JP4834514B2 - Dlc膜の硬度推定装置及び硬度推定方法 - Google Patents
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Description
したがって、例えば、DLC膜の硬度が所定硬度以上の場合、DLC膜としての機能が保障されるというように基準を設定すれば、DLC膜の生産性を低下させることなく、DLC膜の品質を管理することができる。
図5に示す本実施形態に係るDLC膜の硬度推定装置1は、レーザーラマン分光装置2(Gバンド波形幅取得手段)と、データベース記憶手段3と、推定手段4とを主に備えている。
因みに、マルテンス硬度は、ISO14577−1に準拠することで得られる硬度である。この場合において、DLC膜を所定の寸法にカットし、適宜な硬度計を使用して、例えば5点で測定し、その平均値がマルテンス硬度とされる。
また、このように推定されるDLC膜のマルテンス硬度に基づいて、DLC膜の品質を管理する場合、DLC膜が所定のマルテンス硬度を有さない場合、推定手段4が警告ランプ等の警告手段を作動させるように構成してもよい。
因みに、DLC膜は、例えば、バイアス電圧とRFプラズマ出力とを独立で制御可能なプラズマCVD装置によって作製される。
DLC膜のマルテンス硬度を、DLC膜に接触せず、非破壊で推定することができる。そして、Gバンドの半値幅とマルテンス硬度とは高い相関性を有するので、DLC膜の硬度を高精度で推定することができる。
前記した実施形態では、DLC膜の硬度が、マルテンス硬度である場合を例示したが、これに限定されず、例えば、ヴィッカース硬度であってもよい。
2 レーザーラマン分光装置(Gバンド波形幅取得手段)
3 データベース記憶手段
4 推定手段
Claims (2)
- レーザーラマン分光法によりDLC膜のGバンド波形の半値幅を取得する、Gバンド波形幅取得手段と、
DLC膜のレーザーラマン分光法によるGバンド波形の半値幅と、DLC膜のマルテンス硬度と、が関連付けられたデータベースと、
前記Gバンド波形幅取得手段が取得したDLC膜のGバンド波形の半値幅と、前記データベースと、に基づいて、DLC膜のマルテンス硬度を推定する推定手段と、
を備えたことを特徴とするDLC膜の硬度推定装置。 - DLC膜のレーザーラマン分光法によって取得されたGバンド波形の半値幅を求める第1ステップと、
このGバンド波形の半値幅と、Gバンド波形の半値幅とDLC膜のマルテンス硬度とが予め関連付けられたデータベースと、に基づいて、DLC膜のマルテンス硬度を推定する第2ステップと、
を含むことを特徴とするDLC膜の硬度推定方法。
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