JP4887345B2

JP4887345B2 - Ｘｙｚテーブル装置

Info

Publication number: JP4887345B2
Application number: JP2008293237A
Authority: JP
Inventors: 修折出; 貞夫東條
Original assignee: Japan Steel Works Ltd
Current assignee: Japan Steel Works Ltd
Priority date: 2008-11-17
Filing date: 2008-11-17
Publication date: 2012-02-29
Anticipated expiration: 2028-11-17
Also published as: JP2010120172A

Description

本発明は、ＸＹＺテーブル装置に関し、特に、Ｘ，Ｙ軸方向に移動し、Ｚ軸方向に揺動するＸＹＺテーブル上に可塑化部と吐出部を設け、待機状態の時にＸＹＺテーブルの前端側開口から吸引した空気でＸＹＺテーブルを冷却し、吐出状態の時に後端側開口から吸引した空気で駆動装置カム部等を冷却することにより、ＸＹＺテーブルの熱変形も防止し、成形装置に対する吐出部の位置精度を向上させるための新規な改良に関する。

従来、次のような製品（新品）は、金型の一方の固定金型表面に溶融状態の熱可塑性樹脂原料を塗布し、その後、金型を閉じて成形することにより、製造されている。

（ａ）マイクロレンズアレイ、液晶用導光板、フレキシブルディスプレイ基板、波長板、反射板、位相基板、自由曲面ミラー、ＬＥＤ発光パネル、フレネルレンズ等の電子ディスプレイ分野の基幹部品
（ｂ）フレキシブルポリマー製光導波路、自由曲面回析格子、二次元イメージセンサアレイ、ピックアップレンズ、ホログラム、フレキシブル導波路型照明板などの光通信分野の基幹部品
（ｃ）次世代ＤＶＤ及びそのカバー層、ＤＶＤ、ＣＤ、超薄肉ＩＣカードなどの光記録媒体分野の基幹部品
（ｄ）集積化学チップ、ＤＮＡチップ、バイオチップ、プロテインチップ、マイクロ流体デバイス、環境分析チップなどのライフサイエンス分野の基幹部品
（ｅ）燃料電池セパレータ、携帯電話超薄肉バッテリーケース、太陽光集光フレネルレンズなどの新エネルギー分野の基幹部品

これらの基幹部品となる成形体は、サブミクロンメートル単位の非常に微細な凹凸形状が表面に形成されると共に、三次元における高い寸法精度、薄肉、大きな表面積のものが要求されている。

このような溶融樹脂の塗布による成形体の製造装置について、特許文献１に示されるものがある。この特許文献１に示される成形体の製造装置を図７により説明する。図７において、符号１で示されるものは製造装置であり、この製造装置１は塗布装置３及び成形装置４により構成され、共通架台２上に並べて設置されている。この塗布装置３は、さらに可塑化部３１、吐出部３２及び三次元移動架台３３により構成されている。すなわち、この塗布装置３は、三次元移動架台３３が共通架台２に設置され、可塑化部３１が三次元移動架台３３に設置され、吐出部３２が可塑化部３１の先端（図の右端）に直接連結して構成されている。この吐出部３２の先端部には下方に開口するリップ部３２ａが形成されている。この塗布装置３と成形装置４とは、塗布装置３の軸芯方向（Ｘ軸方向：図の左右方向）における吐出部３２の先端側に成形装置４が位置するように配置されている。

前記三次元移動架台３３は、設置された前記吐出部３２が三次元方向へ移動できるように構成されている。すなわち、三次元移動架台３３は、Ｘ軸移動台３３ａ、Ｙ軸移動台３３ｂ及びＺ軸回転移動台３３ｃにより構成されている。前記Ｘ軸移動台３３ａは、周知の手段によるＸ軸駆動装置３３ｄによりＸ軸方向（図の左右方向）へ直線的に往復移動できるように前記共通架台２に支持されている。前記Ｚ軸移動台３３ｃは、Ｘ軸方向の２箇所において、回転支持体３３ｇ及び空気シリンダ３３ｈを介し、空気シリンダ３３ｈによりバックラッシュによる遊動を防止する機能をもちつつ、Ｘ軸移動台３３ａに支持されている。前記Ｙ軸移動台３３ｂは、Ｙ軸駆動装置３３ｅによりＹ軸方向（紙面に鉛直な方向）へ直線的に往復移動できるように、Ｚ軸移動台３３ｃのＸ軸方向両端部においてＹ軸方向に設けられた２本の軸（図示せず）により支持されている。前記Ｙ軸移動台３３ｂには、前記可塑化部３１が、その軸芯をＸ軸方向に一致させて設置されている。回転支持体３３ｇは、少なくともＺ軸移動台３３ｃ、Ｙ軸移動台３３ｂ及び吐出部３２を連結された可塑化部３１により構成される部分のＸ軸方向における重心点の下方付近において、この部分がＹ軸のまわりに往復回転できるように、Ｚ軸移動台３３ｃを支持している。

