JP4802548B2 - IC chip assembly manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、ＩＣチップ実装体の製造装置に関するものである。   The present invention relates to an IC chip package manufacturing apparatus.

最近、ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification：電波方式認識）カードと称されるＩＣチップ実装体が登場している。これは、内部にメモリと小型のアンテナとを有しており、リーダアンテナと非接触で情報の伝達を行うことによって、メモリに必要な情報を記録し、必要に応じてリーダライタなどの通信機器で情報の記録、書き換え、読み出しを短時間で行えるものである。   Recently, an IC chip mounting body called an RFID (Radio Frequency Identification) card has appeared. This has a memory and a small antenna inside, and by transmitting information without contact with the reader antenna, the necessary information is recorded in the memory, and a communication device such as a reader / writer as necessary. Thus, information can be recorded, rewritten and read out in a short time.

このＲＦＩＤカードのようなＩＣチップ実装体の製造装置として、例えば、一面に粘着性を有するベースシートをコンベアによって搬送し、この粘着面にアンテナ回路及びＩＣチップが形成された回路シートを貼り合わせ、さらに一面に粘着性を有するカバーフィルムを貼り合わせることによってＩＣチップ実装体を製造するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、一面に接着剤が塗布されたベースシートをコンベアによって搬送し、この粘着面に上述と同様の回路シートを貼り合わせ、さらに接着剤を介してカバーフィルムを貼り合わせることによってＩＣチップ実装体を製造するものや、一面にアンテナ回路が形成されたフィルム基板をコンベアによって搬送し、このアンテナ回路と接続するようにＩＣチップを搭載することによってＩＣチップ実装体を製造するものなども提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
特開２００３−６５９６号公報（図１） 特開２００３−５８８４８号公報（図１） 特開２００３−１６８０９９号公報（図１） As an apparatus for manufacturing an IC chip mounting body such as this RFID card, for example, a base sheet having adhesiveness on one surface is conveyed by a conveyor, and a circuit sheet on which an antenna circuit and an IC chip are formed is bonded to the adhesive surface. Furthermore, what manufactures an IC chip mounting body by bonding the cover film which has adhesiveness on the one surface is proposed (for example, refer patent document 1). Also, the base sheet coated with an adhesive on one side is conveyed by a conveyor, a circuit sheet similar to that described above is bonded to this adhesive surface, and a cover film is further bonded to the IC chip mounting body through an adhesive. Proposals have also been made of manufacturing an IC chip mounting body by transporting a film substrate having an antenna circuit formed on one side by a conveyor and mounting an IC chip so as to be connected to the antenna circuit. (For example, refer to Patent Documents 2 and 3).
JP 2003-6596 A (FIG. 1) Japanese Patent Laying-Open No. 2003-58848 (FIG. 1) Japanese Patent Laying-Open No. 2003-168099 (FIG. 1)

しかしながら、上記従来のＩＣチップ実装体の製造装置では、以下の問題が残されている。すなわち、従来のＩＣチップ実装体の製造装置では、フィルム基板上にＩＣチップを搭載する際に、ベースシートまたはフィルム基板を一時的に止めてから回路シートまたはＩＣチップを貼り合わせている。したがって、ＩＣチップ実装体の製造速度を上げるのが困難である。   However, the following problems remain in the conventional apparatus for manufacturing an IC chip mounting body. That is, in the conventional IC chip mounting apparatus, when mounting an IC chip on a film substrate, the base sheet or the film substrate is temporarily stopped and then the circuit sheet or the IC chip is bonded. Therefore, it is difficult to increase the manufacturing speed of the IC chip mounting body.

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、ＩＣチップ実装体を高速で製造することができるＩＣチップ実装体の製造方法及びＩＣチップ実装体の製造装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide an IC chip mounting body manufacturing method and an IC chip mounting body manufacturing apparatus capable of manufacturing an IC chip mounting body at high speed. .

