JP4820883B2 - Printing plate manufacturing method and manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、高精細印刷が可能な印刷版を製造する方法及び印刷版の製造装置に関するものであり、さらに詳しくは、微細なパターン印刷に要求される、版厚の制御が容易で、版厚の分布均一性が良好な印刷版の製造方法及び製造装置に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a printing plate capable of high-definition printing and a printing plate manufacturing apparatus. More specifically, the plate thickness required for fine pattern printing is easily controlled. The present invention relates to a method and an apparatus for producing a printing plate with good distribution uniformity.

従来、ディスプレイ分野や配線分野、半導体分野等における微細パターンの形成には、高精細化が比較的容易なフォトリソグラフィー法が用いられてきた。これに対し、近年、高価な設備が不要で複雑な工程が少なく、プロセス廃棄物が少なく、材料の利用効率が高い、低コストで環境に優しい印刷法を用いるプリンタブルエレクトロニクスが注目されている。このようなエレクトロニクス分野での印刷において凸版印刷法を適用する場合、微細なパターンを高精度で印刷するために、印刷版についても様々な課題の解決が必要である。具体的な課題としては、1)微細な凹凸パターンに対応するために、レリーフ深度を浅くしなければならないこと、2)印刷の均一性を向上させるために、印圧のばらつきを抑えなければならず、版の厚み分布均一性を向上させなければならないこと、及び3)版の強度や取り付け精度、線膨張率等の観点から支持体素材の改良が必要であること、等が挙げられる。   Conventionally, a photolithography method that is relatively easy to achieve high definition has been used to form a fine pattern in the display field, wiring field, semiconductor field, and the like. On the other hand, in recent years, printable electronics using low-cost and environmentally friendly printing methods have attracted attention because they do not require expensive equipment, have few complicated processes, have little process waste, have high material utilization efficiency. When the relief printing method is applied in such printing in the electronics field, various problems must be solved for the printing plate in order to print a fine pattern with high accuracy. Specifically, 1) the relief depth must be shallow to cope with fine uneven patterns, and 2) variations in printing pressure must be suppressed to improve printing uniformity. In other words, it is necessary to improve the thickness distribution uniformity of the plate, and 3) it is necessary to improve the support material from the viewpoint of the strength, mounting accuracy, linear expansion coefficient, and the like of the plate.

レリーフ深度が深すぎると、印刷時に、レリーフ形状の変形やロール状に巻きつけた際の変形が大きくなり、パターンの再現性が悪くなる場合がある。さらに、高精細なパターンにおいては、レリーフ断面のアスペクト比が大きくなることによって版の耐久性が悪くなる。しかし、レリーフ深度が浅すぎると、版へのインキングの制御が困難となる。すなわち、版を強く押しすぎるとレリーフパターン以外にインクが付着し、それが印刷時に転写されてしまう恐れがある。また、印刷時の印圧にばらつきが生じると、印刷の不均一性の問題、例えば、ラインの太りや抜け、膜厚ばらつき等の問題を引き起こす。このため特にレリーフ深度が浅くなるほど、版の厚み分布均一性の向上が強く求められている。このような理由から、レリーフ深度は20μm以上300μm以下の範囲がより好ましく、厚み分布は10%以内に抑えることがより好ましいと考えられているが、そのような印刷版を工業的に製造する方法は知られていない。   When the relief depth is too deep, the deformation of the relief shape and the deformation when wound in a roll shape become large at the time of printing, and the reproducibility of the pattern may be deteriorated. Further, in a high-definition pattern, the durability of the plate is deteriorated due to an increase in the aspect ratio of the relief cross section. However, if the relief depth is too shallow, it is difficult to control the inking on the plate. That is, if the plate is pressed too hard, ink other than the relief pattern may adhere and be transferred during printing. In addition, if the printing pressure varies during printing, problems such as non-uniformity in printing, such as line thickening and omission, film thickness variation, and the like are caused. For this reason, the improvement of the plate thickness distribution uniformity is strongly demanded as the relief depth becomes shallow. For such reasons, the relief depth is more preferably in the range of 20 μm or more and 300 μm or less, and the thickness distribution is considered to be more preferably suppressed to 10% or less. A method for industrially producing such a printing plate Is not known.

また、従来の印刷版のように、PETフィルム等の支持体を使用すると、印刷機の版胴に取り付けた際に印刷版の精度や強度に問題が出ることがあり、このような印刷版は、線膨張率の観点からも高精度な印刷に対応できないと考えられている。しかしながら、支持体として例えば金属シート等を使用しようとしても、曲げ弾性の影響等により上記のような厚みを有する印刷版を製造することは困難であった。   In addition, when a support such as a PET film is used as in a conventional printing plate, there may be a problem in the accuracy and strength of the printing plate when it is attached to the plate cylinder of a printing press. From the viewpoint of the linear expansion coefficient, it is considered that high-precision printing cannot be supported. However, even if, for example, a metal sheet or the like is used as the support, it is difficult to produce a printing plate having the above thickness due to the influence of bending elasticity or the like.

また、通常凸版印刷版の製造に使用される一般的な感光性樹脂組成物としては、モノマー、プレポリマー、及び重合開始剤の混合物である液状又は固体状のものが知られている。エレクトロニクス分野の印刷に適用するために、インクの溶剤に応じた感光性樹脂組成物の耐溶剤性の改良が求められる等、感光性樹脂組成物には種々の性状が要求される。印刷版の製造方法においては、感光性樹脂組成物の粘度が重要な因子であり、粘度は版厚や厚み分布に影響する。   Moreover, as a general photosensitive resin composition normally used for manufacture of a relief printing plate, the liquid or solid thing which is a mixture of a monomer, a prepolymer, and a polymerization initiator is known. In order to apply to printing in the electronics field, various properties are required for the photosensitive resin composition, such as improvement in the solvent resistance of the photosensitive resin composition in accordance with the solvent of the ink. In the printing plate manufacturing method, the viscosity of the photosensitive resin composition is an important factor, and the viscosity affects the plate thickness and thickness distribution.

図1は、従来の印刷版の製造方法について説明する模式図であり、図1(A)は側面から見た図であり、図1(B)は前面から見た図である。従来、凸版印刷版の製造方法としては、図1に示す方法が一般的である。該方法においては、下部透明基盤11の上にネガフィルム12及びカバーフィルム13を真空等の手段により密着させて配置し、その上に、ボトムオープンバケット15等により感光性樹脂組成物層14を積層し、次いで、ベースフィルム16をラミネートローラー17にてラミネートにより積層し、必要に応じてマスキングフィルム(図示せず)を重ねる。その後、上部透明基盤18を載せて挟み込み、上部から(すなわち図1(B)中矢印の方向から)露光することによってレリーフ部の基部を形成する。その後、下部透明基盤11側からネガフィルム12を介して露光することによってレリーフ部を形成する。この際、版厚を決めるためには、ネガフィルム12の両端に設置されたスペーサー19の高さによって、ラミネートローラー17及び上部透明基盤18の荷重で厚みを制御する(特許文献1参照)。このような方法は、通常印刷に使用するような版厚(1mm〜10mm)では問題なく使用できるが、20μm〜300μmのような領域での版厚制御については検討されていなかった。また、上記方法では版厚の分布が十数乃至数十μm程度あり、同じ製法で版厚を薄くしようとしても、感光性樹脂組成物の粘度や支持体の材質、版の有効面積等によって制限を受ける。また、版厚を薄くできる条件があったとしたとしても、版厚均一性の観点で問題が発生する。   FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a conventional printing plate manufacturing method, FIG. 1 (A) is a view from the side, and FIG. 1 (B) is a view from the front. Conventionally, the method shown in FIG. 1 is common as a method for producing a relief printing plate. In this method, the negative film 12 and the cover film 13 are disposed in close contact with the lower transparent substrate 11 by means of vacuum or the like, and the photosensitive resin composition layer 14 is laminated thereon by the bottom open bucket 15 or the like. Then, the base film 16 is laminated by the laminating roller 17 and a masking film (not shown) is overlaid as necessary. Thereafter, the upper transparent substrate 18 is placed and sandwiched, and exposure is performed from above (that is, from the direction of the arrow in FIG. 1B) to form the base of the relief portion. Then, a relief part is formed by exposing through the negative film 12 from the lower transparent base | substrate 11 side. At this time, in order to determine the plate thickness, the thickness is controlled by the load of the laminating roller 17 and the upper transparent substrate 18 according to the height of the spacers 19 installed at both ends of the negative film 12 (see Patent Document 1). Such a method can be used without any problem with a plate thickness (1 mm to 10 mm) that is usually used for printing, but the plate thickness control in an area of 20 μm to 300 μm has not been studied. In the above method, the plate thickness distribution is about 10 to several tens of μm, and even if it is attempted to reduce the plate thickness by the same manufacturing method, it is limited by the viscosity of the photosensitive resin composition, the material of the support, the effective area of the plate, etc. Receive. Further, even if there is a condition for reducing the plate thickness, a problem arises from the viewpoint of plate thickness uniformity.

版厚を均一にする方法としては、シート状支持体のラミネート前に、予め感光性樹脂組成物を均一にコーティングしておく方法も挙げられる。しかしこの場合、ラミネートニップ部での圧が低いと感光性樹脂組成物と支持体との間に気泡が入りこんでしまい、逆に圧が高いと版厚均一性が低下する。また、曲げ弾性が大きいシート状支持体では、曲げ応力がかからないような機構を設置しなければならないし、フォトマスク又はモールドの表面が感光性樹脂組成物を弾いてしまう場合には適用できない。   Examples of a method for making the plate thickness uniform include a method in which the photosensitive resin composition is uniformly coated in advance before the sheet-like support is laminated. However, in this case, if the pressure at the laminate nip portion is low, air bubbles enter between the photosensitive resin composition and the support, and conversely if the pressure is high, the plate thickness uniformity decreases. In addition, a sheet-like support having high bending elasticity must be provided with a mechanism that does not apply bending stress, and cannot be applied when the surface of the photomask or mold repels the photosensitive resin composition.

特開2007−279325号公報JP 2007-279325 A

本発明は、上記の課題を解決し、プリンタブルエレクトロニクス用途等の高精細印刷、高精度印刷にも使用可能な版厚の薄い版を製造するための方法を提供すること、さらに、版厚均一性の良好な印刷版を、支持体の材質によらず簡易で工業的に製造する方法を提供することを目的とする。また本発明は上記の製造方法に用いる製造装置を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned problems and provides a method for producing a thin plate having a thin plate thickness that can be used for high-definition printing and high-precision printing for use in printable electronics, and further, plate thickness uniformity It is an object of the present invention to provide a simple and industrial method for producing a good printing plate regardless of the material of the support. Moreover, an object of this invention is to provide the manufacturing apparatus used for said manufacturing method.

すなわち本発明は以下の通りである。   That is, the present invention is as follows.