また、前記Ｙ軸移動台３３ｂからＸ軸方向前方へ突出する前記吐出部３２に、Ｚ軸方向移動装置３４が設けられ、その下部が後述するＸ軸方向案内棒５１に支持されている。

前記成形装置４は、従来と同様の竪型のプレス成形装置であり、下部架台４１、下部固定盤４２、可動盤４４、上部固定盤４３，４本のガイド棒４５及び可動盤駆動装置４６を、順次下から上方へ配置して構成されている。ほぼ矩形形状の厚板を水平に配置された下部固定盤４２、可動盤４４及び上部固定盤４３は、その４隅にガイド棒４５が貫通し、このガイド棒４５の両端部において下部固定盤４２及び上部固定盤４３固定され、その間を可動盤４４が上下方向へ移動できるようにすなわち、上部固定盤４３に設置された可動盤駆動装置４６のピストン棒の先端に可動盤４４が連結されている。前記下部固定盤４２と可動盤４４との対向する面には、下部固定盤４２側に固定金型４７ａ、可動盤４４側に可動金型４７ｂが設置され、固定金型４７ａ及び可動金型４７ｂにより金型４７が構成されている。上部固定盤４３には、運転・制御装置４９が設けられている。また、金型４７には、成形装置４の本体から分離して配置される図示しない従来と同様の剥離装置が連結されている。

以上のように構成された製造装置１において、成形体は以下のように製造される。すなわち、塗布装置３及び成形装置４の全ての機器が調整され、熱可塑性樹脂原料が供給され、運転ができる状態になった時点で、まず、吐出部３２のリップ部３２ａの位置の調整を行う。すなわち、成形装置４の金型４７が開いた状態で、三次元移動架台３３のＸ軸駆動装置３３ｄ、Ｙ軸駆動装置３３ａ及びＺ軸方向移動装置３４を適宜に作動させ、吐出部３２のリップ部３２ａを前進（Ｘ軸方向）させた後、リップ部３２ａの先端（下端）が固定金型４７ａの表面の所定（成形面）位置及び所定距離を所定の隙間を維持して後退する状態を実現し、その運転条件を設定する。

前記リップ部３２ａの位置の調整に際し、Ｘ軸方向については、Ｘ軸移動台３３ａがＸ軸駆動装置３３ｄによりＸ軸方向へ、Ｙ軸方向については、Ｙ軸移動台３３ｂがＹ軸駆動装置３３ｅによりＹ軸方向へ、それぞれ直線的に往復移動して調整される。Ｚ軸方向については、Ｚ軸方向移動装置３４により、吐出部３２及びＹ軸移動台３３ｂの先端部を介して、回転支持体３３ｇに支持されたＺ軸移動台３３ｃが、回転支持体３３ｇの支持点（支持軸）において、往復回転（俯仰）するため、Ｚ方向移動となる。

次に、成形装置４の金型４７が開いた状態で、三次元移動架台３３を作動させて固定金型４７ａの成形端まで吐出部３２のリップ部３２ａを前進させ、可塑化部３１から吐出部３２へ供給された溶融状態の熱可塑性樹脂原料をリップ部３２ａから吐出視ながら、所定の隙間を維持して所定距離を後退する。所定距離を後退した時点で熱可塑性樹脂原料の吐出を停止し、吐出部３２の先端が少なくとも金型４７の外部に到達するまでさらに後退し、停止する。すなわち、吐出部３２のリッブ部３２ａが固定金型４７ａの成形端から手前側まで後退する間に、リップ部３２ａから吐出される溶融状態の熱可塑性樹脂原料が固定金型４７ａの成形面に膜状に塗布される。

