JP4875609B2 - 光ビーム均一化のための装置および方法 - Google Patents
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Description
本発明に従った方法は、以下の工程によって特徴づけられる。
− 少なくとも1つの光学的に機能する境界面と、光学的に機能する境界面上の複数のレンズ要素またはミラー要素とを有する光ビームの光学的均一化のための装置が準備される、
− 複数のレンズ要素のそれぞれを通過して入射する光の光分布、または複数のミラー要素のそれぞれによって反射される光の光分布が測定される、
− レンズ要素またはミラー要素のそれぞれの上に、測定されるべき光分布に対して補完的である構造が設けられる。
+U5・|x|5+U6・|x|6+U7・|x|7+U8・|x|8
+U9・|x|9+U10・|x|10+U11・|x|11
+U12・|x|12
0≦|x|<0,560
である第1のX値範囲においては、
U0 = −1,66・10−2
U1 = 0
U2 = −3,34・10−2
U3 = 0
U4 = −2,48・10−5
U5 = 0
U6 = −1,00・10−7
U7 = 0
U8 = −5,57・10−7
U9 = 0
U10 = 1.81・10−6
U11 = 0
U12 = −2,18・10−6
である第2のX値範囲においては
U0 = −6,15・10−3
U1 = 3,74・10−2
U2 = −3,34・10−2
U3 = 7,67・10−4
U4 = −2,96・10−2
U5 = 6,42・10−1
U6 = −1,70・101
U7 = 3,55・102
U8 = −7,34・100
U9 = −2,58・104
U10 = 1,21・105
U11 = 5,83・105
U12 = −2,66・106
である第3のX値範囲においては、
U0 = −2,51・10−3
U1 = 4,39・10−2
U2 = 4,95・10−2
U3 = 2,16・10−1
U4 = 4,29・101
U5 = −6,24・103
U6 = 6,70・105
U7 = −4,61・107
U8 = 2,11・109
U9 = −6,38・1010
U10 = 1,23・1012
U11 = −1,36・1013
U12 = 6,70・1013
である第4のX値範囲においては、
U0 = −7,20・10−4
U1 = 5,41・10−2
U2 = 6,32・10−1
U3 = −2,49・102
U4 = 2,84・105
U5 = −1,71・108
U6 = 6,62・1010
U7 = −1,69・1013
U8 = 2,88・1015
U9 = −3,26・1017
U10 = 2,35・1019
U11 = −9,72・1020
U12 = 1,78・1022
Claims (8)
- 光ビームの断面における強度分布を均一化するための光学素子であって、
− 強度分布を均一化されるべき光ビームが通過する、媒質間の少なくとも1つの境界面と、
− 前記少なくとも1つの境界面上に設けられる複数のレンズ要素(4,5)とを有する光学素子において、
レンズ要素(4,5)は、レンズ要素の中心からの距離がレンズ要素の中心からレンズ要素の外縁までの距離の0.8倍未満である中央領域に、2次の非球面(6)に対応する断面(7)を有し、レンズ要素の中心からの距離がレンズ要素の中心からレンズ要素の外縁までの距離の0.8倍以上である周縁領域に、前記2次の非球面(6)からずれた断面(7)であって、前記中央領域より高次の次数が、または高次の偶数の次数が優勢である断面(7)をそれぞれ有することを特徴とする光学素子。 - 光ビームの断面における強度分布を均一化するための光学素子であって、
− 強度分布を均一化されるべき光ビームが通過する、媒質間の少なくとも1つの境界面と、
− 前記少なくとも1つの境界面上に設けられる複数のレンズ要素(4,5)とを有する光学素子において、
レンズ要素(4,5)のそれぞれは、各レンズ要素(4,5)が相並んで配設される周期性に比べて小さい周期性を有する正弦形状の構造を有してなることを特徴とする光学素子。 - レンズ要素(4,5)のそれぞれは、2次の非球面である基本構造を有し、正弦形状の前記構造は基本構造の上に形成されることを特徴とする、請求項2に記載の光学素子。
- 光ビームの断面における強度分布を均一化するための光学素子であって、
− 強度分布を均一化されるべき光ビームを反射する、媒質間の少なくとも1つの境界面と、
− 前記少なくとも1つの境界面上に設けられる複数のミラー要素とを有する光学素子において、
ミラー要素は、ミラー要素の中心からの距離がミラー要素の中心からミラー要素の外縁までの距離の0.8倍未満である中央領域に、2次の非球面(6)に対応する断面(7)を有し、ミラー要素の中心からの距離がミラー要素の中心からミラー要素の外縁までの距離の0.8倍以上である周縁領域に、前記2次の非球面(6)からずれた断面(7)であって、前記中央領域より高次の次数が、または高次の偶数の次数が優勢である断面(7)をそれぞれ有することを特徴とする光学素子。 - 光ビームの断面における強度分布を均一化するための光学素子であって、
− 強度分布を均一化されるべき光ビームが通過する、媒質間の少なくとも1つの境界面と、
− 前記少なくとも1つの境界面上に設けられる複数のミラー要素とを有する光学素子において、
ミラー要素のそれぞれは、各ミラー要素が相並んで配設される周期性に比べて小さい周期性を有する正弦形状の構造を有してなることを特徴とする光学素子。 - ミラー要素のそれぞれは、2次の非球面である基本構造を有し、正弦形状の前記構造は基本構造の上に形成されることを特徴とする、請求項5に記載の光学素子。
- 各レンズ要素(4,5)が前記中央領域に有する断面は、双曲面または放物面(6)であることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 各ミラー要素が前記中央領域に有する断面は、双曲面または放物面(6)であることを特徴とする請求項4に記載の光学素子。
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