(1)フォトマスク又はモールドの上面に粘度が0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層が積層されてなる2層積層体を形成する積層工程と、
該感光性樹脂組成物層の上に、シート状支持体を150mm/分以上2000mm/分以下の速度でラミネートローラーで押し付けながらラミネートすることによって、フォトマスク又はモールドと感光性樹脂組成物層とシート状支持体とからなる3層積層体を形成するラミネート工程と、
該3層積層体を、加圧ローラーによって10mm/分以上150mm/分未満の速度で加圧する加圧処理工程と、
フォトマスク又はモールド側から該3層積層体に紫外線を照射する露光工程と、
フォトマスク又はモールドを露光後の感光性樹脂組成物層から剥離する剥離工程と
を含む、シート状支持体上に凹凸形状が形成された印刷版の製造方法。
(1) A two-layer laminate is formed by laminating a photosensitive resin composition layer made of a photosensitive resin composition having a viscosity of 0.2 Pa · s to 50.0 Pa · s on the upper surface of a photomask or mold. Lamination process;
By laminating the sheet-like support on the photosensitive resin composition layer while pressing it with a laminating roller at a speed of 150 mm / min to 2000 mm / min, a photomask or mold, the photosensitive resin composition layer, and the sheet are laminated. A laminating step for forming a three-layer laminate comprising a substrate-like support;
A pressure treatment step of pressing the three-layer laminate at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min by a pressure roller;
An exposure step of irradiating the three-layer laminate with ultraviolet rays from the photomask or mold side;
The manufacturing method of the printing plate in which the uneven | corrugated shape was formed on the sheet-like support body including the peeling process which peels a photomask or a mold from the photosensitive resin composition layer after exposure.

(2)上記ラミネート工程の後の感光性樹脂組成物層及びシート状支持体の合計厚みd1と、上記加圧処理工程におけるフォトマスク又はモールドの上面から上記加圧ローラーまでの距離d2との関係が、d1>d2を満たす、上記(1)に記載の印刷版の製造方法。   (2) Relationship between the total thickness d1 of the photosensitive resin composition layer and the sheet-like support after the laminating step and the distance d2 from the upper surface of the photomask or mold to the pressure roller in the pressure treatment step However, d1> d2 is satisfied, The manufacturing method of the printing plate as described in said (1).

(3)上記加圧処理工程におけるフォトマスク又はモールドの上面から上記加圧ローラーまでの距離d2からシート支持体厚みを減じた値が20μm以上300μm以下である、上記(2)に記載の印刷版の製造方法。   (3) The printing plate according to (2), wherein the value obtained by subtracting the sheet support thickness from the distance d2 from the upper surface of the photomask or mold to the pressure roller in the pressure treatment step is 20 μm or more and 300 μm or less. Manufacturing method.

(4)上記シート状支持体の曲げ弾性率が20Kgf/mm2以上20000Kgf/mm2以下である、上記(1)〜(3)のいずれかに記載の印刷版の製造方法。 (4) The method for producing a printing plate according to any one of (1) to (3), wherein the sheet-like support has a flexural modulus of 20 kgf / mm 2 or more and 20000 kgf / mm 2 or less.

(5)上記シート状支持体が、厚み0.10mm〜0.30mmのステンレスシートである、上記(4)に記載の印刷版の製造方法。   (5) The method for producing a printing plate according to (4), wherein the sheet-like support is a stainless sheet having a thickness of 0.10 mm to 0.30 mm.

(6)上記フォトマスク又はモールドとして、透明硬質板上に遮光部が配置されてなるフォトマスク又は透明硬質板上に凹凸部が形成されてなるモールドを用いる、上記(1)〜(5)のいずれかに記載の印刷版の製造方法。   (6) As the photomask or mold, a photomask in which a light-shielding portion is disposed on a transparent hard plate or a mold in which an uneven portion is formed on a transparent hard plate is used. The manufacturing method of the printing plate in any one.

(7)上記フォトマスク又はモールドが、感光性樹脂組成物層形成側の表面に離型層を有する、上記(1)〜(6)のいずれかに記載の印刷版の製造方法。   (7) The method for producing a printing plate according to any one of (1) to (6), wherein the photomask or mold has a release layer on the surface on the photosensitive resin composition layer forming side.

(8)上記紫外線が平行光である、上記(1)〜(7)のいずれかに記載の印刷版の製造方法。   (8) The method for producing a printing plate according to any one of (1) to (7), wherein the ultraviolet light is parallel light.

(9)フォトマスク又はモールドを略水平に固定する固定機構と、
フォトマスク又はモールド上に感光性樹脂組成物を供給して感光性樹脂組成物層を形成する樹脂供給機構と、
シート状支持体の端部を保持する保持機構と、
端部が保持されたシート状支持体をラミネートするための、150mm/分以上2000mm/分以下の速度でのラミネートが少なくとも可能なラミネートローラーと、
ラミネート後のシート状支持体の上面を加圧処理するための、10mm/分以上150mm/分未満の速度での加圧処理が少なくとも可能な加圧ローラーと、
フォトマスク又はモールドの下面から紫外線を照射する照射機構と、
を備える印刷版製造装置。
(9) a fixing mechanism for fixing the photomask or mold substantially horizontally;
A resin supply mechanism for supplying a photosensitive resin composition onto a photomask or a mold to form a photosensitive resin composition layer;
A holding mechanism for holding the end of the sheet-like support;
A laminating roller capable of at least laminating at a speed of 150 mm / min to 2000 mm / min for laminating a sheet-like support having an end held;
A pressure roller capable of at least a pressure treatment at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min for pressure-treating the upper surface of the laminated sheet-like support;
An irradiation mechanism for irradiating ultraviolet rays from the lower surface of the photomask or mold;
A printing plate manufacturing apparatus comprising:

本発明の印刷版の製造方法及び製造装置によれば、プリンタブルエレクトロニクス用途等の高精細印刷、高精度印刷にも好適に使用可能な、レリーフ深度が浅く版の厚み分布均一性の良い印刷版を簡便に製造できる。また、本発明においては、シート状支持体として使用できる材質の適応範囲が広く、例えば曲げ弾性が大きい金属シート等も使用することができる。   According to the printing plate manufacturing method and the manufacturing apparatus of the present invention, a printing plate that can be suitably used for high-definition printing and high-precision printing for printable electronics and the like and has a shallow relief depth and good thickness distribution uniformity. It can be easily manufactured. In the present invention, the range of materials that can be used as the sheet-like support is wide. For example, a metal sheet having a large bending elasticity can be used.

従来の印刷版の製造方法について説明する模式図であり、図1(A)は側面から見た図であり、図1(B)は前面から見た図である。It is a schematic diagram explaining the manufacturing method of the conventional printing plate, FIG. 1 (A) is the figure seen from the side, and FIG. 1 (B) is the figure seen from the front. 本発明の印刷版の製造装置の例について説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the example of the manufacturing apparatus of the printing plate of this invention. ボトムオープンタイプのバケットについて説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining a bottom open type bucket. 回転式のバケットについて説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining a rotary bucket.

以下に本発明の実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

[印刷版の製造方法]
本発明が提供する、シート状支持体上に凹凸形状が形成された印刷版の製造方法は、フォトマスク又はモールドの上面に粘度が0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層が積層されてなる2層積層体を形成する積層工程と、該感光性樹脂組成物層の上に、シート状支持体を150mm/分以上2000mm/分以下の速度でラミネートローラーで押し付けながらラミネートすることによって、フォトマスク又はモールドと感光性樹脂組成物層とシート状支持体とからなる3層積層体を形成するラミネート工程と、該3層積層体を、加圧ローラーによって10mm/分以上150mm/分未満の速度で加圧する加圧処理工程と、フォトマスク又はモールド側から該3層積層体に紫外線を照射する露光工程と、フォトマスク又はモールドを露光後の感光性樹脂組成物層から剥離する剥離工程とを含む。本発明においては、フォトマスク又はモールドと感光性樹脂組成物とシート状支持体との3層積層体を形成し、これを加圧処理することによって、感光性樹脂の粘度やシート状支持体の材質によらず、感光性樹脂組成物層の厚みを例えば20μm〜300μmのような薄さで任意に制御することができ、かつ、感光性樹脂組成物層の厚み分布均一性を向上させることが可能となる。
[Manufacturing method of printing plate]
The method for producing a printing plate having a concavo-convex shape formed on a sheet-like support provided by the present invention is a photosensitive resin having a viscosity of 0.2 Pa · s to 50.0 Pa · s on the upper surface of a photomask or mold. A laminating step for forming a two-layer laminate in which a photosensitive resin composition layer composed of a composition is laminated, and a sheet-like support on the photosensitive resin composition layer at 150 mm / min to 2000 mm / min. A laminating step of forming a three-layer laminate comprising a photomask or a mold, a photosensitive resin composition layer and a sheet-like support by laminating while pressing with a laminating roller at a speed of A pressure treatment process in which pressure is applied at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min by a pressure roller, and the three-layer laminate is irradiated with ultraviolet rays from the photomask or mold side. Comprising an optical step and a peeling step of peeling from the photosensitive resin composition layer after the exposure of a photomask or mold. In the present invention, a three-layer laminate of a photomask or mold, a photosensitive resin composition and a sheet-like support is formed, and this is subjected to pressure treatment, whereby the viscosity of the photosensitive resin and the sheet-like support are reduced. Regardless of the material, the thickness of the photosensitive resin composition layer can be arbitrarily controlled, for example, as thin as 20 μm to 300 μm, and the thickness distribution uniformity of the photosensitive resin composition layer can be improved. It becomes possible.

従来の製版装置を用いた一度のラミネート工程では、感光性樹脂組成物層の厚みを20μm〜300μmで任意に制御することは非常に困難であり、十分な厚み分布均一性を有する印刷版を作製することができなかった。一度のラミネート工程で薄い感光性樹脂組成物層を形成しようとすると、感光性樹脂組成物の粘度が高いほど、感光性樹脂組成物の層厚が厚くなり、厚み分布均一性も悪くなる傾向がある。これは、感光性樹脂組成物が粘弾性特性を有することによって、ラミネートニップ部が感光性樹脂組成物層を通過する際にギャップだけで感光性樹脂組成物層の層厚を規制できないためである。ラミネート速度が速い程粘弾性の影響が顕著であるため、層厚のむらが大きくなる。つまり、ラミネート時にニップ前部に溜まる感光性樹脂組成物の量は経時的に変化するため、ラミネート方向での粘弾性の影響が経時的に変わり、感光性樹脂組成物の供給むらが生じる。特に、ラミネート始点側での厚み分布均一性が顕著に悪くなる。このため、均一で薄い感光性樹脂組成物層を形成するためには感光性樹脂組成物の粘度の高さに応じてラミネート速度を遅くする必要がある。   In a single laminating process using a conventional plate making apparatus, it is very difficult to arbitrarily control the thickness of the photosensitive resin composition layer from 20 μm to 300 μm, and a printing plate having sufficient thickness distribution uniformity is produced. I couldn't. When trying to form a thin photosensitive resin composition layer in a single laminating process, the higher the viscosity of the photosensitive resin composition, the thicker the photosensitive resin composition layer, and the worse the thickness distribution uniformity. is there. This is because the photosensitive resin composition has viscoelastic properties, so that the thickness of the photosensitive resin composition layer cannot be restricted only by the gap when the laminate nip portion passes through the photosensitive resin composition layer. . As the laminating speed increases, the influence of viscoelasticity becomes more conspicuous, so that the unevenness of the layer thickness increases. That is, since the amount of the photosensitive resin composition that accumulates in the front part of the nip during lamination changes with time, the influence of viscoelasticity in the laminating direction changes with time, resulting in uneven supply of the photosensitive resin composition. In particular, the thickness distribution uniformity on the laminate starting point side is significantly deteriorated. For this reason, in order to form a uniform and thin photosensitive resin composition layer, it is necessary to slow down a lamination speed according to the high viscosity of the photosensitive resin composition.

