a benzyl group and a (C7-C15) aralkyl group. Examples of the ester group include ester groups such as a methyl ester group, an ethyl ester group, an n-butyl ester group, a t-butyl ester group, and an n-propyl ester group. Examples of the (meth) acryl group include a (meth) acryl group such as a methacryloxymethyl group. Examples of the epoxy group include an epoxy group such as a glycidyl ether group.

前記付加共重合体中の前記側鎖に前記置換基を有するノルボルネン型モノマーの繰り返し単位の含有量は、特に限定されないが、前記付加共重合体全体の5〜80モル%が好ましく、特に20〜70モル%が好ましい。含有量が前記範囲内であると、特に密着性および耐熱性のバランスに優れる。   The content of the repeating unit of the norbornene-type monomer having the substituent in the side chain in the addition copolymer is not particularly limited, but is preferably 5 to 80 mol% of the entire addition copolymer, particularly 20 to 70 mol% is preferable. When the content is within the above range, the balance between adhesion and heat resistance is particularly excellent.

さて、このような第1の環状オレフィン系樹脂の前記置換基の含有量は、前記第1の環状オレフィン系樹脂全体の1〜80モル%が好ましく、特に5〜75モル%が好ましい。含有量が前記下限値未満であると密着性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると電気特性を向上する効果が低下する場合がある。   Now, the content of the substituent in the first cyclic olefin resin is preferably 1 to 80 mol%, particularly preferably 5 to 75 mol%, based on the entire first cyclic olefin resin. If the content is less than the lower limit, the effect of improving adhesion may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the effect of improving electrical characteristics may be reduced.

前記置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、10,000〜500,000が好ましく、特に50,000〜300,000が好ましい。重量平均分子量が前記範囲内であると、特にクラック耐性に優れる。前記重量平均分子量は、例えばシクロヘキサンまたはトルエンを有機溶剤とするGPCで測定することができる。   Although the weight average molecular weight of the 1st cyclic olefin resin which has the said substituent in a side chain is not specifically limited, 10,000-500,000 are preferable and 50,000-300,000 are especially preferable. When the weight average molecular weight is within the above range, the crack resistance is particularly excellent. The weight average molecular weight can be measured by GPC using, for example, cyclohexane or toluene as an organic solvent.

前記置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂の分子量分布[重量平均分子量:Mwと、数平均分子量:Mnとの比(Mw/Mn)]は、特に限定されないが、2.0〜6.0が好ましく、特に3.0〜5.0が好ましい。分子量分布が前記範囲内であると、特に電気特性に優れる。前記分子量分布を測定する方法としては、例えばシクロヘキサンまたはトルエンを有機溶剤とするGPCで測定することができる。   The molecular weight distribution of the first cyclic olefin-based resin having the above substituent in the side chain [ratio of weight average molecular weight: Mw and number average molecular weight: Mn (Mw / Mn)] is not particularly limited, but 2.0 -6.0 is preferable, and 3.0-5.0 is particularly preferable. When the molecular weight distribution is within the above range, the electrical characteristics are particularly excellent. As a method for measuring the molecular weight distribution, for example, it can be measured by GPC using cyclohexane or toluene as an organic solvent.

前記置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記樹脂組成物全体の1〜50重量%が好ましく、特に10〜45重量%が好ましい。含有量が前記範囲内であると、特に電気特性に優れる。   Although content of the 1st cyclic olefin resin which has the said substituent in a side chain is not specifically limited, 1 to 50 weight% of the whole said resin composition is preferable, and 10 to 45 weight% is especially preferable. When the content is within the above range, the electrical characteristics are particularly excellent.

前記樹脂組成物は、前記第1の環状オレフィン系樹脂と異なる第2の環状オレフィン系樹脂を含むことを特徴とする。これにより、樹脂層の成膜性を向上することができる。
前記第2の環状オレフィン系樹脂としては、上述した第1の環状オレフィン系樹脂を構成する環状オレフィン系樹脂を用いることができる。
例えば環状オレフィンモノマーの(共)重合体、環状オレフィンモノマーとα−オレフィン類等の共重合可能な他のモノマーとの共重合体、およびこれらの共重合体の水素添加物等が挙げられる。これらの公知の重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。これら環状オレフィン系樹脂は、公知の重合法により製造することが可能であり、その重合方法には付加重合法と開環重合法とが挙げられる。このうち、ノルボルネン型モノマーを重合(特に、付加(共)重合)することによって得られたポリマーが好ましいが、本発明はなんらこれに限定されるものではない。
The resin composition includes a second cyclic olefin resin different from the first cyclic olefin resin. Thereby, the film formability of the resin layer can be improved.
As said 2nd cyclic olefin resin, the cyclic olefin resin which comprises the 1st cyclic olefin resin mentioned above can be used.
Examples thereof include (co) polymers of cyclic olefin monomers, copolymers of cyclic olefin monomers and other monomers capable of copolymerization such as α-olefins, and hydrogenated products of these copolymers. Examples of these known polymers include random copolymers, block copolymers, and alternating copolymers. These cyclic olefin-based resins can be produced by a known polymerization method, and examples of the polymerization method include an addition polymerization method and a ring-opening polymerization method. Of these, polymers obtained by polymerizing norbornene-type monomers (particularly addition (co) polymerization) are preferred, but the present invention is not limited thereto.

前記第2の環状オレフィン系樹脂を重合する方法、構成するモノマーとしては、前記第1の環状オレフィン系樹脂と同様の方法およびモノマーを使用することができる。   As the method for polymerizing the second cyclic olefin-based resin and the constituent monomer, the same methods and monomers as those for the first cyclic olefin-based resin can be used.

これら第2の環状オレフィン系樹脂の中でもノルボルネン系樹脂の付加(共)重合体が好ましい。
以下、第2のノルボルネン系樹脂について説明する。
前記第2のノルボルネン系樹脂は、特に限定されないが、下記式(V)で表される繰り返し単位を有していることが好ましい。これにより、線膨張係数を低下することができる。
Among these second cyclic olefin resins, addition (co) polymers of norbornene resins are preferable.
Hereinafter, the second norbornene resin will be described.
The second norbornene resin is not particularly limited, but preferably has a repeating unit represented by the following formula (V). Thereby, a linear expansion coefficient can be reduced.

Figure 0004894138
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前記アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基等が挙げられ、前記アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、ブチニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられ、前記アルキニル基の具体例としては、エチニル基、1−プロピニル基、2−プロピニル基、1−ブチニル基、2−ブチニル基等が挙げられ、前記環状脂肪族基の具体例としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等が挙げられ、前記アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられ、前記アラルキル基の具体例としてはベンジル基、フェネチル基等が挙げられるが、本発明は何らこれらに限定されない。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, dodecyl group, etc. Specific examples of the alkenyl group include vinyl group, allyl group, butynyl group, cyclohexenyl group and the like. Specific examples of the alkynyl group include ethynyl group, 1-propynyl group, 2-propynyl group, 1-butynyl. Group, 2-butynyl group and the like, specific examples of the cycloaliphatic group include cyclopentyl group, cyclohexyl group, cyclooctyl group and the like, and specific examples of the aryl group include phenyl group and naphthyl group. Anthracenyl group and the like, and specific examples of the aralkyl group include a benzyl group and a phenethyl group. Invention is in no way limited to these.

前記第2のノルボルネン系樹脂は、さらに下記式(VI)で表される繰り返し単位を有している付加共重合体であることが好ましい。これにより、密着性を向上することができる。   The second norbornene-based resin is preferably an addition copolymer having a repeating unit represented by the following formula (VI). Thereby, adhesiveness can be improved.

