JP4846299B2 - Marking method for semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置及びそのマーキング方法に関し、特に、小型の半導体装置のマーキング方法に適用して有効な技術に関する。   The present invention relates to a semiconductor device and a marking method thereof, and more particularly to a technique effective when applied to a marking method for a small semiconductor device.

樹脂封止型パッケージにおいて、集積回路部を内部に封止した封止樹脂と、この樹脂の表面に形成された第1の捺印部と、この第1の捺印部の一部に重ねて形成された、第1の捺印部とは異なる表示形式の第2の捺印部とを備えている技術がある(例えば、特許文献1参照)。   In a resin-encapsulated package, a sealing resin that encapsulates an integrated circuit portion, a first marking portion formed on the surface of the resin, and a portion of the first marking portion are formed. In addition, there is a technique that includes a second marking unit having a display format different from that of the first marking unit (see, for example, Patent Document 1).

また、電子部品収納用パッケージは、側面に上面から下面に達する複数の切欠き部が形成された絶縁基体と、絶縁基体の上面に電子部品を覆うように取着される蓋体とから成り、絶縁基体の一辺側の側面に位置するもののみの表面に、搭載部から導出された配線導体が電気的に接続された切欠き部導体が被着形成され、切欠き部導体を絶縁基体の向きを認識するための認識マークとして利用する技術がある(例えば、特許文献2参照)。   The electronic component storage package is composed of an insulating base having a plurality of notches formed on the side surface from the upper surface to the lower surface, and a lid attached to the upper surface of the insulating base so as to cover the electronic component. A notch conductor to which the wiring conductor led out from the mounting part is electrically connected is formed on the surface of only the side surface on one side of the insulating base, and the notch conductor is oriented toward the insulating base. There is a technique used as a recognition mark for recognizing (see, for example, Patent Document 2).

また、半導体パッケージの識別方法には、半導体パッケージの斜め上方に光源を配置し、半導体パッケージの上方にパターン認識機能を具備したCCDカメラを配置する。光源から発射され半導体パッケージの切り欠きで反射された光を検出することにより、製品情報を識別する技術がある(例えば、特許文献3参照)。
特開平11−26649号公報(図1) 特開2003−7893号公報(図1) 特開平11−45951号公報(図1)
In the semiconductor package identification method, a light source is disposed obliquely above the semiconductor package, and a CCD camera having a pattern recognition function is disposed above the semiconductor package. There is a technique for identifying product information by detecting light emitted from a light source and reflected by a cutout of a semiconductor package (see, for example, Patent Document 3).
JP-A-11-26649 (FIG. 1) Japanese Patent Laying-Open No. 2003-7893 (FIG. 1) Japanese Patent Laid-Open No. 11-45951 (FIG. 1)

携帯電話等の移動体通信装置に搭載される半導体装置は、今後、更なる小型化の要求が高まるとともに、様々な種類の製品が必要となる。   In the future, semiconductor devices mounted on mobile communication devices such as mobile phones will require further miniaturization and various types of products.

なお、半導体装置の封止体の表面には品種や製造ロット等の製品情報を示す認識用のマークが付されている。   A recognition mark indicating product information such as a product type and a production lot is attached to the surface of the sealing body of the semiconductor device.

ところが、半導体装置の小型化により封止体の表面の面積が小さくなると、表示可能なマーク(文字)の数が極めて少なくなる。その上で半導体装置の品種が増えると、表示する文字が足りなくなるという問題が起こる。   However, when the surface area of the sealing body is reduced by downsizing the semiconductor device, the number of marks (characters) that can be displayed is extremely reduced. In addition, when the number of semiconductor device types increases, there is a problem that characters to be displayed are insufficient.

例えば、パッケージサイズが0805(0.8×0.5mm)またはそれ以下のサイズの小型の半導体装置では、封止体の表面に文字が1文字程度しか表示できず、半導体装置の品種が増えると表示する文字が不足して対応ができなくなるという問題が発生する。   For example, in a small semiconductor device having a package size of 0805 (0.8 × 0.5 mm) or smaller, only about one character can be displayed on the surface of the sealing body, and the number of semiconductor devices increases. There is a problem that it is not possible to handle due to insufficient characters to be displayed.