一方、シート状支持体の曲げ弾性が大きい場合、ラミネート速度を遅くするほど、感光性樹脂組成物層の層厚が薄くなる。これは、ラミネート時にはシート状支持体を湾曲させる必要があるが、この際、支持体の曲げ弾性の強さに応じて、感光性樹脂組成物を下に押し込む力が作用するためである。この曲げ弾性の強さは、シート状支持体の曲率によって変わるため、ラミネート始点から終点にかけての曲率の変化が直接厚み分布に影響する。特にラミネート終点付近では曲率の変化が大きくなるため、終点付近で感光性樹脂組成物層が急激に厚くなる現象が発生する。   On the other hand, when the flexural elasticity of the sheet-like support is large, the layer thickness of the photosensitive resin composition layer becomes thinner as the laminating speed is lowered. This is because it is necessary to bend the sheet-like support at the time of lamination, and at this time, a force for pushing the photosensitive resin composition downward acts according to the strength of the bending elasticity of the support. Since the strength of this bending elasticity changes depending on the curvature of the sheet-like support, the change in the curvature from the lamination start point to the end point directly affects the thickness distribution. In particular, since the change in curvature becomes large near the end point of the laminate, a phenomenon occurs in which the photosensitive resin composition layer suddenly becomes thick near the end point.

これらの理由により、従来の方法では、ラミネート時のローラーの高さを制御したとしても、感光性樹脂組成物の粘弾性特性や供給方法、シート状支持体の弾性の強さや取り付け方法によって感光性樹脂組成物層の厚みが変わってしまい、ラミネート速度で該厚みを調整しようとしても困難であり、かつ十分な厚み分布均一性が得られない。   For these reasons, in the conventional method, even if the height of the roller at the time of lamination is controlled, the photosensitivity depends on the viscoelastic characteristics and supply method of the photosensitive resin composition, the elastic strength of the sheet-like support and the mounting method. The thickness of the resin composition layer changes, and it is difficult to adjust the thickness at the laminating speed, and sufficient thickness distribution uniformity cannot be obtained.

一方本発明では、ラミネートによって積層体を作製する工程と、加圧処理によって厚み分布均一性を向上させる工程との2つの工程を行なうことにより、例えば20μm〜300μmの範囲のような薄い層厚でも感光性樹脂組成物層の層厚を任意に制御でき、良好な厚み分布均一性が得られることを見出した。すなわち、所望される感光性樹脂組成物層の最終厚みよりも厚くなるような条件にて感光性樹脂組成物層をラミネートして3層積層体を形成した後、加圧処理によって感光性樹脂組成物層を所望の厚みに制御し、かつ厚み分布均一性を向上させる。   On the other hand, in the present invention, a thin layer thickness of, for example, a range of 20 μm to 300 μm can be obtained by performing two steps, a step of producing a laminate by lamination and a step of improving the thickness distribution uniformity by pressure treatment. It has been found that the layer thickness of the photosensitive resin composition layer can be arbitrarily controlled, and good thickness distribution uniformity can be obtained. That is, the photosensitive resin composition layer is laminated under a condition that the desired thickness is larger than the final thickness of the photosensitive resin composition layer to form a three-layer laminate, and then the photosensitive resin composition is subjected to pressure treatment. The physical layer is controlled to a desired thickness, and the thickness distribution uniformity is improved.

<積層工程>
積層工程においては、フォトマスク又はモールドの上面に感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層することによって2層積層体を形成する。感光性樹脂組成物の粘度は、0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下であり、好ましくは0.5Pa・s以上30Pa・s以下である。感光性樹脂組成物としては公知のものを使用できる。また、本発明によって得られる印刷版を用いた印刷の際に使用されるインクに応じて改良されたものを使用してもよい。一般的には、例えば、ラジカル重合系、光カチオン重合系、光アニオン重合系、光二量化反応系等の重合性樹脂組成物が適用可能である。以下、汎用的な例であるラジカル重合性樹脂組成物について説明する。
<Lamination process>
In the lamination step, a two-layer laminate is formed by laminating a photosensitive resin composition layer made of a photosensitive resin composition on the upper surface of a photomask or a mold. The viscosity of the photosensitive resin composition is 0.2 Pa · s or more and 50.0 Pa · s or less, preferably 0.5 Pa · s or more and 30 Pa · s or less. A well-known thing can be used as a photosensitive resin composition. Moreover, you may use what was improved according to the ink used in the case of printing using the printing plate obtained by this invention. In general, for example, a polymerizable resin composition such as a radical polymerization system, a photocationic polymerization system, a photoanion polymerization system, and a photodimerization reaction system can be applied. Hereinafter, the radical polymerizable resin composition which is a general-purpose example will be described.

ラジカル重合性樹脂組成物の多くが本発明に適用され得るが、その中で代表的なものとしてプレポリマー、モノマー、開始剤、及び熱重合禁止剤を配合した組成物が使用可能である。この場合、プレポリマーとモノマーとの配合比率やこれらの種類、プレポリマーの分子量等によって、感光性樹脂組成物の粘度が決定される。   Many of radically polymerizable resin compositions can be applied to the present invention, and among them, a composition containing a prepolymer, a monomer, an initiator, and a thermal polymerization inhibitor can be used as a representative one. In this case, the viscosity of the photosensitive resin composition is determined by the blending ratio of the prepolymer and the monomer, the type thereof, the molecular weight of the prepolymer, and the like.

プレポリマーは重合性二重結合を分子中に1個以上有し、例えば不飽和ポリエステル、不飽和ポリウレタン、不飽和ポリアミド、不飽和ポリアクリレート樹脂、不飽和メタクリレート樹脂及びこれらの各種変性物等のうち少なくとも1種類を用いたものを挙げることができる。   The prepolymer has one or more polymerizable double bonds in the molecule, such as unsaturated polyester, unsaturated polyurethane, unsaturated polyamide, unsaturated polyacrylate resin, unsaturated methacrylate resin, and various modified products thereof. The thing using at least 1 type can be mentioned.

モノマーは重合性二重結合を有するエチレン性不飽和単量体であり、例えば、スチレン、クロロスチレン、ビニルトルエン、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート、トリアリルシアヌレート、N,N’−メチレンビスアクリルアミド、メタクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−ヒドロキシメタクリルアミド、α−アセトアミド、アクリルアミド、アクリル酸、メタクリル酸、α−クロロアクリル酸、パラカルボキシスチレン、2,5−ジヒドロキシスチレン、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、及びフォトポリマー懇話会著「フォトポリマーハンドブック」(株)工業調査会刊、1989年6月26日、p.31−36に記載の材料等を用いることができる。   The monomer is an ethylenically unsaturated monomer having a polymerizable double bond, such as styrene, chlorostyrene, vinyl toluene, diallyl phthalate, diallyl isophthalate, triallyl cyanurate, N, N′-methylenebisacrylamide, Methacrylamide, N-hydroxyethylacrylamide, N-hydroxymethacrylamide, α-acetamide, acrylamide, acrylic acid, methacrylic acid, α-chloroacrylic acid, paracarboxystyrene, 2,5-dihydroxystyrene, triethylene glycol diacrylate, Triethylene glycol dimethacrylate and photopolymer social gathering “Photopolymer Handbook”, published by Kogyo Kenkyukai, June 26, 1989, p. The materials described in 31-36 can be used.

開始剤としては、公知の光重合開始剤又は熱重合開始剤を用いることができる。例えば、ベンゾイン、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、キサントン、チオキサントン、クロロキサントン、アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、ベンジル、2,2−ジメチル−2−ヒドロキシアセトフェノン、(2−アクリロイルオキシエチル)(4−ベンゾイルベンジル)ジメチル臭化アンモニウム、(4−ベンゾイルベンジル)塩化トリメチルアンモニウム、2−(3−ジメチルアミノ−2−ヒドロキシプロポキシ)−3−,4−ジメチル−9H−チオキサントン−9−オン−メソクロライド,1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(Oベンゾイル)オキシム、チオフェノール、2−ベンゾチアゾールチオール、2−ベンゾオキサゾールチオール、2−ベンズイミダゾールチオール、ジフェニルスルフィド、デシルフェニルスルフィド、ジ−n−ブチルジスルフィド、ジベンジルスルフィド、ジベンゾイルジスルフィド、ジアセチルジスルフィド、ジボルニルジスルフィドジメトキシキサントゲンジスルフィド、テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムテトラスルフィド、ベンジルジメチルジチオカーバメイトキノキサリン、1,3−ジオキソラン、N−ラウリルピリジニウム等が例示できる。   As the initiator, a known photopolymerization initiator or thermal polymerization initiator can be used. For example, benzoin, benzoin isobutyl ether, benzoin isopropyl ether, benzophenone, Michler ketone, xanthone, thioxanthone, chloroxanthone, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, benzyl, 2,2-dimethyl-2-hydroxyacetophenone, ( 2-acryloyloxyethyl) (4-benzoylbenzyl) dimethylammonium bromide, (4-benzoylbenzyl) trimethylammonium chloride, 2- (3-dimethylamino-2-hydroxypropoxy) -3-, 4-dimethyl-9H- Thioxanthone-9-one-mesochloride, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (Obenzoyl) oxime, thiophenol, 2-benzothiazolethiol, 2-benzo Xazole thiol, 2-benzimidazole thiol, diphenyl sulfide, decyl phenyl sulfide, di-n-butyl disulfide, dibenzyl sulfide, dibenzoyl disulfide, diacetyl disulfide, dibornyl disulfide dimethoxyxanthogen disulfide, tetramethylthiuram monosulfide, tetra Examples thereof include methyl thiuram tetrasulfide, benzyldimethyldithiocarbamate quinoxaline, 1,3-dioxolane, N-laurylpyridinium and the like.

また少なくとも未加硫ゴム、重合性二重結合を有する単量体、重合開始剤からなる光重合性ゴム組成物、いわゆる感光性エラストマーといわれているもの(例えば特開昭51−106501号公報、特開昭47−37521号公報)や、ジアルキルシリコン系樹脂等の使用も可能である。   Further, a photopolymerizable rubber composition comprising at least unvulcanized rubber, a monomer having a polymerizable double bond, and a polymerization initiator, so-called photosensitive elastomer (for example, JP-A-51-106501, JP-A-47-37521) and dialkyl silicon resins can also be used.

熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、モノ第三ブチルハイドロキノン、ベンゾキノン、2,5−ジフェニル−p−ベンゾキノン、ピクリン酸、ジ−p−フルオロフェニルアミン、p−メトキシフェノール、2,6−ジ第三ブチル−p−クレゾールなどを挙げることができる。   Examples of thermal polymerization inhibitors include hydroquinone, mono-tert-butyl hydroquinone, benzoquinone, 2,5-diphenyl-p-benzoquinone, picric acid, di-p-fluorophenylamine, p-methoxyphenol, 2,6-ditertiary. A butyl-p-cresol etc. can be mentioned.

上記したような本発明に使用できる感光性樹脂組成物の具体例としては、APR(旭化成(株)製)、AFP(旭化成(株)製)、サイレル(デュポン(株)製)、テビスタ(帝人(株)製)等がある。常温で粘度が高いものを加温し、0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下の範囲に調整して使用することもできるし、モノマー成分を添加して粘度を調整して使用することもできる。   Specific examples of the photosensitive resin composition that can be used in the present invention as described above include APR (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), AFP (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.), Siler (manufactured by DuPont Co., Ltd.), and TEVISTA (Teijin). Etc.). It can be used by heating a material having a high viscosity at room temperature and adjusting it within the range of 0.2 Pa · s to 50.0 Pa · s, or adjusting the viscosity by adding a monomer component. You can also.

フォトマスク又はモールドとしては公知のものを適用できる。フォトマスクとしては、例えば透明硬質板上に遮光部が配置されてなるフォトマスクを使用でき、モールドとしては、例えば透明硬質板上に凹凸部が形成されてなるモールドを使用できる。フォトマスクとしては、特にクロムマスクが、高精細なパターンを描画できる点で好ましい。モールドとしては、硬質板上をエッチング等により賦型したものや、レジスト材料等による凸部を形成したものが使用できる。下部からの紫外線照射を行なうため、フォトマスク又はモールドは紫外線を透過する材質である必要がある。また、厚み分布や固定しやすさを考慮すると、透明硬質板が好ましい。透明硬質板としては合成石英やソーダガラス等のガラス板が好ましい。特に、描画精度及び熱膨張性の観点から、合成石英が最適である。   A well-known thing can be applied as a photomask or a mold. As the photomask, for example, a photomask in which a light shielding portion is disposed on a transparent hard plate can be used. As the mold, for example, a mold in which an uneven portion is formed on a transparent hard plate can be used. As the photomask, a chrome mask is particularly preferable because a high-definition pattern can be drawn. As the mold, one formed by etching or the like on a hard plate or one formed with a convex portion by a resist material or the like can be used. In order to irradiate ultraviolet rays from below, the photomask or mold needs to be made of a material that transmits ultraviolet rays. In consideration of thickness distribution and ease of fixing, a transparent hard plate is preferable. As the transparent hard plate, a glass plate such as synthetic quartz or soda glass is preferable. In particular, synthetic quartz is optimal from the viewpoint of drawing accuracy and thermal expansion.

尚、本発明では、必要に応じて、フォトマスク又はモールドが、感光性樹脂組成物層形成側の表面に離型層を有するものであってもよい。すなわち、フォトマスク又はモールドの表面に離型処理を行ない、硬化後の感光性樹脂組成物との剥離を容易にし、パターンの欠損を低減することが可能である。離型処理としては市販のシリコン系、テフロン(登録商標)系に代表される離型剤のコーティングや、シランカップリング剤等による表面処理が挙げられる。またフォトマスクとして離型性を有する各種フィルムを用いることもできる。   In the present invention, if necessary, the photomask or mold may have a release layer on the surface on the photosensitive resin composition layer forming side. That is, it is possible to perform mold release treatment on the surface of the photomask or mold, facilitate peeling from the cured photosensitive resin composition, and reduce pattern defects. Examples of the mold release treatment include coating with a mold release agent represented by a commercially available silicon-based or Teflon (registered trademark) system, and surface treatment with a silane coupling agent. Various films having releasability can also be used as a photomask.

<ラミネート工程>
ラミネート工程においては、積層工程で形成した感光性樹脂組成物層の上に、ラミネートローラーで押し付けながらシート状支持体をラミネートすることによって、フォトマスク又はモールドと感光性樹脂組成物層とシート状支持体とからなる3層積層体を形成する。ラミネート速度は150mm/分以上2000mm/分以下とする。このラミネート速度の範囲内で、実施時の速度は感光性樹脂組成物層の所望の厚みと感光性樹脂組成物の粘度との関係から決定される。一般には感光性樹脂組成物の粘度が高い程ラミネート速度を遅く設定する。上記速度範囲は、粘度が0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下の感光性樹脂組成物に適応する。さらに、ラミネート速度はシート状支持体の曲げ弾性の強さに応じて調整することが好ましい。すなわち、シート状支持体の曲げ弾性が強い程ラミネート速度を速くして、感光性樹脂組成物層の層厚が所望の最終厚みを超えるような条件に設定することが好ましい。シート状支持体の材質や厚みにもよるが、ラミネート速度は、500mm/分以上1500mm/分以下であることがより好ましい。
<Lamination process>
In the laminating step, a photomask or mold, the photosensitive resin composition layer, and the sheet-like support are laminated on the photosensitive resin composition layer formed in the laminating step while being pressed with a laminating roller. A three-layer laminate composed of the body is formed. The laminating speed is 150 mm / min or more and 2000 mm / min or less. Within the range of this lamination speed, the speed at the time of implementation is determined from the relationship between the desired thickness of the photosensitive resin composition layer and the viscosity of the photosensitive resin composition. Generally, the higher the viscosity of the photosensitive resin composition, the slower the laminating speed is set. The speed range is applicable to a photosensitive resin composition having a viscosity of 0.2 Pa · s to 50.0 Pa · s. Furthermore, the laminating speed is preferably adjusted according to the strength of bending elasticity of the sheet-like support. That is, it is preferable to set the conditions such that the laminating speed is increased and the layer thickness of the photosensitive resin composition layer exceeds the desired final thickness as the flexural elasticity of the sheet-like support increases. Although it depends on the material and thickness of the sheet-like support, the laminating speed is more preferably 500 mm / min or more and 1500 mm / min or less.

ラミネート工程においては、ラミネートローラー下部とフォトマスク又はモールドの上面との間隔(以下ラミネートローラーギャップともいう)も重要である。上述したように、ラミネート速度、感光性樹脂組成物の粘度及びシート状支持体の曲げ弾性の強さによって、ラミネート後の感光性樹脂組成物層厚みが決まるが、ラミネートローラーギャップを狭くしすぎると、感光性樹脂組成物層が所望の厚みよりも薄くなってしまう恐れがある。逆にラミネートローラーギャップを広くしすぎると感光性樹脂組成物層の厚みむらが大きくなる傾向があり、加圧処理工程の負荷が大きくなる恐れがある。このため、ラミネートローラーギャップからシート状支持体厚みを減じた値を30μm以上250μm以下に設定することが好ましい。   In the laminating process, the distance between the lower part of the laminating roller and the upper surface of the photomask or mold (hereinafter also referred to as laminating roller gap) is important. As described above, the thickness of the photosensitive resin composition layer after lamination is determined by the lamination speed, the viscosity of the photosensitive resin composition, and the strength of the flexural elasticity of the sheet-like support, but if the laminating roller gap is too narrow. The photosensitive resin composition layer may be thinner than a desired thickness. Conversely, if the laminating roller gap is too wide, the thickness unevenness of the photosensitive resin composition layer tends to increase, and the load of the pressure treatment process may increase. For this reason, it is preferable to set the value which reduced the sheet-like support body thickness from the lamination roller gap to 30 to 250 micrometers.

シート状支持体は、印刷版の特性に応じて選択でき、金属、プラスティック等多様なものが使用可能である。本発明の製造方法は、シート状支持体の曲げ弾性が比較的大きい場合にも感光性樹脂組成物層の層厚を薄くかつ均一にすることができるという利点を有する。具体的には、シート状支持体の曲げ弾性率(ASTM D790に準ずる)が、20Kgf/mm2以上20000Kgf/mm2であっても適応可能である。シート状支持体の例としては、厚み0.10mm〜0.30mmのステンレスシートなどが挙げられ、このステンレスシートは耐薬品性、引っ張り強度、バネ特性及び低線膨張率等の点で好都合である。 The sheet-like support can be selected according to the characteristics of the printing plate, and various materials such as metal and plastic can be used. The production method of the present invention has an advantage that the thickness of the photosensitive resin composition layer can be made thin and uniform even when the flexural elasticity of the sheet-like support is relatively large. Specifically, the present invention can be applied even when the bending elastic modulus (according to ASTM D790) of the sheet-like support is 20 kgf / mm 2 or more and 20000 kgf / mm 2 . Examples of the sheet-like support include a stainless sheet having a thickness of 0.10 mm to 0.30 mm, and this stainless sheet is advantageous in terms of chemical resistance, tensile strength, spring characteristics, low linear expansion coefficient, and the like. .

また、硬化した感光性樹脂組成物との接着性を向上させる目的で、シート状支持体表面に例えば公知のハードコート層処理やシランカップリング剤による処理がされていてもよい。   Moreover, for the purpose of improving adhesiveness with the cured photosensitive resin composition, the surface of the sheet-like support may be treated with, for example, a known hard coat layer treatment or a silane coupling agent.

本発明においては、フォトマスク又はモールドを略水平に固定した状態で感光性樹脂組成物層を積層することが好ましい。フォトマスク又はモールドが略水平でない場合には、ラミネートローラーギャップを一定に保ったとしても、厚みむらが生じ、圧力に追随してフォトマスク又はモールドが撓んでしまうと本発明の効果は良好には得られない。また、感光性樹脂組成物の流動や供給時のむらが発生し、本発明の効果が良好には得られない。なお本明細書における略水平とは、厚みむらの観点から許容される程度に水平であることを意味し、積層工程における設置時のフォトマスク又はモールドの上面端部の高低差が10μm以下であることが好ましい。なお、フォトマスク又はモールド自体が、厚みむらが大きい場合や水平な固定自体が困難な場合には使用に適さない。   In the present invention, the photosensitive resin composition layer is preferably laminated in a state where the photomask or the mold is fixed substantially horizontally. If the photomask or mold is not substantially horizontal, even if the laminating roller gap is kept constant, uneven thickness occurs, and if the photomask or mold bends following the pressure, the effect of the present invention is good. I can't get it. Moreover, the flow of the photosensitive resin composition and unevenness at the time of supply occur, and the effect of the present invention cannot be obtained satisfactorily. Note that the term “substantially horizontal” in the present specification means that it is horizontal to an extent that is acceptable from the viewpoint of unevenness in thickness, and the height difference of the upper end portion of the photomask or mold at the time of installation in the stacking process is 10 μm or less. It is preferable. Note that the photomask or the mold itself is not suitable for use when the thickness unevenness is large or when the horizontal fixing itself is difficult.

<加圧処理工程>
加圧処理工程では、3層積層体を加圧ローラーで加圧することによって、感光性樹脂組成物層を所望の厚みに制御し、かつ厚み分布均一性を向上させる。すなわち、ラミネート工程では、感光性樹脂組成物層が所望の最終厚みより厚くなるような設定で3層積層体が形成されており、厚み分布均一性は悪い。そこで、加圧ローラーを用いた加圧処理により、感光性樹脂組成物層の厚い部分をならすことで層厚均一性が向上する。この加圧処理工程では、ラミネート工程とは異なり感光性樹脂組成物層がシート状支持体の弾性の影響を受けないため、加圧速度(すなわち加圧ローラーの駆動速度)を十分遅くすることにより、ローラーギャップに対応した感光性樹脂組成物層厚みが得られる。
<Pressure treatment process>
In the pressure treatment step, the photosensitive resin composition layer is controlled to a desired thickness by pressing the three-layer laminate with a pressure roller, and the thickness distribution uniformity is improved. That is, in the laminating process, the three-layer laminate is formed in such a setting that the photosensitive resin composition layer is thicker than the desired final thickness, and the thickness distribution uniformity is poor. Therefore, the layer thickness uniformity is improved by leveling a thick portion of the photosensitive resin composition layer by pressure treatment using a pressure roller. In this pressurizing process, unlike the laminating process, the photosensitive resin composition layer is not affected by the elasticity of the sheet-like support, so that the pressurizing speed (that is, the driving speed of the pressurizing roller) is sufficiently slowed down. The photosensitive resin composition layer thickness corresponding to the roller gap is obtained.

加圧速度は、感光性樹脂組成物の粘度、3層積層体の厚み及び感光性樹脂組成物層の所望厚みに応じて決められるが、加圧速度を必要以上に遅くすると、品質には影響しないものの生産性が低下する。よって、加圧速度は、10mm/分以上150mm/分未満の速度範囲とし、好ましくは20mm/分以上100mm/分以下とする。   The pressing speed is determined according to the viscosity of the photosensitive resin composition, the thickness of the three-layer laminate and the desired thickness of the photosensitive resin composition layer, but if the pressing speed is slowed more than necessary, the quality is affected. Productivity of things that don't do decreases. Therefore, the pressing speed is set to a speed range of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min, preferably 20 mm / min or more and 100 mm / min or less.

加圧処理工程の効果を得るために、ラミネート工程後の3層積層体の厚みを所望の最終厚み(すなわち加圧ローラーギャップ設定)よりも厚くすることが好ましい。すなわち、ラミネート工程後の感光性樹脂組成物層及びシート状支持体の2層の合計厚みd1と、加圧処理工程における該フォトマスク又はモールドの上面から加圧ローラーまでの距離d2との関係が、d1>d2を満たすように制御することが好ましい。このとき、上記距離d2からシート状支持体の厚みを減じた値を20μm以上300μm以下に設定すれば、レリーフ部の厚みを20μm〜300μmで任意に制御することが可能となる。また、より高度な厚み分布均一性が必要な場合等には、必要に応じて加圧処理工程を2回以上繰り返してもよい。   In order to obtain the effect of the pressure treatment step, the thickness of the three-layer laminate after the lamination step is preferably made thicker than a desired final thickness (that is, a pressure roller gap setting). That is, there is a relationship between the total thickness d1 of the two layers of the photosensitive resin composition layer and the sheet-like support after the lamination process and the distance d2 from the upper surface of the photomask or mold to the pressure roller in the pressure treatment process. , D1> d2 is preferably controlled. At this time, if the value obtained by subtracting the thickness of the sheet-like support from the distance d2 is set to 20 μm or more and 300 μm or less, the thickness of the relief portion can be arbitrarily controlled between 20 μm and 300 μm. Moreover, when a higher degree of thickness distribution uniformity is required, the pressure treatment process may be repeated twice or more as necessary.

<露光工程>
露光工程では、該フォトマスク又はモールド側から3層積層体を紫外線で露光し、感光性樹脂組成物を硬化させる。紫外線の照度は特に限定されず、感光性樹脂組成物の感光特性や厚みから適宜決定すればよい。一般的には、1mW/cm2以上20mW/cm2以下で行なわれる。特に、フォトマスクを使用し、より高精細なパターン解像性が求められる場合には、平行光の紫外線で露光することが好ましい。また、シート状支持体は、表面にハレーション防止層(紫外線吸収層)が設けられたものであってもよい。
<Exposure process>
In the exposure step, the three-layer laminate is exposed with ultraviolet rays from the photomask or mold side to cure the photosensitive resin composition. The illuminance of ultraviolet rays is not particularly limited, and may be appropriately determined from the photosensitive properties and thickness of the photosensitive resin composition. Generally, it is performed at 1 mW / cm 2 or more and 20 mW / cm 2 or less. In particular, when a photomask is used and a higher definition pattern resolution is required, it is preferable to expose with parallel ultraviolet rays. Further, the sheet-like support may have a surface provided with an antihalation layer (ultraviolet absorption layer).

本発明において、積層工程、ラミネート工程、加圧処理工程及び露光工程は、同一の場所で連続して行なってもよいし、各工程に応じて積層体を搬送し、別の場所で行なってもよい。例えば、ラミネート工程及び加圧処理工程は、表面の平滑性や強度等の観点から金属製や石製の定盤上で行なうのがより好ましく、露光工程は、ガラス製等の紫外線透過性の定盤上で行なう必要がある。   In the present invention, the lamination step, the lamination step, the pressure treatment step, and the exposure step may be performed continuously in the same place, or the laminate may be transported according to each step and performed in another place. Good. For example, the laminating step and the pressure treatment step are more preferably performed on a metal or stone surface plate from the viewpoint of surface smoothness, strength, etc., and the exposure step is performed using a glass or other ultraviolet transmissive constant. It needs to be done on the board.

<剥離工程>
剥離工程では、フォトマスク又はモールドを露光後の感光性樹脂組成物層から剥離する。フォトマスクを用いる場合、上記剥離後、感光性樹脂組成物層の未硬化部分を現像し除去する工程をさらに行なうことが必要である。またモールドを用いる場合にも上記現像を必要に応じてさらに行なうことができる。現像方法は、感光性樹脂組成物の種類に応じて選択すればよく、特に限定されるものではないが、ディップ現像、シャワー現像、超音波現像等を使用できる。現像液も感光性樹脂組成物の種類に応じて選択すればよく、アルカリ性水溶液の他、各種有機溶媒を使用することができる。現像処理及び/又はリンスを行なった後、乾燥やエアブローを行なってもよい。また、感光性樹脂組成物の架橋反応をより良好に完了させて樹脂硬度を高めるために後露光や加熱処理を行なうことも可能である。この場合必要に応じて酸素遮断下(例えば窒素雰囲気下や水中)で処理を行なうことができる。
<Peeling process>
In the peeling step, the photomask or mold is peeled from the exposed photosensitive resin composition layer. When using a photomask, it is necessary to further perform a step of developing and removing the uncured portion of the photosensitive resin composition layer after the peeling. Further, when the mold is used, the above development can be further performed as necessary. The development method may be selected according to the type of the photosensitive resin composition, and is not particularly limited, but dip development, shower development, ultrasonic development and the like can be used. The developer may be selected according to the type of the photosensitive resin composition, and various organic solvents can be used in addition to the alkaline aqueous solution. After the development process and / or rinsing, drying or air blowing may be performed. In addition, post-exposure or heat treatment can be performed in order to more satisfactorily complete the crosslinking reaction of the photosensitive resin composition and increase the resin hardness. In this case, the treatment can be performed under an oxygen barrier (for example, in a nitrogen atmosphere or in water) as necessary.

以上に述べた本発明の製造方法によって、厚みの薄い印刷版、特に20μm〜300μmのレリーフ深度を有する印刷版を厚み分布均一性良く作製することが可能となる。このような印刷版を用いることにより、例えば従来のフレキソ印刷版よりもより高精細なパターンに対応できるだけでなく、印刷時においても精細性、再現性のよい印刷が可能となる。   By the production method of the present invention described above, it is possible to produce a thin printing plate, particularly a printing plate having a relief depth of 20 μm to 300 μm with good thickness distribution uniformity. By using such a printing plate, for example, it is possible not only to cope with a higher-definition pattern than a conventional flexographic printing plate, but also to perform printing with high definition and reproducibility during printing.

[印刷版の製造装置]
本発明は、高精細印刷が可能な印刷版を製造するための印刷版の製造装置をも提供する。該製造装置は上述した本発明の印刷版の製造方法の各工程を好適に実施できる。図2は、本発明の印刷版の製造装置の例について説明する模式図である。印刷版製造装置2は、硬質板201等の上にフォトマスク又はモールド202を略水平に固定する固定機構203、フォトマスク又はモールド202上に感光性樹脂組成物204を供給して感光性樹脂組成物層を形成する樹脂供給機構205,210、シート状支持体206の端部を保持する保持機構207、端部が保持されたシート状支持体206をラミネートするための、150mm/分以上2000mm/分以下の速度でのラミネートが少なくとも可能なラミネートローラー、ラミネート後のシート状支持体の上面を加圧処理するための、10mm/分以上150mm/分未満の速度での加圧処理が少なくとも可能な加圧ローラー、及びフォトマスク又はモールド202の下面から紫外線を照射する照射機構209を備える。なお図2においては上記ラミネートローラーと上記加圧ローラーとを兼ねるローラー208を示している。
[Printing plate manufacturing equipment]
The present invention also provides a printing plate manufacturing apparatus for manufacturing a printing plate capable of high-definition printing. The manufacturing apparatus can suitably carry out each step of the printing plate manufacturing method of the present invention described above. FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of a printing plate manufacturing apparatus according to the present invention. The printing plate manufacturing apparatus 2 supplies a photosensitive resin composition 204 onto a photomask or mold 202 by supplying a fixing mechanism 203 for fixing the photomask or mold 202 substantially horizontally on a hard plate 201 or the like. Resin supply mechanisms 205 and 210 for forming a physical layer, a holding mechanism 207 for holding the end of the sheet-like support 206, and a sheet-like support 206 holding the end for laminating 150 mm / min to 2000 mm / min A laminating roller capable of at least laminating at a speed of less than a minute, and a pressure treatment at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min for pressurizing the upper surface of the laminated sheet-like support is possible A pressure roller and an irradiation mechanism 209 for irradiating ultraviolet rays from the lower surface of the photomask or mold 202 are provided. In FIG. 2, a roller 208 serving both as the laminating roller and the pressure roller is shown.

(1)フォトマスク又はモールドを略水平に固定するための固定機構
固定機構としては、水平な硬質板を定盤として、減圧溝等を設けて吸引固定する機構や、端部四隅を押さえつけるような機構等が挙げられる。図2においては、フォトマスク又はモールドの端部を硬質板により前後から押さえる様式を例示している。
(1) Fixing mechanism for fixing the photomask or mold substantially horizontally As a fixing mechanism, a horizontal hard plate is used as a surface plate, and a suction fixing is provided by providing a pressure reducing groove or the like, and the four corners of the end are pressed. Mechanisms and the like. In FIG. 2, the mode which presses the edge part of a photomask or a mold from the front and back with the hard board is illustrated.