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明のＩＣチップ実装体の製造装置は、一面に一定の間隔でアンテナ回路が形成されたフィルム基板を等速で搬送する搬送部と、ＩＣチップを、前記フィルム基板に沿って該フィルム基板と等速で移動させつつ、裏面に設けたバンプが前記アンテナ回路に接続されるように前記フィルム基板上に前記一定の間隔で搭載するＩＣチップ搭載部と、前記ＩＣチップの静電気を除去するために、前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けるイオナイザーと、を備え、前記ＩＣチップ搭載部が、前記ＩＣチップが前記フィルム基板と等速で移動するように吸着孔によって前記ＩＣチップの表面を吸着した状態で支持しつつ回転する同期ローラを有する同期ローラ部と、前記ＩＣチップが搬送される搬送路を有し且つ当該搬送路を搬送された前記ＩＣチップを前記同期ローラに供給するＩＣチップ供給部と、吸着部によって前記ＩＣチップの裏面を吸着した状態で上面視において前記ＩＣチップ供給部の前記搬送路の先端に重なる位置と前記同期ローラの前記吸着孔に重なる位置との間で移動可能なノズルユニットと、を備えたものであり、さらに、前記搬送路を搬送される前記ＩＣチップの撮像画像に基づいて前記ＩＣチップの表裏を判定し、裏面が上向きとなる裏であると判定したＩＣチップのみを搬送路の先端に向かってさらに搬送する表裏判定部を備え、前記イオナイザーが、少なくとも前記搬送路を搬送される前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けるものであることを特徴とする。 The present invention employs the following configuration in order to solve the above problems. That is, the apparatus for producing IC chip mounting body of the present invention, the film along a conveying section that conveys at a constant speed film substrate on which the antenna circuit is formed at regular intervals on one side, an IC chip, the film substrate An IC chip mounting portion that is mounted on the film substrate at the predetermined interval so that bumps provided on the back surface are connected to the antenna circuit, and static electricity of the IC chip is removed while moving at a constant speed with the substrate. And an ionizer that blows ionized air onto the IC chip, and the IC chip mounting portion adsorbs the surface of the IC chip through an adsorption hole so that the IC chip moves at a constant speed with the film substrate. A synchronous roller portion having a synchronous roller that rotates while being supported, and a conveyance path through which the IC chip is conveyed, and is conveyed along the conveyance path. An IC chip supply unit for supplying the IC chip to the synchronization roller; and a position overlapping the tip of the conveyance path of the IC chip supply unit in a top view in a state where the back surface of the IC chip is adsorbed by the adsorption unit and the synchronization roller A nozzle unit that is movable between a position overlapping with the suction hole and determining the front and back of the IC chip based on a captured image of the IC chip transported through the transport path And a front / back determination unit that further conveys only the IC chip that has been determined to be the reverse side facing upward, toward the tip of the conveyance path, and the ionizer ionizes at least the IC chip that is conveyed along the conveyance path It is characterized by blowing air .

この発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置では、フィルム基板上に形成されたアンテナ回路の所定位置にＩＣチップを搭載するとき、ＩＣチップ搭載部がフィルム基板の搬送速度と同期した速度でＩＣチップを移動させつつ搭載する。したがって、フィルム基板を一時的に停止させることなくＩＣチップを搭載することができるので、ＩＣチップ実装体の製造効率が向上する。しかも、イオナイザーがＩＣチップにイオン化空気を吹き付けて静電気を除去するので、ＩＣチップがＩＣチップ搭載部内を移動するときに円滑に移動する。したがって、ＩＣチップ実装体の製造効率がより一層向上する。さらに、ＩＣチップの静電気による故障を防止することができる。
また、単位時間当たりに製造することができるＩＣチップ実装体の数が増加し、ＩＣチップ実装体のコストダウンを図ることができる。
さらに、フィルム基板を等速で搬送することによって、フィルム基板に悪影響を与えない。 In the IC chip mounting body manufacturing apparatus according to the present invention, when the IC chip is mounted at a predetermined position of the antenna circuit formed on the film substrate, the IC chip mounting portion is synchronized with the film substrate transport speed. It is mounted while moving. Therefore, since the IC chip can be mounted without temporarily stopping the film substrate, the manufacturing efficiency of the IC chip mounting body is improved. In addition, since the ionizer blows ionized air onto the IC chip to remove static electricity, it moves smoothly when the IC chip moves within the IC chip mounting portion. Therefore, the manufacturing efficiency of the IC chip mounting body is further improved. Furthermore, failure due to static electricity of the IC chip can be prevented.
In addition, the number of IC chip mounting bodies that can be manufactured per unit time increases, and the cost of the IC chip mounting body can be reduced.
Furthermore, the film substrate is not adversely affected by conveying the film substrate at a constant speed.

