JP4831748B2 - 電子部品試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体集積回路素子等の電子部品（以下、代表的にＩＣデバイスとも称する。）のテストを行うための電子部品試験装置に関する。

ＩＣデバイス等の電子部品を製造する際、半導体ウェハに造り込まれた状態やパッケージングされた完成品の状態において、バーンイン装置を用いてスクリーニングが行われたり、テスタを用いてＩＣデバイスの電気的特性の試験が行われている。

ＩＣデバイスのスクリーニングに用いられるバーンイン装置は、スクリーニング対象であるＩＣデバイスに印加する電源電圧を生成するための電源ユニットや、その電源電圧をＩＣデバイスに供給するための給電ユニット等の制御盤を多数備えている。同様に、ＩＣデバイスのテストに用いられるテスタも、電源ユニットや給電ユニット等の多数の制御盤を備えている。

こうしたバーンイン装置やテスタの筐体の内部には、例えば、奥側に給電ユニットが収容され、手前側に電源ユニットが収容されている。この場合、電源ユニットは、筐体内部に回転可能に設けられた回転ベースに収められ、さらにその回転ベースの前には、筐体内部を開閉するための扉が設けられており、全ての制御盤を容易にメンテナンスすることが可能となっている。

つまり、電源ユニットをメンテナンスする場合には、扉を開き且つ回転ベースを閉じた状態で行われる。また、給電ユニットをメンテナンスする場合には、先ず扉を開き、さらに回転ベースも開いた状態で行われる。

給電ユニットをメンテナンスする場合、例えば筐体本体に設けられた金具にピンを挿入する等して回転ベースを筐体本体に対して相対的に固定することで、回転ベースを開いた状態に維持する。しかしながら、この金具は、回転ベースの回転軸心近傍で筐体本体に対して回転ベースを固定しており、しかも電源ユニットを収容している回転ベースの重量は非常に重くなっている。そのため、金具を固定したままの状態で誤って回転ベースを閉じてしまうと、金具自体や回転ベース或いは筐体本体が損傷するという問題があった。

また、上記のような金具を用いて回転ベースを筐体本体に固定する場合には、回転ベースの開いた状態を特定の角度でしか維持することができない。そのため、バーンイン装置やテスタが設置されているレイアウトの都合上、回転ベースを開けることができるスペースが制限されていても、所望する角度で回転ベースを開いた状態とすることができず、メンテナンスの作業性が著しく悪化する場合があった。

本発明は、ロック装置自体や回転ベース或いは電子部品試験装置の筐体本体が損傷することなく、しかも回転ベースを任意の角度で開いた状態を維持することが可能な電子部品試験装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、筐体と、一方の端部を中心として回転可能に前記筐体に支持されていると共に、前記筐体の内部に収容可能な回転ベースと、前記回転ベースの前方に設けられ、前記筐体の内部を開閉する扉と、前記回転ベースの他方の端部に設けられたロック装置と、を備えており、前記ロック装置は、前記回転ベースに取り付けられた本体部と、床面に当接可能な当接部を下端に有し、前記本体部に対して相対的に移動可能なシャフト部と、前記シャフト部の前記当接部を、前記本体部に接近する方向又は前記本体部から離遠する方向に付勢する第１の付勢手段と、前記本体部に対する前記シャフト部の相対移動を固定する固定手段と、を備えた電子部品試験装置が提供される（請求項１参照）。

本発明では、本体部に対してシャフト部を相対移動させて当接部を床面に当接させることにより電子部品試験装置の回転ベースを固定する。また、当接部を床面から離すことにより、電子部品試験装置の回転ベースの固定を解除する。このように本発明では、回転ベースを床面に対して直接固定するため、回転ベースの回転軸心から離れた位置にロック装置を取り付けることが可能となるので、ロックをした状態で回転ベースが回転することはなく、ロック装置自体や回転ベース或いは電子部品試験装置の筐体本体の損傷を防止することができる。

