JP4877320B2 - 不純物の流入防止装置 - Google Patents

不純物の流入防止装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4877320B2
JP4877320B2 JP2008331750A JP2008331750A JP4877320B2 JP 4877320 B2 JP4877320 B2 JP 4877320B2 JP 2008331750 A JP2008331750 A JP 2008331750A JP 2008331750 A JP2008331750 A JP 2008331750A JP 4877320 B2 JP4877320 B2 JP 4877320B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inflow prevention
vacuum
inflow
impurities
plates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008331750A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010151699A (ja
Inventor
竹男 乙津
Original Assignee
第一真空エンジニアリング株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 第一真空エンジニアリング株式会社 filed Critical 第一真空エンジニアリング株式会社
Priority to JP2008331750A priority Critical patent/JP4877320B2/ja
Publication of JP2010151699A publication Critical patent/JP2010151699A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4877320B2 publication Critical patent/JP4877320B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

本発明は不純物の流入防止装置に関し、特に、真空加熱装置内で金属製箱をはんだで加工する際、加熱によりはんだから蒸発し、飛散した不純物や酸化物等(以下、単に不純物と称する)が真空度を測定する装置内に流入するのを防止する装置に関するものである。
従来、図6に示すように、上面を開口し、部品を収容する金属製箱体aと蓋体bからなり、蓋体bの裏面にはペースト状のはんだcを付着した金属製箱Aがあり、蓋体bを箱体aに被せ、真空下で加熱してはんだcを溶融することにより箱体aと蓋体bとを溶着し、箱Aを密閉するために使用する真空加熱装置と、この真空加熱装置内の真空度を測定するための真空度測定装置が提供されている。
箱本体a内には、広い産業分野における各メーカーの種々の製品にそれぞれ使用可能な、例えば、電子部品のような部品を収容しており、密閉した金属製箱A全体が完成部品として各メーカーの製品や装置内に組み込み使用される。
前記の真空加熱装置内には上下複数段の棚を有する収容棚を設置してあり、個々の棚にははんだ付けする前の蓋体bを被せた金属製箱体aが複数整列して載置可能となっている。そして、収容棚には、箱体aと蓋体bとを加熱するための従来公知のヒーターのような加熱装置が取り付けてある。
箱体a内に部品を収容した状態で蓋体bを被せて各棚に載置し、真空状態のもとで加熱すると、収容棚とともに箱体aと蓋体bも加熱され、同時にはんだcが伝熱した熱で加熱されて溶融状態となり、はんだcが箱体aの四方上縁に付着するので箱体aと蓋体bとは一体に固定され、箱体aは蓋体bにより密閉される。
従来の真空加熱装置には、センサーを内蔵する真空度測定装置が円筒状の連結管を介して連結してある。常時或いは定時的に又は必要に応じ連結管を介して真空加熱装置内の気体を吸引し、真空加熱装置内の真空度が設定した適正な値であるかどうかを監視している。
測定の結果、真空加熱装置内が設定された真空度でない場合には外部の制御装置(図示せず)を作動させ、加圧或いは減圧をして適正な真空度を維持するようになっている。尚、真空加熱装置内を真空にするのは、酸化防止、溶剤気泡削除、不純物削除等のためである。
特開平7−79071号公報
上記する従来の真空加熱装置では、はんだcが熱で溶けた時にはんだcから発生する不純物が蒸発して真空加熱装置内に飛散する。真空度測定装置が真空度を測定するために真空加熱装置内の気体を吸引した時、気体とともに不純物が前記連結管を通して真空度測定装置内に流入するため、センサーに付着して測定度に誤差を生じ、また、真空度測定装置
の内部が汚染される原因となっていた。