なお、前記特許文献1(特開平11−26649号公報)には、捺印によってマークを重ね打つ方法が開示されている。しかしながら、捺印では、マークの滲みやかすれ等が発生し易く、マークが消え易いという問題がある。   Note that Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-26649) discloses a method of overprinting marks by stamping. However, in the stamping, there is a problem that the mark is likely to be blurred or blurred, and the mark is likely to disappear.

また、前記特許文献2(特開2003−7893号公報)には、パッケージの四隅の切り欠きにパッケージの向きを示す識別インデックスが形成された開示がある。しかしながら、四隅の切り欠きでは、目視検査において判別が困難であるという問題がある。   Further, Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-7893) discloses that an identification index indicating the orientation of the package is formed in the notches at the four corners of the package. However, the notches at the four corners have a problem that it is difficult to discriminate in visual inspection.

また、前記特許文献3(特開平11−45951号公報)には、パッケージの表面にバーコード状の向きを変えた複数の切り欠きを形成して認識を行う技術が開示されている。しかしながら、認識装置にCCDカメラを配置する等、認識装置が大がかりになるとともにコストや手間がかかることが問題である。   Further, Patent Document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 11-45951) discloses a technique for performing recognition by forming a plurality of cutouts whose bar code-like directions are changed on the surface of a package. However, there is a problem that the recognition apparatus becomes large and costs and labor are required, such as a CCD camera arranged in the recognition apparatus.

本発明の目的は、半導体装置において製品情報が増加してもこれに応じて製品情報を表示することができる技術を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a technique capable of displaying product information in accordance with the increase in product information in a semiconductor device.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。   The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。   Of the inventions disclosed in this application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.

すなわち、本発明は、半導体チップとこれを樹脂封止する封止体とこの封止体から露出する外部端子とを有し、封止体の表面に製品情報を示すカソードバンドと1文字のマークが付されており、カソードバンドは溝によって形成され、このカソードバンドの両側に封止体の一部が配置されているものである。   That is, the present invention includes a semiconductor chip, a sealing body that seals the semiconductor chip, and an external terminal exposed from the sealing body, and a cathode band that indicates product information on the surface of the sealing body and a one-character mark The cathode band is formed by a groove, and a part of the sealing body is disposed on both sides of the cathode band.

さらに、本発明は、半導体装置の封止体の表面に製品情報を示す第1のマークと第2のマークを付すマーキング工程を有し、第1および第2のマークのうちの少なくとも何れか一方のマークは、その表示方向によって個々の半導体装置の製品情報を示すものであり、製品情報に対応した方向でマークを付すものである。   Furthermore, the present invention includes a marking step of attaching a first mark and a second mark indicating product information to the surface of the sealing body of the semiconductor device, and at least one of the first and second marks The mark indicates the product information of each semiconductor device depending on the display direction, and the mark is attached in the direction corresponding to the product information.

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。   Of the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows.

半導体装置の封止体に付すマークが、その表示方向によって個々の半導体装置の製品情報を示すものであり、製品情報に対応した方向でマークを付すことにより、小型の半導体装置においても1つのマークの方向を変えることで表示の種類を増やすことができる。これにより、小型の半導体装置において品種等の製品情報が増加してもこれに応じて製品情報を表示することが可能になる。   The mark attached to the sealing body of the semiconductor device indicates product information of each semiconductor device depending on the display direction. By attaching the mark in the direction corresponding to the product information, one mark can be obtained even in a small semiconductor device. The display type can be increased by changing the direction of. As a result, even if product information such as product types increases in a small semiconductor device, it is possible to display product information accordingly.

以下の実施の形態では特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。   In the following embodiments, the description of the same or similar parts will not be repeated in principle unless particularly necessary.

さらに、以下の実施の形態では便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明などの関係にある。   Further, in the following embodiment, when it is necessary for the sake of convenience, the description will be divided into a plurality of sections or embodiments, but they are not irrelevant to each other unless otherwise specified. The other part or all of the modifications, details, supplementary explanations, and the like are related.

