JP4844905B2 - 磁気センサー - Google Patents
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Description
金属配線は電気的接続をおこなう孔部を除き電気絶縁層で覆われ、
電気絶縁層上に電気絶縁層の孔部中心からの内側寸法より大きな内側寸法の孔部を有する樹脂層が孔部端部にテーパーをつけて設けられ、
電気絶縁層の孔部中心から樹脂層孔部の内側寸法より大きい外側寸法の金属層aが金属配線上から樹脂層上まで設けられ、
樹脂層孔部端部のテーパー角度が45°以下であり、
金属層a上には金属層aと同等以下の外側寸法を有する無鉛半田が設けられていることが好ましい。前記無鉛半田は、リフロー形成され、金属層aと同等の外側寸法であることが好ましい。
金属配線は電気的接続をおこなう孔部を除き電気絶縁層で覆われ、
電気絶縁層上に電気絶縁層の孔部中心からの内側寸法より大きな内側寸法の孔部を有する樹脂層が孔部端部にテーパーをつけて設けられ、
電気絶縁層の孔部中心から樹脂層孔部の内側寸法より大きい外側寸法の金属層aが金属配線上から樹脂層上まで設けられ、
樹脂層孔部端部のテーパー角度が45°以下であり、
金属層a上に金属層aと同等以下の外側寸法を有する金属層bが設けられ、
金属層b上には金属層bと同等以下の外側寸法を有する無鉛半田が設けられていることが好ましい。前記無鉛半田は、リフロー形成され、金属層aと同等の外側寸法であることが好ましい。
磁気センサー部は、MR素子(磁気抵抗効果膜)、スピンバルブ素子或いはGMR素子を有する。いずれかの素子でブリッジ回路を構成していることが好ましい。素子に印加される外部磁界が変化すると、素子或いは前記ブリッジ回路から出力される電気信号も変化する。出力の変化を外部磁界の変化として捉える。出力を外部配線で取り出すために、電極端子を設け、磁気センサーを構成している。図6のように、電気絶縁性基板の長手方向の一方の側は磁気センサー部が外部磁界を受ける為の感磁領域となる。電極端子は、電気絶縁性基板の長手方向の他方の側に設けられる。電極端子に接続される外部配線は、感磁領域を覆わないように設けられる。
磁気センサー部を構成する素子は磁性膜を有するため、面内方向応力が加わると、磁気センサーの出力のS/N比に影響を及ぼす。S/N比の更なる向上が求められる用途について本発明の磁気センサーを用いると、半田収縮応力の影響が更に緩和され、電気信号出力のS/N比が向上するので、より好ましい。
磁気センサー部において、素子は金属配線と電気的に接続されているが、直接つながってはおらず、配線用導電膜(例えばCu層)を介して導通されている。さらに、素子と配線用導電膜の間にはCr膜又はTa膜を介在させることが望ましい。また、素子自体も下地層やバッファー層を介して電気絶縁層上に成膜されている。これらの間接的な接続或いは間接的な積層は、電気絶縁性基板/電気絶縁層及び金属配線を介して素子に伝わる面内方向応力の影響を更に緩和する効果がある。
図1に示す金属層aと金属層bとを有する電極端子を用いて、実施した電極端子の構成を説明する。図1は、図6の電極端子m−m’方向断面を示している。孔部11は長方形で、1120μm×220μmである。図1の左右方向が220μmで図の奥行き方向が1120μmである。電気絶縁層5の孔部形状と樹脂層8の孔部形状と外側形状、金属層a及び金属層bの外側形状は相似とした。
図3に、第2の実施例を示す。実施例2は金属層a6のみで、実施例1の金属層b7無しの電極端子構造である。実施例1と金属膜a6の構成が異なるだけで、他は同じであるので金属膜a6の構成と製造方法についてのみ説明する。
図4に、樹脂層8の厚みと孔部端部のテーパー角度、クラック発生率の関係を示す。樹脂層8は熱変形温度150℃のエポキシ系樹脂を用い、厚みを1μmから10μmまで変え、テーパー角度を90°から30°まで変えた。樹脂層8以外の寸法や材質は実施例1と同じとした。図6に示すような4つの電極端子を持つ磁気センサーが400個形成された基板を、各条件で5枚づつ作製してクラック発生率を求めた。クラックは基板の表裏から実体顕微鏡で観察し、図7に示すクラック10が一つでもあった電極端子を、クラックの発生した端子とした。各樹脂層の厚みで、4電極×400個×5枚=8000電極を検査している。クラック発生率=クラックの発生した電極端子数/8000(%)で求めた。なお、図4に用いた基板は樹脂層が十分厚いため、金属層a6端を起点としたクラックは発生しなかった。
2 電気絶縁性基板、
3 金属配線、
4 磁気センサー部、
5 電気絶縁層、
6 金属層a、
7 金属層b、
8 樹脂層、
9,9’ 無鉛半田
10 クラック
11 孔部。
Claims (4)
- 基板上に形成された磁気センサー部に接続される金属配線と、前記金属配線と外部配線とを電気的に接続する為の無鉛半田を備える磁気センサーであって、
前記金属配線は、半田を接続する為の孔部を除き、電気絶縁層で覆われ、
前記電気絶縁層の孔部の内側寸法より大きな内側寸法の孔部を有する樹脂層が、前記電気絶縁層上に設けられ、
前記樹脂層の孔部端部にはテーパーがつけられており、テーパー角度が45°以下であり、
前記樹脂層孔部の内側寸法より大きい外側寸法の金属層aが、金属配線上から樹脂層上にわたって設けられ、
前記無鉛半田は、金属層aと同等以下の外側寸法を有すると共に円弧状であり、前記金属層a上に設けられていることを特徴とする磁気センサー。 - 基板上に形成された磁気センサー部に接続される金属配線と、前記金属配線と外部配線とを電気的に接続する為の無鉛半田を備える磁気センサーであって、
前記金属配線は、半田を接続する為の孔部を除き、電気絶縁層で覆われ、
前記電気絶縁層の孔部の内側寸法より大きな内側寸法の孔部を有する樹脂層が、前記電気絶縁層上に設けられ、
前記樹脂層の孔部端部にはテーパーがつけられており、テーパー角度が45°以下であり、
前記樹脂層孔部の内側寸法より大きい外側寸法の金属層aが、金属配線上から樹脂層上にわたって設けられ、
前記金属層aと同等以下の外側寸法を有する金属層bが、前記金属層a上に設けられ、
前記無鉛半田は、前記金属層aと同等以下の外側寸法を有すると共に円弧状であり、少なくとも前記金属層b上に設けられていることを特徴とする磁気センサー。 - 前記樹脂層孔部端部のテーパー角度が45°以下、20°以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサー。
- 前記無鉛半田は、スクリーン印刷及びリフローで形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載された磁気センサー。
Priority Applications (1)
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JP2008286914 | 2008-11-07 | ||
JP2009254178A JP4844905B2 (ja) | 2008-11-07 | 2009-11-05 | 磁気センサー |
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Family Applications (1)
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JP2009254178A Expired - Fee Related JP4844905B2 (ja) | 2008-11-07 | 2009-11-05 | 磁気センサー |
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2009
- 2009-11-05 JP JP2009254178A patent/JP4844905B2/ja not_active Expired - Fee Related
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