JP4860336B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
図1〜図3において、真空チャンバー10のチャンバー壁12に、透光性部材例えば石英ガラス22を有する光学窓20が配置されている。真空チャンバー10の内側(真空側)にて石英ガラス22の周縁側に配置された、第1開口14を有するチャンバー壁12は接地され、チャンバー壁12自体で接地電極を形成している。もちろん、接地電極を、チャンバー壁12とは別部材で形成しても良い。
次に、RF電極30の保持及び給電等に関する細部構造について、図1〜図3を参照して説明する。石英ガラス22の最外周縁部は、チャンバー壁(接地電極)12と石英ガラス固定金具(広義には第1の固定部材)40との間に挟持されている。ここで、チャンバー壁(接地電極)12の第1開口14の周囲には溝16が形成され、Oリング18が装着されている。Oリング18により、チャンバー壁12と石英ガラス22との間が気密に維持される。また、石英ガラス固定金具40が石英ガラス22と対向する面には、例えば四フッ化エチレン(テフロン(登録商標))製の保護材44を配置して、石英ガラス面を保護しても良い。
次に、本実施形態に係る光学窓を備えたレーザアブレーション装置について、図5を参照して説明する。
図6は、他のレーザアブレーション装置を示している。図6が図5と相違する点は、例えば水平に配置されたターゲット120に対して、ある角度をもってレーザ光120が入射されるために、レーザ光路ボックス100を真空チャンバー10に対して傾けて取り付けた点である。その他の点は、図6と図5に相違はなく、図5に示す部材と同一機能を有する部材については、図6でも同一符号が付されている。なお、図6に示す隔壁140は、先端の第4開口142に向かうに従い先細りとなるテーパ状に形成されている。また、図6に示すRF電極30は、円形リング状に形成することができ、第2開口32が円形である。
14 第1開口、16 溝、18 Oリング、20 光学窓、
22 石英ガラス(透光性部材)、30 RF電極、32 第2開口、
34 RF配線部材、36 マッチングボックス、38 RF電源、
40 石英ガラス固定部材(第1の固定部材)、42 第3開口、
50 RF電極押さえ板(絶縁性部材)、52 開口、54 貫通穴、
60 RF電極固定板(第2の固定部材)、62 開口、
81 絶縁性配線押さえ部材、
100 レーザ光路ボックス(レーザ光導入ボックス)、102 接地電極、
104、140 隔壁、106、142 第4開口、120 ターゲット、
122 蒸気粒子、124 基板(被処理体)
Claims (9)
- 真空処理室と、
前記真空処理室の壁部に配置され、透光性部材を有する光学窓と、
前記真空処理室の内側にて前記透光性部材の周縁側に配置された、第1開口を有する接地電極と、
前記真空処理室の外側にて前記透光性部材の周縁側に配置された、前記第1開口と対向する第2開口を有するRF電極と、
を有し、
前記真空処理室内に処理用ガスが導入され、前記RF電極及び前記接地電極間の電界によってプラズマを生成し、負のバイアス電位に帯電された前記透光性部材を、前記プラズマ中のイオンによりスパッタしてクリーニングすることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1において、
前記真空処理室の壁部は接地され、前記接地電極は前記真空処理室の壁部で形成されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1または2において、
前記接地電極との間で前記透光性部材の周縁部を挟んで固定する第1の固定部材と、
前記透光性部材との間で前記RF電極を挟んで保持する絶縁性部材と、
前記絶縁性部材を前記光学窓に固定する第2の固定部材と、
をさらに有し、
前記第1の固定部材は、前記RF電極を内部に配置するための第3開口を有し、
前記第2の固定部材及び前記絶縁性部材には、前記第2開口に連通する開口がそれぞれ形成されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項3において、
前記絶縁性部材には前記RF電極と対向する位置に、前記第2の固定部材と対向する面から前記RF電極と対向する面に向かう厚さ方向で貫通する貫通穴が形成され、
一端が前記貫通穴を介して前記RF電極に接続され、他端が前記絶縁性部材の外部に引き出されるRF配線部材と、
前記絶縁性部材との間で、前記RF配線部材を挟持する絶縁性配線押さえ部材と、
がさらに設けられ、
前記絶縁性配線押さえ部材は、前記絶縁性部材と前記第2の固定部材との間に挟持されることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記真空処理室内には、前記光学窓を介してレーザ光が導入され、前記レーザ光が前記プラズマの励起光として使用されることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項5において、
前記真空処理室内には、前記レーザ光によってアブレーションが生じて蒸発粒子が生成されるターゲットと、前記ターゲットからの前記蒸発粒子が堆積されて成膜される被処理体とが配置されていることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項6において、
前記真空処理室内には酸素が供給され、前記被処理体に形成される膜はターゲット材料の酸化物であり、前記光学窓を介して導入されるレーザ光は紫外線レーザであり、前記光学窓付近には前記紫外線レーザにより励起された酸素プラズマが生成されることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項6において、
前記真空処理室内には窒素が供給され、前記被処理体に形成される膜はターゲット材料の窒化物であり、前記光学窓を介して導入されるレーザ光は紫外線レーザであり、前記光学窓付近には前記紫外線レーザにより励起された窒素プラズマが生成されることを特徴とする真空処理装置。 - 請求項5乃至8のいずれかにおいて、
前記真空処理室より突出するレーザ光導入ボックスが設けられ、前記光学窓は前記レーザ光導入ボックスに配置され、前記レーザ光導入ボックスは前記真空処理室内に向けて伸び、先端に前記第2開口と対向する第4開口を有する隔壁を有することを特徴とする真空処理装置。
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