また、以下の実施の形態において、要素の数など(個数、数値、量、範囲などを含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良いものとする。   Also, in the following embodiments, when referring to the number of elements (including the number, numerical value, quantity, range, etc.), particularly when clearly indicated and when clearly limited to a specific number in principle, etc. Except, it is not limited to the specific number, and it may be more or less than the specific number.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that components having the same function are denoted by the same reference symbols throughout the drawings for describing the embodiments, and the repetitive description thereof will be omitted.

(実施の形態)
図1は本発明の実施の形態の半導体装置の構造の一例を示す平面図、図2は図1に示すA−A線に沿って切断した断面の構造の一例を示す断面図、図3は図1に示す半導体装置の構造の一例を示す裏面図である。さらに、図4は本発明の実施の形態の変形例の半導体装置の構造を示す平面図、図5、図6及び図7はそれぞれ本発明の実施の形態の半導体装置においてマーク方向を変えた構造の一例を示す平面図である。
(Embodiment)
1 is a plan view showing an example of the structure of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a cross-sectional structure taken along line AA shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 2 is a back view showing an example of the structure of the semiconductor device shown in FIG. 1. 4 is a plan view showing the structure of a semiconductor device according to a modification of the embodiment of the present invention. FIGS. 5, 6, and 7 are structures in which the mark direction is changed in the semiconductor device of the embodiment of the present invention. It is a top view which shows an example.

本実施の形態は、小型で、かつ樹脂封止型の半導体装置のマーキングについて説明するものであり、前記半導体装置の一例としてダイオード6を取り上げて説明する。ダイオード6は、図1に示すようにその平面方向の大きさが、例えば、0.8mm(L)×0.5mm(M)程度の小型のものであるが、大きさは前記サイズに限定されるものではない。   In the present embodiment, marking of a small and resin-encapsulated semiconductor device will be described. The diode 6 will be described as an example of the semiconductor device. As shown in FIG. 1, the size of the diode 6 in the plane direction is small, for example, about 0.8 mm (L) × 0.5 mm (M), but the size is limited to the above size. It is not something.

図1〜図3に示すダイオード6の構成について説明すると、ダイオード素子が形成された半導体チップ1と、半導体チップ1と外部端子3とを電気的に接続する導電性のワイヤ4と、半導体チップ1及びワイヤ4を樹脂封止する封止体5と、封止体5から露出する外部端子3及びチップ搭載部2とを有している。   The configuration of the diode 6 shown in FIGS. 1 to 3 will be described. The semiconductor chip 1 on which the diode element is formed, the conductive wire 4 that electrically connects the semiconductor chip 1 and the external terminal 3, and the semiconductor chip 1. And a sealing body 5 for resin-sealing the wires 4, and external terminals 3 and chip mounting portions 2 exposed from the sealing body 5.

さらに、ダイオード6では、その封止体5の表面5aに製品情報を示すカソードバンド(第1のマーク)5cと1文字のマーク(第2のマーク)5dが付されており、さらに、カソードバンド5cと1文字のマーク5dは、図2に示すようにそれぞれ溝5fによって形成されている。   Furthermore, in the diode 6, a cathode band (first mark) 5c indicating product information and a one-character mark (second mark) 5d are attached to the surface 5a of the sealing body 5, and further, the cathode band. As shown in FIG. 2, 5c and one-character mark 5d are formed by grooves 5f, respectively.

すなわち、カソードバンド5cと1文字のマーク5dは、レーザ加工等によって凹状に削って形成されたものであり、したがって、溝5fとなっている。   That is, the cathode band 5c and the one-letter mark 5d are formed by cutting into a concave shape by laser processing or the like, and thus form a groove 5f.

また、図1に示すように、封止体5の表面5aにおいてカソードバンド5cの両側には封止体5の一部が壁部5gとして配置されている。すなわち、レーザ加工によってカソードバンド5cを形成する際に、封止体5の表面5aにおいてカソードバンド5cの両端の外側には封止体5の縁が配置されるように形成する。つまり、カソードバンド5cの両端が表面5aの縁の手前で留まっており、側面には亘っていない。   Further, as shown in FIG. 1, a part of the sealing body 5 is arranged as a wall portion 5g on both sides of the cathode band 5c on the surface 5a of the sealing body 5. That is, when the cathode band 5c is formed by laser processing, the edge of the sealing body 5 is formed on the outer surface of both ends of the cathode band 5c on the surface 5a of the sealing body 5. That is, both ends of the cathode band 5c remain before the edge of the surface 5a and do not extend to the side surface.

