JP4822106B2 - 流量測定装置およびその精度確認方法 - Google Patents

Description

本発明は、被測定物から流出する流体量を検出する流量測定装置に関し、特に流量測定装置の精度を確認するための機構を備える流量測定装置に関する。

従来、被測定物から流出する流体量を検出する流量測定装置として、例えば特許文献１、２、３に開示されている装置が公知である。特に、近年では、被測定物から流出する流体量の測定精度の向上が求められている。そこで、特許文献３では、被測定物から漏れた流体によって測定通路に充填された気泡を含む液体を移動させ、気泡の移動を検出することにより被測定物から流出する微量の流体量の検出を図っている。

特開平５−２４０７２９号公報 特開平８−４３２４２号公報 特開２００５−１７２７３５号公報

ところで、流量測定装置の測定精度の向上を図るほど、測定精度の基準となるマスターの精度も高める必要がある。従来は、例えばマイクロシリンジや微細なガラス管を用いて一定量の流体を流量測定装置に供給することにより、測定精度の基準を設定している。しかし、マイクロシリンジやガラス管を用いる場合、マイクロシリンジおよびガラス管自身の容積やこれらからの流体の漏れなどにより、測定精度の誤差要因となる。そのため、被測定物からの流体の漏れを測定する場合、マイクロシリンジやガラス管を流量測定装置の測定回路から切り離す必要がある。その結果、精度の確認を行った後、被測定物の測定を開始するまで長時間を必要とし、測定処理の迅速性に欠けるという問題がある。

また、マイクロシリンジは、シリンダとピストンとの間に摺動部を有する。そのため、摺動部の劣化によって、基準となる流体の流量が経時的に変化する。その結果、測定精度の長期的な安定性が低いという問題がある。
さらに、マイクロシリンジやガラス管は、使用とともに汚損が生じるため、基準となる流量が変化する。そのため、特許文献１に開示されているように洗浄のためのガスを供給する機構などを必要とし、構造の複雑化を招くという問題がある。

さらに、特許文献２には、ダイヤフラムを用いて一定量の流体を供給する技術が開示されている。しかし、ダイヤフラムの変形速度を把握することは困難であるため、流量を正確に設定することができない。その結果、微量の流体量の検出への適用は困難である。また、特許文献２に開示されている発明の場合、ダイヤフラムの変形量は制御されないため、供給される流体の流量を微小に変化させることは困難である。

そこで、本発明の目的は、処理が迅速であり、耐久性が高く、測定精度の高い流量測定装置を提供することにある。
また、本発明の目的は、耐久性が高く、測定精度の高い流量測定装置の精度確認方法を提供することにある。

請求項１記載の発明は、被測定物から流出する流体量に応じて充填された液体が移動する測定通路を備え、その測定通路に充填された試験流体の移動を測定することにより、被測定物から流出する流体の量を測定する流量測定装置である。
変形量に対応する流量の試験流体を供給する流体供給手段のダイヤフラムは、検出手段によって変形量が検出される。検出されたダイヤフラムの変形量は、算出手段によって試験流体の流量として算出される。すなわち、算出手段は、ダイヤフラムの変形量、及び、予め記録されたダイヤフラムの変形量と測定通路へ供給される試験流体の流量との関係から試験流体の流量を直接算出する。移動量検出手段は、流体供給手段による試験流体の供給によって測定通路を移動する試験流体の移動量を検出する。確認手段は、算出手段で算出された試験流体の流量、及び、移動量検出手段で検出された試験流体の移動量から測定装置の精度を確認する。そのため、流体供給手段から測定通路に供給される試験流体の流量は、検出手段でダイヤフラムの変形量を検出することにより、高精度に設定される。したがって、測定精度を高めることができる。

また、請求項１記載の発明では、流体供給手段はダイヤフラムを有しているため、摺動部分などがなく、流体供給手段における流体の漏れは生じない。そして、ダイヤフラムの変形量から試験流体の流量を直接算出するため、ダイヤフラムの微小な移動によって試験流体の流量が高精度に調整される。これにより、ダイヤフラムを有する流体供給手段は小型化される。そのため、測定通路から流体供給手段までに存在する試験流体は、微量となり、測定精度への影響が低減される。その結果、被測定物の測定時に流体供給手段を切り離す必要はない。したがって、精度の確認と被測定物の測定とを短時間に切り換えることができ、処理を迅速に行うことができる。また、流量供給手段に摺動部がないため、経時的な精度の安定性が高く、耐久性を向上することができる。