本発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置は、前記ＩＣチップ搭載部が、前記ＩＣチップが前記基板フィルムと等速で移動するように前記ＩＣチップを支持しつつ回転する同期ローラを有する同期ローラ部と、前記ＩＣチップが摺動するようにして搬送される搬送路を有し、搬送路を搬送された前記ＩＣチップを前記同期ローラに供給するＩＣチップ供給部とを備え、前記イオナイザーが少なくとも上記搬送路を搬送される前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けることが望ましい。
この発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置では、ＩＣチップの静電気がイオナイザーによって除去されるので、ＩＣチップは搬送路をスムースに移動することができる。 In the manufacturing apparatus of the IC chip mounting body according to the present invention, the IC chip mounting portion includes a synchronizing roller that rotates while supporting the IC chip so that the IC chip moves at a constant speed with the substrate film. And an IC chip supply unit that supplies the IC chip conveyed through the conveyance path to the synchronization roller, and the ionizer includes at least the ionizer. It is desirable to blow ionized air onto the IC chip that is transported along the transport path.
In the IC chip mounting body manufacturing apparatus according to the present invention, since the static electricity of the IC chip is removed by the ionizer, the IC chip can move smoothly along the transport path.

また、本発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置は、前記イオナイザーが前記同期ローラに支持された前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けることが望ましい。
この発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置では、同期ローラに支持されたＩＣチップの静電気が除去されるので、ＩＣチップの静電気による故障をより一層防止することができる。また、静電気による吸着作用がなくなるので、ＩＣチップが同期ローラから速やかにリリースされる。 In the IC chip package manufacturing apparatus according to the present invention, it is preferable that the ionizer blows ionized air onto the IC chip supported by the synchronous roller.
In the IC chip mounting body manufacturing apparatus according to the present invention, the static electricity of the IC chip supported by the synchronous roller is removed, so that the failure due to the static electricity of the IC chip can be further prevented. In addition, since the adsorption action due to static electricity is eliminated, the IC chip is quickly released from the synchronous roller.

また、本発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置は、前記ＩＣチップ供給部が、それぞれ前記搬送路を有し、振動することによって前記ＩＣチップを搬送するボウル、リニアフィーダ及びリターンフィーダを備え、前記リニアフィーダが前記ボウルと前記同期ローラとの間に設けられ、前記リターンフィーダが前記リニアフィーダと前記ボウルとの間に設けられ、前記ボウル、前記リニアフィーダ、前記リターンフィーダ及び前記同期ローラのうちの少なくとも一つの静電気を除去するために、当該少なくとも一つにイオン化空気を吹き付ける第２イオナイザーをさらに備えていることが望ましい。
この発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置では、第２イオナイザーがボウル、リニアフィーダ及びリターンフィーダの静電気を除去するので、ＩＣチップは、ボウル、リニアフィーダ及びリターンフィーダの各搬送路上をスムースに移動する。 Further, in the IC chip mounting body manufacturing apparatus according to the present invention, each of the IC chip supply units has the transport path, and includes a bowl, a linear feeder, and a return feeder that transport the IC chip by vibrating, The linear feeder is provided between the bowl and the synchronization roller, the return feeder is provided between the linear feeder and the bowl, and the bowl, the linear feeder, the return feeder, and the synchronization roller In order to remove at least one static electricity, it is desirable to further include a second ionizer that blows ionized air onto the at least one.
In the manufacturing apparatus of the IC chip mounting body according to the present invention, the second ionizer removes static electricity from the bowl, the linear feeder, and the return feeder, so that the IC chip smoothly moves on the conveying paths of the bowl, the linear feeder, and the return feeder. To do.