更に、不純物が真空度測定装置に入って付着すると、不純物の層が形成されるので長期間の使用ができず、汚染した真空度測定装置は新しい真空度測定装置と交換する必要があって経済的負担が大きいものであり、その他に、度々保守、点検をする煩わしさがあった。
特許文献1として示す特開平7−79071号公報には、真空加熱装置22内ではんだを加熱溶融させ、電子部品をはんだ付けする技術が開示されているが、はんだが溶けた時に生ずる不純物や酸化物等の除去、更には、真空度測定装置や連結管については何ら開示も示唆さえもされていない。また、本願発明「不純物の流入防止装置」に関連する公知文献は見当たらない。
本願発明は、上記する従来技術の問題点に鑑み、真空加熱装置内で熱によりはんだが溶けた時に発する不純物が真空度測定装置に流入するのを防止し、不純物が真空度測定装置内に蓄積されことなく、かつ、真空加熱装置内の真空度を精度よく測定可能とすることを目的とする不純物の流入防止装置を提供するものである。
金属製箱体と蓋体とを真空下で加熱してはんだで溶着する真空加熱装置と、真空加熱装置の真空度を測定する真空度測定装置を連結する装置であって、両端を開口した金属製円筒状の支持管2に金属製円筒状の連設管3を流通可能に直角状に突設し、支持管2内には片側の開口部11から、固定板5の中央に突設した支持棒6の先端部に複数の流入防止板7を所定の間隔で固定した流入防止具を挿通、装着し、各流入防止板7に複数の流通孔8を周方向に形成するとともに隣接する流入防止板7の流通孔8は相対することなく周方向にそって交互に位置をずらせるように、流入防止板7を支持棒6に配してある。流入防止板7は、2〜3枚である。
本発明不純物の流入防止装置は、真空加熱装置19内ではんだから蒸発した不純物が真空度測定装置22内に流入するのを防止することができる。特に、T字形円筒体を形成する両端を開口した金属製円筒状の支持管2とこの支持管2に直角状に突設する金属製円筒状の連設管3とで真空加熱装置19と真空度測定装置22を連結し、真空度測定装置22への流入途中に流入防止板7を設けたので気体は流通可能であるが、不純物は流入防止板7で捕捉する。
従って、真空度測定装置22内のセンサーに不純物が付着したり、真空度測定装置22内を汚染することがないので、真空加熱装置19内の真空度を正確に測定し、設定した真空度を保つことができる。
支持管2内には片側の開口部11から、固定板5の中央に突設した支持棒6の先端部に複数の流入防止板7を所定の間隔で固定した流入防止具4を装着し、各流入防止板7に複数の流通孔8を形成するとともに隣接する流入防止板7の流通孔8は交差状になるよう流入防止板7を支持棒6に配したことにより、不純物は各流入防止板7の平面部に突き当たって付着し、不純物の流入を防止できる。
不純物の流入防止装置1は、真空加熱装置19や真空度測定装置22に着脱可能であり、流入防止具4も着脱可能であるから、定期的に或いは必要に応じて分解し、洗浄や交換が可能であり、保守、点検が容易であるため真空度測定装置22を長期的に使用することができる。
以下、図面に従って本発明の一実施形態を詳細に説明する。
図1は、本発明になる不純物の流入防止装置に関し、この装置1は、図1、図2に示すように、両端を開口する円筒状支持管2のほぼ中央に先端を開口した円筒状連設管3を一体に突設した内部流通可能なT字形管体としてあり、支持管2内には流入防止具4を装着するようになっている。
流入防止具4は、図2、図3に示すように、円形な固定板5の中央に支持棒6を水平状に突設し、ネジ溝を形成した支持棒6の先端部には円板状の流入防止板7を支持棒6とは直交する状態で固定したものである。尚、ネジ溝は支持棒6の全長に形成してあるが、流入防止板7を固定する範囲に設けても良い。
2枚以上複数枚の流入防止板7の中央には支持棒6が貫通する孔が穿たれており、この孔を中心にして各流入防止板7の平面周方向には複数の孔、通常は3〜4個の流通孔8が貫通し、等配してある。流入防止板7は、現在の流入防止装置1で使用されているのは直径が約15mm、厚さが約1mmであるので、流通孔8の大きさによるが、流通孔8の数は3〜4個が適当である。
支持棒6の先端部には複数の流入防止板7が設置されるが、各流入防止板7間には支持棒6に螺挿したナット或いは環体9を介在させて流入防止板7間を所定の間隔(約3mm〜5mm間隔)に規制し、両端に位置する流入防止板7には外側からナット10を締付けて流入防止板7が位置ずれを生ずることなく安定したものとしてある。
複数の流入防止板7を支持棒6に固定した時、図4に示すように、各流入防止板7に周方向に形成した流通孔8は、隣接する流入防止板7との間で相対することなく周方向にそって交互に位置をずらせるように、各流入防止板7を支持棒6に配してある。
図面では2枚の流入防止板7を支持棒6に固定した場合が示してあるが、3枚以上の複数枚であってもよい。仮に、3枚とした場合には、中央の流入防止板7の流通孔8に対し交差した位置にある両側の流入防止板7の流通孔8は対称的に同じ位置となる。