請求項２記載の発明では、検出手段はダイヤフラムと非接触である。これにより、検出手段がダイヤフラムの移動を制限することはない。したがって、ダイヤフラムの微小な変形が確保され、流量の設定精度を高めることができる。
請求項３記載の発明では、検出手段は金属製のダイヤフラムの静電容量を検出する静電センサである。そのため、静電センサは、ダイヤフラムと接触することなく、ダイヤフラムの微小な変形量を検出する。したがって、ダイヤフラムの変形が妨げられず、流量の設定精度を高めることができる。

請求項４記載の発明では、ダイヤフラムを変形させる駆動手段は電空レギュレータである。これにより、ダイヤフラムは、電空レギュレータから供給される圧縮空気によって駆動される。電空レギュレータは、電気指令によってダイヤフラムに供給する空気すなわちダイヤフラムに加える力が制御される。したがって、ダイヤフラムの変形量を高精度に設定することができる。また、空気によってダイヤフラムを変形させることにより、ダイヤフラムは全体が均一に変形する。したがって、ダイヤフラムの変形によって測定通路に供給される流体の流量を高精度に制御することができる。

請求項５記載の発明は、測定通路に充填された試験流体の移動を測定することにより、被測定物から流出する流体の量を測定する流量測定装置の精度確認方法である。
流量測定装置は、ダイヤフラムの変形量を検出する検出手段を備えている。
測定通路に試験流体を供給するダイヤフラムの変形量と、測定通路を移動する試験流体の移動量とから、測定装置の精度が確認される。検出手段によって検出されたダイヤフラムの変形量、及び、予め記録されたダイヤフラムの変形量と測定通路へ供給される試験流体の流量との関係からは試験流体の流量が算出される。これにより、ダイヤフラムの変形量と、測定通路に供給される試験流体の流量との関係が確認される。そのため、これらを比較することにより、測定装置の精度が所定の範囲にあるか否かが確認される。したがって、測定装置の精度を確認する際の精度を高めることができる。

また、請求項５記載の発明では、ダイヤフラムにより試験流体を供給するため、摺動部分などがなく、試験流体の漏れは生じない。そして、ダイヤフラムの変形量から試験流体の流量を算出するため、ダイヤフラムの微小な移動によって試験流体の流量が高精度に調整される。したがって、経時的な精度の安定性が高く、耐久性を向上することができる。

請求項６記載の発明では、ダイヤフラムの変形量はダイヤフラムと非接触で検出される。これにより、ダイヤフラムの変形を検出する際に、ダイヤフラムの移動が制限されることはない。したがって、ダイヤフラムの微小な変形が確保され、流量の設定精度を高めることができる。
請求項７記載の発明では、金属製のダイヤフラムの静電容量を検出している。そのため、ダイヤフラムの微小な変形量は、ダイヤフラムと非接触で検出される。したがって、ダイヤフラムの変形が妨げられず、流量の設定精度を高めることができる。
請求項８記載の発明では、流体供給工程においてダイヤフラムは空気の圧力によって変形する。これにより、ダイヤフラムは、全体が均一に変形する。したがって、ダイヤフラムの変形によって測定通路に供給される流体の流量を高精度に制御することができる。

以下、本発明の一実施形態による流量測定装置を図２に示す。
被測定物としての燃料噴射弁１は、例えばガソリンエンジンに用いられる。流量測定装置１０は、閉弁時における燃料噴射弁１のシート部からの流体の漏れ量すなわち燃料の漏れ量を測定する。
流量測定装置１０は、通路部材１１、通路部材１２、通路部材１３、通路部材１４、通路部材１５、カメラ１６、流量精度確認装置２０および算出装置１７を備えている。

