JP4855487B2 - 可動サポート、位置制御システム、リソグラフィ装置、および、交換可能オブジェクトの位置を制御する方法 - Google Patents
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Claims (25)
- 交換可能オブジェクトを保持するように構成された可動サポートであって、
基準オブジェクトに対して可動に構成された可動構造と、
前記可動構造に対して可動に構成され、前記交換可能オブジェクトを保持するように構成されたオブジェクトホルダと、
前記基準オブジェクトに対して前記可動構造を移動させるように構成されたアクチュエータと、
前記可動構造に対して前記オブジェクトホルダを移動させるように構成された極小ストロークアクチュエータと
を含み、
前記極小ストロークアクチュエータの剛性が、前記アクチュエータの剛性より実質的に大きく、
前記アクチュエータ及び前記極小ストロークアクチュエータは、前記可動構造の測定位置を前記可動構造の所望の位置と比較することによって得られる誤差信号に基づいて制御される、可動サポート。 - 前記極小ストロークアクチュエータはポジションタイプアクチュエータである、請求項1に記載の可動サポート。
- 前記極小ストロークアクチュエータはピエゾアクチュエータを含む、請求項1に記載の可動サポート。
- 前記可動構造は、ロングストローク部分と、ショートストローク部分とを含み、前記ロングストローク部分とショートストローク部分は互いに対して可動に構成され、前記ショートストローク部分は、前記オブジェクトホルダを保持するように構成され、前記アクチュエータは、前記ロングストローク部分に対して前記ショートストローク部分を移動させるように構成されたショートストロークアクチュエータであり、前記可動サポートは、前記基準オブジェクトに対して前記ロングストローク部分を移動させるように構成されたロングストロークアクチュエータをさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の可動サポート。
- 前記ショートストロークアクチュエータはローレンツアクチュエータを含む、請求項4に記載の可動サポート。
- 前記ロングストローク部分はステージであり、前記ショートストローク部分はチャックであり、前記オブジェクトホルダは交換可能オブジェクトテーブルである、請求項4に記載の可動サポート。
- 前記可動構造は、前記オブジェクトホルダを移動可能に保持するように構成されたクランプデバイスを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の可動サポート。
- 前記クランプデバイスは、真空クランプ、静電クランプ、または、真空クランプと静電クランプの両方である、請求項7に記載の可動サポート。
- 前記クランプデバイスは、前記オブジェクトホルダをクランプする複数のバールを含み、前記バールは前記可動構造と前記オブジェクトホルダの間に可撓性を提供する、請求項7に記載の可動サポート。
- 可動サポート上に保持された交換可能オブジェクトの位置を制御する位置制御システムであって、
前記可動サポートは、
基準オブジェクトに対して可動に構成された可動構造と、
前記可動構造に対して可動に構成され、交換可能オブジェクトを保持するように構成されたオブジェクトホルダと、
前記基準オブジェクトに対して前記可動構造を移動させるように構成されたアクチュエータと、
前記可動構造に対して前記オブジェクトホルダを移動させるように構成された極小ストロークアクチュエータと
を含み、
前記極小ストロークアクチュエータの剛性が前記アクチュエータの剛性より実質的に大きく、
前記位置制御システムが、
前記可動構造の位置を測定するように構成された位置測定システムと、
前記測定位置を前記可動構造の所望の位置と比較することによって誤差信号を提供するように構成されたコンパレータと、
前記誤差信号に基づいて前記アクチュエータに制御信号を提供するように構成されたコントローラと、
前記誤差信号に基づいて前記極小ストロークアクチュエータに制御信号を提供するように構成された極小ストロークコントローラと
を含む、位置制御システム。 - 前記極小ストロークコントローラはフィードフォワードコントローラである、請求項10に記載の位置制御システム。
- 前記極小ストロークコントローラは較正された利得を含む、請求項11に記載の位置制御システム。
- 前記利得は前記可動構造の位置に依存する、請求項12に記載の位置制御システム。
- 前記可動構造に対して前記オブジェクトホルダの前記位置を測定する追加の位置測定を含み、前記オブジェクトホルダの前記測定位置が、前記極小ストロークコントローラに送り込まれる、請求項10〜13のいずれか1項に記載の位置制御システム。