Figure 0004894138
Figure 0004894138

前記アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基等が挙げられ、前記アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、ブチニル基、シクロヘキセニル基等が挙げられ、前記アルキニル基の具体例としては、エチニル基、1−プロピニル基、2−プロピニル基、1−ブチニル基、2−ブチニル基等が挙げられ、前記環状脂肪族基の具体例としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等が挙げられ、前記アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられ、前記アラルキル基の具体例としてはベンジル基、フェネチル基等が挙げられ、前記シリル基の具体例としては、シリル基や、メチル基およびエチル基等のアルキル基、トリメトキシ基およびトリエトキシ基等のアルコキシ基、フェニル基等の芳香族基等の置換基を有していても良いシリル基が挙げられるが、本発明は何らこれらに限定されない。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, dodecyl group, etc. Specific examples of the alkenyl group include vinyl group, allyl group, butynyl group, cyclohexenyl group and the like. Specific examples of the alkynyl group include ethynyl group, 1-propynyl group, 2-propynyl group, 1-butynyl. Group, 2-butynyl group and the like, specific examples of the cycloaliphatic group include cyclopentyl group, cyclohexyl group, cyclooctyl group and the like, and specific examples of the aryl group include phenyl group and naphthyl group. Anthracenyl group and the like, and specific examples of the aralkyl group include a benzyl group and a phenethyl group, Specific examples of the ryl group may have a substituent such as a silyl group, an alkyl group such as a methyl group and an ethyl group, an alkoxy group such as a trimethoxy group and a triethoxy group, and an aromatic group such as a phenyl group. Although a silyl group is mentioned, this invention is not limited to these at all.

前記付加共重合体における下記式(V)で表される繰り返し単位の含有量は、特に限定されないが、前記付加共重合体全体の50〜95重量%が好ましく、特に60〜90重量%が好ましい。含有量が前記範囲内であると、特に誘電特性に優れる。   The content of the repeating unit represented by the following formula (V) in the addition copolymer is not particularly limited, but is preferably 50 to 95% by weight, particularly preferably 60 to 90% by weight, based on the whole addition copolymer. . When the content is within the above range, the dielectric properties are particularly excellent.

前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、前記側鎖に置換基を有する第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量よりも大きいことが好ましい。これにより、耐クラック性を向上することができる。
前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、具体的には100,000〜700,000が好ましく、特に200,000〜500,000が好ましい。重量平均分子量が前記範囲内であると、耐クラック性に特に優れる。前記重量平均分子量は、シクロヘキサンまたはトルエンを有機溶剤とするGPCで測定することができる。
The weight average molecular weight of the second cyclic olefin resin is not particularly limited, but is preferably larger than the weight average molecular weight of the first cyclic olefin resin having a substituent in the side chain. Thereby, crack resistance can be improved.
Specifically, the weight average molecular weight of the second cyclic olefin-based resin is preferably 100,000 to 700,000, particularly 200,000 to 500,000. When the weight average molecular weight is within the above range, the crack resistance is particularly excellent. The weight average molecular weight can be measured by GPC using cyclohexane or toluene as an organic solvent.

前記第2の環状オレフィン系樹脂の分子量分布[重量平均分子量:Mwと、数平均分子量:Mnとの比(Mw/Mn)]は、特に限定されないが、2.0〜5.0が好ましく、特に2.0〜3.0が好ましい。分子量分布が前記範囲内であると、特に電気特性に優れる。前記分子量分布を測定する方法としては、例えばシクロヘキサンまたはトルエンを有機溶剤とするGPCで測定することができる。   The molecular weight distribution of the second cyclic olefin-based resin [weight average molecular weight: Mw and number average molecular weight: ratio of Mn (Mw / Mn)] is not particularly limited, but is preferably 2.0 to 5.0, In particular, 2.0 to 3.0 is preferable. When the molecular weight distribution is within the above range, the electrical characteristics are particularly excellent. As a method for measuring the molecular weight distribution, for example, it can be measured by GPC using cyclohexane or toluene as an organic solvent.

前記第2の環状オレフィン系樹脂の含有量は、特に限定されないが、前記樹脂組成物全体の50〜99重量%が好ましく、特に30〜80重量%が好ましい。含有量が前記範囲内であると、特に成膜性に優れる。   Although content of the said 2nd cyclic olefin resin is not specifically limited, 50 to 99 weight% of the whole said resin composition is preferable, and 30 to 80 weight% is especially preferable. When the content is within the above range, the film formability is particularly excellent.

前記樹脂組成物は、本発明の目的に反しない範囲で無機充填材、相溶化剤、レベリング剤、消泡剤、界面活性剤、有機フィラー、酸化防止剤等の他の添加剤を含有することができる。これら添加剤は、単独あるいは2種以上を混合して用いることができる。
前記無機充填材としては、例えばタルク、焼成クレー、未焼成クレー、マイカおよびガラス等のケイ酸塩、酸化チタン、アルミナ、シリカおよび溶融シリカ等の酸化物、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウムおよびハイドロタルサイト等の炭酸塩、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムおよび水酸化カルシウム等の水酸化物、硫酸バリウム、硫酸カルシウムおよび亜硫酸カルシウム等の硫酸塩または亜硫酸塩、ホウ酸亜鉛、メタホウ酸バリウム、ホウ酸アルミニウム、ホウ酸カルシウムおよびホウ酸ナトリウム等のホウ酸塩、窒化アルミニウム、窒化ホウ素および窒化ケイ素等の窒化物等を挙げることができる。これらの中でもシリカが好ましい。これにより、特に樹脂層の誘電率を低くすることができる。前記シリカとしては、ゾル−ゲル法により合成されたシリカフィラー、気相法により合成されたシリカフィラー、溶融シリカフィラー、結晶シリカフィラー等がある。特に、気相法により合成されたシリカフィラー、ゾル−ゲル法により合成されたシリカフィラーが好ましい。
The resin composition contains other additives such as an inorganic filler, a compatibilizer, a leveling agent, an antifoaming agent, a surfactant, an organic filler, and an antioxidant as long as they do not contradict the purpose of the present invention. Can do. These additives can be used alone or in admixture of two or more.
Examples of the inorganic filler include talc, calcined clay, unfired clay, silicates such as mica and glass, oxides such as titanium oxide, alumina, silica and fused silica, calcium carbonate, magnesium carbonate and hydrotalcite. Carbonates, hydroxides such as aluminum hydroxide, magnesium hydroxide and calcium hydroxide, sulfates or sulfites such as barium sulfate, calcium sulfate and calcium sulfite, zinc borate, barium metaborate, aluminum borate, boron Examples thereof include borates such as calcium oxide and sodium borate, and nitrides such as aluminum nitride, boron nitride and silicon nitride. Among these, silica is preferable. Thereby, especially the dielectric constant of the resin layer can be lowered. Examples of the silica include a silica filler synthesized by a sol-gel method, a silica filler synthesized by a gas phase method, a fused silica filler, and a crystalline silica filler. In particular, a silica filler synthesized by a gas phase method and a silica filler synthesized by a sol-gel method are preferable.

前記無機充填材の平均粒子径は、特に限定されないが、800nm以下が好ましく、特に600nm以下が好ましく、より100nm以下が好ましく、最も1〜50nmが好ましい。平均粒子径が前記上限値を超えると数10μm程度の厚さの樹脂層を平滑に成膜するのが困難となる場合があり、前記下限値未満であると低線膨張係数とする効果が低下する場合がある。
前記無機充填材の平均粒子径は、例えば動的光散乱式粒度分布測定装置で測定することができる。
The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 800 nm or less, particularly preferably 600 nm or less, more preferably 100 nm or less, and most preferably 1 to 50 nm. If the average particle diameter exceeds the upper limit, it may be difficult to smoothly form a resin layer having a thickness of about several tens of μm. If the average particle diameter is less than the lower limit, the effect of setting a low linear expansion coefficient is reduced. There is a case.
The average particle diameter of the inorganic filler can be measured, for example, with a dynamic light scattering particle size distribution measuring apparatus.

前記無機充填材の含有量は、特に限定されないが、前記環状オレフィン系樹脂(第1の環状オレフィン系樹脂および第2の環状オレフィン系樹脂の合計)100重量部に対し、5〜200重量部が好ましく、特に10〜150重量部が好ましく、最も15〜60重量部が好ましい。含有量が前記下限値未満であると熱膨張係数を低下する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると誘電率の増加やフィルム特性が低下する場合がある。   The content of the inorganic filler is not particularly limited, but is 5 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the cyclic olefin resin (the total of the first cyclic olefin resin and the second cyclic olefin resin). Particularly preferred is 10 to 150 parts by weight, and most preferred is 15 to 60 parts by weight. If the content is less than the lower limit, the effect of reducing the thermal expansion coefficient may be reduced, and if the content exceeds the upper limit, the dielectric constant may increase or the film characteristics may be reduced.

前記無機充填材は、特に限定されないが、シランカップリング剤で表面処理されていることが好ましい。これにより、フィラーの分散性を向上することができる。
前記シランカップリング剤としては、例えば1分子中にアルコキシシリル基と、アルキル基、エポキシ基、ビニル基、フェニル基等の有機官能基を有するシラン化合物が挙げられる。具体的には、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリエトキシシラン、ブチルトリエトキシシラン等のアルキル基を有するシラン、フェニルトリエトキシシラン、ベンジルトリエトキシシラン、フェネチルトリエトキシシラン等のフェニル基を有するシラン、ブテニルトリエトキシシラン、プロペニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニル基を有するシラン、γ−(メタクリロキシプロピル)トリメトキシシラン等のメタクリル基を有するシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のアミノ基を有するシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ基を有するシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト基を有するシラン等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。これらは単独でも混合して用いても良い。
The inorganic filler is not particularly limited, but is preferably surface-treated with a silane coupling agent. Thereby, the dispersibility of a filler can be improved.
Examples of the silane coupling agent include silane compounds having an alkoxysilyl group and an organic functional group such as an alkyl group, an epoxy group, a vinyl group, or a phenyl group in one molecule. Specifically, silanes having an alkyl group such as ethyltriethoxysilane, propyltriethoxysilane, and butyltriethoxysilane, silanes having a phenyl group such as phenyltriethoxysilane, benzyltriethoxysilane, and phenethyltriethoxysilane, Silanes having vinyl groups such as tenenyltriethoxysilane, propenyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, silanes having methacrylic groups such as γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N- Silanes having amino groups such as β (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-ureidopropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltri Examples include, but are not limited to, silanes having epoxy groups such as toxisilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, and silanes having mercapto groups such as γ-mercaptopropyltrimethoxysilane. is not. These may be used alone or in combination.

前記シランカップリング剤の添加量は、特に限定されないが、前記無機充填材100重量部に対し0.01〜30重量部が好ましく、より好ましくは0.05〜10重量部、さらに好ましくは0.1〜5.0重量部が好ましい。   The addition amount of the silane coupling agent is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 30 parts by weight, more preferably 0.05 to 10 parts by weight, and still more preferably 0. 0 to 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the inorganic filler. 1 to 5.0 parts by weight is preferred.

次に、樹脂層および樹脂層付きキャリア材料について説明する。
図1は、上述の樹脂組成物で構成されている樹脂層3が、キャリア材料2の片面に形成されている樹脂層付きキャリア材料1を示す断面図である。
Next, the resin layer and the carrier material with the resin layer will be described.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a carrier material 1 with a resin layer in which a resin layer 3 composed of the above-described resin composition is formed on one side of a carrier material 2.

樹脂層3は、上述した樹脂組成物で構成されている。これにより、低誘電率等の電気特性に優れ、かつ電気信号の劣化も少ない樹脂層を得ることができる。   The resin layer 3 is comprised with the resin composition mentioned above. Thereby, it is possible to obtain a resin layer that is excellent in electrical characteristics such as a low dielectric constant and has little deterioration of electrical signals.

樹脂層3の厚さは、特に限定されないが、0.1〜60μmが好ましく、特に1〜40μmが好ましい。樹脂層3の厚さが前記下限値未満であると絶縁信頼性を向上する効果が低下する場合があり、前記上限値を超えると回路基板を薄膜化するのが困難になる場合がある。   Although the thickness of the resin layer 3 is not specifically limited, 0.1-60 micrometers is preferable and especially 1-40 micrometers is preferable. If the thickness of the resin layer 3 is less than the lower limit value, the effect of improving the insulation reliability may be reduced. If the thickness exceeds the upper limit value, it may be difficult to reduce the thickness of the circuit board.

樹脂層3を製造する方法としては、例えば第1の環状オレフィン系樹脂と、第2の環状オレフィン系樹脂とを、超音波分散方式、高圧衝突式分散方式、高速回転分散方式、ビーズミル方式、高速せん断分散方式、および自転公転式分散方式等の各種混合機を用いて混合して得られる樹脂ワニスをキャリア材料に塗布する方法により得ることができる。前記塗布する方法としては例えば、ロールコーター、バーコーター、ナイフコーター、グラビアコーター、ダイコーター、カーテンコーターを用いる方法、スプレーにより噴霧する方法、デッィピングにより浸漬する方法、印刷機、真空印刷機およびディルペンサーを用いる方法等が挙げられる。これらの中でもダイコーターを用いる方法が好ましい。これにより、所定の厚さを有する樹脂層3を安定して生産できる。また、樹脂層3をダミー基材等に塗布した後、ドライフィルムの状態で得ることもできる。   As a method for producing the resin layer 3, for example, a first cyclic olefin resin and a second cyclic olefin resin are mixed with an ultrasonic dispersion method, a high-pressure collision dispersion method, a high-speed rotation dispersion method, a bead mill method, a high-speed method. It can be obtained by a method of applying a resin varnish obtained by mixing using various mixers such as a shear dispersion method and a rotation and revolution dispersion method to a carrier material. Examples of the coating method include a roll coater, a bar coater, a knife coater, a gravure coater, a die coater, a curtain coater, a spraying method, a dipping method, a printing machine, a vacuum printing machine, and a dip dispenser. The method to use etc. are mentioned. Among these, a method using a die coater is preferable. Thereby, the resin layer 3 having a predetermined thickness can be stably produced. Moreover, after apply | coating the resin layer 3 to a dummy base material etc., it can also obtain in the state of a dry film.

前記溶媒としては、前記環状オレフィン系樹脂を溶解することが可能であればよく、例えば脂肪族炭化水素系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、ケトン系溶媒、エーテル系溶媒、エチルアセテートやエステル系、ラクトン系、アミド系溶媒等が挙げられ、中でも、脂肪族炭化水素系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、ケトン系溶媒およびエーテル系溶媒が好ましい。前記炭化水素溶媒としては、例えばペンタン、ヘキサン、ヘプタンやシクロヘキサン等が挙げられ、前記芳香族溶媒としては、例えばベンゼン、トルエン、キシレンやメシチレン等が挙げられ、前記ケトン系溶媒としては、例えばメチルエチルケトンやシクロヘキサノン等が挙げられ、前記エーテル系溶媒としては、例えばジエチルエーテルやテトラヒドロフラン等が挙げられる。これら溶剤を単独や混合しても溶媒として使用できる。これらの内、特に好ましくは、1,3,5−トリメチルベンゼンである。   The solvent only needs to be able to dissolve the cyclic olefin-based resin. For example, an aliphatic hydrocarbon solvent, an aromatic hydrocarbon solvent, a ketone solvent, an ether solvent, an ethyl acetate or an ester solvent, Examples include lactone solvents and amide solvents, and among them, aliphatic hydrocarbon solvents, aromatic hydrocarbon solvents, ketone solvents, and ether solvents are preferable. Examples of the hydrocarbon solvent include pentane, hexane, heptane, and cyclohexane. Examples of the aromatic solvent include benzene, toluene, xylene, and mesitylene. Examples of the ketone solvent include methyl ethyl ketone and the like. Examples of the ether solvent include diethyl ether and tetrahydrofuran. These solvents can be used alone or in combination. Of these, 1,3,5-trimethylbenzene is particularly preferable.