なお、カソードバンド5cは、カソードの極性(方向)を示すものである。   The cathode band 5c indicates the polarity (direction) of the cathode.

また、1文字のマーク5dは、例えば、数字や英文字等のだれが見てもわかるような汎用性を有したマークであることが好ましく、例えば、ダイオード6の品種、基準電位、生産場所及び生産時期等の製品情報を示している。   The single-character mark 5d is preferably a versatile mark that can be seen by anyone, for example, numerals or English letters. For example, the type of diode 6, the reference potential, the production location, Product information such as production time is shown.

なお、本実施の形態のダイオード6では、1文字のマーク5dは、図4〜図7に示すように、その表示方向によって個々の半導体装置(ダイオード6)の製品情報を示しており、その製品情報に対応した方向で1文字のマーク5dが付されている。   In the diode 6 of the present embodiment, the one-character mark 5d indicates product information of each semiconductor device (diode 6) depending on the display direction as shown in FIGS. A one-character mark 5d is attached in a direction corresponding to the information.

すなわち、1文字のマーク5dの表示方向を変えることにより、生産場所や生産時期等の製品情報が異なり、1文字のマーク5d及びその表示方向を認識することにより、その製品情報の意味が分かるようになっている。   That is, by changing the display direction of the single character mark 5d, the product information such as the production location and the production time is different. By recognizing the single character mark 5d and its display direction, the meaning of the product information can be understood. It has become.

また、このように1文字のマーク5dの向きを変えることにより、表示する製品情報の種類の数を増やすことが可能になる。   Further, by changing the direction of the single-character mark 5d in this way, the number of types of product information to be displayed can be increased.

なお、図4〜図7に示すダイオード6では、封止体5の表面5aにおいてカソードバンド5cは表面5aの端部まで形成されている。   In the diode 6 shown in FIGS. 4 to 7, the cathode band 5 c is formed up to the end of the surface 5 a on the surface 5 a of the sealing body 5.

ここで、チップ搭載部2及び外部端子3は、導電性の薄板からなり、外部端子3だけでなく、チップ搭載部2も外部端子機能を有しており、図3に示すようにチップ搭載部2の裏面2bも封止体5の裏面5bに露出している。   Here, the chip mounting portion 2 and the external terminal 3 are made of conductive thin plates, and not only the external terminal 3 but also the chip mounting portion 2 has an external terminal function, as shown in FIG. The back surface 2 b of 2 is also exposed on the back surface 5 b of the sealing body 5.

したがって、半導体チップ1は、チップ搭載部2の主面2a上に、導電性の接着材等を介して固着されている。   Therefore, the semiconductor chip 1 is fixed on the main surface 2a of the chip mounting portion 2 via a conductive adhesive or the like.

また、封止体5は、例えば、熱硬化性のエポキシ樹脂等によって形成されている。ただし、エポキシ系以外の樹脂で形成されていてもよい。   Moreover, the sealing body 5 is formed by the thermosetting epoxy resin etc., for example. However, it may be formed of a resin other than an epoxy resin.

次に、本実施の形態の半導体装置のマーキング方法について説明する。   Next, the marking method of the semiconductor device of this embodiment will be described.

ダイオード6の組み立て完了後、マーキング工程において、ダイオード6の封止体5の表面5aにカソードバンド5cと、このカソードバンド5cの横に製品情報を示す1文字のマーク5dを付すマーキングを行う。   After the assembly of the diode 6 is completed, in the marking step, marking is performed by attaching a cathode band 5c to the surface 5a of the sealing body 5 of the diode 6 and a one-character mark 5d indicating product information beside the cathode band 5c.

