JP4892294B2 - 微小穴の深さ測定方法 - Google Patents
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Description
D=(n2/n1)Z
という関係がある。したがって、既知のn1、n2および測定されたZから深さDを求めることができる。
本実施形態における微小穴深さの測定は図2に示すように以下の手順により実施される。
1.測定前に媒質の屈折率n1およびワーク材料の屈折率n2を演算部55に入力しておく。
2.基準平面(P2)上にワークを乗せ、厚さT(面Aと面Bの距離)を落射光学系により計測する。なお、この工程は同一規格の複数のワークの測定を行う場合にはワークごとに行わなくてもよい(S1)。また、他の装置によりワークの厚さを測定した場合にはその後ワークを図1に示す装置(媒体中)に配置する(S2)。
3.微小穴が開口していないワーク表面Bの基準面P1に対して対物光学系51の焦点調整を行い、対物光学系51の移動量に基づいて基準表面Bの前記基準位置に対する高さ(h0)を求める(S3)。この場合に上述したオートフォーカス機構を用いて焦点調整を行い基準位置からの高さh0を求めてもよい。
4.ワーク表面A側から透過照明光33を照射する(S4)。
5.光学計測系の対物光学系51を光軸方向(Z)に移動すると移動量に応じて影が現れる(後述)。この所定の大きさの影が現れた位置を微小穴の底部の位置と認定し、このときの対物光学系51の移動量Zに基づいて前記基準位置に対する底部の高さh1を得る(S5)。
5.ワーク表面Bと微小穴底部の距離Hは、H=n2/n1×|h1−h0|から得られるので、D=T−Hを演算することにより微小穴の深さDを求めることができる(S6)。
上記工程S5において対物光学系51の移動量に応じて焦点面が移動し、その結果微小穴10と焦点面が交差した状況で影が生じる。底面11がR形状を有する微小穴10周辺の光束は底部(端部)11において一部が反射し一部が屈折して透過する。また、微小穴の底部周辺での屈折により光線密度が低くなるため他の領域に比べて相対的に光量が減少する。さらに微小穴と板状部材の境界から入射しようとする光は全反射等により微小穴内に入ることができない。その結果、対物光学系の焦点面が微小穴と接触または横切る場合にはその部分が相対的に暗くなって撮像装置53では影(暗部)として認識される。したがって、対物光学系51の焦点面が微小穴を横切る場合にはそれに応じた影が現れるのでこれを検出することにより上述した方法により微小穴の底部の高さを検出することができる。
本発明の測定方法により従来測定が困難であった高アスペクト比の微小穴(1mm以下)の深さ測定を高精度(数μm程度)かつ容易に実施することができる。すなわち、基板の微小穴が開口していない面から計測することにより対物レンズの開口数による死角誤差がなく、真の底面位置を検出することができるため底面がR形状を有する場合であっても先端部分を識別することが可能となる。
11 微小穴底部
20 ワーク(板状部材)
33 透過照明光
51 対物光学系
L1 対物光学系の光軸
53 二次元撮像装置
55 演算部
71 レーザ発振器
73 位置検出器
76 コントローラ
Claims (3)
- 板状部材に形成された微小穴の深さ測定方法であって、
前記板状部材の厚さを測定することと、
前記板状部材を屈折率のより低い媒質中に置くことと、
前記微小穴が開口していない前記板状部材の第1面の基準面の高さを測定することと、
前記板状部材の前記第1面とは反対の面側から照明光を照射することと、
前記第1面側に配置された対物光学系の焦点面を前記微小穴の深さ方向に移動し、前記焦点面の映像から前記微小穴の前記第1面側の端部の高さを検出することと、
前記厚さと前記基準面の高さと前記端部の高さとから前記微小穴の深さを演算することとを含み、
前記基準面の高さを測定することは、
レーザ光線を前記対物光学系の光軸から離れた位置を通って前記対物光学系に入射させることと、
前記板状部材の第1面における前記レーザ光線の反射光を前記対物光学系を介して検出することと、
前記レーザ光線の反射位置が前記光軸と一致するように前記対物光学系を移動させることと、
前記対物光学系の位置から前記基準面の高さを求めることとを
含む
ことを特徴とする深さ測定方法。 - 前記端部の高さは、前記焦点面の画像において前記微小穴による影が生じた時の前記焦点面の位置に基づいて検出することを特徴とする請求項1記載の深さ測定方法。
- 前記照明光は赤外光であることを特徴とする請求項1または2記載の深さ測定方法。
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