また、本発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置は、前記搬送路が、前記ＩＣチップに対して点又は線接触するような形状に形成されていることが望ましい。
この発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置では、ＩＣチップに発生する静電気が少なくなる。したがって、ＩＣチップの移動がより一層スムースになるとともに、ＩＣチップの故障が少なくなる。 In the IC chip package manufacturing apparatus according to the present invention, it is preferable that the transport path is formed in a shape that makes point or line contact with the IC chip.
In the IC chip package manufacturing apparatus according to the present invention, static electricity generated in the IC chip is reduced. Therefore, the movement of the IC chip becomes smoother and the failure of the IC chip is reduced.

本発明のＩＣチップ実装体の製造装置によれば、アンテナ回路が形成されたフィルム基板上にＩＣチップを搭載するときに、フィルム基板を一時的に停止することなくＩＣチップを搭載するので、ＩＣチップ実装体の製造効率が向上する。したがって、ＩＣチップ実装体のコストダウンが図れる。しかも、ＩＣチップの静電気がイオナイザーによって除去されるので、ＩＣチップ搭載部内におけるＩＣチップの移動がスムースになり、ＩＣチップ実装体の製造効率がより一層向上する。また、ＩＣチップの静電気による故障を防止することができる。   According to the IC chip package manufacturing apparatus of the present invention, when an IC chip is mounted on a film substrate on which an antenna circuit is formed, the IC chip is mounted without temporarily stopping the film substrate. The manufacturing efficiency of the chip mounting body is improved. Therefore, the cost of the IC chip mounting body can be reduced. In addition, since the static electricity of the IC chip is removed by the ionizer, the movement of the IC chip in the IC chip mounting portion becomes smooth, and the manufacturing efficiency of the IC chip mounting body is further improved. In addition, failure due to static electricity of the IC chip can be prevented.

以下、本発明にかかるＩＣチップ実装体の製造装置の第１の実施形態を、図１から図１２を参照しながら説明する。
本実施形態によるＩＣチップ実装体の製造装置１は、ＩＣチップ実装体として例えばＩＤタグ２を製造する製造装置である。 Hereinafter, a first embodiment of an IC chip package manufacturing apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
The IC chip mounting body manufacturing apparatus 1 according to the present embodiment is a manufacturing apparatus that manufactures, for example, an ID tag 2 as an IC chip mounting body.

このＩＤタグ２は、図１に示すように、所定位置にアンテナ回路３ａが形成されたフィルム基板３と、このアンテナ回路３ａ上の所定位置に搭載されるＩＣチップ４と、カバーフィルム５とによって構成されている。
アンテナ回路３ａは、フィルム基板３上に予め印刷技術やエッチングによって形成されており、図２に示すように、フィルム基板３上に等間隔で連続的に形成されている。
ＩＣチップ４は、裏面４ａにアンテナ回路３ａに接続するための例えば銅または金で形成されたバンプ４ｂが設けられており、例えば異方導電性ペーストで形成された接着剤６を介してアンテナ回路３ａと接続される。
カバーフィルム５は、一面が接着性を有しており、フィルム基板３及びＩＣチップ４を覆うように配されている。 As shown in FIG. 1, the ID tag 2 includes a film substrate 3 having an antenna circuit 3a formed at a predetermined position, an IC chip 4 mounted at a predetermined position on the antenna circuit 3a, and a cover film 5. It is configured.
The antenna circuit 3a is formed in advance on the film substrate 3 by a printing technique or etching, and is continuously formed on the film substrate 3 at equal intervals as shown in FIG.
The IC chip 4 is provided with bumps 4b made of, for example, copper or gold for connecting to the antenna circuit 3a on the back surface 4a. For example, the antenna circuit is connected via an adhesive 6 made of anisotropic conductive paste. 3a is connected.
One surface of the cover film 5 has adhesiveness, and is arranged so as to cover the film substrate 3 and the IC chip 4.