さらに、成形装置４において、運転、制御装置４９を操作し、可動盤駆動装置４６を作動させて可動盤４４を降下させると、可動金型４７ｂが降下して固定金型４７ａと重合し、金型４７が閉じる。この金型４７が閉じた状態で、所定押付け力及び所定時間によるプレス成形を行う。その後、図示しない剥離装置を作動させながら、可動盤駆動装置４６を作動させて可動盤４４上昇させる。可動盤４４の上昇に伴って可動金型４７ｂが上昇し、金型４７が開く。この開いた金型４７から剥離した成形体を取り出し、成形体の製造が完了する。

特開２００８−４９６４６号公報

従来の塗布装置と成形装置からなる製造装置におけるＸＹＺテーブル装置は、以上のように構成されているため、次のような課題が存在していた。
すなわち、塗布装置におけるＸＹＺテーブル装置においては、ＸＹＺテーブル自体を冷却するための冷却手段は特に示されていないため、塗布装置の可塑化部の熱がＸＹＺテーブルに伝熱され、熱変形による吐出部の位置ずれ等によって成形品の品質にバラツキが発生していた。

また、前述のように、ＸＹＺテーブルに熱変形が発生することにより、塗布装置の稼動時に、熱的安定を得るまでに長い時間を必要とし、昇温のために必要とする時間、電力等が多大であった。

本発明によるＸＹＺテーブル装置は、架台上で回転支持台を介してＺ軸方向に揺動自在に設けられると共にＸ，Ｙ軸方向に移動可能なＸＹＺテーブルと、前記ＸＹＺテーブル上に配設された可塑化部及び吐出部と、を備え、前記可塑化部で溶融混錬した溶融樹脂を前記吐出部から固定金型内へ塗布するようにしたＸＹＺテーブル装置において、前記架台上に設けられ前記ＸＹＺテーブルの下方に位置するフレームと、前記架台の下部に設けられた空気吸引手段と、前記フレームとＸＹＺテーブルとの間に形成されると共に前記ＸＹＺテーブルの前端及び後端に位置する前端側開口及び後端側開口と、を備え、前記ＸＹＺテーブルが揺動して前記可塑化部及び吐出部が待機する待機状態においては、前記前端側開口が開となり、前記後端側開口が閉となることにより、前記前端側開口から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブルの下面を経て前記空気吸引手段に吸引されることによって前記ＸＹＺテーブルが冷却され、前記ＸＹＺテーブルが揺動して前記吐出部が前記溶融樹脂を前記固定金型へ塗布する塗布状態においては、前記前端側開口が閉となり、前記後端側開口が開となることにより、前記後端側開口から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブルを揺動駆動するための駆動装置カム部を経て前記空気吸引手段に吸引されることによって前記駆動装置カム部が冷却される構成であり、また、前記前端側開口には、中央整流板及び後部整流板が設けられ、前記前端側開口が開の時、空気は前記前端側開口を経て前記中央整流板に導かれ、前記前端側開口が閉の時は、前記中央整流板の左右両側に位置する左側開口部及び右側開口部を介して空気が吸引され、前記右側開口部から吸引された空気は前記後部整流板を経て前記フレーム内の駆動装置側へ誘導され、前記左側開口部から吸引された空気は、前記駆動装置カム部に導かれる構成であり、また、前記架台上に設けられバネ又はアクチュエータからなる平衡装置を有し、前記ＸＹＺテーブルは前記平衡装置の付勢力を下方から受けるようにした構成であり、また、前記可塑化部には、冷水で冷却するための冷却配管が設けられている構成である。