なお、本実施の形態のダイオード6では、1文字のマーク5dは、その表示方向によって個々のダイオード6の製品情報を示すものであり、例えば、図4〜図7に示すように、前記製品情報に対応した所定の方向で1文字のマーク5dを付す。その際、1文字のマーク5dは、例えば、汎用性を有する数字や英文字等で示すことが好ましい。   In the diode 6 of the present embodiment, the one-character mark 5d indicates the product information of each diode 6 depending on the display direction. For example, as shown in FIGS. A one-character mark 5d is attached in a predetermined direction corresponding to. At this time, it is preferable that the one-character mark 5d is represented by, for example, a general-purpose number or English character.

また、カソードバンド5cや1文字のマーク5dは、例えば、レーザ加工により溝5f(凹部)として形成することが好ましい。   The cathode band 5c and the single-character mark 5d are preferably formed as grooves 5f (concave portions) by laser processing, for example.

なお、図4は、変形例のダイオード6を示すものであり、その封止体5の表面5aに、カソードバンド(第1のマーク)5cと、1文字のマーク(第2のマーク)5dと、前記1文字のマーク5dより小さい小型マーク(第3のマーク)5eとをそれぞれ付すものである。   FIG. 4 shows a diode 6 of a modified example, and a cathode band (first mark) 5c and a one-character mark (second mark) 5d are formed on the surface 5a of the sealing body 5. , A small mark (third mark) 5e smaller than the one-character mark 5d.

小型マーク5eは、例えば、バー(−)やドット(.)等であり、1文字のマーク5dの横等にさらに1文字分のスペースより小さな僅かなスペースが残留する際に、このスペースを有効に活用するものであり、このように1文字のマーク5dに加えて、これより小さな小型マーク5eを付すことにより、表示する製品情報の種類や数をさらに増やすことができる。   The small mark 5e is, for example, a bar (-), a dot (.), Etc., and this space is effective when a small space smaller than the space for one character remains beside the one character mark 5d. In this way, in addition to the single-character mark 5d, a smaller mark 5e smaller than this can be added to further increase the type and number of product information to be displayed.

本実施の形態の半導体装置(ダイオード6)及びそのマーキング方法によれば、ダイオード6の封止体5の表面5aにおいて、カソードバンド5cの横に付す1文字のマーク5dが、その表示方向によって個々のダイオード6の製品情報を示すものであり、製品情報に対応した方向で1文字のマーク5dを付すことにより、小型のダイオード6においてもそのマークの方向を変えることで表示の種類を増やすことができる。   According to the semiconductor device (diode 6) and the marking method of the present embodiment, on the surface 5a of the encapsulant 5 of the diode 6, the one-character mark 5d attached to the side of the cathode band 5c is individually changed depending on the display direction. The product information of the diode 6 is shown, and by attaching a one-character mark 5d in the direction corresponding to the product information, the type of display can be increased by changing the direction of the mark even in the small diode 6. it can.

これにより、小型のダイオード6において品種等の製品情報が増加してもこれに応じて製品情報を表示することができる。   As a result, even if product information such as product type increases in the small diode 6, the product information can be displayed accordingly.

例えば、複数の組み立て工程が存在する場合、同じ1文字を使用して、どの組み立て工程で組み立てを行ったか等の情報を容易に判別することができる。   For example, when there are a plurality of assembly steps, it is possible to easily determine information such as in which assembly step the assembly is performed using the same single character.

また、生産時期ごとにマークの方向を変えることにより、その製品(ダイオード6)の生産時期を容易に判別することができる。   Further, by changing the direction of the mark for each production period, the production period of the product (diode 6) can be easily determined.

さらに、表示方向を変える1文字のマーク5d自体は小さくならないため、認識時に、顕微鏡や認識装置等を使用しなくても目視で判別することができ、コストや手間を増やすことなく情報を容易に認識することができる。   Furthermore, since the single-character mark 5d itself that changes the display direction does not become small, it can be discriminated visually without using a microscope, a recognition device, etc., and information can be easily obtained without increasing costs and labor. Can be recognized.

また、カソードバンド5cや1文字のマーク5dをレーザ加工によって溝5fとして形成することにより、捺印や印刷等で発生するマークの滲みやかすれまたはマーク消えという現象を防ぐことができ、マークの表示寿命を延ばすことができる。   In addition, by forming the cathode band 5c and the single-character mark 5d as the groove 5f by laser processing, it is possible to prevent the phenomenon of mark bleeding or blurring or mark disappearance that occurs during stamping or printing, and the display life of the mark. Can be extended.