このＩＣチップ実装体の製造装置１は、図３に示すように、フィルム基板３を収容するフィルム基板収容部１１と、フィルム基板３にＩＣチップ４を搭載する位置に接着剤６を塗布する接着剤印刷部１２と、フィルム基板３の所定位置にＩＣチップ４を搭載するＩＣチップ搭載部１３と、接着剤６を乾燥させるヒータ１４と、ＩＣチップ４が搭載されたフィルム基板３の表面にカバーフィルム５を貼り合わせるカバーフィルム貼り合わせ部１５と、カバーフィルム５が貼り合わされたフィルム基板３を巻き取る製品巻取り部１６と、これらを制御する制御部１７とで構成されている。   As shown in FIG. 3, this IC chip mounting body manufacturing apparatus 1 has a film substrate housing portion 11 that houses a film substrate 3 and an adhesive that applies an adhesive 6 to a position where the IC chip 4 is mounted on the film substrate 3. The adhesive printing unit 12, the IC chip mounting unit 13 for mounting the IC chip 4 at a predetermined position of the film substrate 3, the heater 14 for drying the adhesive 6, and the surface of the film substrate 3 on which the IC chip 4 is mounted is covered. A cover film laminating unit 15 for laminating the film 5, a product winding unit 16 for winding the film substrate 3 on which the cover film 5 is bonded, and a control unit 17 for controlling them.

フィルム基板収容部１１は、図２に示すフィルム基板３のロール２１を収容すると共にフィルム基板３が一定速度かつ一定張力になるように制御部１７により制御されている。
また、このフィルム基板収容部１１から送り出されたフィルム基板３が、接着剤印刷部１２に向かって連続搬送されるように構成されている。 The film substrate container 11 is controlled by the controller 17 so that the roll 21 of the film substrate 3 shown in FIG. 2 is accommodated and the film substrate 3 has a constant speed and a constant tension.
In addition, the film substrate 3 sent out from the film substrate housing portion 11 is configured to be continuously conveyed toward the adhesive printing portion 12.

接着剤印刷部１２は、ＣＣＤカメラ２２と、接着剤６をフィルム基板３の所定位置に塗布する印刷部２３とを備えている。接着剤６を塗布する位置は、ＣＣＤカメラ２２によって確認され、制御部１７によりコントロールされている。また、この接着剤印刷部１２から送り出されたフィルム基板３が、ＩＣチップ搭載部１３に向かって水平方向に連続搬送されるように構成されている。   The adhesive printing unit 12 includes a CCD camera 22 and a printing unit 23 that applies the adhesive 6 to a predetermined position of the film substrate 3. The position where the adhesive 6 is applied is confirmed by the CCD camera 22 and controlled by the control unit 17. In addition, the film substrate 3 sent out from the adhesive printing unit 12 is configured to be continuously conveyed in the horizontal direction toward the IC chip mounting unit 13.

ＩＣチップ搭載部１３は、ＩＣチップ４を搬送されたフィルム基板３に搭載する４組の搭載装置２５を備えている。この搭載装置２５は、図４から図９に示すようなＩＣチップ供給部２６と、ロータリーヘッド部２７と、同期ローラ部２８とによって構成されている。   The IC chip mounting unit 13 includes four sets of mounting devices 25 for mounting the IC chip 4 on the film substrate 3 that has been transported. The mounting device 25 includes an IC chip supply unit 26, a rotary head unit 27, and a synchronization roller unit 28 as shown in FIGS.