また、本発明では、回転ベースの回転を固定又は解除する際に、第１の付勢手段により当接部を本体部から離遠する方向或いは本体部に接近する方向に付勢するので、回転ベースの回転を容易に固定又は解除することができる。

なお、本発明における電子部品試験装置には、被試験電子部品の電気的特性の試験を行うためのテスタの他に、被試験電子部品のスクリーニングを行うバーンイン装置も含む。

上記発明においては特に限定されないが、前記固定手段は、前記シャフト部を挿入可能な貫通孔が形成された固定部材と、前記本体部と前記固定部材の間に介装され、前記本体部と前記固定部材の間を広げる方向に付勢している第２の付勢手段と、を有し、前記固定部材は、その一端で前記本体部に回動可能に設けられており、前記固定部材の貫通孔の内周面が前記シャフト部の側面に係合することにより、前記本体部に対する前記シャフト部の相対移動を固定することが好ましい（請求項２参照）。

上記発明においては特に限定されないが、前記固定手段は、前記本体部の軸方向に対して実質的に平行な方向に沿うように、前記本体部の側面に形成された第１の切欠部と、前記第１の切欠部に連続しており、前記第１の切欠部から折れ曲がっている第２の切欠部と、前記シャフト部から径方向に突出している突出部と、を有し、前記突出部は、前記第１の切欠部又は前記第２の切欠部に挿入されており、前記突出部が前記第１の切欠部から前記第２の切欠部に移動することにより、前記本体部に対する前記シャフト部の相対移動を固定することが好ましい（請求項３参照）。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は本発明の実施形態に係るバーンイン装置を背面から見た斜視図、図２は図１のII-II線に沿った断面図、図３は本発明の第1実施形態に係るロック装置を示す断面図、図４は図３のロック装置のロックを解除している状態を示す断面図である。

本発明の実施形態におけるバーンイン装置は、ＩＣデバイスに対して熱ストレスを印加しながら電源電圧を印加すると共に、当該ＩＣデバイスの入力回路に実動作に近い信号を印加して、ＩＣデバイスのスクリーニングを行う装置である。

このバーンイン装置の筐体１の内部には、図１及び図２に示すように、ＩＣデバイスに印加する電源電圧を生成するための電源ユニット４が手前側に設けられ、その電源電圧をＩＣデバイスに供給するための給電ユニット５が奥側に設けられている。

電源ユニット４は、筐体１に一方の端部を中心として回転可能に支持された回転ベース３に収められている。この回転ベース３の前には、筐体１に対して回転可能に支持された扉２が設けられている。そして、この扉２を開くと、筐体１の外部から電源ユニット４を臨むことが可能となっている。さらに回転ベース３を回転させて開くと、筐体１の外部から給電ユニット５を臨むことが可能となっている。

つまり、電源ユニット４をメンテナンスする場合には、扉２を開き且つ回転ベース３を閉じた状態とする。これに対し、給電ユニット５をメンテナンスする場合には、扉２を開き且つ回転ベース３も開いた状態とする。

因みに、扉２はバーンイン装置の裏側に位置しており、スクリーニング対象であるＩＣデバイスは、バーンインボードに搭載された状態で、バーンイン装置の正面側からバーンインチャンバ内に投入される。

本実施形態では、図１及び図２に示すように、回転ベース３の他方の端部に、当該回転ベース３の回転を固定・解除するためのロック装置１０Ａが設けられている。なお、ロック装置１０Ａは、回転ベース３において回転軸心から離れている程、回転ベース３の回転をより確実にロックすることができ、回転ベース３において回転軸心から最も離れた端部に設けられていることが最も好ましい。

このロック装置１０Ａは、図３及び図４に示すように、本体部１１、シャフト部１２、当接部１３、ペダル１４、第１のコイルスプリング１６、固定部材１７及び第２のコイルスプリング１９から構成されている。