上記する流入防止具4は、支持管2の片側の開口部11から流入防止板7側を先にして挿通するが、複数の流入防止板7は、連設管3が突設する位置を通り過ぎ、反対側の開口部12との間に位置するまで挿通する。
そして、流入防止具3の固定板4と支持管2のフランジ13とはクランプ14を使用し、Oリングを介して密に連結するようになっている。尚、支持管2と連設管3とからなるT字形管体は、左右対称形であるから流入防止具4は支持管2のいずれの開口部から挿通してもよい。
クランプ14は、半円状の一対の挟持部材15の片側端部を開閉可能に軸連結し、他方の自由端はネジ16をナット17で締付けて固定可能とした従来公知のものを使用することができる。そして、挿通後の流入防止板7の外周面は、支持管2の内周面に隙間を生じないように嵌め合わされる。上記する支持管2、連設管3及び流入防止具4等は金属製であるが、使用する金属材は、はんだの不純物で腐食されなければ、特に材質を問うものではない。
本発明流入防止装置1は上記の構成を有しており、次に、使用状態について説明する。
図5に示すように、流入防止具4を支持管2内に装着した後、流入防止具4を挿通する開口部11とは反対側の開口部12側のフランジ18と、前記において説明した従来と同じ真空加熱装置19に突設するフランジ20とを前記クランプ14と同じクランプ14で密に連結する。
また、連設管3の先端開口部のフランジ21と、センサーを内蔵する従来と同じ真空度測定装置22のフランジ23とを図示していないが同じクランプ14により密に連結する。尚、図面では連設管3は下向きとしてあるが、真空度測定装置22の設置位置では上向き或いは横向きとすることもある。
このようにして流入防止装置1を介して真空加熱装置19と真空度測定装置22とを連結した後、真空加熱装置19内の複数の棚に蓋を被せた金属製箱(図5を参照)を載置し、真空状態で加熱して蓋裏面のはんだを溶かし金属製箱体に蓋体を溶着する。
はんだが熱で溶けて蒸発し、飛散した不純物が気体とともに支持管2及び連設管3を通して真空度測定装置22方向に流入した時、不純物は流入防止具4の先端に位置する流入防止板7の平面に衝突して付着し、気体のみが流通孔8を通過する。この時、不純物は、流入防止板7で流通を阻止され、支持管2内に充満するので、支持管2内面にも付着することになる。
全ての不純物が最初の流入防止板7に付着するものではなく、不純物の一部は最初の流入防止板7の流通孔8を気体とともに通過するが、この流通孔8と、隣接する流入防止板7の流通孔8とは相対することなく周方向に交互に位置をずらせてあるので、前記の気体は隣接する流入防止板7の平面に衝突して付着し、隣接する流入防止板7の流通孔8からの流入が阻止される。
上記のようにして不純物が真空度測定装置22に達するのを未然に防止することができる。このために、真空加熱装置19から真空度測定装置2への気体や不純物の流れが直線流にならないよう、隣接する流入防止板7の流通孔8は互いに交差した位置に設けてある。
流入防止板7は4枚、5枚と複数設置しておけば、不純物が真空度測定装置2に達するのを効率よく防止できるが、多くの流入防止板7があると真空気体の流入速度が遅くなり、また、構造上複数枚を設置することは困難であり、2枚から3枚の流入防止板7を設置するのが望ましい。しかし、真空加熱装置19が大型化すれば流入防止装置1も大型化し、それに応じて流入防止板7の大きさや数も変化する。
前記において、流入防止板7に設けた流通孔8は4個の場合を説明したが、流通孔8を穿った以外の平面部に不純物が付着するので、できるだけ多くの不純物の付着量を考慮して流通孔8の大きさや数が決定される。当然、真空加熱装置19全体が大型になれば流通孔8の数や大きさが設定される。
流入防止板7に不純物が付着し、汚染された時は、流入防止具3のみを取り外し、流入防止板7を新しいものと交換すればよい。汚染された流入防止板7は洗浄し、保管して次の使用に備えればよい。或いは、流入防止具4全体を交換し、洗浄した流入防止具3を次の使用のために保管すればよい。又は、クランプ14により着脱が容易であるから装置1全体を交換することも可能である。
箱体と蓋体とを真空下で加熱し、はんだで溶着する際に発生する不純物を途中で捕捉して真空度測定装置22への流入を防止するので、真空度測定装置22を安定して使用することができる。
本発明不純物の流入防止装置の斜視図である。 本発明不純物の流入防止装置を分解した状態の斜視図である。 流入防止具を拡大して示す斜視図である。 流入防止具を流入防止板側から見た正面図である。 使用状態を示す一部を断面とした側面図である。 金属製箱の斜視図である。
符号の説明
1 流入防止装置
2 支持管
3 連設管
4 流入防止具
5 固定板
6 支持棒
7 流入防止板
8 流通孔
9 環体
10 ナット
11開口部
12 開口部
13 フランジ
14 クランプ
15 挟持部材
16 ネジ
17 ナット
18 フランジ
19 真空加熱装置
20 フランジ
21 フランジ
22 真空度測定装置
23 フランジ