キャリア材料2としては、例えば銅または銅系合金、アルミまたはアルミ系合金等で構成される金属箔、ポリエチレン、フッ素系樹脂、(芳香族)ポリイミド樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂等で構成される樹脂フィルム等が挙げられる。これらの中でもポリエステル樹脂で構成される樹脂フィルムが最も好ましい。これにより、樹脂層3からキャリア材料2を適度な強度で剥離することが容易となる。さらに、反応性希釈剤に対する安定性にも優れている。したがって、反応性希釈剤および溶剤に溶解している樹脂組成物成分がキャリア材料2にマイグレーションするのを防止することもできる。   Examples of the carrier material 2 include metal foils made of copper or copper alloys, aluminum or aluminum alloys, polyethylene, fluorine resins, (aromatic) polyimide resins, polybutylene terephthalate, polyester resins such as polyethylene terephthalate, etc. The resin film comprised by these is mentioned. Among these, a resin film composed of a polyester resin is most preferable. Thereby, it becomes easy to peel the carrier material 2 from the resin layer 3 with an appropriate strength. Furthermore, it has excellent stability against reactive diluents. Therefore, migration of the resin composition component dissolved in the reactive diluent and the solvent to the carrier material 2 can also be prevented.

キャリア材料2の厚さは、特に限定されないが、10〜200μmが好ましく、特に20〜100μmが好ましい。厚さが前記範囲内であると、特に回路上での樹脂層3の平坦性に優れる。   Although the thickness of the carrier material 2 is not specifically limited, 10-200 micrometers is preferable and 20-100 micrometers is especially preferable. When the thickness is within the above range, the flatness of the resin layer 3 is particularly excellent on the circuit.

樹脂層付きキャリア材料1を製造する方法としては、例えば上述の樹脂組成物を溶剤に溶解したものをキャリア材料2に1〜100μm程度の厚さで塗布し、その塗布層を例えば80〜200℃で20秒〜30分間乾燥する方法が挙げられる。このようにして、樹脂層3がキャリア材料2上に積層された樹脂層付きキャリア材料1を得ることができる。この際、残留溶媒量が全体の0.5重量%以下とすることが好ましい。前記樹脂組成物の加熱硬化温度は、特に限定されないが、150〜300℃が好ましく、特に170〜250℃が好ましい。   As a method for producing the carrier material 1 with a resin layer, for example, a solution obtained by dissolving the above resin composition in a solvent is applied to the carrier material 2 with a thickness of about 1 to 100 μm, and the applied layer is, for example, 80 to 200 ° C. And a method of drying for 20 seconds to 30 minutes. Thus, the carrier material 1 with a resin layer in which the resin layer 3 is laminated on the carrier material 2 can be obtained. At this time, the residual solvent amount is preferably 0.5% by weight or less. The heat curing temperature of the resin composition is not particularly limited, but is preferably 150 to 300 ° C, particularly preferably 170 to 250 ° C.

次に、回路基板について説明する。
図2は、本発明の回路基板の一例を示す断面図である。
図2に示すように、回路基板10は、コア基板5と、コア基板5の両面に設けられた樹脂層3とで構成されている。
コア基板5には、ドリル機で開口された開口部51が形成されている。また、コア基板5の両表面には導体回路52が形成されている。
開口部51の内部はメッキ処理されており、コア基板5の両表面の導体回路52は導通されている。
Next, the circuit board will be described.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the circuit board of the present invention.
As shown in FIG. 2, the circuit board 10 includes a core substrate 5 and a resin layer 3 provided on both surfaces of the core substrate 5.
The core substrate 5 is formed with an opening 51 opened by a drilling machine. Conductor circuits 52 are formed on both surfaces of the core substrate 5.
The inside of the opening 51 is plated, and the conductor circuits 52 on both surfaces of the core substrate 5 are electrically connected.

導体回路52を覆うようにコア基板5の両面に、樹脂層3が設けられている。樹脂層3には、レーザー加工により形成された開口部31が形成されている。
また、樹脂層3の両表面には、導体回路32が形成されている。
開口部31の内部はメッキ処理されており、導体回路52と、導体回路32とは導通されている。
The resin layer 3 is provided on both surfaces of the core substrate 5 so as to cover the conductor circuit 52. An opening 31 formed by laser processing is formed in the resin layer 3.
Conductor circuits 32 are formed on both surfaces of the resin layer 3.
The inside of the opening 31 is plated, and the conductor circuit 52 and the conductor circuit 32 are electrically connected.

このような回路基板10を製造する方法としては、例えばコア基板(例えばFR−4の両面銅箔)5をドリル機で開孔して開口部51を設けた後、無電解めっきにより、開口部51の内部にメッキ処理を行い、コア基板5の両面の導通を図る。そして、前記銅箔をエッチングすることにより導体回路52を形成する。   As a method of manufacturing such a circuit board 10, for example, a core substrate (for example, FR-4 double-sided copper foil) 5 is opened with a drill machine to provide an opening 51, and then the opening is formed by electroless plating. The inside of 51 is subjected to a plating process so as to make both surfaces of the core substrate 5 conductive. Then, the conductor circuit 52 is formed by etching the copper foil.

導体回路52の材質としては、この製造方法に適するものであれば、どのようなものでも良いが、導体回路の形成においてエッチングや剥離等の方法により除去可能であることが好ましく、前記エッチングにおいては、これに使用される薬液等に耐性を有するものが好ましい。そのような導体回路52の材質としては、例えば、銅、銅合金、42合金およびニッケル等が挙げられる。特に、銅箔、銅板および銅合金板は、電解めっき品や圧延品を選択できるだけでなく、様々な厚みのものを容易に入手できるため、導体回路52として使用するのに最も好ましい。   The material of the conductor circuit 52 may be any material as long as it is suitable for this manufacturing method, but is preferably removable by a method such as etching or peeling in the formation of the conductor circuit. Those having resistance to the chemicals used for this are preferred. Examples of the material of the conductor circuit 52 include copper, copper alloy, 42 alloy, nickel, and the like. In particular, the copper foil, the copper plate, and the copper alloy plate are most preferable for use as the conductor circuit 52 because not only electrolytic plated products and rolled products can be selected, but also various thicknesses can be easily obtained.

次に、導体回路52に、樹脂層3を形成する。樹脂層3を形成する方法としては、上述の樹脂層付きキャリア材料1をプレスする方法、樹脂層付きキャリア材料1を真空プレス、常圧ラミネーター、真空ラミネータ−およびベクレル式積層装置等を用いて積層して樹脂層3を形成する方法が挙げられる。
また、キャリア材料2として金属層を用いた場合、該金属層を導体回路として加工することができる。
Next, the resin layer 3 is formed on the conductor circuit 52. As a method of forming the resin layer 3, the above-described method of pressing the carrier material 1 with a resin layer, and laminating the carrier material 1 with a resin layer using a vacuum press, an atmospheric laminator, a vacuum laminator, a Becquerel type laminating apparatus, or the like. And a method of forming the resin layer 3.
Moreover, when a metal layer is used as the carrier material 2, the metal layer can be processed as a conductor circuit.

キャリア材料2を剥離した後、形成した樹脂層3を加熱・硬化する。前記加熱・硬化する温度は、特に限定されないが、150〜300℃が好ましく、特に160〜250℃が好ましい。
また、一層目の樹脂層3を加熱、半硬化させた樹脂層3上に、さらに一層または複数の樹脂層3を形成し、半硬化の樹脂層3を実用上問題ない程度に再度加熱硬化させることにより、樹脂層3間および樹脂層3と導体回路52との間の密着性を向上させることができる。この場合の半硬化の温度は、特に限定されないが、100〜250℃が好ましく、特に150〜200℃がより好ましい。
また、樹脂層3を形成後に、樹脂層3の表面にプラズマ処理を施すことで樹脂層3間および樹脂層3と導体回路52との間の密着力を向上させることができる。プラズマ処理のガスとしては、例えば酸素、アルゴン、フッ素、フッ化炭素、窒素等を一種もしくは複数種混合して用いることができる。前記プラズマ処理は、複数回実施しても良い。
After the carrier material 2 is peeled off, the formed resin layer 3 is heated and cured. The temperature for heating and curing is not particularly limited, but is preferably 150 to 300 ° C, particularly preferably 160 to 250 ° C.
Further, one or more resin layers 3 are formed on the resin layer 3 obtained by heating and semi-curing the first resin layer 3, and the semi-cured resin layer 3 is heat-cured again to such an extent that there is no practical problem. Thereby, the adhesiveness between the resin layers 3 and between the resin layer 3 and the conductor circuit 52 can be improved. The semi-curing temperature in this case is not particularly limited, but is preferably 100 to 250 ° C, and more preferably 150 to 200 ° C.
Further, after the resin layer 3 is formed, the surface of the resin layer 3 is subjected to plasma treatment, whereby the adhesion between the resin layers 3 and between the resin layer 3 and the conductor circuit 52 can be improved. As the plasma treatment gas, for example, oxygen, argon, fluorine, carbon fluoride, nitrogen, or the like can be used singly or in combination. The plasma treatment may be performed a plurality of times.

次に、樹脂層3に、レーザーを照射して、開口部31を形成する。前記レーザーとしては、例えばエキシマレーザー、UVレーザーおよび炭酸ガスレーザー等が使用できる。前記レーザーによる開口部31の形成は、樹脂層3の材質が感光性・非感光性に関係なく、微細な開口部31を容易に形成することができる。したがって、樹脂層3に微細加工が必要とされる場合に、特に好ましい。そして、無電解めっきにより、開口部31にメッキ処理を行う。
次に、導体回路32を形成する。導体回路32の形成方法としては、公知の方法であるセミアディティブ法等で形成することができる。これらの方法により、回路基板を得ることができる。
Next, the resin layer 3 is irradiated with a laser to form the opening 31. Examples of the laser that can be used include an excimer laser, a UV laser, and a carbon dioxide gas laser. Formation of the opening 31 by the laser can easily form the fine opening 31 regardless of whether the material of the resin layer 3 is photosensitive or non-photosensitive. Therefore, it is particularly preferable when the resin layer 3 needs to be finely processed. Then, the opening 31 is plated by electroless plating.
Next, the conductor circuit 32 is formed. The conductor circuit 32 can be formed by a known method such as a semi-additive method. A circuit board can be obtained by these methods.

以下、本発明を実施例および比較例に基づいて説明するが、本発明はこれに限定されない。
(実施例1)
1.主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂の合成
重合系の雰囲気を不活性ガスの窒素で十分に満たした反応容器中に、Norbornenylethylethyl−POSS51.4g(0.075モル)(Hybrid Plastics LLC社製)、5−ブチル−2−ノルボルネン0.095g(0.025モル)、次いで、遷移金属触媒(η−トルエンニッケルビス(パーフルオロフェニル)0.12g(1.00×10−3モル)、トルエン76.0gを封入した後、マグネチックスターラーで撹拌しながら、80℃/3時間反応させた。反応後、メタノール1.50kg中に再沈させ、主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有する置換基を側鎖に有する第1の環状オレフィン系樹脂(A)26.0gを得た。
得られた第1の環状オレフィン系樹脂をゲルパーメーション・クロマトグラフィ(GPC)測定より、ポリスチレン換算重量平均分子量1.05×10)であることを確認した。また、核磁気共鳴(NMR)測定より組成が、Norbornenylethylethyl−POSS/5−ブチル−2−ノルボルネンの組成が24/76(モル%)であることを確認した。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to this.
Example 1
1. Synthesis of a first cyclic olefin-based resin mainly composed of silicon and oxygen and having a substituent having a cyclic structure in at least a part of the side chain. Reaction in which the atmosphere of the polymerization system is sufficiently filled with an inert gas nitrogen In a container, 51.4 g (0.075 mol) of Norbornenylylethyl-POSS (manufactured by Hybrid Plastics LLC), 0.095 g (0.025 mol) of 5-butyl-2-norbornene, and then a transition metal catalyst (η 6 -toluene) After 0.12 g (1.00 × 10 −3 mol) of nickel bis (perfluorophenyl) and 76.0 g of toluene were encapsulated, the mixture was reacted at 80 ° C. for 3 hours while stirring with a magnetic stirrer. Reprecipitated in 1.50 kg of methanol, mainly composed of silicon and oxygen, and a small amount 26.0 g of 1st cyclic olefin resin (A) which has the substituent which has a cyclic structure in part at least in a side chain was obtained.
It was confirmed by gel permeation chromatography (GPC) measurement that the obtained first cyclic olefin-based resin had a polystyrene equivalent weight average molecular weight of 1.05 × 10 5 ). Further, it was confirmed by nuclear magnetic resonance (NMR) measurement that the composition of Norbornenylylethyl-POSS / 5-butyl-2-norbornene was 24/76 (mol%).

2.樹脂ワニスの調製
上述で得られた第1の環状オレフィン系樹脂(A)3.00g(30重量%)を、第2の環状オレフィン系樹脂としてブチルノルボルネン90モル%とトリエトキシシランノルボルネン10モル%との共重合体溶液(PROMERUS LLC社製アバトレルEPM、固形分22.3重量%、重量平均分子量3.05×10)31.82g(70重量%)に添加後、真空脱法混練撹拌装置を用いて、混合して樹脂ワニスを得た。
2. Preparation of Resin Varnish 3.00 g (30% by weight) of the first cyclic olefin resin (A) obtained above was used as a second cyclic olefin resin, 90 mol% butyl norbornene and 10 mol% triethoxysilane norbornene. To the copolymer solution (Abaterol EPM manufactured by PROMERUS LLC, solid content 22.3% by weight, weight average molecular weight 3.05 × 10 5 ) 31.82 g (70% by weight) And mixed to obtain a resin varnish.

3.樹脂層付きキャリア材料の作製
上記で得られた樹脂ワニスをダイコータ−で、キャリア材料であるポリエステルフィルム(T−100G−25、ダイヤホイルテキスト(株)社製、厚さ25μm)上に20μmの厚さで形成し、樹脂層付きキャリア材料を得た。
3. Production of Carrier Material with Resin Layer The resin varnish obtained above is formed with a die coater on a polyester film (T-100G-25, manufactured by Diafoil Text Co., Ltd., thickness 25 μm) as a carrier material with a thickness of 20 μm. Thus, a carrier material with a resin layer was obtained.

