JP4817313B2 - 巻取式プラズマcvd装置 - Google Patents
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Description
21 反応室
22 真空チャンバ
23 成膜部
24 巻出しローラ
25 巻取りローラ
33 高周波電極
34 対向電極
35 クリーニングマスク(遮蔽手段)
37 ガス導入ライン(ガス導入手段)
40 昇降機構
41 マスク部材
44,45 搬送ローラ(搬送手段)
50 排気通路
Claims (8)
- 成膜部と、前記成膜部にフィルムを供給する巻出しローラと、前記成膜部で成膜したフィルムを巻き取る巻取りローラとを備え、前記成膜部に原料ガスを導入して前記フィルムをプラズマCVDにより成膜する成膜モードと、前記成膜部にクリーニングガスを導入して前記成膜部のプラズマクリーニングを行うクリーニングモードとを有する巻取式プラズマCVD装置であって、
前記成膜部は、前記フィルムの成膜面側に配置された高周波電極と、前記フィルムの成膜面と前記高周波電極との間に前記原料ガス又は前記クリーニングガスを導入するガス導入手段と、前記クリーニングモードにおいて前記フィルムの成膜面を遮蔽する遮蔽手段とを有し、
前記遮蔽手段は、前記フィルムの成膜面と前記高周波電極との間に配置された帯状体と、前記成膜部において前記帯状体を搬送する搬送手段とを有し、前記帯状体には、前記帯状体の長手方向に沿って、前記フィルムの成膜面を遮蔽する遮蔽部と、前記成膜面を開口させる開口部とが形成されている
ことを特徴とする巻取式プラズマCVD装置。 - 前記搬送手段は、前記帯状体を前記フィルムの走行方向と交差する方向に搬送する
ことを特徴とする請求項1に記載の巻取式プラズマCVD装置。 - 前記成膜部には、前記帯状体と前記フィルムとを相互に密着させて位置決めする位置決め手段が設けられている
ことを特徴とする請求項1に記載の巻取式プラズマCVD装置。 - 前記位置決め手段は、前記帯状体に対して前記フィルムを昇降移動させる昇降機構からなる
ことを特徴とする請求項3に記載の巻取式プラズマCVD装置。 - 前記成膜部には、前記高周波電極と前記帯状体との間に前記フィルムの成膜領域を画定するマスク部材が設置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の巻取式プラズマCVD装置。 - 前記マスク部材は、前記フィルムに対して昇降移動自在に設けられている
ことを特徴とする請求項5に記載の巻取式プラズマCVD装置。 - 前記フィルムは前記成膜部において停止状態で成膜され、
前記フィルムの走行方向に関して前記成膜部の上流側及び下流側には、前記フィルムを挟持して前記成膜部の内部空間を隔絶する仕切弁がそれぞれ設置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の巻取式プラズマCVD装置。 - 前記遮蔽手段は、前記フィルムの成膜面に部分的に形成された金属ベタ膜層である
ことを特徴とする請求項1に記載の巻取式プラズマCVD装置。
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