(2)フォトマスク又はモールド上に感光性樹脂組成物を供給して感光性樹脂組成物層を形成する樹脂供給機構
樹脂供給機構は、フォトマスク又はモールド上に感光性樹脂組成物を供給することによって感光性樹脂組成物層を形成できるものであればよい。図3は、ボトムオープンタイプのバケットについて説明する模式図であり、図4は、回転式のバケットについて説明する模式図である。感光性樹脂組成物を供給と同時に層状に塗布できる機能を有する機構として、図3のようなボトムオープンタイプのバケットや、図4のような回転式のバケット等が挙げられる。図3に示すボトムオープンタイプでは、ボトムオープンバケット31をフォトマスク又はモールドと略並行に移動させながら、ボトムオープンバケット31の下部をボトムオープンバケット32として示すように開放することによって、感光性樹脂組成物33をフォトマスク又はモールド34の上に供給及び層状に塗布できる。また図4に示す回転式では、回転式バケット41をフォトマスク又はモールドと略並行に移動させながら、回転式バケット41を回転式バケット42として示すように回転させることによって、感光性樹脂組成物43をフォトマスク又はモールド44の上に供給及び層状に塗布できる。バケット自体の駆動速度、及びバケットとフォトマスク又はモールド表面との間隔等を制御することにより、塗布膜厚を任意に制御することが可能である。また、図2に示すように、樹脂供給機構205として供給バケットを用い、樹脂供給機構210として駆動式のドクターブレード等による塗布機構を別途用いてもよい。勿論、カーテンコーターやスプレーコーター、バーコーター、グラビアコーター等の公知の塗布機構を設置することも可能である。
(2) Resin supply mechanism for forming a photosensitive resin composition layer by supplying a photosensitive resin composition onto a photomask or mold The resin supply mechanism supplies a photosensitive resin composition onto a photomask or mold Any material can be used as long as it can form a photosensitive resin composition layer. FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a bottom open type bucket, and FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a rotary bucket. As a mechanism having a function of applying the photosensitive resin composition in layers at the same time as supply, a bottom open type bucket as shown in FIG. 3, a rotary bucket as shown in FIG. In the bottom open type shown in FIG. 3, a photosensitive resin composition is formed by opening the bottom open bucket 31 as shown as a bottom open bucket 32 while moving the bottom open bucket 31 substantially parallel to the photomask or mold. The object 33 can be supplied and applied in layers on a photomask or mold 34. In the rotary type shown in FIG. 4, the photosensitive resin composition 43 is rotated by rotating the rotary bucket 41 as shown as a rotary bucket 42 while moving the rotary bucket 41 substantially in parallel with the photomask or the mold. Can be applied and layered onto the photomask or mold 44. By controlling the driving speed of the bucket itself and the interval between the bucket and the photomask or the mold surface, the coating film thickness can be arbitrarily controlled. In addition, as shown in FIG. 2, a supply bucket may be used as the resin supply mechanism 205, and an application mechanism using a driving doctor blade or the like may be used as the resin supply mechanism 210 separately. Of course, a known coating mechanism such as a curtain coater, a spray coater, a bar coater, or a gravure coater can be installed.

(3)シート状支持体の端部を保持するための保持機構
保持機構は、ラミネート工程や加圧処理工程において、シート状支持体が滑り等によりずれてしまうことを防止するための機構である。保持機構としては、シート状支持体の端部を挟み込むクリップ状物や、シート状支持体に穴空け加工を施し、ピンで固定する機構や、マグネットによる保持機構等が挙げられる。また、保持する高さを所望の感光性樹脂組成物層の厚みに応じて調整できる機構がより好ましい。
(3) Holding mechanism for holding the end portion of the sheet-like support The holding mechanism is a mechanism for preventing the sheet-like support from being displaced due to slipping or the like in the laminating process or the pressure treatment process. . Examples of the holding mechanism include a clip-like object that sandwiches the end portion of the sheet-like support, a mechanism that punches the sheet-like support and fixes it with a pin, a holding mechanism using a magnet, and the like. Moreover, the mechanism which can adjust the height to hold | maintain according to the thickness of the desired photosensitive resin composition layer is more preferable.

(4)端部が保持されたシート状支持体をラミネートするためのラミネートローラー及びラミネート後のシート状支持体の上面を加圧処理するための加圧ローラー
ラミネートローラーは、該ローラーが回転及び移動することによって感光性樹脂組成物層の上にシート状支持体をラミネートできるものであればよく、特に150mm/分以上2000mm/分以下の速度でシート状支持体をラミネートできるものである。ラミネートローラーは、典型的には前述の保持機構207から遠ざかる方向に移動することによってシート状支持体を感光性樹脂組成物層上にラミネートする。
(4) Lamination roller for laminating the sheet-like support with the end held, and pressure roller for pressurizing the upper surface of the laminated sheet-like support The laminating roller rotates and moves As long as the sheet-like support can be laminated on the photosensitive resin composition layer, the sheet-like support can be laminated particularly at a speed of 150 mm / min to 2000 mm / min. The laminating roller typically laminates the sheet-like support on the photosensitive resin composition layer by moving in a direction away from the above-described holding mechanism 207.

加圧ローラーは、該ローラーが回転及び移動することによってシート状支持体の上面を加圧処理できるものであればよく、特に10mm/分以上150mm/分未満の速度で加圧処理可能なものである。加圧ローラーは上記ラミネートローラーを兼ねてもよく、この場合同一駆動系とすることができる。加圧ローラーがラミネートローラーを兼ねる場合には、ラミネート時と加圧処理時とで駆動速度、ローラーギャップ等の設定を変更できる機構が必要である。具体的には、速度範囲を150mm/分以上2000mm/分以下の第一の駆動速度(ラミネート時)と10mm/分以上150mm/分未満の第二の駆動速度(加圧処理時)に対応できるようにする。また、ラミネート時と加圧処理時とにおけるローラーギャップに対応できる昇降範囲を設定可能な機構が必要である。   The pressure roller is not particularly limited as long as the roller can rotate and move so that the upper surface of the sheet-like support can be subjected to pressure treatment, and can be subjected to pressure treatment at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min. is there. The pressure roller may also serve as the laminating roller. In this case, the same driving system can be used. In the case where the pressure roller also serves as a laminating roller, a mechanism that can change settings such as a driving speed and a roller gap between the laminating and the pressing process is required. Specifically, the speed range can correspond to a first driving speed (at the time of lamination) of 150 mm / min to 2000 mm / min and a second driving speed (at the time of pressure treatment) of 10 mm / min to less than 150 mm / min. Like that. In addition, a mechanism capable of setting an elevation range that can correspond to a roller gap during lamination and during pressure treatment is required.

ラミネートローラー及び加圧ローラー又はこれらを兼ねるローラーは、ラミネート又は加圧処理の方向(ローラー進行方向)に対する移動速度を制御できる機構であればよい。また、速度を可変式にし、駆動過程で速度を変えることも可能である。ローラーの回転方式としては、速度を同期させて駆動させてもよいし、駆動させずにシート状支持体との摩擦によって回転させてもよい。また種々の条件を変動させた製造条件に対応可能なものにするために、ローラーギャップの制御が可能な機構が好ましい。そのようなローラーを昇降可能にする機構は特に限定されないが、マイクロメーターにて制御できるものがより好ましい。ローラーはギャップ制御のため硬質素材のものが好ましく、偏厚むらの少ないものであることが望ましい。   The laminating roller and the pressure roller or the roller serving as both may be any mechanism that can control the moving speed with respect to the direction of laminating or pressing (roller traveling direction). It is also possible to make the speed variable and change the speed in the driving process. As a rotation method of the roller, it may be driven with the speed synchronized, or may be rotated by friction with the sheet-like support without being driven. Also, a mechanism capable of controlling the roller gap is preferable in order to be able to cope with manufacturing conditions in which various conditions are changed. Although the mechanism which makes such a roller raise / lower is not specifically limited, What can be controlled with a micrometer is more preferable. The roller is preferably made of a hard material in order to control the gap, and it is desirable that the roller has little uneven thickness.

(5)フォトマスク又はモールドの下面から紫外線を照射するための照射機構
照射機構としては、公知の紫外線露光装置を利用でき、感光性樹脂組成物の種類や、フォトマスク又はモールドのパターン形状に応じて、ランプの種類や平行光の制御等を用いることが可能である。
(5) Irradiation mechanism for irradiating ultraviolet rays from the lower surface of the photomask or mold As the irradiation mechanism, a known ultraviolet exposure apparatus can be used, depending on the type of the photosensitive resin composition and the pattern shape of the photomask or mold. Thus, it is possible to use lamp types, control of parallel light, and the like.

印刷版製造装置はより簡略な構成をとることも可能である。例えば、ローラーの駆動系が上記(2)の樹脂供給機構を兼ねることが可能である。この場合、ラミネート工程におけるローラー駆動時に、感光性樹脂組成物を層状に供給することが可能となる。具体的には、前述したバケットタイプ等の供給機構をローラーと同一の駆動系に組み込み、ローラーの前にバケットを配置することにより、感光性樹脂組成物を層状に供給することと、ラミネートを同じ速度で連続的に行なう構成とすることができる。また、前述のようにローラーがラミネートローラーと加圧ローラーとを兼ねてもよく、この場合両ローラーは同一駆動系とすることができる。なおこの場合、ラミネート工程終了後に、ローラーをシート状支持体に触れないように始動位置に戻すことが可能な機構を更に有することが好ましい。さらに、(2)の樹脂供給機構、ラミネートローラー及び加圧ローラーを同じ駆動系で駆動させることも可能である。   The printing plate manufacturing apparatus can have a simpler configuration. For example, the roller drive system can also serve as the resin supply mechanism (2). In this case, it becomes possible to supply the photosensitive resin composition in a layer form when the roller is driven in the laminating step. Specifically, the supply mechanism such as the bucket type described above is incorporated in the same drive system as the roller, and the bucket is placed in front of the roller, whereby the photosensitive resin composition is supplied in layers and the laminate is the same It can be configured to perform continuously at a speed. Further, as described above, the roller may serve as both a laminating roller and a pressure roller. In this case, both rollers can be the same drive system. In this case, it is preferable to further include a mechanism capable of returning the roller to the starting position so as not to touch the sheet-like support after the lamination step. Furthermore, it is also possible to drive the resin supply mechanism (2), the laminate roller, and the pressure roller of (2) with the same drive system.

以下に本発明を実施例により詳細に説明する。なお、本発明は実施例により制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. In addition, this invention is not restrict | limited by an Example.