本体部１１は、略円筒形状の部材であり、例えば溶接等の手法により回転ベース３の下端部に接合されている。この本体部１１は、第１のコイルスプリング１６を収容可能な内部空間１１ａを有している。この内部空間１１ａは、上端において開口している上側開口部１１ｂと、下端において開口している下側開口部１１ｃと、を有している。これら開口部１１ｂ、１１ｃは、シャフト部１２を挿入可能な内径を有している。

シャフト部１２は、例えば金属製の円柱部材から構成されており、開口部１１ｂ、１１ｃを介して内部空間１１ａに挿入され、本体部１１を貫通している。シャフト部１２の略中央には、リング１５がシャフト部１２の径方向に向かって突出するように固定されている。このリング１５と下側開口部１１ｃの周縁の本体部１１の内壁面との間に第１のコイルスプリング１６が設けられている。この第１のコイルスプリング１６は、リング１５と下側開口部１１ｃの周縁の本体部１１の内壁面との間を押し広げる方向、即ち、当接部１３を本体部１１に近づける方向に付勢している。

シャフト部１２は、その下端に当接部１３が取り付けられていると共に、その上端にペダル１４が取り付けられている。当接部１３は、床面Ｆに対して横滑りを防止すると共に床面Ｆの損傷を防止するために、例えば円錐台形状を有するゴム製部材から構成されている。ペダル１４は、逆円錐台形状を有しており、バーンイン装置をメンテナンスする作業員がペダル１４を踏み易くなっている。

本体部１１の上部には、例えば金属製の平板状部材から構成される固定部材１７が傾斜して設けられている。この固定部材１７は、一方の端部に設けられた回転軸１８を中心として本体部１１に対して回動自在となっている。

固定部材１７の略中央には、略楕円状の貫通孔１７ａが形成されている。固定部材１７と本体部１１の上面との間には、第２のコイルスプリング１９が介装されており、この第２のコイルスプリング１９が固定部材１７と本体部１１の間を広げる方向に付勢している。

次に、本実施形態に係るロック装置１０Ａの作用について説明する。

このロック装置１０により回転ベース３の回転をロックする場合には、先ず、バーンイン装置の扉２を開き、回転ベース３を所望の角度に開く。次いで、作業員がペダル１４を踏むと、第１のコイルスプリング１６及び第２のコイルスプリング１７の弾性力を抗してシャフト部１２が下方向に向かって移動して、当接部１３が床面Ｆに当接する。図３に示すように、当接部１３が床面Ｆに当接すると、第２のコイルスプリング１７の付勢力により固定部材１７が押し上げられ、固定部材１７の貫通孔１７ａの内周面がシャフト部１２の側面に係合する。これにより、当接部１３が床面Ｆに当接した状態で、本体部１１に対するシャフト部１２の相対移動が固定されるので、ロック装置１０Ａにより回転ベース３の回転がロックされる。

これに対し、ロック装置１０による回転ベース３のロックを解除する場合には、作業員が、固定部材１７において回転軸１８とは反対側の端部を踏む。これにより、図４に示すように、固定部材１７の貫通孔１７ａの内周面とシャフト部１２の側面との係合が解除され、第１のコイルスプリング１６の付勢力でシャフト部１２が押し上げられ、当接部１３が床面Ｆから離れるので、ロック装置１０Ａによる回転ベース３のロックが解除される。

以上のように、本実施形態では、ロック装置１０Ａにより回転ベース３を床面Ｆに対して直接固定するため、回転ベース３の回転軸心から離れた位置にロック装置１０Ａを取り付けることができるので、ロック状態であっても回転ベース３が回転することはなく、ロック装置１０Ａ自体や回転ベース３或いはバーンイン装置の筐体１が損傷するのを防止することができる。

また、回転ベース３のロックを解除する際に、第１のコイルスプリング１６により当接部１３を本体部１１に接近する方向に付勢するので、回転ベース３のロックを容易に解除することができる。

以下に、本発明の第２実施形態に係るロック装置について説明する。

図５Ａは本発明の第２実施形態に係るロック装置を示す断面図、図５Ｂは図５Ａに示すロック装置の正面図、図６Ａは図５Ａのロック装置のロックを解除している状態を示す断面図、図６Ｂは図６Ａに示すロック装置の正面図である。

