JP4889350B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態1における磁気軸受装置の概略断面および概略構成を示す図である。図1において、1は回転体、2、3は回転子側軸受磁極、4は変位センサターゲット、5は工具、6〜9は固定子側軸受磁極、10、11は変位センサ、12、13は電磁石巻線、14、15は永久磁石、16〜19はダンパ用電極部材、20はケーシングである。また図1において、21はラジアル、スラスト変位分離処理手段、22は加算器、23は位相補償処理手段、24は加算器、25はパワー増幅器、26は回転体振動減衰指令処理手段、27はバイアス信号発生処理手段、28は交流信号発生処理手段である。
図2は本発明の実施の形態2における磁気軸受装置の概略断面および概略構成を示す図である。但し、前述の実施の形態1で説明した部材と同一の部材には同一符号を付して、説明を省略する。
2、3、102 回転子側軸受磁極
4 変位センサターゲット
5 工具
6〜9、103 固定子側軸受磁極
10、11 変位センサ
12、13 電磁石巻線
14、15 永久磁石
16〜19 ダンパ用電極部材
20 ケーシング
21 ラジアル、スラスト変位分離処理手段
22 加算器
23 位相補償処理手段
24 加算器
25 パワー増幅器
26 回転体振動減衰指令処理手段
27 バイアス信号発生処理手段
28 交流信号発生処理手段
29 回転周波数検出処理手段
30 回転周波数信号減衰処理手段
104 励磁巻線
105、106 ダンパリング
107、108 溝
109、110 磁極歯
Claims (5)
- 固定子側軸受磁極と回転子側軸受磁極を空隙を介して対応させ、該空隙に面するそれぞれの磁極に回転体の回転中心を中心とする同心円状の溝を少なくとも1つ有し、固定子側の溝の少なくとも1つに電磁石巻線が挿入され、前記固定子側軸受磁極と前記回転子側軸受磁極の間にダンパ用電極部材を有した磁気軸受装置であって、
前記回転体の半径方向への変位量を検出し、その変位量に従って変化する変位信号を生成する検出手段と、
前記変位信号の前記回転体の回転周波数成分を減衰させる減衰手段と、
前記回転体の回転周波数成分が減衰された前記変位信号を基に前記回転体の半径方向への振動の大きさを演算する演算手段と、
前記演算手段により演算された振動の大きさに応じて前記電磁石巻線に流す電流の直流成分を増加させる直流成分生成手段と、
前記演算手段により演算された振動の大きさに応じた振幅と、前記回転体の回転周波数よりも高い所定周波数と、を持つ交流電流成分を、前記電磁石巻線に流す電流に重畳する交流成分生成手段と、
を具備し、前記電磁石巻線に流す電流の直流成分を増加させ、前記電磁石巻線に流す電流に前記交流電流成分を重畳することにより、前記回転体の半径方向の振動を減衰させることを特徴とする磁気軸受装置。 - 前記検出手段は、前記回転体の回転軸に対して傾斜した端面部と、その端部面に対向して配置された複数の変位センサとを含み、前記回転体の回転軸に対する前記端面部の傾斜角と前記変位センサの出力とを基に前記回転体の半径方向への変位量を演算し、その変位量に従って変化する変位信号を生成することを特徴とする請求項1記載の磁気軸受装置。
- 請求項1もしくは2のいずれかに記載の磁気軸受装置であって、空隙を介して対応する固定子側軸受磁極と回転子側軸受磁極の組を複数備え、その組のうちの少なくとも1つの組の固定子側の溝には永久磁石が挿入されていることを特徴とする磁気軸受装置。
- 回転子側軸受磁極の両面に固定子側軸受磁極を空隙を介して対応させ、各固定子側軸受磁極の溝に電磁石巻線が挿入されていることを特徴とする請求項1もしくは2のいずれかに記載の磁気軸受装置。
- 請求項4記載の磁気軸受装置であって、回転子側軸受磁極の両面に固定子側軸受磁極を空隙を介して対応させた組を複数備え、その組のうちの少なくとも1つの組の各固定子側軸受磁極の溝には永久磁石が挿入されていることを特徴とする磁気軸受装置。
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