<印刷版の製造例1>
・フォトマスク
ライン(線幅100μm)/スペース(間隔200μm)形状の光透過部を有するネガパターンを描画したクロムマスクを用意した。クロムマスクは5mm厚の合成石英板製(8インチ×8インチ)で、パターンエリアは中央7インチ×7インチである。このクロムマスクの表面に離型層を形成した。形成方法としては、離型剤として旭硝子社製サイトップ(CTX−809AP2)の4wt%希釈液をスピンコーターにより、乾燥後厚みが0.5μmになるように塗布し、110℃で10分乾燥させた。
<Printing plate production example 1>
Photomask A chrome mask was prepared on which a negative pattern having a light transmission part with a line (line width of 100 μm) / space (interval of 200 μm) shape was drawn. The chrome mask is made of 5 mm thick synthetic quartz plate (8 inches × 8 inches), and the pattern area is 7 inches × 7 inches in the center. A release layer was formed on the surface of the chromium mask. As a forming method, a 4 wt% diluted solution of CYTOP (CTX-809AP2) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. as a release agent is applied by a spin coater so that the thickness is 0.5 μm after drying, and dried at 110 ° C. for 10 minutes. It was.

・シート状支持体
厚み0.15mmのステンレスシート(SUS304)で200mm×380mmの大きさのものを使用した。ステンレスシートの表面には、シランカップリング剤による接着処理を行なった。シランカップリング剤は信越化学工業社製KBM503を使用した。
Sheet support A stainless steel sheet (SUS304) having a thickness of 0.15 mm and a size of 200 mm × 380 mm was used. The surface of the stainless steel sheet was subjected to adhesion treatment with a silane coupling agent. As a silane coupling agent, KBM503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used.

・積層工程、ラミネート工程及び加圧処理工程
使用した装置は、K303マルチコーター(RK Print Coat Instruments社製)を改造したものであり、前述の図2に示すような構成を有する。改造としては、モーターを交換して、ローラーの駆動速度を2mm/分〜2000mm/分で制御可能にした。仕様は、グラビアヘッドを設置し、ゴムローラーをフレキソヘッドのステンレスローラーに交換し、ドクターブレードを45°の角度に調節して使用した。ラミネーター装置の金属盤上に、上記したクロムマスクを載せ、前後にクロムマスクと同じ厚みのガラス板を配置し、粘着テープにより固定した。次にステンレスシートをガラス板上(ラミネート始点側)に粘着テープにより固定し、ローラーの下を通して図2のように設置した。ドクターブレードはクロムマスクの表面から150μmのギャップに調節した。ブレードのラミネート方向側に、真空脱泡処理をした旭化成ケミカルズ社製ネガ型液状感光性樹脂APR−G31(25℃の粘度2370mPa・s)を20g垂らし、表1に記載のローラーギャップ設定(表1中には、ローラーギャップからシート状支持体の厚みを減じた値(μm)を記載)及び駆動速度(ラミネート速度)によって、フォトマスク、感光性樹脂組成物層及びシート状支持体からなる3層積層体を形成するラミネート工程を行なった。次いで、ブレードを取り外し、ローラーを始点側に戻した後、表1に記載のローラーギャップ設定及び速度によって加圧処理工程を行なった。
-Lamination process, laminating process, and pressurizing process The apparatus used is a modified K303 multi-coater (manufactured by RK Print Coat Instruments) and has the configuration shown in FIG. As a modification, the motor was replaced so that the roller driving speed could be controlled from 2 mm / min to 2000 mm / min. The specification was used by installing a gravure head, replacing the rubber roller with a stainless steel roller of the flexo head, and adjusting the doctor blade to a 45 ° angle. The above-described chrome mask was placed on the metal plate of the laminator device, and glass plates having the same thickness as the chrome mask were arranged on the front and rear sides, and fixed with an adhesive tape. Next, the stainless steel sheet was fixed on the glass plate (lamination start point side) with an adhesive tape, and placed under the roller as shown in FIG. The doctor blade was adjusted to a gap of 150 μm from the surface of the chrome mask. 20 g of negative type liquid photosensitive resin APR-G31 (viscosity of 2370 mPa · s at 25 ° C.) manufactured by Asahi Kasei Chemicals Co., Ltd. subjected to vacuum defoaming treatment was dropped on the laminating direction side of the blade, and the roller gap setting shown in Table 1 (Table 1). 3 layers comprising a photomask, a photosensitive resin composition layer, and a sheet-like support, depending on the value (μm) obtained by subtracting the thickness of the sheet-like support from the roller gap and the driving speed (laminating speed). The lamination process which forms a laminated body was performed. Next, after removing the blade and returning the roller to the starting point side, a pressure treatment step was performed according to the roller gap setting and speed described in Table 1.

次いで、クロムマスクの下側からオーク社製平行光露光装置を用いて積層体への露光処理を行なった。露光は、g線、h線、i線の混合光により4mW/cm2(350nm)で500mj/cm2行なった。尚、全ての工程は、25℃にて行なった。 Subsequently, the laminated body was exposed from the lower side of the chrome mask using a parallel light exposure apparatus manufactured by Oak. The exposure was performed at 500 mj / cm 2 at 4 mW / cm 2 (350 nm) with mixed light of g-line, h-line, and i-line. All steps were performed at 25 ° C.

次いで、クロムマスクとステンレスシートを剥離し、0.5wt%炭酸ナトリウム水溶液で感光性樹脂組成物層のシャワー現像、水洗を行なった。乾燥後、窒素雰囲気下で後露光2000mj/cm2を行ない印刷版を得た。 Next, the chromium mask and the stainless sheet were peeled off, and the photosensitive resin composition layer was shower-developed and washed with a 0.5 wt% sodium carbonate aqueous solution. After drying, post-exposure 2000 mj / cm 2 was performed in a nitrogen atmosphere to obtain a printing plate.

・厚み評価
得られた印刷版について、顕微鏡(オリンパス社製STM−UM)にて焦点深度測定を行ない、樹脂レリーフ厚み(ラインの高さ)を測定し、25箇所の平均値及び最大値と最小値との差(高低差)を求めた。結果を表1に示す。
-Thickness evaluation The obtained printing plate was measured for depth of focus with a microscope (Olympus STM-UM), and the resin relief thickness (line height) was measured. The difference from the value (height difference) was determined. The results are shown in Table 1.

Figure 0004820883
Figure 0004820883

結果の説明
実施例1〜3では、加圧処理工程でのローラーギャップにて樹脂レリーフ厚みが制御されていることが確認できる。また、厚み分布均一性も、高低差が平均厚みの10%以内であり、良好であった。比較例1では、加圧処理工程でのローラーの駆動速度が速いために、十分な加圧処理の効果が得られず、実施例2に比較して樹脂レリーフ厚が厚くなっており、高低差が大きいものとなった。比較例2では、加圧処理工程がないために、厚み分布が非常に悪いことが確認された。なお、この比較例2の厚みの結果は、実施例2におけるラミネート工程後の積層体の状態であり、実施例2においてd1(ラミネート後の感光性樹脂組成物層とシート状支持体との2層分の合計厚み)と、d2(フォトマスクの上面から加圧ローラーまでの距離)との関係が、d1>d2であることが確認される。比較例3では、駆動速度が遅いことにより、ステンレスシートの曲率変化に応じて、ラミネート始点側では膜厚が小さく、ラミネート終盤で膜厚が急に大きくなる現象がみられ、結果としては厚み分布の悪いものとなった。比較例4では、駆動速度がさらに遅いことにより、厚みが非常に薄くなってしまった。比較例2〜4の結果から、ラミネート工程の駆動速度のみで厚みを制御するのは困難であり、また、厚み分布を10%以内に抑えるのは非常に困難であることが分かる。
Description of Results In Examples 1 to 3, it can be confirmed that the resin relief thickness is controlled by the roller gap in the pressure treatment process. Also, the thickness distribution uniformity was good, with the height difference being within 10% of the average thickness. In Comparative Example 1, since the driving speed of the roller in the pressure treatment process is high, the effect of sufficient pressure treatment cannot be obtained, and the resin relief thickness is thicker than in Example 2, and the difference in height Became big. In Comparative Example 2, it was confirmed that the thickness distribution was very poor because there was no pressurizing process. In addition, the result of the thickness of this comparative example 2 is the state of the laminated body after the lamination process in Example 2, and in Example 2, d1 (2 between the photosensitive resin composition layer after lamination and the sheet-like support 2) It is confirmed that the relationship between the total thickness of the layer) and d2 (distance from the upper surface of the photomask to the pressure roller) is d1> d2. In Comparative Example 3, due to the slow driving speed, a phenomenon that the film thickness is small at the lamination start point side and the film thickness suddenly increases at the end of the lamination according to the change in curvature of the stainless sheet is observed. It became bad. In Comparative Example 4, the thickness was very thin due to the slower driving speed. From the results of Comparative Examples 2 to 4, it can be seen that it is difficult to control the thickness only by the driving speed of the laminating process, and it is very difficult to suppress the thickness distribution within 10%.

<印刷版の製造例2>
・モールド
厚さ2.0mmのソーダライムガラス板(8インチ×8インチ)を用意し、表面をUV洗浄装置にて処理した後、窒素雰囲気下でHMDS(1,1,1,3,3,3−Hexamethyldisilazane)の気流処理を20分間行なった。ポジ型感光性樹脂溶液(東京応化工業社製PMER P−LA300PM)をスピンコーターにより乾燥後厚みが10μmになるように上記の表面処理後のガラス板上に塗布した。風乾後、110℃、7分の加熱処理を行なった。
<Printing plate production example 2>
-Mold Soda lime glass plate (8 inches x 8 inches) with a thickness of 2.0 mm is prepared, and the surface is treated with a UV cleaning device, and then HMDS (1, 1, 1, 3, 3, 3) under a nitrogen atmosphere. 3-Hexamethyldisilazane) was treated for 20 minutes. A positive photosensitive resin solution (PMER P-LA300PM manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was applied onto the glass plate after the above surface treatment so as to have a thickness of 10 μm after drying with a spin coater. After air drying, heat treatment was performed at 110 ° C. for 7 minutes.

製線幅20μm/ピッチ50μmの格子形状の光透過部を有するネガパターンを描画したフィルムマスク(エマルジョンマスク)を用意した。マスクのサイズは8インチ×8インチで、パターンエリアは中央7インチ×7インチである。このフィルムマスクのマスク面とポジ型感光性樹脂層とを密着させて、オーク社製平行光露光装置を用いてマスク側から露光した。露光は、g線、h線、i線の混合光で、350nmで250mJ/cm2となるようにした。その後、ディップ現像(現像液P−7G:東京応化工業社製)を行ない、風乾後、さらに110℃、5分の加熱処理を行なった。さらに表面に離型層を形成した。形成方法としては、離型剤として旭硝子社製サイトップ(CTX−809AP2)の4wt%希釈液をスピンコーターにより乾燥後厚みが0.5μmになるように塗布し、110℃で10分乾燥させた。以上の方法で格子形状の凹部を有するモールドを得た。   A film mask (emulsion mask) on which a negative pattern having a lattice-shaped light transmission portion having a wire width of 20 μm / pitch of 50 μm was prepared. The size of the mask is 8 inches × 8 inches, and the pattern area is the center 7 inches × 7 inches. The mask surface of this film mask and the positive photosensitive resin layer were brought into close contact with each other and exposed from the mask side using a parallel light exposure apparatus manufactured by Oak. The exposure was performed with a mixed light of g-line, h-line, and i-line so that the light intensity was 250 mJ / cm 2 at 350 nm. Thereafter, dip development (developer P-7G: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was performed, and after air drying, heat treatment was further performed at 110 ° C. for 5 minutes. Further, a release layer was formed on the surface. As a forming method, a 4 wt% diluted solution of CYTOP (CTX-809AP2) manufactured by Asahi Glass Co., Ltd. was applied as a release agent by a spin coater so as to have a thickness of 0.5 μm and dried at 110 ° C. for 10 minutes. . A mold having a lattice-shaped recess was obtained by the above method.