Claims (3)

  1. 金属製箱体と蓋体とを真空下で加熱してはんだで溶着する真空加熱装置と、真空加熱装置の真空度を測定する真空度測定装置を連結する装置であって、両端を開口した金属製円筒状の支持管2に金属製円筒状の連設管3を流通可能に直角状に突設し、支持管2内には片側の開口部11から、固定板5の中央に突設した支持棒6の先端部に複数の流入防止板7を所定の間隔で固定した流入防止具を挿通、装着し、各流入防止板7に複数の流通孔8を周方向に形成するとともに隣接する流入防止板7の流通孔8は相対することなく周方向にそって交互に位置をずらせるように、流入防止板7を支持棒6に配してあることを特徴とする不純物の流入防止装置。
  2. 流入防止板7は2枚である請求項1に記載する不純物の流入防止装置。
  3. 流入防止板7は3枚である請求項1に記載する不純物の流入防止装置。
JP2008331750A 2008-12-26 2008-12-26 不純物の流入防止装置 Expired - Fee Related JP4877320B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008331750A JP4877320B2 (ja) 2008-12-26 2008-12-26 不純物の流入防止装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008331750A JP4877320B2 (ja) 2008-12-26 2008-12-26 不純物の流入防止装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010151699A JP2010151699A (ja) 2010-07-08
JP4877320B2 true JP4877320B2 (ja) 2012-02-15

Family

ID=42570950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008331750A Expired - Fee Related JP4877320B2 (ja) 2008-12-26 2008-12-26 不純物の流入防止装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4877320B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5816116B2 (ja) * 2012-03-27 2015-11-18 助川電気工業株式会社 真空測定装置
KR101400429B1 (ko) * 2012-10-08 2014-05-28 진원삼 Sem과 fib 챔버 내부의 진공도 측정을 위한 냉음극 진공 게이지의 보호장치

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58101155A (ja) * 1981-12-09 1983-06-16 Gosei Senriyou Gijutsu Kenkyu Kumiai 合成繊維類用モノアゾ染料
JPH0779071A (ja) * 1993-09-07 1995-03-20 Mitsubishi Electric Corp 電子部品のはんだ付け方法及びはんだ付け装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010151699A (ja) 2010-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4877320B2 (ja) 不純物の流入防止装置
US20150001846A1 (en) Method and apparatus for retaining a flange on a fluid meter
US10190917B2 (en) Surface temperature probe
TW202130930A (zh) 安裝構件及具備該安裝構件的運動導引裝置
BR202014017803U2 (pt) Disposição introduzida em sinalização através de sistema vibratório em equipamento de medição e análise de parâmetros de soldagem em tempo real
CN111051826A (zh) 具有故障检测单元的模块化密封装置
WO2021246119A1 (ja) 腐食検査器具
JP7495114B2 (ja) 腐食検査器具
WO2020213256A1 (ja) 温度異常検出装置
JP2017035736A (ja) Hip用カプセルの製造方法及び焼結体の製造方法
JP4365796B2 (ja) ガス分析装置
WO2018142733A1 (ja) 半田付け装置
JP3642871B2 (ja) 圧力センサの溶接固定構造
KR20200050857A (ko) 금속 부품의 부식을 검출하는 장치 및 방법
JP2010240719A (ja) 連続鋳造鋳型
KR100621654B1 (ko) 용융 금속내 용존 가스량 측정을 위한 가스 탐침 구조
US20230375414A1 (en) Temperature sensor
KR102220186B1 (ko) 온도 검출 장치
KR101442633B1 (ko) 기판 지지 장치
JP5942889B2 (ja) 熱伝達機構及びこれを備えた熱分析装置
JP2012110804A (ja) 微細鉄粉除去装置
JP5247751B2 (ja) 放射性物質管理施設用電気装置及びその電子機器監視方法
JP6367651B2 (ja) パッド型熱電対の固定方法、及びパッド型熱電対
JP5816116B2 (ja) 真空測定装置
JP2003014549A (ja) 温度測定装置及び測定装置の冷却方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110922

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110927

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111017

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111101

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111114

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141209

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees