JP4883467B2 - 光量計測装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 - Google Patents
光量計測装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Description
前記所定面またはその近傍に配置された光透過部材と、
前記所定面および前記光透過部材を介した光を検出する光検出器とを備え、
前記光透過部材の光検出器側には、前記所定面および前記光透過部材を介した光をプリズム作用により集光して前記光検出器へ導くためのプリズム集光部が設けられていることを特徴とする光量計測装置を提供する。
前記感光性基板上の露光領域における光量を計測するための第1形態の光量計測装置を備えていることを特徴とする露光装置を提供する。
前記露光工程により露光された前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイスの製造方法を提供する。
RST レチクルステージ
PL 投影光学系
Lb 境界レンズ
Lp 平行平面板
Lm1,Lm2 (液体)
W ウェハ
1 照明光学系
9 Zステージ
10 XYステージ
12 移動鏡
13 ウェハレーザ干渉計
14 主制御系
15 ウェハステージ駆動系
21 第1給排水機構
22 第2給排水機構
31 光透過部材
31a 開口
31b プリズム集光部
32 光検出器
Claims (8)
- 投影光学系を介した光を、該光の光路に設けられた液体を介して検出する光量計測装置であって、
前記投影光学系の像面または該像面近傍に配置され前記液体に接する第1面、および前記第1面から入射した前記光が射出する第2面を有する光透過部材と、
前記第2面から射出した前記光を検出する光検出器と、を備え、
前記第2面は、前記第1面から入射した前記光のうち所定値以上の入射角で入射した第1の光を透過させるために前記像面に対して傾斜した第1光学面と、前記光のうち前記所定値以上の入射角と異なる入射角で入射した第2の光を透過させるための第2光学面とを含み、
前記第1光学面は、前記光検出器側に頂点を向けた円錐面または角錐面によって形成され、
前記所定値以上の入射角は、前記第1光学面が傾斜していなかった場合に、前記第1の光が該第1光学面で反射されて該第1光学面から射出できなくなる大きさの入射角であることを特徴とする光量計測装置。 - 前記第1面には、前記光が通過可能な開口を形成する遮光性部材が設けられ、
前記第1光学面は、前記開口を通り且つ前記投影光学系の像面と直交する軸回りに形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光量計測装置。 - 前記第2光学面は、前記像面に平行に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の光量計測装置。
- 前記第2面は、前記第1光学面と前記第2光学面とによって円錐台状または角錐台状に形成されたプリズム部を含むことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光量計測装置。
- 投影光学系と該投影光学系の像面側に設けられる液体とを介した光によって感光性基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系と前記液体とを介した前記光を検出する請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光量計測装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記感光性基板を保持して移動するステージ装置を備え、
前記光量計測装置は、前記ステージ装置に設けられることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。 - 前記光量計測装置は、前記投影光学系の像面における前記光の光量分布を計測することを特徴とする請求項5または6に記載の露光装置。
- 基板に形成されるデバイスの製造方法であって、
請求項5乃至7のいずれか一項に記載の露光装置を用いて、前記基板にパターンを露光する露光工程と、
前記パターンが露光された前記基板を現像する現像工程と、
を含むことを特徴とするデバイスの製造方法。
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