JP4835857B2 - 形状測定装置の校正方法及び校正用軸物 - Google Patents
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Description
まず、被測定物と同材質で断面の形状寸法が大略同じで、かつ各部の正確な形状寸法が既知である校正治具を校正治具搭載用架台に搭載することにより空間上の所定位置に配置する。次に、この状態で校正治具の形状寸法を測定し、校正治具の形状寸法の既知の値と測定結果とを基準にして測定装置を校正する、という方法であった(特許文献1参照)。
り、全体として複雑で、高コストの校正方法となっていた。
本発明の課題は、軸物の形状を光切断法による2次元の非接触スキャナを用いて測定する形状測定装置において、簡単、低コストでその校正を行うことのできる方法(形状測定装置の校正方法)を提供することにある。
光切断法による2次元非接触スキャナを用いて被測定軸物の形状を測定する形状測定装置の校正方法において、基準位置・姿勢にある既知の形状を有する校正用軸物の静止時及び軸周り方向回転時における各部の、前記2次元非接触スキャナの光学センサ部からの距離を、前記校正用軸物の軸周り方向の回転角度と共に取得し、得られた回転角度−距離データの集合に基づいて、前記校正用軸物の基準位置・姿勢に対する前記光学センサ部の位置・姿勢のずれを求め、求められたずれを補正パラメータとして用いて前記被測定軸物の形状測定における校正を行うものであって、前記校正用軸物は、半割以上の大きさの円弧面を有する一部切欠き円柱体の前記円弧面とは反対側に、軸方向に沿う平面部を有し、かつ、前記一部切欠き円柱体の軸方向定位置の、前記平面部を除く外周面の軸周り方向に、断面三角形の突条部を有することを特徴とする形状測定装置の校正方法。
図1は本発明による形状測定装置の校正方法の一実施形態を説明するための斜視図、図2は同じく装置構成図である。
両図において、1は既知の形状(寸法を含む。以下同様。)を有する校正用軸物で、基準位置・姿勢にて軸周り方向に回転可能に配置される。この校正用軸物1は、形状の異なる種々の被測定軸物に対して共通であり、したがって通常、1個用意すればよく、以下この校正用軸物1をマスタワークと称する。マスタワーク1は、被測定軸物の形状測定時と同様の位置・姿勢で回転可能に配置される。
この形状測定装置2は、上記2次元非接触スキャナ3と3次元形状データ化処理装置4とを備えてなる(図2参照)。
2次元非接触スキャナ3は、ここでは三角形状に広がるシート状のレーザ光3aをマスタワーク1の測定面、つまり外周面に対して横一直線、1ライン照射し、その反射光3bを受光する光学センサ部3cと、マスタワーク1を図示測定位置において軸周り方向に回転させるモータ3dとを備えてなる。光学センサ部3cは、三角測量原理のレーザ光切断方式2次元変位センサを備える。
本実施形態では、マスタワーク1の軸周り方向の回転角度を検出可能にロータリエンコーダ5が設けられ、このロータリエンコーダ5からの回転角度データが3次元形状データ化処理装置4に入力される構成となっている。
なお、上記光切断法は、平面視が三角形状ないし扇状に広がり、側面視が線状のシート状光、スリット光等と称される光を光源から被測定物に照射し、その反射光を光センサで受け、上記光源の位置、光の投射角度・位置、光センサの位置等から三角測量の原理により求められる光源−被測定物間の距離に基づき、被測定物の3次元形状を測定する周知の形状測定法である。
そして、得られた回転角度−距離データの集合(距離データ群と略記する。)に基づいて、マスタワーク1の、具体的にはマスタワーク回転軸1aの、基準位置・姿勢(基準値)に対する光学センサ部3cの位置・姿勢のずれ(基準値からの誤差)を求める。
光学センサ部3cの位置・姿勢は、図1中に示す光学センサ部座標系(スキャナ座標系)の6軸、つまり、光学センサ部3cにおける3次元直交座標系の3軸Xs,Ys,Zs及びそれら3軸Xs,Ys,Zsの回転角度θxs,θys,θzsをもって表される。
なお、図1中のXw,Yw,Zwは、基準座標系、つまり、マスタワーク1における3次元直交座標系(ワーク座標系)の3軸を表し、このうちXw軸はマスタワーク1の回転軸1aに合わされている。θwはマスタワーク回転軸1aの回転角度を表す。
本実施形態では、上記校正は3次元形状データ化処理装置4が行う被測定軸物の形状測定のための3次元形状データ化の演算において実行されるもので、この3次元形状データ化演算の結果は、光学センサ部3cの校正が実行された3次元形状データとなる。
なお、上記校正方法(形状測定方法)において、マスタワーク1の製作精度、回転軸1aのフレ精度は、いずれも目標とする校正精度(形状測定精度)に比べて充分高いことを要する。
まず、マスタワーク1の具体的な構成について、図3及び図4を参照して説明する。
図3は斜視図、図4は2面図((a)は側面図、(b)は正面図)である。
図示するように、マスタワーク1は、半割以上の大きさ、ここでは半割を充分超える大きさの円弧面1bを有する一部切欠き円柱体の上記円弧面1bとは反対側に、軸方向に沿う平面部1cを有してなる。
このマスタワーク1は、上記一部切欠き円柱体の軸方向の予め定められた位置、図示例では軸方向ほぼ中央位置の、平面部1cを除く外周面の軸周り方向に、断面三角形(そろばん玉形)の突条部1dを有する。