また、ダイオード6においてカソードバンド5cが溝5fによって形成され、このカソードバンド5cの両側に封止体5の一部が壁部5gとして配置されていることにより、ダイシングテープ等の接着材の付着物が封止体5の側面から溝5f内に入り込むことを防止できる。   Further, in the diode 6, the cathode band 5 c is formed by the groove 5 f, and a part of the sealing body 5 is arranged as a wall portion 5 g on both sides of the cathode band 5 c, thereby adhering material such as dicing tape. Can be prevented from entering the groove 5 f from the side surface of the sealing body 5.

その結果、ダイシング後にダイオード6がダイシングテープから離れにくくなるという問題の発生を防ぐことができる。   As a result, it is possible to prevent the problem that the diode 6 is difficult to be separated from the dicing tape after dicing.

また、製品情報の表示の種類の増加を1文字のマーク5dの方向を変えることで行うため、マークそのものには数字や英文字を用いることができる。数字や英文字の場合、汎用性があるため、特別な記号等で表示するのとは異なり、したがって、だれが見ても判別を容易に素早く行うことができる。   Further, since the display type of the product information is increased by changing the direction of the one-character mark 5d, numerals and English characters can be used for the mark itself. In the case of numbers and English characters, since they are versatile, they are different from displaying with special symbols or the like, and therefore, discrimination can be easily and quickly performed by anyone.

以上、本発明者によってなされた発明を発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。   As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments of the invention. However, the present invention is not limited to the embodiments of the invention, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It goes without saying that it is possible.

例えば、前記実施の形態では、半導体装置がダイオード6の場合について説明したが、前記半導体装置は、小型の半導体パッケージであればトランジスタ等の他の電子部品であってもよい。その場合、第1のマークはカソードバンド5cであっても、あるいはカソードバンド5c以外の他のマークであってもよく、第1のマークか第2のマークのうちの何れか一方が文字であり、その文字の表示方向を種々変えることによってその半導体装置(電子部品)の製品情報を示すようになっていればよい。   For example, in the above-described embodiment, the case where the semiconductor device is the diode 6 has been described. However, the semiconductor device may be another electronic component such as a transistor as long as it is a small semiconductor package. In this case, the first mark may be the cathode band 5c or another mark other than the cathode band 5c, and either one of the first mark or the second mark is a character. The product information of the semiconductor device (electronic component) may be displayed by changing the display direction of the characters.

また、前記実施の形態では、カソードバンド5cや1文字のマーク5dをレーザ加工によって形成する場合を説明したが、カソードバンド5cや1文字のマーク5dは、例えば、印刷等によって付してもよい。   In the above embodiment, the cathode band 5c and the one-character mark 5d are formed by laser processing. However, the cathode band 5c and the one-character mark 5d may be attached by, for example, printing. .

本発明は、電子部品のマーキング技術に好適である。   The present invention is suitable for electronic part marking technology.

本発明の実施の形態の半導体装置の構造の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the structure of the semiconductor device of embodiment of this invention. 図1に示すA−A線に沿って切断した断面の構造の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the structure of the cross section cut | disconnected along the AA line shown in FIG. 図1に示す半導体装置の構造の一例を示す裏面図である。FIG. 2 is a back view showing an example of the structure of the semiconductor device shown in FIG. 1. 本発明の実施の形態の変形例の半導体装置の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the semiconductor device of the modification of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の半導体装置においてマーク方向を変えた構造の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the structure which changed the mark direction in the semiconductor device of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の半導体装置においてマーク方向を変えた構造の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the structure which changed the mark direction in the semiconductor device of embodiment of this invention. 本発明の実施の形態の半導体装置においてマーク方向を変えた構造の一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the structure which changed the mark direction in the semiconductor device of embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 半導体チップ
2 チップ搭載部
2a 主面
2b 裏面
3 外部端子
4 ワイヤ
5 封止体
5a 表面
5b 裏面
5c カソードバンド(第1のマーク)
5d 1文字のマーク(第2のマーク)
5e 小型マーク(第3のマーク)
5f 溝
5g 壁部(一部)
6 ダイオード(半導体装置)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor chip 2 Chip mounting part 2a Main surface 2b Back surface 3 External terminal 4 Wire 5 Sealing body 5a Front surface 5b Back surface 5c Cathode band (1st mark)
5d 1-character mark (second mark)
5e Small mark (third mark)
5f Groove 5g Wall (part)
6 Diode (semiconductor device)