本発明によるＸＹＺテーブル装置は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、架台上で回転支持台を介してＺ軸方向に揺動自在に設けられると共にＸ，Ｙ軸方向に移動可能なＸＹＺテーブルと、前記ＸＹＺテーブル上に配設された可塑化部及び吐出部と、を備え、前記可塑化部で溶融混錬した溶融樹脂を前記吐出部から固定金型内へ塗布するようにしたＸＹＺテーブル装置において、前記架台上に設けられ前記ＸＹＺテーブルの下方に位置するフレームと、前記架台の下部に設けられた空気吸引手段と、前記フレームとＸＹＺテーブルとの間に形成されると共に前記ＸＹＺテーブルの前端及び後端に位置する前端側開口及び後端側開口と、を備え、前記ＸＹＺテーブルが揺動して前記可塑化部及び吐出部が待機する待機状態においては、前記前端側開口が開となり、前記後端側開口が閉となることにより、前記前端側開口から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブルの下面を経て前記空気吸引手段に吸引されることによって前記ＸＹＺテーブルが冷却され、前記ＸＹＺテーブルが揺動して前記吐出部が前記溶融樹脂を前記固定金型へ塗布する塗布状態においては、前記前端側開口が閉となり、前記後端側開口が開となることにより、前記後端側開口から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブルを揺動駆動するための駆動装置カム部を経て前記空気吸引手段に吸引されることによって前記駆動装置カム部が冷却されることにより、ＸＹＺテーブルの待機状態では効率よく冷却され、可塑化部からの熱的影響を防止し、高精度の溶融樹脂塗布を行うことができ、塗布時にもフレーム内の駆動系の冷却を行い、安定した駆動を行うことができる。
また、前記前端側開口には、中央整流板及び後部整流板が設けられ、前記前端側開口が開の時、空気は前記前端側開口を経て前記中央整流板に導かれ、前記前端側開口が閉の時は、前記中央整流板の左右両側に位置する左側開口部及び右側開口部を介して空気が吸引され、前記右側開口部から吸引された空気は前記後部整流板を経て前記フレーム内の駆動装置側へ誘導され、前記左側開口部から吸引された空気は、前記駆動装置カム部に導かれることにより、塗布時においても前端側開口側からの空気導入を行って内部の冷却ができる。
また、前記架台上に設けられバネ又はアクチュエータからなる平衡装置を有し、前記ＸＹＺテーブルは前記平衡装置の付勢力を下方から受けるようにしたことにより、塗布後の吐出部の上昇を容易に行うことができる。
また、前記可塑化部には、冷水で冷却するための冷却配管が設けられていることにより、可塑化部の冷却を効率的に行うことができ、安定した稼動を行うことができる。

本発明は、Ｘ，Ｙ軸方向に移動し、Ｚ軸方向に揺動するＸＹＺテーブル上に可塑化部と吐出部を設け、待機状態の時にＸＹＺテーブルの前端側開口から吸引した空気でＸＹＺテーブルを冷却し、吐出状態の時に後端側開口から吸引した空気で駆動装置カム部等を冷却することにより、ＸＹＺテーブルの熱変形を防止し、成形装置に対する吐出部の位置精度を向上させるようにしたＸＹＺテーブル装置を提供することを目的とする。

以下、図面と共に本発明によるＸＹＺテーブル装置の好適な実施の形態について説明する。
尚、従来例と同一又は同等部分には同一符号を付して説明する。
図１において符号４で示されるものは成形装置であり、この成形装置４には固定金型４７ａと可動金型４７ｂとが設けられ、この固定金型４７ａが設けられている下部固定盤４２上には、可塑化部３１を有する塗布装置３が載置されている。

前記塗布装置３は、図２で示されるように構成されている。
すなわち、図２において符号２で示されるものは架台であり、この架台２上には、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸移動台３３ａを介してＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能なＸＹＺテーブル３３が配設されている。

前記ＸＹＺテーブル３３の前端５０側の上面には、従来例と同一の可塑化及び射出動作を行うための可塑化部３１及びこの可塑化部３１の先端に接続され塗布用の溶融樹脂３２Ａを前記固定金型４７ａ上に吐出供給するための吐出部３２が接続されている。

前記ＸＹＺテーブル３３の後端５１には、下方へ垂下する垂下片５２が一体に形成されていることにより、全体形状がＬ字型に形成されている。
前記ＸＹＺテーブル３３の後端５１側の下面には、カムフォロワー面５２を有するほぼ階段状をなすカムフォロワー５３が取付けられていると共に、このＸＹＺテーブル３３の中央部からやや前記前端５０側へ寄った位置には、前記架台２側へ設けられた回転支持台５４が設けられ、この回転支持台５４を介して前記ＸＹＺテーブル３３がＺ軸方向へ揺動自在に設けられている。
尚、このＸＹＺテーブル３３をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸移動台は図示を省略している。

前記架台２上には、全体形状が凹状をなすフレーム６０が設けられ、このフレーム６０のフレーム前部６１と前記前端５０との間には、図５で示される前端側開口６２が開閉自在に形成され、前記フレーム６０のフレーム後部６３との間には、図５で示される後端側開口６４が開閉自在に形成されている。