4.回路基板の作製
4.1 内層回路および樹脂層の形成
総厚さが0.3mmで銅箔厚さが12μmの両面銅張り積層板(住友ベークライト(株)製ELC−4781)をドリル機で開孔後、開口部に無電解めっきで上下銅箔間の導通を図った。そして、前記両面の銅箔をエッチングすることにより内層導体回路を両面に形成した。
次に内層導体回路に過酸化水素水と硫酸を主成分とする薬液(旭電化工業(株)製テックSO−G)をスプレー吹きつけすることにより粗化処理による凹凸形成を行い、上述で得られた樹脂層付きキャリア材料を、真空ラミネーターを使用して配線を埋め込み、200℃で60分間のベーキング処理を行い、樹脂層を形成した。
4). 4.1 Production of Circuit Board 4.1 Formation of Inner Layer Circuit and Resin Layer Open a double-sided copper-clad laminate (ELC-4781 manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) with a total thickness of 0.3 mm and a copper foil thickness of 12 μm using a drilling machine. After hole formation, conduction between the upper and lower copper foils was achieved by electroless plating in the opening. And the inner layer conductor circuit was formed in both surfaces by etching the said copper foil of both surfaces.
Next, the inner layer conductor circuit is sprayed with a chemical solution mainly composed of hydrogen peroxide and sulfuric acid (Tech SO-G manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.) to form irregularities by roughening treatment. The obtained carrier material with a resin layer was filled with wiring using a vacuum laminator and baked at 200 ° C. for 60 minutes to form a resin layer.

4.2 レーザー加工および外層回路の形成
次に、UV−YAGレーザー装置(三菱電機(株)製ML605LDX)を用いてφ40μmの開口部(ブラインド・ヴィアホール)を形成し、デスミア処理(日本マクダーミッド(株)製マキュダイザーシリーズ)を施した後、無電解銅めっき(上村工業(株)製スルカップPRX)を15分間行い、厚さ0.5μmの給電層を形成した。次に、この給電層表面に、厚さ25μmの紫外線感光性ドライフィルム(旭化成(株)製AQ−2558)をホットロールラミネーターにより貼り合わせ、最小線幅/線間が20/20μmのパターンが描画されたクロム蒸着マスク((株)トウワプロセス製)を使用して、位置合わせ、露光装置(ウシオ電機(株)製UX−1100SM−AJN01)により露光した。炭酸ソーダ水溶液にて現像し、めっきレジストを形成した。
4.2 Laser processing and formation of outer layer circuit Next, a UV-YAG laser device (ML605LDX manufactured by Mitsubishi Electric Corporation) was used to form a φ40 μm opening (blind via hole), and desmear treatment (Nippon McDermid ( Then, electroless copper plating (Ulmura Koru Sulcup PRX) was performed for 15 minutes to form a 0.5 μm thick power supply layer. Next, an ultraviolet photosensitive dry film (AQ-2558 manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.) having a thickness of 25 μm is pasted on the surface of the power supply layer by a hot roll laminator, and a pattern having a minimum line width / line spacing of 20/20 μm is drawn. Using the chrome vapor deposition mask (made by Towa Process Co., Ltd.), alignment and exposure were performed using an exposure apparatus (UX-1100SM-AJN01 made by Ushio Electric Co., Ltd.). Development was performed with a sodium carbonate aqueous solution to form a plating resist.

次に、給電層を電極として電解銅めっき(奥野製薬(株)81−HL)処理を3A/dm2、30分間行って、厚さ約20μmの銅配線を形成した。ここで2段階剥離機を用いて、前記めっきレジストを剥離した。各薬液は、1段階目のアルカリ水溶液層にはモノエタノールアミン溶液(三菱瓦斯化学(株)製R−100)、2段階目の酸化性樹脂エッチング剤には過マンガン酸カリウムと水酸化ナトリウムを主成分とする水溶液(日本マクダーミッド(株)製マキュダイザー9275、9276)、中和には酸性アミン水溶液(日本マクダーミッド(株)製マキュダイザー9279)をそれぞれ用いた。 Next, electrolytic copper plating (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd. 81-HL) was performed at 3 A / dm 2 for 30 minutes using the power feeding layer as an electrode to form a copper wiring having a thickness of about 20 μm. Here, the plating resist was peeled off using a two-stage peeling machine. Each chemical solution consists of a monoethanolamine solution (R-100 manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) for the first-stage alkaline aqueous solution layer, and potassium permanganate and sodium hydroxide for the second-stage oxidizing resin etchant. An aqueous solution (Mc. Dither 9275, 9276 manufactured by Nippon McDermid Co., Ltd.) as the main component and an acidic amine aqueous solution (Mc. Dicer 9279 manufactured by Nippon McDermid Co., Ltd.) were used for neutralization.

次に、給電層を過硫酸アンモニウム水溶液(メルテックス(株)製AD−485)に浸漬処理することで、エッチング除去し、配線間の絶縁を確保した。最後に、回路表面にドライフィルムタイプのソルダーレジスト(住友ベークライト(株)製CFP−1121)を真空ラミネーターにて回路埋め込みを行いながら形成し、最終的に図2に示す構造の回路基板を得た。   Next, the power feeding layer was immersed in an aqueous ammonium persulfate solution (AD-485 manufactured by Meltex Co., Ltd.) to remove it by etching and ensure insulation between the wirings. Finally, a dry film type solder resist (CFP-1121 manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) was formed on the circuit surface while embedding the circuit with a vacuum laminator, and finally a circuit board having the structure shown in FIG. 2 was obtained. .

(実施例2)
第1の環状オレフィン系樹脂(A)と、第2の環状オレフィン系樹脂との混合比率を以下のようにした以外は実施例1と同様にした。
第1の環状オレフィン系樹脂3.0g(24重量%)と、第2の環状オレフィン系樹脂(アバトレルEPM溶液:固形分22.3重量%)41.9g(76重量%)とを用いた。
(Example 2)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the mixing ratio of the first cyclic olefin resin (A) and the second cyclic olefin resin was as follows.
3.0 g (24 wt%) of the first cyclic olefin resin and 41.9 g (76 wt%) of the second cyclic olefin resin (Abaterol EPM solution: solid content 22.3% wt) were used.

(実施例3)
第1の環状オレフィン系樹脂(A)と、第2の環状オレフィン系樹脂との混合比率を以下のようにした以外は実施例1と同様にした。
第1の環状オレフィン系樹脂3.0g(50重量%)と、第2の環状オレフィン系樹脂(アバトレルEPM溶液:固形分22.3重量%)13.5g(50重量%)とを用いた。
(Example 3)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the mixing ratio of the first cyclic olefin resin (A) and the second cyclic olefin resin was as follows.
3.0 g (50 wt%) of the first cyclic olefin resin and 13.5 g (50 wt%) of the second cyclic olefin resin (Abaterol EPM solution: solid content 22.3% wt) were used.

(実施例4)
第1の環状オレフィン系樹脂(A)と、第2の環状オレフィン系樹脂との混合比率を以下のようにした以外は実施例1と同様にした。
第1の環状オレフィン系樹脂3.0g(5重量%)と、第2の環状オレフィン系樹脂(アバトレルEPM溶液:固形分22.3重量%)255.6g(95重量%)とを用いた。
Example 4
The same procedure as in Example 1 was performed except that the mixing ratio of the first cyclic olefin resin (A) and the second cyclic olefin resin was as follows.
3.0 g (5 wt%) of the first cyclic olefin resin and 255.6 g (95 wt%) of the second cyclic olefin resin (Abaterol EPM solution: solid content 22.3% wt) were used.