通路部材１１、通路部材１２、通路部材１３、通路部材１４、通路部材１５は、測定通路５０を形成している。測定通路５０は、通路部材１１に形成される測定通路５１と、通路部材１２および通路部材１３により気泡６０の燃料噴射弁１側に形成される測定通路５２と、通路部材１５により気泡６０の燃料噴射弁１と反対側に形成される測定通路５３とを有している。光透過性の材質で形成されている通路部材１４は、測定通路５２と測定通路５３とを接続する測定通路５４を形成している。測定通路５０には、燃料噴射弁１から漏れる流体量を測定するための試験流体が充填されている。試験流体としては、例えば水や油などの液体を適用することができる。なお、気泡６０による検出を行わない場合、試験流体には例えば空気などの気体を適用することもできる。測定通路５０の一方の端部を形成する通路部材１１には、図示しないクランプなどによって燃料噴射弁１が取り付けられる。燃料噴射弁１を取り付けた状態で試験流体が漏れないように、各部材の接続個所はシールされている。

通路部材１４は、例えばガラスあるいはアクリルなどの光透過性の材質で形成されている。通路部材１４が形成する測定通路５４には、充填された試験流体中に空気で形成された気泡６０が注入されている。測定通路５４の断面形状は円形状である。測定通路５４の通路径は、測定通路５４で気泡６０が上方に浮遊しない大きさ、例えば１ｍｍ以下に設定することが望ましい。測定通路５４の通路径の最小値は、気泡６０が測定通路５４を移動可能な通路径の最小値で決定される。加工が可能であれば、数μｍ程度の通路径であっても気泡は測定通路５４を移動可能である。

通路部材１４の外周側にはカメラ１６が設置されている。カメラ１６は、通路部材１４が形成する測定通路５４における気泡６０の動きを撮影する。通路部材１４は、光透過性の材質で形成されている。そのため、カメラ１６は、通路部材１４を通して通路部材１４が形成する測定通路５４の気泡６０を撮影する。カメラ１６は、算出装置１７に接続されている。カメラ１６が撮影した画像は、電子データとして算出装置１７に出力される。

燃料噴射弁１のシート部に漏れが生じる場合、図示しない流体供給装置から燃料噴射弁１に流体を供給すると、燃料噴射弁１から生じた漏れによって測定通路５０に充填されている試験流体が移動する。これにより、試験流体に注入されている気泡６０は、測定通路５４を移動する。この気泡６０の移動量を測定することにより、燃料噴射弁１のシート部からの微量の流体の漏れが測定される。

通路部材１２は、測定通路５２とともに、測定通路５２から分岐する供給通路７０を形成している。供給通路７０は、測定通路５０から分岐し、流量精度確認装置２０へ連通している。流量精度確認装置２０は、基準となる流量の試験流体を測定通路５０へ供給する。
流量精度確認装置２０は、図１に示すように駆動手段としての電空レギュレータ２１および流体供給手段としての流体供給装置３０とを備えている。電空レギュレータ２１は、供給源２２から流体供給装置３０へ供給する圧縮空気の圧力を調整する。電空レギュレータ２１は、算出装置１７に接続している。算出装置１７は、所定のソフトウェアにしたがって作動する例えばパーソナルコンピュータである。算出装置１７は、電空レギュレータ２１へ電気信号を出力する。電空レギュレータ２１は、算出装置１７から出力された電気信号にしたがって、供給源２２から流体供給装置３０へ供給する圧縮空気の圧力を制御する。供給源２２は、例えば空気を圧縮するコンプレッサなどを有している。

流体供給装置３０は、本体容器３１、３２およびダイヤフラム３３を有している。ダイヤフラム３３は、本体容器３１、３２が形成する空間の内部に収容されている。ダイヤフラム３３は、金属によって板状に形成されている。これにより、ダイヤフラム３３は、本体容器３１、３２が形成する容器の内部で弾性変形可能である。

本体容器３１、３２が形成する空間は、ダイヤフラム３３によって電空レギュレータ２１側の空間３４と、測定通路５０側の空間３５とに仕切られている。電空レギュレータ２１側の空間３４は、電空レギュレータ２１と流体供給装置３０とを接続する接続通路２３を経由して電空レギュレータ２１に連通している。これにより、電空レギュレータ２１で圧力が調整された圧縮空気は、流体供給装置３０の空間３４に供給される。

測定通路５０側の空間３５は、供給通路７０を経由して測定通路５０に連通している。電空レギュレータ２１から空間３４へ圧縮空気が供給されると、圧縮空気の圧力によってダイヤフラム３３が変形する。このとき、圧縮空気は、ダイヤフラム３３を空間３５側へ押し付ける。そのため、ダイヤフラム３３は、空間３５側へ変形する。ダイヤフラム３３が変形すると、空間３５の容積は低減する。空間３５は測定通路５０に連通しているため、空間３５は試験流体によって満たされている。その結果、空間３４へ供給された圧縮空気によってダイヤフラム３３が変形すると、空間３５の容積の変化量に対応する量の試験流体が供給通路７０を経由して測定通路５０へ供給される。

流量精度確認装置２０は、ダイヤフラム３３の変形量を検出する検出手段としての静電センサ４０を備えている。静電センサ４０は、ダイヤフラム３３の静電容量の変化を検出する。静電センサ４０がダイヤフラム３３の静電容量の変化を検出することにより、静電センサ４０はダイヤフラム３３と接触することなくダイヤフラム３３までの距離、すなわちダイヤフラム３３の変形量を検出する。これにより、静電センサ４０とダイヤフラム３３との接触によって、ダイヤフラム３３の変形が妨げられることはない。

静電センサ４０は、算出手段としての算出装置１７に接続している。静電センサ４０は、ダイヤフラム３３の変形にともなう静電容量の変化を検出し、検出した静電容量の変化を電子データとして算出装置１７へ出力する。算出装置１７は、あらかじめダイヤフラム３３の変形量すなわち静電容量の変化と、測定通路５０へ供給される試験流体の流量との関係を例えばマップとして記録している。これにより、算出装置１７は、静電センサ４０が検出したダイヤフラム３３の静電容量の変化から、測定通路５０へ供給された試験流体の流量を算出する。そして、算出された流量とカメラ１６で撮影した気泡６０の移動量とから、流量測定装置１０における気泡６０の移動量と、流体供給装置３０から測定通路５０へ供給された試験流体の流量との関係が所定の範囲内にあるか否かを判断する。

次に、上記の構成による流量測定装置１０の精度確認の手順について説明する。
（１）算出装置１７は、あらかじめ設定された信号を電空レギュレータ２１へ出力する。このとき、算出装置１７から電空レギュレータ２１へ出力される信号は、電空レギュレータ２１から流体供給装置３０へ供給される圧縮空気の圧力を指示するものである。

（２）電空レギュレータ２１は、算出装置１７から出力された信号に基づいて流体供給装置３０へ圧縮空気を供給する。このとき、電空レギュレータ２１は、供給源２２から供給された一定圧力の圧縮空気の圧力を調整し、算出装置１７からの指示に応じた圧力の空気を流体供給装置３０へ供給する。
（３）電空レギュレータ２１から流体供給装置３０へ圧縮空気が供給されると、空間３４の圧力は上昇し、空間３４に供給された空気はダイヤフラム３３を空間３５側へ押し付ける。これにより、ダイヤフラム３３は、図１の破線に示すように空間３５側へ変形する。このとき、ダイヤフラム３３の電空レギュレータ２１側の空間３４には、電空レギュレータ２１から所定の圧力の空気が充満する。そのため、ダイヤフラム３３には、空間３４の空気から均一に力が加わる。その結果、ダイヤフラム３３は、偏りなく均一に変形する。

（４）ダイヤフラム３３が変形すると、空間３５に充填されている試験流体はダイヤフラム３３によって供給通路７０を経由して測定通路５０へ押し出される。このとき、静電センサ４０は、ダイヤフラム３３の変形量に対応する静電容量を検出し、検出した静電容量を算出装置１７へ電子データとして出力する。
（５）ダイヤフラム３３によって空間３５から供給通路７０へ押し出された試験流体は、測定通路５０へ供給される。試験流体が測定通路５０へ供給されると、測定通路５０の流体には流れが生じる。これにより、通路部材１４が形成する測定通路５４にある気泡６０は、試験流体の流れによって測定通路５４の内部を移動する。

（６）カメラ１６は、測定通路５０における気泡６０の移動を撮影し、電子データとして算出装置１７へ出力する。算出装置１７は、静電センサ４０から出力されたダイヤフラム３３の静電容量の変化から、ダイヤフラム３３の変形量を算出するとともに、カメラ１６で撮影された気泡６０の移動量から試験流体の流量を算出する。

