JP4826124B2 - 位置測定装置 - Google Patents
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Description
前記被検物の像を撮像装置に結像する結像光学系と、
前記撮像装置からの信号を処理する画像処理装置を有する位置測定装置において、
複数の狭波長帯域の光それぞれを前記被検物にテレセントリックに照明する前記狭波長帯域の光毎の専用照明光学系と、
前記被検物からの前記複数の狭波長帯域の光それぞれをテレセントリックに結像する前記狭波長帯域の光毎の専用結像光学系と、
前記被検物からの光を前記複数の狭波長帯の光にそれぞれ分離して、前記専用結像光学系に導く分離手段と、
前記専用結像光学系毎に前記被検物の像を撮像する前記撮像装置を有し、
前記画像処理装置は、前記専用結像光学系毎に撮像された前記被検物の像を合成することを特徴とする位置測定装置を提供する。
また、本発明に係る位置測定装置では、前記専用照明光学系を選択する照明光学系選択手段を有することが好ましい。
図4は、本発明の第2実施の形態にかかる位置測定装置示す。第1実施の形態と同様の構成には同じ符号を付し説明を省略する。
2 結像光学系
3 画像処理系
4 LED
5 レモンスキン
6 リレーレンズ
7 リレーレンズ
8 開口絞り
9 クロスダイクロイックプリズム
9A クロスプリズム
10 照明リレーレンズ
11 照明視野絞り
12 照明リレーレンズ
13 落射プリズム
14 第一対物レンズ
15 ウエハ
16 ウエハホルダ
17 XYステージ
18 第二対物レンズ
19 結像視野絞り
20 第一リレーレンズ
21 クロスダイクロイックプリズム
22 結像開口絞り
23 第二リレーレンズ
24 CCD
25 CCDコントロール
26 カメラコントロール
27 LEDコントロール
28 カラーコントロール
29 画像処理装置
30 シャッタ
31 光源制御部
104 白色光源
109 ダイクロイックミラー
121 ダイクロイックミラー
Claims (9)
- 被検物に照明光を照射する照明光学系と、
前記被検物の像を撮像装置に結像する結像光学系と、
前記撮像装置からの信号を処理する画像処理装置を有する位置測定装置において、
複数の狭波長帯域の光それぞれを前記被検物にテレセントリックに照明する前記狭波長帯域の光毎の専用照明光学系と、
前記被検物からの前記複数の狭波長帯域の光それぞれをテレセントリックに結像する前記狭波長帯域の光毎の専用結像光学系と、
前記被検物からの光を前記複数の狭波長帯の光にそれぞれ分離して、前記専用結像光学系に導く分離手段と、
前記専用結像光学系毎に前記被検物の像を撮像する前記撮像装置を有し、
前記画像処理装置は、前記専用結像光学系毎に撮像された前記被検物の像を合成することを特徴とする位置測定装置。 - 前記専用照明光学系を選択する照明光学系選択手段を有することを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。
- 前記専用照明光学系と前記専用結像光学系は、光学調整可能であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の位置測定装置。
- 前記専用照明光学系および前記専用結像光学系それぞれのテレセントリック調整は、前記専用照明光学系と前記専用結像光学系に配設された開口絞りでそれぞれ行われることを特徴とする請求項1に記載の位置測定装置。
- 前記専用照明光学系は、前記複数の狭波長帯域の光を一つの光軸に合成する合成手段を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の位置測定装置。
- 前記合成手段と前記分離手段は、クロスダイクロイックプリズムからなることを特徴とする請求項5に記載の位置測定装置。
- 前記合成手段と前記分離手段は、ダイクロイックミラーからなることを特徴とする請求項5に記載の位置測定装置。
- 前記分離手段は、ハーフミラーと色フィルタからなることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の位置測定装置。
- 前記合成手段は、ハーフミラーからなることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の位置測定装置。
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