(実施例5)
第1の環状オレフィン系樹脂として、以下のものを用いた以外は実施例1と同様にした。
第1の環状オレフィン系樹脂を合成する際に、Norbornenylethylethyl−POSS51.4gに変えて、Norbornenylethylcyclopentyl−POSS79.0gを用いて、第1の環状オレフィン系樹脂(B)28.3gを得た。
得られた第1の環状オレフィン系樹脂(B)をゲルパーメーション・クロマトグラフィ(GPC)測定より、ポリスチレン換算重量平均分子量4.80×10であることを確認した。また、核磁気共鳴(NMR)測定より組成が、Norbornenylethylcyclopentyl−POSS/5−ブチル−2−ノルボルネンの組成が24/76(モル%)であることを確認した。
(Example 5)
As 1st cyclic olefin resin, it carried out similarly to Example 1 except having used the following.
When synthesizing the first cyclic olefin-based resin, 28.3 g of the first cyclic olefin-based resin (B) was obtained by using 79.0 g of Norbornenylylcyclopropyl-POSS instead of 51.4 g of Norbornenylylethyl-POSS.
The obtained first cyclic olefin-based resin (B) was confirmed to have a polystyrene-reduced weight average molecular weight of 4.80 × 10 5 by gel permeation chromatography (GPC) measurement. Moreover, it was confirmed from nuclear magnetic resonance (NMR) measurement that the composition of Norbornenylylcyclopropyl-POSS / 5-butyl-2-norbornene was 24/76 (mol%).

(実施例6)
第1の環状オレフィン系樹脂を合成する際に反応時間を30分として、第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量を変えて、第1の環状オレフィン系樹脂(C)を得た以外は実施例1と同様にした。
第1の環状オレフィン系樹脂(C)の重量平均分子量は、4.50×10であった(GPC測定より、ポリスチレン換算)。
また、NMR測定より組成が、Norbornenylethylcyclopentyl−POSS/5−ブチル−2−ノルボルネンの組成が26/74(モル%)であることを確認した。
(Example 6)
Except that the reaction time was 30 minutes when the first cyclic olefin resin was synthesized, and the weight average molecular weight of the first cyclic olefin resin was changed to obtain the first cyclic olefin resin (C). Same as Example 1.
The weight average molecular weight of the first cyclic olefin-based resin (C) was 4.50 × 10 4 (polystyrene conversion from GPC measurement).
Further, it was confirmed by NMR measurement that the composition of Norbornenylylcyclopentyl-POSS / 5-butyl-2-norbornene was 26/74 (mol%).

(実施例7)
第2の環状オレフィン系樹脂として、以下のものを用いて樹脂ワニスを得た以外は実施例1と同様にした。
第2の環状オレフィン系樹脂として米国特許5,468,819号に記載されている方法によって得られた第2の環状オレフィン系樹脂(D)(2−ノルボルネン99モル%とデシル−2−ノルボルネン1モル%、ポリスチレン換算重量平均分子量3.31×10)7.00gをトルエン溶液40.0gに溶解した。
(Example 7)
As 2nd cyclic olefin resin, it carried out similarly to Example 1 except having obtained the resin varnish using the following.
The second cyclic olefin resin (D) obtained by the method described in US Pat. No. 5,468,819 as the second cyclic olefin resin (99 mol% 2-norbornene and decyl-2-norbornene 1 (Mol%, polystyrene equivalent weight average molecular weight 3.31 × 10 5 ) 7.00 g was dissolved in 40.0 g of a toluene solution.

(実施例8)
第2の環状オレフィン系樹脂として、以下のものを用いて樹脂ワニスを得た以外は実施例1と同様にした。
第2の環状オレフィン系樹脂として米国特許5,468,819号に記載されている方法によって得られた第2の環状オレフィン系樹脂(E)(2−ノルボルネン76モル%とデシル−2−ノルボルネン24モル%、ポリスチレン換算重量平均分子量1.67×10)7.00gをトルエン溶液40.0gに溶解した。
(Example 8)
As 2nd cyclic olefin resin, it carried out similarly to Example 1 except having obtained the resin varnish using the following.
The second cyclic olefin resin (E) obtained by the method described in US Pat. No. 5,468,819 as the second cyclic olefin resin (76 mol% of 2-norbornene and decyl-2-norbornene 24) (Mol%, polystyrene-reduced weight average molecular weight 1.67 × 10 5 ) 7.00 g was dissolved in 40.0 g of a toluene solution.

(比較例1)
第1の環状オレフィン系樹脂を用いずに、第2の環状オレフィン系樹脂のみを用いた以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 1)
Example 1 was repeated except that only the second cyclic olefin resin was used without using the first cyclic olefin resin.

(比較例2)
第2の環状オレフィン系樹脂を用いずに、第1の環状オレフィン系樹脂のみを用いた以外は、実施例1と同様にした。
得られた樹脂ワニスを実施例1と同様にして25μm厚PET基材(T−100G−25、ダイヤホイルテキスト(株)社製)上に塗布、乾燥したが、フィルムが割れ、フィルムを得ることが出来なかった。
(Comparative Example 2)
The same procedure as in Example 1 was performed except that only the first cyclic olefin resin was used without using the second cyclic olefin resin.
The obtained resin varnish was applied and dried on a 25 μm-thick PET substrate (T-100G-25, manufactured by Diafoil Text Co., Ltd.) in the same manner as in Example 1, but the film was cracked to obtain a film. I couldn't.

各実施例および比較例で得られた回路基板について以下の評価を行った。評価項目を内容と共に示す。得られた結果を表1に示す。
1.誘電率および誘電正接の測定
樹脂層付きキャリア材料より、樹脂層を剥離して窒素中で220℃×1時間乾燥した。得られた20μm厚さのフィルムを2mm×80mmに切断し、円筒空洞共振機(アジレント・テクノロジー社製マイクロ波ネットワークアナライザ HP8510B)を用いた摂動法で誘電率および誘電正接の測定を行った(測定周波数を10GHzとした)。
The circuit board obtained in each example and comparative example was evaluated as follows. The evaluation items are shown together with the contents. The obtained results are shown in Table 1.
1. Measurement of dielectric constant and dielectric loss tangent From the carrier material with a resin layer, the resin layer was peeled off and dried in nitrogen at 220 ° C. for 1 hour. The obtained 20 μm-thick film was cut into 2 mm × 80 mm, and the dielectric constant and dielectric loss tangent were measured by a perturbation method using a cylindrical cavity resonator (Agilent Technology Microwave Network Analyzer HP8510B) (measurement) The frequency was 10 GHz).

2.電気信号の劣化
電気信号の劣化は、トリプレートストリップライン共振器法を用いて伝送損失を測定した。(測定周波数を10GHzとした。)
2. Degradation of electrical signal For degradation of electrical signal, transmission loss was measured using a triplate stripline resonator method. (The measurement frequency was 10 GHz.)

3.耐熱性
耐熱性は、示差熱熱重量同時測定装置で評価した(重量減少率5%の温度)。
3. Heat resistance Heat resistance was evaluated with a differential thermothermal gravimetric simultaneous measurement apparatus (temperature with a weight loss rate of 5%).

4.耐クラック性
耐クラック性は、−55℃〜125℃の温度サイクル試験を1,000回行い、回路基板の表面および断面観察を行い、樹脂層のクラックの有無を目視で評価した。各符号は、以下の通りである。
◎:温度サイクル試験で500回を超え、1,000回まで樹脂層にクラックが無い
○:温度サイクル試験で200回を超えて、500回まで樹脂層にクラックが無い
△:温度サイクル試験で50回を超えて、200回まで樹脂層にクラックが無い
×:温度サイクル試験で50回までに、樹脂層にクラックが生じる
4). Crack resistance The crack resistance was evaluated by conducting a temperature cycle test of -55 ° C to 125 ° C 1,000 times, observing the surface and cross-section of the circuit board, and visually evaluating the presence or absence of cracks in the resin layer. Each code is as follows.
◎: More than 500 times in the temperature cycle test and no cracks in the resin layer up to 1,000 times ○: More than 200 times in the temperature cycle test and no cracks in the resin layer up to 500 times △: 50 in the temperature cycle test There are no cracks in the resin layer up to 200 times. ×: Cracks occur in the resin layer up to 50 times in the temperature cycle test.