（７）算出装置１７は、算出されたダイヤフラム３３の変形量と、カメラ１６で撮影した画像データに基づいて算出した試験流体の流量とを比較し、その相対的な数値があらかじめ設定された所定の範囲内にあるか否かを判断する。判断の結果、数値が所定内の範囲にあれば流量測定装置１０の精度は十分であり、数値が所定の範囲を超えていれば流量測定装置１０の精度は不十分である。このとき、流量測定装置１０の精度が十分であれば、被測定物である燃料噴射弁１の測定に移行する。一方、流量測定装置１０の精度が不十分であれば、算出装置１７は算出されたダイヤフラム３３の変形量と試験流体の流量とから補正値を作成し、補正値を用いて燃料噴射弁１の測定を行ってもよい。

（８）燃料噴射弁１の測定に移行すると、燃料噴射弁１には、図示しない流体供給装置から試験流体が供給される。燃料噴射弁１のシート部に漏れがあると、測定通路５０に充填されている試験流体は移動し、試験流体の移動にともなって気泡６０が移動する。カメラ１６は、測定通路５４における気泡６０の移動を撮影し、電子データとして算出装置１７へ出力する。算出装置１７は、気泡６０の移動量から燃料噴射弁１の漏れ量を算出する。

このとき、電空レギュレータ２１は、流体供給装置３０へ供給する圧縮空気の圧力を一定に維持している。電空レギュレータ２１から流体供給装置３０へ供給される圧縮空気の圧力が供給通路７０の圧力に比較して十分に大きいとき、ダイヤフラム３３は自らの弾性変形力と接続通路２３における圧縮空気から受ける力とが釣り合う位置で停止する。一方、ダイヤフラム３３の弾性変形力が供給通路７０における試験流体の圧力から受ける力よりも十分に大きいとき、すなわちダイヤフラム３３が硬いとき、電空レギュレータ２１から流体供給装置３０へ圧縮空気を供給しなくても、ダイヤフラム３３は自身の弾性変形力によって中立位置に戻り、中立位置で停止する。

このように、本発明の一実施形態では、燃料噴射弁１の漏れを測定するとき、ダイヤフラム３３は停止する。そのため、燃料噴射弁１の漏れの測定時にダイヤフラム３３の移動にともなう測定通路５０の容積の変化は生じない。また、流体供給装置３０は本体容器３１、３２でダイヤフラム３３を挟み込む構成のため、供給通路７０および空間３５に充填されている試験流体に漏れが生じることはない。これにより、燃料噴射弁１の漏れの測定時に、測定通路５０から流量精度確認装置２０を切り離す必要はない。したがって、流量測定装置１０の精度の確認と、燃料噴射弁１の漏れの測定とを継続して実施することができ、測定処理を迅速に行うことができる。

また、本発明の一実施形態では、流体供給装置３０のダイヤフラム３３は電空レギュレータ２１から供給される圧縮空気によって均一に変形し、このダイヤフラム３３の変形に応じた流量の試験流体が測定通路５０へ供給される。ダイヤフラム３３の変形量は、静電センサ４０によってダイヤフラム３３と接触することなく検出される。これにより、測定通路５０へ供給される試験流体の流量は、ダイヤフラム３３の変形に基づいて直接算出される。電空レギュレータ２１によってダイヤフラム３３を変形させることにより、ダイヤフラム３３の微小な変形が可能となり、測定通路５０へ供給される試験流体の微小な調整が可能となる。その結果、測定通路５０には微量の試験流体が高精度に制御されつつ供給され、その試験流体の流量は高精度に検出される。したがって、流量精度確認装置２０の精度が向上し、流量測定装置１０による燃料噴射弁１の漏れ測定精度を向上することができる。

さらに、本発明の一実施形態では、試験流体はダイヤフラム３３の変形によって測定通路５０へ供給される。そのため、流量精度確認装置２０には、摺動する部分がなく、流量精度確認装置２０から測定通路５０へ供給される試験流体の流量が経時的に変化することはない。したがって、流量測定装置１０の耐久性を高めることができる。

（その他の実施形態）
以上説明した本発明の一実施形態では、ダイヤフラム３３を駆動する駆動手段として電空レギュレータ２１を適用する例について説明した。しかし、駆動手段は、電空レギュレータ２１に限らず、例えばダイヤフラム３３を部材によって直接押し、機械的にダイヤフラム３３を変形させる機構であってもよい。また、カメラ１６で気泡６０の位置を検出する代わりに、レーザ変位計および目視によって気泡６０の位置を検出してもよい。