前記架台２上の前記前端５０側における前記架台２と前記フレーム６０との間には、スプリング、アクチュエータ等からなる平衡装置６５が設けられ、この平衡装置６５によって前記ＸＹＺテーブル３３が揺動する時のバランスが取れるように構成されている。

前記架台２上には、前記ＸＹＺテーブル３３の後端５１を上下動させてＺ軸方向に揺動させるための板カム７０、この板カム７０を回転させるための回転体及びピニオン等からなる駆動装置カム部７１及びこれらを制御するための制御装置を含む駆動装置７２が設けられ、この板カム７０が前記カムフォロワー面５２に摺接していることにより、カム板７０の回転によってＸＹＺテーブル３３が回転支持台５４を回転中心として揺動するように構成されている。

前記架台２の前記後端５１側には、下方へ開口するように、排気ファン等の強制冷却ファン又は排気源に接続されたダクト等からなる空気吸引手段７３が設けられ、この空気吸引手段７３によって前記ＸＹＺテーブル３３とフレーム６０によって形成される内部空間７４内の空気を外部に強制排気することができるように構成されている。

前記ＸＹＺテーブル３３上の可塑化部３１は、図３で示されるように、前記ＸＹＺテーブル３３上に第１、第２シリンダ支持装置８０，８１が互いに間隔をあけて設けられ、前記可塑化３１と第１シリンダ支持装置８０との間は複数のタイバー８２によって接続され、吐出時の吐出圧力（図３の矢印で示す）による引き離しを防止、ＸＹＺテーブル３３の揺動時の熱変形の防止、並びに、可塑化部３１のシリンダ３１Ａは前記第２シリンダ支持装置８１によって可動的に支持されていることにより、シリンダ３１Ａの熱変形が許容されるように構成されている。

前記可塑化部３１及び各シリンダ支持装置８０，８１に、図４にも示されるように、前記ＸＹＺテーブル３３に対して二層の断熱材９０，９１を介して取付けられ、前記ＸＹＺテーブル３３に対する熱伝達を極力防止し、ＸＹＺテーブル３３の稼動時における熱変形等が防止されるように構成されている。
また、前記可塑化部３１及び各シリンダ支持装置８０，８１には、図４のように、図示しない冷水源に接続された冷却配管９２が配設され、前記可塑化部３１等の温度上昇を防止することができるように構成されている。

前述のＸＹＺテーブル３３とフレーム６０とによって形成された前記前端側開口６２の近傍位置には、中央整流板９３及び後部整流板９４が配設され、前記前端側開口６２が開口している時は、空気吸入口９５が形成され、この前端側開口６２が閉じている時は、この前端側開口６２の両側に隙間（図示せず）が残り、この前端側開口６２の両側に右側開口部６２ａ及び左側開口部６２ｂが開口するように構成され、前記ＸＹＺテーブル３３の下面３３Ａの長手方向には、溝状をなす冷却フィン５１Ａが設けられている。

次に、前述の構成において、前記吐出部３２から固定金型４７ａに対して溶融樹脂３２Ａを供給塗布するために、ＸＹＺテーブル３３を揺動させる前の待機状態においては、図５で示されるように、前記前端側開口６２が全開状態となり、前記後端側開口６４が閉となることにより、前記前端側開口６２から吸引された空気は、前記ＸＹＺテーブル３３の下面３３Ａの中央整流板９３、後部整流板９４及び冷却フィン５１Ａを介し、ＸＹＺテーブル３３の下面３３Ａ及び駆動装置７２を主として冷却しつつ空気吸引手段７３から外部に排気される。

また、図６で示されるように、前記ＸＹＺテーブル３３が揺動して前記吐出部３２が溶融樹脂３２Ａを前記固定金型４７ａへ塗布する塗布状態においては、前記前端側開口６２が閉となり、前記後端側開口６４が開となることにより、前記後端側開口６４から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブル３３を揺動駆動するための駆動装置カム部７１を主として冷却しつつ前記空気吸引手段７３から外部に排出される。

