JP4833565B2 - 平面光導波路における偏光依存性の低減 - Google Patents
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Description
基板と、
基板上で支持される下部クラッド層と、
下部クラッド材料上で支持され、4つの側面を有し、ある屈折率(コアRI)およびある熱膨張係数(コアCTE)を有する導波路コアと、
コアRIとは異なる屈折率(クラッドRI)および複屈折Bを有する上部クラッド層と、
導波路コアと上部クラッド層の間に配置され、導波路コアの少なくとも1つの面に接触する、CTEを合致させる材料とを含む。CTEを合致させる材料では、その中を透過するモードのプロファイルとクラッドの複屈折Bの間の重なり積分が最も大きい。CTEを合致させる材料は、クラッドRIと実質的に等しい屈折率(材料RI)を有し、コアCTEと実質的に等しい熱膨張係数(材料CTE)を有する。
基板と、
基板上で支持される下部クラッド層と、
下部クラッド層上の2つの光導波路コアであって、それらの中を透過する光信号のモード結合をそれらの間で可能にするのに十分なほど互いに隣接して配置され、それぞれ4つの側面を有し、ある屈折率(コアRI)およびある熱膨張係数(コアCTE)を有する2つの光導波路コアと、
コアRIとは異なる屈折率(クラッドRI)を有する上部クラッド層と、
隣接する両導波路コアの間に配置され、互いに向かい合う導波路コアそれぞれの少なくとも1つの面と接触する、CTEを合致させる材料とを含み、CTEを合致させる材料が、クラッドRIと実質的に等しい屈折率(材料RI)を有し、コアCTEと実質的に等しい熱膨張係数(材料CTE)を有する。
1.シリコン基板上に熱酸化物緩衝層を付着させるステップと、
2.緩衝層上にプラズマ化学気相成長法(PECVD)によってコア層を堆積させるステップと、
3.コア層に反応性イオンエッチングを行って2つの導波路を形成するステップと、
4.エッチングされた構造に、PECVDによってCTE、屈折率が合わせられた材料の層をコーティングするステップと、
5.導波路の上部および対向する側面上に、化学気相成長法(CVD)によってクラッド材料の層を堆積させるステップとを含む。
Claims (16)
- 基板と、
前記基板上で支持される下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上で支持され、4つの側面を有し、ある屈折率およびある熱膨張係数を有する導波路コアと、
前記導波路コアの屈折率とは異なる屈折率を有する上部クラッド層と、
前記導波路コアと前記上部クラッド層の間に配置され、前記導波路コアの少なくとも1つの面に接触する、熱膨張係数を合わせる材料とを含み、前記熱膨張係数を合わせる材料が、前記上部クラッド層の屈折率と実質的に等しい屈折率を有し、前記導波路コアの熱膨張係数と実質的に等しい熱膨張係数を有する、光信号を導く平面光導波路。 - 前記上部クラッド層が、前記基板の熱膨張係数と実質的に等しい熱膨張係数を有する、請求項1に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、二酸化ケイ素材料、フッ素をドーピングしたリンケイ酸塩材料、およびホウ素をドーピングしたアルミノケイ酸塩材料から選択される、請求項1に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、前記導波路コアの上部および2つの側面上に共形層として付着される、請求項1に記載の平面光導波路。
- 前記共形層が、少なくとも0.5ミクロンの厚さを有する、請求項4に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、湾曲した導波路コアの外側の少なくとも1つの側面に付着される、請求項1に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、モード結合に充分なほど近接した2つ以上の導波路コアに付着される、請求項1に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、2つの前記導波路コアの隣接する側面に、それらの間でモード結合が得られるように付着される、請求項7に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、前記導波路コアの上部および2つの側面上に共形層として付着される、請求項8に記載の平面光導波路。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が、前記導波路コア間に強化のためのブロックとして付着される、請求項8に記載の平面光導波路。
- 前記共形層が、20ミクロン未満の間隔があいた各導波路コアに付着される、請求項9に記載の平面光導波路。
- 請求項1に記載の平面光導波路の、タップ・カプラと、スプリッタと、可変光減衰器と、電気式可変光減衰器と、パラボラ・ホーン形装置とから選択される装置への使用方法。
- 前記共形層が、前記導波路コアと前記上部クラッド層の間の選択された部分に付着される、請求項4に記載の平面光導波路。
- 基板と、
前記基板上で支持される下部クラッド層と、
前記下部クラッド層上の2つの光導波路コアであって、それらの中を透過する光信号のモード結合をそれらの間で可能にするのに十分なほど互いに隣接して配置され、それぞれ4つの側面を有し、ある屈折率およびある熱膨張係数を有する2つの光導波路コアと、
前記導波路コアの屈折率とは異なる屈折率を有する上部クラッド層と、
隣接する前記導波路コアの間に配置され、互いに向かい合う前記導波路コアそれぞれの少なくとも1つの面と接触する、熱膨張係数を合わせる材料とを含み、前記熱膨張係数を合わせる材料が、前記上部クラッド層の屈折率と実質的に等しい屈折率を有し、前記導波路コアの熱膨張係数と実質的に等しい熱膨張係数を有する、平面光導波路装置。 - 前記熱膨張係数を合わせる材料が、隣接する前記導波路コアの前記上部および2つの側面上に共形層を形成する、請求項14に記載の平面光導波路装置。
- 前記熱膨張係数を合わせる材料が隣接する前記導波路コア間のすべての材料を含み、前記隣接する導波路コアの間隔が50ミクロン未満である、請求項14に記載の平面光導波路装置。
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