本発明の第２実施形態に係るロック装置１０Ｂは、図５Ａ〜図６Ｂに示すように、本体部１１、シャフト部１２、当接部１３、第１のコイルスプリング１６及びレバー２０から構成されている。

本体部１１は、回転ベース３の下端部に接合された略円筒形状の部材であり、第１のコイルスプリング１６を収容可能な内部空間１１ａを有している。

本実施形態では、内側空間１１ａの上部に、上側開口部１１ｂの代わりに、肩部１１ｅを介して内径が小さくなっている凸部１１ｄが形成されているのに対し、内部空間１１ａの下端には下側開口部１１ｃが形成されている。内部空間１１ａの凸部１１ｄは、シャフト部１２が上下方向に沿って摺動可能な内径を有している。また、下側開口部１１ｃは、シャフト部１２を挿入可能な内径を有している。

さらに、本実施形態では、図５Ｂ及び図６Ｂに示すように、本体部１１の側面に、略Ｌ型形状を有する切欠溝１１ｆが形成されている。この切欠溝１１ｆは、当該本体部１１の軸方向に沿って延びている第１の切欠１１ｇと、この第１の切欠１１ｇに連続しており、第１の切欠１１ｇから実質的に直角に折れ曲がって、本体部１１の周方向に沿って延びている第２の切欠１１ｈと、から構成されている。第１及び第２の切欠１１ｇ、１１ｈは、いずれもレバー２０を挿入可能な幅を有している。

シャフト部１２は、下側開口部１１ｃを介して本体部１１の内部空間１１ａに挿入された金属製の円柱部材である。シャフト部１２の下端には、例えば円錐台形状を有するゴム製の当接部１３が取り付けられている。

また、シャフト部１２の略中央には、レバー２０がシャフト部１２の径方向に向かって突出するように固定されている。このレバー２０の先端は、切欠溝１１ｆを介して外部に導出しており、第１及び第２の切欠１１ｇ、１１ｈ内をレバー２０の先端が移動可能となっている。

レバー２０と内部空間１１ａの肩部１１ｅとの間に第１のコイルスプリング１６が設けられている。この第１のコイルスプリング１６は、レバー２０と肩部１１ｅとの間を押し広げる方向、即ち、当接部１３を本体部１１から離遠させる方向に付勢している。

次に、本実施形態に係るロック装置１０Ｂの作用について説明する。

このロック装置１０Ｂにより回転ベース３の回転をロックする場合には、先ず、バーンイン装置の扉２を開き、回転ベース３を所望の角度に開く。次いで、作業者が、第２の切欠１１ｈに位置しているレバー２０を本体部１１の周方向に沿ってスライドさせて、第１の切欠１１ｇにレバー２０を移動させる。なお、第２の切欠１１ｈにレバー２０が位置している間は、シャフト部１２の上下方向の移動は規制されているので、第１のコイルスプリング１６がレバー２０と肩部１１ｅの間を押し広げることはない。

レバー２０が第１の切欠１１ｇに達すると、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、第１のコイルスプリング１６がその弾性力によりレバー２０と肩部１１ｅの間を押し広げて、レバー２０が第１の切欠１１ｇに沿って移動し、当接部１３が床面Ｆに当接し、この状態でさらに第１のコイルスプリング１６が当接部１３を下方向に向かって付勢することにより、回転ベース３の回転がロックされる。

これに対し、ロック装置１０Ｂによる回転ベース３のロックを解除する場合には、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、作業者が第１のコイルスプリング１６の弾性力を抗してレバー２０を第１の切欠１１ｇに沿って上昇させ、当接部１３を床面Ｆから離遠させる。

次いで、作業者が第２の切欠１１ｈに沿ってレバー２０を本体部１１の周方向に沿ってスライドさせると、シャフト部１２の上下方向の移動が規制されるので、ロック装置１０Ｂによる回転ベース３のロックを解除した状態が維持される。