また、前述の塗布装置３の塗布状態において、前記前端側開口６２が閉の時は、前記中央整流板９３の左右両側に位置する左側開口部６２ｂ及び右側開口部６２ａを介して空気が吸引され、前記左側開口部６２ａから吸引された空気は前記後部整流板９４を経て前記フレーム６０内の駆動装置７２側へ誘導され、前記左側開口部６２ｂから吸引された空気は前記駆動装置カム部７１に導かれて冷却が行われる。

本発明によるＸＹＺテーブル装置を用いた塗布装置を成形装置に組合わせた状態を示す概略構成図である。図１の塗布装置を具体的に示す断面構成図である。図２の要部を示す概略構成図である。図２の要部を示す概略構成図である。図１の塗布装置の待機状態を示す動作説明図である。図１の塗布装置の塗布状態を示す動作説明図である。従来構成を示す断面図である。

符号の説明

２架台
３塗布装置
４成形装置
３１可塑化部
３１Ａシリンダ
３２吐出部
３３ＸＹＺテーブル
３３Ａ下面
３３ａＸ軸移動台
４２下部固定盤
４７ａ固定金型
４７ｂ可動金型
５０前端
５１後端
５１Ａ冷却フィン
５２垂下片
５３カムフォロワー
５３ａカムフォロワー面
５４回転支持台
６０フレーム
６１フレーム前部
６２前端側開口
６３フレーム後部
６４後端側開口
６５平衡装置
７０板カム
７１駆動装置カム部
７２駆動装置
８０第１シリンダ支持装置
８１第２シリンダ支持装置
８２タイバー
９０，９１断熱材
９２冷却配管

Claims

架台(2)上で回転支持台(54)を介してＺ軸方向に揺動自在に設けられると共にＸ，Ｙ軸方向に移動可能なＸＹＺテーブル(33)と、前記ＸＹＺテーブル(33)上に配設された可塑化部(31)及び吐出部(32)と、を備え、前記可塑化部(31)で溶融混錬した溶融樹脂(32A)を前記吐出部(32)から固定金型(47a)内へ塗布するようにしたＸＹＺテーブル装置において、
前記架台(2)上に設けられ前記ＸＹＺテーブル(33)の下方に位置するフレーム(60)と、前記架台(2)の下部に設けられた空気吸引手段(73)と、前記フレーム(60)とＸＹＺテーブル(33)との間に形成されると共に前記ＸＹＺテーブル(33)の前端(50)及び後端(51)に位置する前端側開口(62)及び後端側開口(64)と、を備え、
前記ＸＹＺテーブル(33)が揺動して前記可塑化部(31)及び吐出部(32)が待機する待機状態においては、前記前端側開口(62)が開となり、前記後端側開口(64)が閉となることにより、前記前端側開口(62)から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブル(33)の下面(33A)を経て前記空気吸引手段(73)に吸引されることによって前記ＸＹＺテーブル(33)が冷却され、
前記ＸＹＺテーブル(33)が揺動して前記吐出部(32)が前記溶融樹脂(32A)を前記固定金型(47a)へ塗布する塗布状態においては、前記前端側開口(62)が閉となり、前記後端側開口(64)が開となることにより、前記後端側開口(64)から吸引された空気は前記ＸＹＺテーブル(33)を揺動駆動するための駆動装置カム部(71)を経て前記空気吸引手段(73)に吸引されることによって前記駆動装置カム部(71)が冷却されることを特徴とするＸＹＺテーブル装置。
前記前端側開口(62)には、中央整流板(93)及び後部整流板(94)が設けられ、前記前端側開口(62)が開の時、空気は前記前端側開口(62)を経て前記中央整流板(93)に導かれ、前記前端側開口(62)が閉の時は、前記中央整流板(93)の左右両側に位置する左側開口部(62b)及び右側開口部(62a)を介して空気が吸引され、前記右側開口部(62a)から吸引された空気は前記後部整流板(94)を経て前記フレーム(60)内の駆動装置側へ誘導され、前記左側開口部(62b)から吸引された空気は、前記駆動装置カム部(71)に導かれることを特徴とする請求項１記載のＸＹＺテーブル装置。
前記架台(2)上に設けられバネ又はアクチュエータからなる平衡装置(65)を有し、前記ＸＹＺテーブル(33)は前記平衡装置(65)の付勢力を下方から受けるようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のＸＹＺテーブル装置。
前記可塑化部(31)には、冷水で冷却するための冷却配管(92)が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載のＸＹＺテーブル装置。