- 前記可動構造は、ロングストローク部分と、ショートストローク部分とを含み、前記ロングストローク部分とショートストローク部分は互いに対して可動に構成され、前記ショートストローク部分は、前記オブジェクトホルダを保持するように構成され、前記位置測定システムは前記ショートストローク部分の位置を測定するように構成され、前記アクチュエータは、前記ロングストローク部分に対して前記ショートストローク部分を移動させるように構成されたショートストロークアクチュエータであり、前記可動サポートは、前記基準オブジェクトに対して前記ロングストローク部分を移動させるように構成されたロングストロークアクチュエータをさらに含む、請求項10〜14のいずれか1項に記載の位置制御システム。
- 放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
前記放射ビームの断面にパターンを与えて、前記パターニングされた放射ビームを形成可能であるパターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイスサポートと、
基板を保持するように構成された基板サポートと、
前記基板のターゲット部分の上に前記パターニングされた放射ビームを投影するように構成された投影システムと
を含み、
前記サポートの少なくとも1つが、
基準オブジェクトに対して可動に構成された可動構造と、
前記可動構造に対して可動に構成され、前記基板またはパターニングデバイスのそれぞれを保持するように構成されたオブジェクトホルダと、
前記基準オブジェクトに対して前記可動構造を移動させるように構成されたアクチュエータと、
前記可動構造に対して前記オブジェクトホルダを移動させるように構成された極小ストロークアクチュエータとを含み、
前記極小ストロークアクチュエータの剛性が、前記アクチュエータの剛性より実質的に大きく、
前記アクチュエータ及び前記極小ストロークアクチュエータは、前記可動構造の測定位置を前記可動構造の所望の位置と比較することによって得られる誤差信号に基づいて制御される、リソグラフィ装置。 - 前記基準オブジェクトはバランスマスまたはフレームである、請求項16に記載のリソグラフィ装置。
- 位置制御システムは、
前記可動構造の位置を測定するように構成された位置測定システムと、
前記測定位置を前記可動構造の所望の位置と比較することによって誤差信号を提供するように構成されたコンパレータと、
前記誤差信号に基づいて前記アクチュエータに制御信号を提供するように構成されたコントローラと、
前記誤差信号に基づいて前記極小ストロークアクチュエータに制御信号を提供するように構成された極小ストロークコントローラとを含む、請求項16に記載のリソグラフィ装置。 - 前記極小ストロークアクチュエータの前記制御信号は、前記誤差信号および第2誤差信号に基づき、前記第2誤差信号は、前記サポートのうちの前記少なくとも1つのサポートとは異なる他のサポートに対する、実際の位置と所望の位置の間の差異である、請求項18に記載のリソグラフィ装置。
- 可動サポートによって保持された前記交換可能オブジェクトの位置を制御する方法であって、
前記可動サポートは、
基準オブジェクトに対して可動に構成された可動構造と、
前記可動構造に対して可動に構成され、交換可能オブジェクトを保持するように構成されたオブジェクトホルダと、
前記基準オブジェクトに対して前記可動構造を移動させるように構成されたアクチュエータと、
前記可動構造に対して前記オブジェクトホルダを移動させるように構成された極小ストロークアクチュエータと
を含み、
前記極小ストロークアクチュエータの剛性が前記アクチュエータの少なくとも1つの剛性より実質的に大きく、
前記方法が、
可動構造の位置を測定するステップと、
前記測定位置を所望の位置と比較することによって誤差信号を提供するステップと、
前記誤差信号に基づいて前記アクチュエータに制御信号を提供するステップと、
前記誤差信号に基づいて前記極小ストロークアクチュエータに制御信号を提供するステップと
を含む、方法。 - 前記極小ストロークアクチュエータに制御信号を提供するステップは、利得を乗じた前記誤差信号をフィードフォワードするステップを含む、請求項20に記載の方法。
- 前記利得は較正によって獲得される、請求項21に記載の方法。
- 前記極小ストロークアクチュエータによって与えられる前記制御信号は、前記可動サポートの前記位置に依存する、請求項20〜22のいずれか1項に記載の方法。
- 前記極小ストロークアクチュエータによって提供される前記制御信号は、前記オブジェクトホルダ中の内部変形に依存する、請求項20〜23のいずれか1項に記載の方法。
- 前記オブジェクトホルダの位置を測定するステップと、
前記測定位置を所望の位置と比較することによってオブジェクトホルダの誤差信号を提供するステップと、
前記オブジェクトホルダの誤差信号に基づいて前記アクチュエータに制御信号を提供するか、前記オブジェクトホルダの誤差信号に基づいて前記極小ストロークアクチュエータに制御信号を提供するか、あるいは両方に提供するステップと
を含む、請求項20〜24のいずれか1項に記載の方法。
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