5.密着性
密着性は、碁盤目試験(JIS K5400−1900)で評価した。
◎:切り傷一本毎が、細くて両側が滑らかで、交点と正方形一目一目にはがれがない。
○:切り傷の交点にわずかなはがれがあって、正方形の一目一目にはがれがなく、欠損部の面積は全正方形面積の5%以内。
△:切り傷の両側と交点にはがれがあり、欠損部の面積は5%以上
×:はがれの面積が65%以上
5). Adhesiveness Adhesiveness was evaluated by a cross cut test (JIS K5400-1900).
A: Each cut is thin and smooth on both sides, and there is no peeling between the intersection and the square at a glance.
○: There is a slight peeling at the intersection of the cuts, there is no peeling at a glance, and the area of the defect is within 5% of the total square area.
Δ: There are peeling at both sides of the cut and at the intersection, and the area of the defect is 5% or more ×: the area of the peeling is 65% or more

Figure 0004894138
Figure 0004894138

表1から明らかなように、実施例1〜8は、誘電率および誘電正接が低く、電気信号の劣化が少なかった。
また、実施例1〜8は、耐熱性にも優れていた。
また、実施例1〜5、7および8は、耐クラック性が特に優れていた。
また、実施例1〜3、5および6は、密着性が特に優れていた。
As is clear from Table 1, Examples 1 to 8 had a low dielectric constant and dielectric loss tangent, and there was little deterioration of electrical signals.
Moreover, Examples 1-8 were excellent also in heat resistance.
Examples 1 to 5, 7 and 8 were particularly excellent in crack resistance.
Moreover, Examples 1-3, 5 and 6 were particularly excellent in adhesion.

本発明の樹脂組成物を用いて得られる樹脂層は、回路基板、プリント配線板、多層配線板、半導体装置、液晶表示装置などの用途に好適である。本発明の樹脂組成物は、GHz帯で優れた誘電特性を有し、また、耐熱性に優れるため、実装信頼性および層間の接続信頼性を有し、さらに、優れたレーザー加工性を有するからである。
本発明の樹脂組成物を回路基板の層間絶縁膜として使用する際、回路基板上へ塗布もしくはキャリアフィルム上に塗布された樹脂層付きキャリアフィルムをプレスするなどの方法が考えられるが、層間絶縁層における厚みの均一性が求められるため、キャリアフィルムに樹脂層を形成し、該樹脂層付きキャリアフィルムをプレスにより埋め込むほうが好ましい。
The resin layer obtained using the resin composition of the present invention is suitable for applications such as circuit boards, printed wiring boards, multilayer wiring boards, semiconductor devices, and liquid crystal display devices. Since the resin composition of the present invention has excellent dielectric properties in the GHz band and excellent heat resistance, it has mounting reliability and interlayer connection reliability, and also has excellent laser processability. It is.
When the resin composition of the present invention is used as an interlayer insulating film of a circuit board, a method such as pressing a carrier film with a resin layer applied onto a circuit board or a carrier film can be considered. Therefore, it is preferable to form a resin layer on the carrier film and embed the carrier film with the resin layer by pressing.

本発明の樹脂層付きキャリア材料の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the carrier material with a resin layer of this invention. 本発明の回路基板の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the circuit board of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 樹脂層付きキャリア材料
2 キャリア材料
3 樹脂層
31 開口部
32 導体回路
5 コア基板
51 開口部
52 導体回路
10 回路基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Carrier material with resin layer 2 Carrier material 3 Resin layer 31 Opening part 32 Conductor circuit 5 Core substrate 51 Opening part 52 Conductor circuit 10 Circuit board

Claims (9)

回路基板の樹脂層を構成する樹脂組成物であって、
主としてシリコンと酸素とで構成され、かつ少なくとも一部に環状構造を有している、ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)7(XSiO1.0)1]Σ8、官能化ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)4(RXSiO1.5)3]Σ7および官能化ヘテロレプティックPOSS [(RSiO1.5)4(RXSiO1.0)2(RX’SiO1.0)1]Σ7のうちのいずれか1種を置換基として側鎖に有するノルボルネン型ポリマーの繰り返し単位と、下記式(II)で表されるノルボルネン型モノマーとの付加共重合体である第1の環状オレフィン系樹脂と、
前記第1の環状オレフィン系樹脂と異なる、下記式(V)で表わされる繰り返し単位を有するポリマーである第2の環状オレフィン系樹脂と、を含み、
前記第1の環状オレフィン系樹脂の含有量が、前記樹脂組成物全体の1〜50重量%であり、かつ、前記第2の環状オレフィン系樹脂の含有量が、前記樹脂組成物全体の50〜99重量%であることを特徴とする樹脂組成物。
Figure 0004894138

Figure 0004894138
A resin composition constituting a resin layer of a circuit board,
Heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 7 (XSiO 1.0 ) 1 ] Σ8 , functionalized heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 4 (RXSiO 1.5) 3] Σ7 and functionalized heteroleptic POSS [(RSiO 1.5) 4 ( RXSiO 1.0) 2 (RX'SiO 1.0) 1] in the side chain as a substituent of any one of Shiguma7 A first cyclic olefin-based resin which is an addition copolymer of a norbornene-type polymer repeating unit and a norbornene-type monomer represented by the following formula (II):
A second cyclic olefin-based resin that is a polymer having a repeating unit represented by the following formula (V), different from the first cyclic olefin-based resin,
The content of the first cyclic olefin resin is 1 to 50% by weight of the whole resin composition, and the content of the second cyclic olefin resin is 50 to 50% of the whole resin composition. 99% by weight of a resin composition.
Figure 0004894138

Figure 0004894138
前記置換基は、下記式(I)で表されるヘテロレプティックPOSS[(RSiO1.5)7(XSiO1.0)1]Σ8である請求項1に記載の樹脂組成物。
Figure 0004894138
The resin composition according to claim 1, wherein the substituent is heteroleptic POSS [(RSiO 1.5 ) 7 (XSiO 1.0 ) 1 ] Σ8 represented by the following formula (I).
Figure 0004894138
前記置換基を有するノルボルネン型モノマーの繰り返し単位の含有量は、前記付加共重合体の5〜80モル%である請求項1または2に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1 or 2, wherein the content of the repeating unit of the norbornene-type monomer having a substituent is 5 to 80 mol% of the addition copolymer. 前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、前記第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量よりも大きいものである請求項1ないし3のいずれかに記載の樹脂組成物。   4. The resin composition according to claim 1, wherein a weight average molecular weight of the second cyclic olefin-based resin is larger than a weight average molecular weight of the first cyclic olefin-based resin. 前記第1の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、10,000〜500,000である請求項1ないし4のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the first cyclic olefin-based resin has a weight average molecular weight of 10,000 to 500,000. 前記第2の環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、100,000〜700,000である請求項1ないし5のいずれかに記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the second cyclic olefin-based resin has a weight average molecular weight of 100,000 to 700,000. 請求項1ないし6のいずれかに記載の樹脂組成物で構成されていることを特徴とする樹脂層。   A resin layer comprising the resin composition according to claim 1. 請求項7に記載の樹脂層が、キャリア材料の少なくとも片面に形成されていることを特徴とする樹脂層付きキャリア材料。   A carrier material with a resin layer, wherein the resin layer according to claim 7 is formed on at least one surface of the carrier material. 請求項7に記載の樹脂層を有していることを特徴とする回路基板。   A circuit board comprising the resin layer according to claim 7.
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