円柱体の半割以上の大きさの円弧面1bを有する一部切欠き円柱体形状とすれば、マスタワーク1(上記円柱体)自身の横断面中心部を中心として、マスタワーク1を軸周り方向に回転可能とし得る。
上述実施形態に係る校正方法は、図3,図4に示した形状が既知のマスタワーク1を被測定軸物の形状測定時と同様に配置した上で、2次元非接触スキャナ3の光学センサ部3cからマスタワーク1までの距離を計算するが、初めに、この距離計算の原理について図5を参照して説明する。なお、図5においては、マスタワーク1の側面視形状を便宜上、円形に描いた。
L:スキャナ基準点からマスタワーク1の回転軸1aまでの距離
D(Xs):光学センサ部3cからの出力値(距離データ)
としたとき、r(Xs)は、
r(Xs)=L−D(Xs)
で求められる。
ここで、rはマスタワーク1の半径を表す。各軸記号は図1と同様である。
上記によれば、光学センサ部3cの出力値によるマスタワーク1各部の位置(姿勢)の3次元化(直交座標変換)は次の各式の計算によって行われる。
Xw=Xs
Yw=r(Xs)sinθ
Zw=r(Xs)cosθ
なお、上記スキャナ基準点とは、光学センサ部3c、詳しくはそのレーザ光3aの出射部を指すが、このスキャナ基準点の位置(レーザ光3aの出射部位置)はYs軸上の位置を除いて反射光3bの受光部位置と同じである。上記3次元化においては、レーザ光3aの出射部位置と反射光3bの受光部位置とのYs軸上のずれは補正された上で計算される。
そこで、マスタワーク1を必要な角度範囲に亘って回転させ、光学センサ部3cから出力される距離データを収集して、マスタワーク1の基準位置・姿勢に対する光学センサ部3cの位置・姿勢のずれを求める。具体的には、基準座標系であるワーク座標系に対する光学センサ部座標系(スキャナ座標系)のずれを求めるもので、以下、そのための全処理手順を通して説明する。
すなわち、マスタワーク1を、その平面部1cを垂直に立てた(平面部法線ベクトルとZw軸が一致した)姿勢にて、回転可能に配置する。
この状態をマスタワーク1の初期状態と定義し、θw=0とする。
このθysは、上記初期状態(θw=0)で1ライン測定して求める。すなわち、光学センサ部3cにおいて、シート状のレーザ光3aを初期状態のマスタワーク1の平面部1cに対して横一直線、1ライン照射し、その反射光3bを受光し、2次元非接触スキャナ3の光学センサ部3cから出力される距離データD(Xs)群を用いて計算により求める(D(Xs)につき、図5参照)。
具体的には、マスタワーク1の平面部1cをXw−Yw平面(図5,図7参照)と平行、つまりθw=0におくと、光学センサ部3cから出力される距離データD(Xs)群を結んだ線81(図8参照)の傾き角はθysと一致することを利用して算出する。なお、図8において、縦軸はD(Xs)を、横軸はXsを表す。
これらθxs,Ys,Zsは、マスタワーク1を、上記初期状態から所定の回転角度、ここでは図9に示す回転角度:−θwa<θw<θwaの範囲で回転させ、その間、光学センサ部3cから、マスタワーク1の回転角度と距離データD(δ)を同期して取得する。そして、得られた多数の測定ラインについての、光学センサ部3cから出力される距離データD(δ)群から求められる、Zw軸と、図7中の太破線で示すベクトル71とが一致する1点を用いて計算により求める。
次に、図10,図11に示す、ある角度θw1について、光学センサ部3cから出力される距離データD(δx)が同一になる角度θw2を全て探索し、図11に示すような交点座標111(Zw,Yw)を順次求める。求めた複数の交点座標111を結べば、Zw−Yw平面内でのレーザ光3aの光軸(Zs軸)112の直線方程式が求まり、図12に示すように、その傾きからθxsが求まる。
そして、このθxs、Zw−Yw平面の中心軸からの距離t(図4,図11,図12参照)及び図12に示す垂直平面121を計測したときの垂直平面121までの距離データD(δx)を用いて、Ys,Zsを求める。
なお、図9は図7中のA−A'線断面矢視図である。
図11における交点座標111(Zw,Yw)は、下式(1)により求められる。
このθzsは、マスタワーク1を、上記初期状態から角度を−θwa<θw<θwaの範囲で回転させ、その間、光学センサ部3cから、マスタワーク1の回転角度と距離データD(Xs)を同期して取得し、得られた複数の測定ラインについて距離データD(Xs)から計算により求める。
このZs軸周りの回転角度θzsは、上記初期状態から、例えば図13に示すように45°に傾斜した平面部1cを測定した場合は、図14に示すように、Xs−D(Xs)平面における距離データD(Xs)群を結んだ線141のXs軸に対する傾き角と等しい。θzsは、これを利用して求める。なお、図14において、縦軸はD(Xs)を、横軸はXsを表す。
このXsは、マスタワーク1の突条部1dを横切る1ラインを測定し、光学センサ部3cからの複数の距離データD(Xs)を用いて突条部1dの頂点を計算することにより求める。