Claims (6)

半導体装置にマークを付す半導体装置のマーキング方法であって、
前記半導体装置の封止体の表面に製品情報を示す第1のマークと第2のマークを付すマーキング工程を有し、
前記第1および第2のマークのうちの少なくとも何れか一方のマークは、その表示方向によって個々の半導体装置の製品情報を示すものであり、前記製品情報に対応した方向で前記マークを付すことを特徴とする半導体装置のマーキング方法。
A semiconductor device marking method for marking a semiconductor device,
A marking step of attaching a first mark and a second mark indicating product information on the surface of the sealing body of the semiconductor device;
At least one of the first and second marks indicates product information of each semiconductor device depending on a display direction thereof, and the mark is attached in a direction corresponding to the product information. A semiconductor device marking method.
前記半導体装置は、ダイオードであることを特徴とする請求項記載の半導体装置のマーキング方法。 The semiconductor device includes a marking method of a semiconductor device according to claim 1, wherein the diodes. 半導体装置にマークを付す半導体装置のマーキング方法であって、
前記半導体装置の封止体の表面に製品情報を示すカソードバンドと1文字のマークを付すマーキング工程を有し、
前記1文字のマークは、その表示方向によって個々の半導体装置の製品情報を示すものであり、前記製品情報に対応した方向で前記1文字のマークを付すことを特徴とする半導体装置のマーキング方法。
A semiconductor device marking method for marking a semiconductor device,
A marking step of attaching a cathode band indicating product information and a one-letter mark on the surface of the sealing body of the semiconductor device;
The marking method for a semiconductor device, wherein the one-character mark indicates product information of an individual semiconductor device depending on a display direction thereof, and the one-character mark is attached in a direction corresponding to the product information.
半導体装置にマークを付す半導体装置のマーキング方法であって、
前記半導体装置の封止体の表面に製品情報を示すカソードバンドと1文字のマークを付すマーキング工程を有し、
前記1文字のマークは、その表示方向によって個々の半導体装置の製品情報を示すものであり、
前記カソードバンドおよび前記1文字のマークをレーザ加工によって形成するとともに、前記製品情報に対応した方向で前記1文字のマークを形成することを特徴とする半導体装置のマーキング方法。
A semiconductor device marking method for marking a semiconductor device,
A marking step of attaching a cathode band indicating product information and a one-letter mark on the surface of the sealing body of the semiconductor device;
The one-character mark indicates product information of an individual semiconductor device depending on a display direction thereof,
A marking method for a semiconductor device, wherein the cathode band and the one-character mark are formed by laser processing, and the one-character mark is formed in a direction corresponding to the product information.
半導体装置にマークを付す半導体装置のマーキング方法であって、
前記半導体装置の封止体の表面に製品情報を示す第1のマークであるカソードバンドと、1文字のマークである第2のマークと、前記第2のマークより小さい第3のマークを付すマーキング工程を有し、
前記第2のマークは、その表示方向によって個々の半導体装置の製品情報を示すものであり、
前記製品情報に対応した方向で前記第2のマークを付すことを特徴とする半導体装置のマーキング方法。
A semiconductor device marking method for marking a semiconductor device,
Marking which attaches the cathode band which is the 1st mark which shows product information on the surface of the sealing body of the semiconductor device, the 2nd mark which is a 1-character mark, and the 3rd mark smaller than the 2nd mark Having a process,
The second mark indicates product information of an individual semiconductor device depending on a display direction thereof,
A marking method for a semiconductor device, wherein the second mark is attached in a direction corresponding to the product information.
前記第3のマークは、バー(−)またはドット(.)を含むことを特徴とする請求項記載の半導体装置のマーキング方法。 6. The marking method for a semiconductor device according to claim 5 , wherein the third mark includes a bar (-) or a dot (.).
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