また、ダイヤフラム３３を検出する検出手段は、非接触の静電センサ４０に限らず、ダイヤフラム３３との接触によってダイヤフラム３３の変形を検出するセンサであってもよい。また、測定通路５０は、通路部材１１、通路部材１２、通路部材１３、通路部材１４および通路部材１５により形成する例について説明した。しかし、測定通路５０を形成する通路部材の構成は任意に変更することができる。

このように本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。

本発明の一実施形態による流量測定装置の流体供給装置を示す概略図。 本発明の一実施形態による流量測定装置を示す概略図。

符号の説明

１ 燃料噴射弁（被測定物）、１０ 流量測定装置、１１ 通路部材、１２ 通路部材、１３ 通路部材、１４ 通路部材、１５ 通路部材、１７ 算出装置（算出手段）、２１ 電空レギュレータ（駆動手段）、３０ 流体供給装置（流体供給手段）、３３ ダイヤフラム、４０ 静電センサ（検出手段）、５０ 測定通路、５１ 測定通路（流体通路）、５２ 測定通路、５３ 測定通路、５４ 測定通路、７０ 供給通路

Claims (8)

1. 被測定物から流出する流体量に応じて充填された液体が移動する測定通路を備え、前記測定通路に充填された試験流体の移動を測定することにより、前記被測定物から流出する流体の量を測定する流量測定装置であって、
   前記測定通路、および前記測定通路に接続する供給通路を形成している通路部材と、
   弾性変形可能なダイヤフラムを有し、前記ダイヤフラムの変形にともなう容積変化によって、前記ダイヤフラムの変形量に対応する流量の試験流体を前記供給通路を経由して前記測定通路に供給する流体供給手段と、
   前記ダイヤフラムの変形量を検出する検出手段と、
   前記検出手段で検出した前記ダイヤフラムの変形量、及び、予め記録された前記ダイヤフラムの変形量と前記測定通路へ供給される試験流体の流量との関係から前記流体供給手段によって前記供給通路を経由して前記測定通路に供給した試験流体の流量を算出する算出手段と、
   前記ダイヤフラムを駆動する駆動手段と、
   前記流体供給手段による試験流体の供給によって前記測定通路を移動する試験流体の移動量を検出する移動量検出手段と、
   前記算出手段で算出された試験流体の流量、及び、前記移動量検出手段で検出された試験流体の移動量から測定装置の精度を確認する確認手段と、
   を備える流量測定装置。
2. 前記検出手段は、前記ダイヤフラムと非接触により前記ダイヤフラムの変形量を検出する請求項１記載の流量測定装置。
3. 前記ダイヤフラムは金属製であって、前記検出手段は静電容量を検出する静電センサである請求項２記載の流量測定装置。
4. 前記駆動手段は、電気指令によって前記ダイヤフラムに加える空気の圧力を可変する電空レギュレータである請求項１から３のいずれか一項記載の流量測定装置。
5. 測定通路に充填された試験流体の移動を測定することにより、被測定物から流出する流体の量を測定する流量測定装置の精度確認方法であって、
   前記流量測定装置は、ダイヤフラムの変形量を検出する検出手段を備えており、
   前記ダイヤフラムを変形させ、前記ダイヤフラムの変形量に対応する流量の試験流体を前記測定通路に供給する流体供給工程と、
   前記検出手段によってダイヤフラムの変形量を検出する検出工程と、
   前記検出工程で検出された前記ダイヤフラムの変形量、及び、予め記録された前記ダイヤフラムの変形量と前記測定通路へ供給される試験流体の流量との関係から前記測定通路に供給した試験流体の流量を算出する流量算出工程と、
   前記流体供給工程における試験流体の供給によって前記測定通路を移動する試験流体の移動量を検出する移動量検出工程と、
   前記流量算出工程で算出された試験流体の流量、及び、前記移動量検出工程で検出された前記試験流体の移動量から測定装置の精度を確認する確認工程と、
   を含む流量測定装置の精度確認方法。
6. 前記ダイヤフラムの変形量は、前記ダイヤフラムと非接触で検出する請求項５記載の精度確認方法。
7. 金属製の前記ダイヤフラムの静電容量を検出する請求項６記載の精度確認方法。
8. 前記流体供給工程において、前記ダイヤフラムは空気の圧力によって変形する請求項５から７のいずれか一項記載の精度確認方法。

Images