・シート状支持体
厚み0.10mmのステンレスシート(SUS304)であって200mm×380mmの大きさのものを使用した。ステンレスシートの表面には、シランカップリング剤による接着処理を行なった。シランカップリング剤としては信越化学工業社製KBM503を使用した。
-Sheet-like support A stainless steel sheet (SUS304) having a thickness of 0.10 mm and a size of 200 mm x 380 mm was used. The surface of the stainless steel sheet was subjected to adhesion treatment with a silane coupling agent. As a silane coupling agent, KBM503 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was used.

・ラミネート工程及び加圧処理工程
実施例1〜3と同様の装置及び仕様でラミネート工程と加圧処理工程とを行なった。手順はクロムマスクの代わりにモールドを使用した以外は実施例1〜3と同様である。ローラーギャップ及び駆動速度は表2に記載の設定とした。
-Lamination process and pressurization process The laminating process and the pressurization process were performed with the apparatus and specification similar to Examples 1-3. The procedure is the same as in Examples 1 to 3 except that a mold is used instead of the chrome mask. The roller gap and driving speed were set as shown in Table 2.

モールドの下側からオーク社製平行光露光装置を用いて積層体への露光処理を行なった。露光は、g線、h線、i線の混合光により4mW/cm2(350nm)で2000mj/cm2行なった。尚、ガラス板(8インチ×8インチ)以外の部分はアルミホイルで遮光して露光した。次いで、モールドとステンレスシートを剥離し印刷版を得た。 The laminated body was exposed from the lower side of the mold using a parallel light exposure apparatus manufactured by Oak. Exposure was performed at 2000 mj / cm 2 at 4 mW / cm 2 (350 nm) with mixed light of g-line, h-line, and i-line. The portions other than the glass plate (8 inches × 8 inches) were exposed by shading with aluminum foil. Next, the mold and the stainless sheet were peeled off to obtain a printing plate.

・厚み評価
得られた印刷版について、厚み測定機(Mitutoyo社製デジマチックインジケータ)により樹脂レリーフ厚み(版の厚みからステンレスシートの厚みを差し引いた値)を測定し、25箇所の平均値及び最大値と最小値との差(高低差)を求めた。結果を表2に示す。
-Thickness evaluation For the obtained printing plate, the thickness of the resin relief (a value obtained by subtracting the thickness of the stainless steel sheet from the thickness of the plate) was measured with a thickness measuring machine (a Digimatic indicator manufactured by Mitutoyo). The difference (height difference) between the value and the minimum value was obtained. The results are shown in Table 2.

Figure 0004820883
Figure 0004820883

結果の説明
得られた実施例4の印刷版では、樹脂レリーフ厚み71μmで、高低差も10%以内と良好な厚み分布であった。印刷版の表面には、モールドの凹部に対応する格子形状の凹凸が確認された。光干渉を用いた顕微鏡(Vert Scan2.0/株式会社菱化システム)にて評価したところ、格子状凸部の高さは10.2μm、線幅は19.1μmであった。
Explanation of Results The obtained printing plate of Example 4 had a resin relief thickness of 71 μm, and a good thickness distribution with a height difference of within 10%. On the surface of the printing plate, lattice-shaped irregularities corresponding to the concave portions of the mold were confirmed. When evaluated with a microscope using optical interference (Vert Scan 2.0 / Ryoka System Co., Ltd.), the height of the lattice-shaped convex portions was 10.2 μm and the line width was 19.1 μm.

本発明は、例えばディスプレイ、配線パターン、半導体パターン等の高精細印刷が要求される分野に用いる印刷版の製造に好適に適用される。   The present invention is suitably applied to the production of a printing plate used in a field where high-definition printing is required, such as a display, a wiring pattern, and a semiconductor pattern.

11 下部透明基盤
12 ネガフィルム
13 カバーフィルム
14 感光性樹脂組成物層
15,31,32 ボトムオープンバケット
16 ベースフィルム
17 ラミネートローラー
18 上部透明基盤
19 スペーサー
2 印刷版製造装置
201 硬質板
202,34,44 フォトマスク又はモールド
203 固定機構
204,33,43 感光性樹脂組成物
205,210 樹脂供給機構
206 シート状支持体
207 保持機構
208 ローラー
209 照射機構
41,42 回転式バケット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Lower transparent base 12 Negative film 13 Cover film 14 Photosensitive resin composition layer 15, 31, 32 Bottom open bucket 16 Base film 17 Laminating roller 18 Upper transparent base 19 Spacer 2 Printing plate manufacturing apparatus 201 Rigid board 202, 34, 44 Photomask or mold 203 Fixing mechanism 204, 33, 43 Photosensitive resin composition 205, 210 Resin supply mechanism 206 Sheet-like support 207 Holding mechanism 208 Roller 209 Irradiation mechanism 41, 42 Rotary bucket

Claims (9)

フォトマスク又はモールドの上面に粘度が0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層が積層されてなる2層積層体を形成する積層工程と、
前記粘度を有する前記感光性樹脂組成物層の上に、シート状支持体を150mm/分以上2000mm/分以下の速度でラミネートローラーで押し付けながらラミネートすることによって、フォトマスク又はモールドと感光性樹脂組成物層とシート状支持体とからなる3層積層体を形成するラミネート工程と、
前記3層積層体を、加圧ローラーによって10mm/分以上150mm/分未満の速度で加圧する加圧処理工程と、
フォトマスク又はモールド側から前記3層積層体に紫外線を照射する露光工程と、
フォトマスク又はモールドを露光後の感光性樹脂組成物層から剥離する剥離工程と
を含む、シート状支持体上に凹凸形状が形成された印刷版の製造方法。
A lamination step of forming a two-layer laminate in which a photosensitive resin composition layer made of a photosensitive resin composition having a viscosity of 0.2 Pa · s or more and 50.0 Pa · s or less is laminated on an upper surface of a photomask or a mold; ,
On the photosensitive resin composition layer having the viscosity, a sheet-like support is laminated while being pressed with a laminating roller at a speed of 150 mm / min to 2000 mm / min, whereby a photomask or a mold and the photosensitive resin composition are laminated. A laminating step for forming a three-layer laminate comprising a physical layer and a sheet-like support;
A pressure treatment step of pressing the three-layer laminate at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min by a pressure roller;
An exposure step of irradiating ultraviolet rays from the photomask or the mold side to the 3-layer laminate,
The manufacturing method of the printing plate in which the uneven | corrugated shape was formed on the sheet-like support body including the peeling process which peels a photomask or a mold from the photosensitive resin composition layer after exposure.
前記ラミネート工程の後の感光性樹脂組成物層及びシート状支持体の合計厚みd1と、前記加圧処理工程におけるフォトマスク又はモールドの上面から前記加圧ローラーまでの距離d2との関係が、d1>d2を満たす、請求項1に記載の印刷版の製造方法。   The relationship between the total thickness d1 of the photosensitive resin composition layer and the sheet-like support after the laminating step and the distance d2 from the upper surface of the photomask or mold in the pressing treatment step to the pressing roller is d1. The manufacturing method of the printing plate of Claim 1 which satisfy | fills> d2. 前記加圧処理工程におけるフォトマスク又はモールドの上面から前記加圧ローラーまでの距離d2からシート支持体厚みを減じた値が20μm以上300μm以下である、請求項2に記載の印刷版の製造方法。   The method for producing a printing plate according to claim 2, wherein a value obtained by subtracting the thickness of the sheet support from a distance d2 from the upper surface of the photomask or mold to the pressure roller in the pressure treatment step is 20 μm or more and 300 μm or less. 前記シート状支持体の曲げ弾性率が20Kgf/mm2以上20000Kgf/mm2以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の印刷版の製造方法。 The sheet-like support of the flexural modulus is 20 Kgf / mm 2 or more 20,000 kgf / mm 2 or less, the manufacturing method of a printing plate according to any one of claims 1-3. 前記シート状支持体が、厚み0.10mm〜0.30mmのステンレスシートである、請求項4に記載の印刷版の製造方法。   The method for producing a printing plate according to claim 4, wherein the sheet-like support is a stainless sheet having a thickness of 0.10 mm to 0.30 mm. 前記フォトマスク又はモールドとして、透明硬質板上に遮光部が配置されてなるフォトマスク又は透明硬質板上に凹凸部が形成されてなるモールドを用いる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の印刷版の製造方法。   The said photomask or mold uses the mold in which an uneven | corrugated | grooved part is formed on the photomask by which a light-shielding part is arrange | positioned on a transparent hard board, or a transparent hard board. Printing plate manufacturing method. 前記フォトマスク又はモールドが、感光性樹脂組成物層形成側の表面に離型層を有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の印刷版の製造方法。   The method for producing a printing plate according to any one of claims 1 to 6, wherein the photomask or mold has a release layer on the surface on the photosensitive resin composition layer forming side. 前記紫外線が平行光である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の印刷版の製造方法。   The manufacturing method of the printing plate of any one of Claims 1-7 whose said ultraviolet-ray is parallel light. フォトマスク又はモールドを略水平に固定する固定機構と、
フォトマスク又はモールド上に、少なくとも、粘度が0.2Pa・s以上50.0Pa・s以下の感光性樹脂組成物を供給して感光性樹脂組成物層を形成する樹脂供給機構と、
シート状支持体の端部を保持する保持機構と、
端部が保持されたシート状支持体をラミネートするための、150mm/分以上2000mm/分以下の速度でのラミネートが少なくとも可能なラミネートローラーと、
ラミネート後のシート状支持体の上面を加圧処理するための、10mm/分以上150mm/分未満の速度での加圧処理が少なくとも可能な加圧ローラーと、
フォトマスク又はモールドの下面から紫外線を照射する照射機構と、
を備える印刷版製造装置。
A fixing mechanism for fixing the photomask or mold substantially horizontally;
A resin supply mechanism for forming a photosensitive resin composition layer by supplying a photosensitive resin composition having a viscosity of at least 0.2 Pa · s to 50.0 Pa · s on a photomask or a mold;
A holding mechanism for holding the end of the sheet-like support;
A laminating roller capable of at least laminating at a speed of 150 mm / min to 2000 mm / min for laminating a sheet-like support having an end held;
A pressure roller capable of at least a pressure treatment at a speed of 10 mm / min or more and less than 150 mm / min for pressure-treating the upper surface of the laminated sheet-like support;
An irradiation mechanism for irradiating ultraviolet rays from the lower surface of the photomask or mold;
A printing plate manufacturing apparatus comprising:
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