JP4887923B2 - パーティクル計測装置 - Google Patents
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Description
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、上記課題を解決するパーティクル計測装置を提供することを目的とする。
基準値とは、補正の基準となる値をいい、例えば、経時的な劣化や吸引用のチューブに起因する吸引量の低下のない状態で、基準とするパーティクル計測装置(以下「基準計測装置」という)によって計測される計測値であるのが好ましい。
この実施形態によると、当該パーティクル計測装置を、生産工程の邪魔にならない箇所に設置し、計測したい箇所の気体を、吸引用チューブを介して吸引してパーティクルを計測することができる。
この実施形態によると、計測値を、計測値出力部から外部のパソコン等の機器に通信で出力したり、外部の機器から入力部を介して基準値を通信で設定するといったことが可能となる。
基準計測装置で計測した場合の計測値に換算できることになる。
=サブ表示部17のスケール値(基準値)/メイン表示部16の計測値
この算出したスケール係数を記憶部に格納保存する(ステップn5)。
4 ヘッドユニット 5 アンプユニット
6 吸引口 36 操作部
37 表示部 41 チューブ
Claims (8)
- 計測対象の気体を吸引口から吸引し、吸引されて計測領域を通過する気体に光を照射して該気体に含まれるパーティクルからの散乱光を検出して前記パーティクルを計測する装置であって、
吸引口から吸引された気体の吸引量に基づく制御を行うことなく、吸引部に対して一定の動作条件を与える吸引駆動部と、
吸引駆動部から与えられた動作条件に従って吸引口から気体を吸引する吸引部と、
計測値を補正する補正係数を予め算出する算出手段と、
前記補正係数によって、計測値を補正する補正手段と、
補正した計測値を出力する出力手段とを備え、
前記算出手段は、基準値が設定される設定部と、前記基準値および該基準値に対応する補正前の計測値とに基づいて、前記補正係数を算出する算出部とを含むことを特徴とするパーティクル計測装置。 - 計測対象の気体を前記吸引口に導くための屈曲可能な吸引用チューブをさらに有する請求項1に記載のパーティクル計測装置。
- 前記出力手段は、補正した計測値を出力する計測値出力部を有し、
前記設定部は、前記基準値を入力するための入力部と、を有する請求項1に記載のパーティクル計測装置。 - 前記吸引部の動作条件と前記補正係数とを対応させて保持する記憶部を有する請求項1に記載のパーティクル計測装置。
- 前記出力手段は、補正した計測値を表示する計測値表示部を有し、
前記設定部は、前記基準値を設定するために操作される操作部と、設定される基準値を表示する基準値表示部とを有する請求項1に記載のパーティクル計測装置。 - 前記補正係数が、前記基準値と前記補正前の計測値との比である請求項1〜5のいずれか1項に記載のパーティクル計測装置。
- 前記基準値が、当該パーティクル計測装置とは別の基準となる基準計測装置によって計測される計測対象箇所の計測値であり、
基準値に対応する補正前の前記計測値が、当該パーティクル計測装置によって計測される前記計測対象箇所の補正前の計測値である請求項1〜6のいずれか1項に記載のパーティクル計測装置。 - 前記基準値および基準値に対応する前記補正前の計測値が、前記基準計測装置および当該パーティクル計測装置によって同時にそれぞれ計測される計測値である請求項7に記載のパーティクル計測装置。
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