以上のように、本実施形態では、ロック装置１０Ｂにより回転ベース３を床面Ｆに対して直接固定するため、回転ベース３の回転軸心から離れた位置にロック装置１０Ｂを取り付けることができるので、ロック状態でも回転ベース３が回転することはなく、ロック装置１０Ｂ自体や回転ベース３或いはバーンイン装置の筐体１が損傷するのを防止することができる。

また、回転ベース３の回転をロックする際に、第１のコイルスプリング１６により当接部１３を本体部１１から離遠する方向に付勢するので、回転ベース３の回転を容易にロックすることができる。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、上述の実施形態では、第１及び第２の付勢手段としてコイルスプリングを用いているが、本発明においては特に限定されず、例えば他の機械的なバネ、ゴム又はエラストマー等を用いても良い。

図１は、本発明の実施形態に係るバーンイン装置を背面から見た斜視図である。 図２は、図１のII-II線に沿った断面図である。 図３は、本発明の第１実施形態に係るロック装置を示す断面図である。 図４は、図３のロック装置のロックを解除している状態を示す断面図である。 図５Ａは、本発明の第２実施形態に係るロック装置を示す断面図である。 図５Ｂは、図５Ａに示すロック装置の正面図である。 図６Ａは、図５Ａのロック装置のロックを解除している状態を示す断面図である。 図６Ｂは、図６Ａに示すロック装置の正面図である。

符号の説明

１…筐体
２…扉
３…回転ベース
４…電源ユニット
５…給電ユニット
１０Ａ、１０Ｂ…ロック装置
１１…本体部
１１ａ…内部空間
１１ｂ…上側開口部
１１ｃ…下側開口部
１１ｄ…凸部
１１ｅ…肩部
１１ｆ…切欠溝
１１ｇ…第１の切欠
１１ｈ…第２の切欠
１２…シャフト部
１３…当接部
１４…ペダル
１５…リング
１６…第１のコイルスプリング
１７…ロック部材
１７ａ…貫通孔
１８…回転軸
１９…第２のコイルスプリング
２０…レバー
Ｆ…床

Claims (3)

1. 被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、
   筐体と、
   一方の端部を中心として回転可能に前記筐体に支持されていると共に、前記筐体の内部に収容可能な回転ベースと、
   前記回転ベースの前方に設けられ、前記筐体の内部を開閉する扉と、
   前記回転ベースの他方の端部に設けられたロック装置と、を備えており、
   前記ロック装置は、
   前記回転ベースに取り付けられた本体部と、
   床面に当接可能な当接部を下端に有し、前記本体部に対して相対的に移動可能なシャフト部と、
   前記シャフト部の前記当接部を、前記本体部に接近する方向又は前記本体部から離遠する方向に付勢する第１の付勢手段と、
   前記本体部に対する前記シャフト部の相対移動を固定する固定手段と、を備えた電子部品試験装置。
2. 前記固定手段は、
   前記シャフト部を挿入可能な貫通孔が形成された固定部材と、
   前記本体部と前記固定部材の間に介装され、前記本体部と前記固定部材の間を広げる方向に付勢している第２の付勢手段と、を有し、
   前記固定部材は、その一端で前記本体部に回動可能に設けられており、
   前記固定部材の貫通孔の内周面が前記シャフト部の側面に係合することにより、前記本体部に対する前記シャフト部の相対移動を固定する請求項１記載の電子部品試験装置。
3. 前記固定手段は、
   前記本体部の軸方向に対して実質的に平行な方向に沿うように、前記本体部の側面に形成された第１の切欠部と、
   前記第１の切欠部に連続しており、前記第１の切欠部から折れ曲がっている第２の切欠部と、
   前記シャフト部から径方向に突出している突出部と、を有し、
   前記突出部は、前記第１の切欠部又は前記第２の切欠部に挿入されており、
   前記突出部が前記第１の切欠部から前記第２の切欠部に移動することにより、前記本体部に対する前記シャフト部の相対移動を固定する請求項１記載の電子部品試験装置。
   

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