ステップ602〜604によって求められたマスタワーク回転軸1aの基準位置・姿勢に対する光学センサ部3cの位置・姿勢(5軸=Ys,Zs及びこの3軸Xs,Ys,Zsの回転角度θxs,θys,θzs)のずれを補正パラメータとして用いて測定されたマスタワーク1の3次元形状データは、Xw軸方向に平行移動したデータとなる。したがって、図15に示すように、突条部1dの稜線の交点(突条部頂点)151のXw座標を求めることでXsが求まる。
そして、このずれを補正パラメータとして用いて、上記被測定軸物の形状測定における3次元形状データ化の演算を行うことで、得られる3次元形状データは、形状測定装置2、すなわち、光学センサ部3cについて校正された後の3次元形状データとなる。
図16は、校正前の形状測定装置2で測定されたマスタワーク11の側面視形状・姿勢を示す。図17は、校正後の形状測定装置2で測定されたマスタワーク11の側面視形状・姿勢を示す。
各図に示されたマスタワーク11を、図4(a)に示す設計図上のマスタワーク1の側面視形状・姿勢と対照すると、図4(a)に示すマスタワーク1の側面視形状・姿勢に比べて、前者(図16)は歪み、ずれを有している。これに対して、後者(図17)は歪み、ずれがなく、図4(a)に示すマスタワーク1の側面視形状・姿勢と同様の形状・姿勢を示しており、校正が有効に行われていることが分かる。
Claims (1)
- 光切断法による2次元非接触スキャナを用いて被測定軸物の形状を測定する形状測定装置の校正方法において、
基準位置・姿勢にある既知の形状を有する校正用軸物の静止時及び軸周り方向回転時における各部の、前記2次元非接触スキャナの光学センサ部からの距離を、前記校正用軸物の軸周り方向の回転角度と共に取得し、得られた回転角度−距離データの集合に基づいて、前記校正用軸物の基準位置・姿勢に対する前記光学センサ部の位置・姿勢のずれを求め、求められたずれを補正パラメータとして用いて前記被測定軸物の形状測定における校正を行うものであって、
前記校正用軸物は、半割以上の大きさの円弧面を有する一部切欠き円柱体の前記円弧面とは反対側に、軸方向に沿う平面部を有し、かつ、前記一部切欠き円柱体の軸方向定位置の、前記平面部を除く外周面の軸周り方向に、断面三角形の突条部を有することを特徴とする形状測定装置の校正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005895A JP4835857B2 (ja) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | 形状測定装置の校正方法及び校正用軸物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008170376A JP2008170376A (ja) | 2008-07-24 |
JP4835857B2 true JP4835857B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=39698601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4835857B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5961090B2 (ja) * | 2011-10-20 | 2016-08-02 | Hoya株式会社 | 形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 |
JP2018115902A (ja) * | 2017-01-17 | 2018-07-26 | コマツNtc株式会社 | クランクシャフト形状測定機およびクランクシャフト形状測定方法 |
CN112539700B (zh) * | 2020-11-26 | 2022-05-13 | 上海卓昕医疗科技有限公司 | 一种基于光学定位的工具标定系统及方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06129826A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-13 | Koyo Seiko Co Ltd | 3次元形状測定における変換係数決定方法 |
JP2003067726A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 立体モデル生成装置及び方法 |
JP2007232649A (ja) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 平板平面度測定方法及び装置 |
JP2008032249A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Tsuchiya Tsco Co Ltd | フィルタ用清掃装置 |
-
2007
- 2007-01-15 JP JP2007005895A patent/JP4835857B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2008170376A (ja) | 2008-07-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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