ＩＣチップ供給部２６は、図４に示すように、ＩＣチップ４を収容するボウル３１と、ＩＣチップ４を一定速度で一定方向に搬送するリニアフィーダ３２と、ＩＣチップ４をリニアフィーダ３２からボウル３１に搬送するリターンフィーダ３３と、ボウル３１、リニアフィーダ３２及びリターンフィーダ３３に振動を与える振動ドライブ（図示略）と、ＩＣチップ４を撮像する２台のＣＣＤカメラであるＣＣＤカメラ３４、３５とによって構成されている。振動を与える方法としては、例えば電磁振動が用いられる。   As shown in FIG. 4, the IC chip supply unit 26 includes a bowl 31 that accommodates the IC chip 4, a linear feeder 32 that conveys the IC chip 4 in a certain direction at a constant speed, and the IC chip 4 from the linear feeder 32 to the bowl. A return feeder 33 transported to 31, a vibration drive (not shown) that vibrates the bowl 31, the linear feeder 32, and the return feeder 33, and CCD cameras 34 and 35 that are two CCD cameras that image the IC chip 4. It is constituted by. As a method for applying vibration, for example, electromagnetic vibration is used.

ボウル３１は、その内周壁にスパイラル状の搬送路３６が形成されており、収容されたＩＣチップ４が搬送路３６上を振動により一定速度でリニアフィーダ３２の搬送路３７まで搬送するように構成されている。   The bowl 31 is formed with a spiral conveyance path 36 on the inner peripheral wall thereof, and the IC chip 4 accommodated is conveyed to the conveyance path 37 of the linear feeder 32 at a constant speed on the conveyance path 36 by vibration. Has been.

リニアフィーダ３２は、ボウル３１によって搬送されたＩＣチップ４を同様に振動によって搬送路３７の先端まで搬送するように構成されている。
２台のＣＣＤカメラであるＣＣＤカメラ３４、３５は、リニアフィーダ３２の搬送路３７のほぼ中央と先端とにそれぞれ配置されており、撮像した画像信号をそれぞれ制御部１７に伝送するように構成されている。 The linear feeder 32 is configured to similarly transport the IC chip 4 transported by the bowl 31 to the front end of the transport path 37 by vibration.
The CCD cameras 34 and 35, which are two CCD cameras, are respectively disposed at substantially the center and the front end of the conveyance path 37 of the linear feeder 32, and are configured to transmit captured image signals to the control unit 17, respectively. ing.

エアブローは、ＣＣＤカメラ３４とＣＣＤカメラ３５との間の搬送路３７上にエアを吹き付けるように配置されており、制御部１７がＣＣＤカメラ３４で撮像したＩＣチップ４が表（バンプ４ｂが下向き）であると判別した場合、このＩＣチップ４に空気を吹き付けて当該ＩＣチップ４をリニアフィーダ３２からリターンフィーダ３３に排出するように構成されている。   The air blow is arranged so as to blow air onto the conveyance path 37 between the CCD camera 34 and the CCD camera 35, and the IC chip 4 imaged by the control unit 17 with the CCD camera 34 is displayed (bump 4b faces downward). If it is determined that the IC chip 4 is blown, air is blown onto the IC chip 4 to discharge the IC chip 4 from the linear feeder 32 to the return feeder 33.

リターンフィーダ３３は、エアブローによって排出されたＩＣチップ４を振動によって搬送路３８の先端まで搬送し、搬送路３８の先端からボウル３１に排出するように構成されている。   The return feeder 33 is configured to convey the IC chip 4 discharged by the air blow to the front end of the transport path 38 by vibration and discharge the IC chip 4 from the front end of the transport path 38 to the bowl 31.

ロータリーヘッド部２７は、図６に示すように、円盤プレート４２を回転させる駆動モータ４１と、駆動モータ４１の下面に駆動モータ４１の中心軸を回転中心として回転可能に配置される円盤プレート４２と、円盤プレート４２の周方向に等間隔で配置された４つのノズルユニット４３と、駆動モータ４１の側面に対向して設けられた１対のＺ軸ユニット４４とを備えている。   As shown in FIG. 6, the rotary head unit 27 includes a drive motor 41 that rotates the disk plate 42, and a disk plate 42 that is disposed on the lower surface of the drive motor 41 so as to be rotatable about the central axis of the drive motor 41. The four nozzle units 43 arranged at equal intervals in the circumferential direction of the disk plate 42 and a pair of Z-axis units 44 provided to face the side surfaces of the drive motor 41 are provided.

円盤プレート４２は、例えばアルミニウムで形成されており、駆動モータ４１によって、駆動モータ４１の中心軸を回転中心として回転可能に配置されている。また、円盤プレート４２には、周方向に等間隔で４つの貫通孔４２ａが形成されており、ノズルユニット４３が配置されている。   The disc plate 42 is made of, for example, aluminum, and is disposed so as to be rotatable about the central axis of the drive motor 41 by the drive motor 41. The disk plate 42 is formed with four through holes 42a at equal intervals in the circumferential direction, and a nozzle unit 43 is disposed.

ノズルユニット４３は、ほぼ円筒形状を有するノズル本体４５と、円盤プレート４２に対して垂直な方向で可動となるように設けられたシリンダ部４６とを備えている。
シリンダ部４６は、先端にはＩＣチップ４を吸着する吸着部４７が設けられており、基端には後述するＺ軸ユニット４４の係合部５３に係合する円盤部４８が設けられている。
このノズルユニット４３は、吸着部４７が、円盤プレート４２を回転させた際に、上面視においてリニアフィーダ３２の搬送路３７の先端に重なると共に、後述する同期ローラ６１の吸着孔６１ａに重なるような位置に配されている。 The nozzle unit 43 includes a nozzle body 45 having a substantially cylindrical shape, and a cylinder portion 46 provided so as to be movable in a direction perpendicular to the disk plate 42.
The cylinder portion 46 is provided with an adsorption portion 47 that adsorbs the IC chip 4 at the tip, and a disc portion 48 that is engaged with an engagement portion 53 of a Z-axis unit 44 described later at the base end. .
The nozzle unit 43 is configured such that when the suction portion 47 rotates the disk plate 42, the nozzle unit 43 overlaps with the leading end of the conveyance path 37 of the linear feeder 32 in a top view and also overlaps with a suction hole 61 a of the synchronous roller 61 described later. Arranged in position.

ノズル本体４５の内部には、ノズルユニット４３の中心軸を回転軸としてシリンダ部４６を回転させるθ軸回転ギア（図示略）が設けられている。このθ軸回転ギアは、制御部１７がＩＣチップ４をＣＣＤカメラ３５によって撮像されたＩＣチップ４の撮像画像を基に所定の方向に回転させるように構成されている。   Inside the nozzle body 45, there is provided a θ-axis rotation gear (not shown) that rotates the cylinder portion 46 about the central axis of the nozzle unit 43 as a rotation axis. The θ-axis rotating gear is configured such that the control unit 17 rotates the IC chip 4 in a predetermined direction based on an image captured by the IC chip 4 captured by the CCD camera 35.

なお、駆動モータ４１は、制御部１７により円盤プレート４２が９０°ずつ駆動モータ４１の中心軸を回転中心として間欠的に回転させる、いわゆるインデックス動作を行うような構成となっている。このインデックス動作によって、ノズルユニット４３は、図７に示すように、上面視においてリニアフィーダ３２の搬送路３７の先端と重なる位置Ｓａと、位置Ｓｂと、後述する同期ローラ６１の吸着孔６１ａと重なる位置Ｓｃと、位置Ｓｄとで一時的に停止するように構成されている。
また、シリンダ部４６は、円盤プレート４２を回転させた際に、位置Ｓａで搬送路３６上にあるＩＣチップ４の真空吸着を行い、位置ＳｃでＩＣチップ４をリリースする。 The drive motor 41 is configured to perform a so-called index operation in which the disk plate 42 is intermittently rotated about the central axis of the drive motor 41 by 90 degrees by the control unit 17. By this indexing operation, as shown in FIG. 7, the nozzle unit 43 overlaps a position Sa that overlaps with the leading end of the conveyance path 37 of the linear feeder 32, a position Sb, and a suction hole 61 a of the synchronization roller 61 that will be described later. It is configured to temporarily stop at the position Sc and the position Sd.
Further, when rotating the disk plate 42, the cylinder portion 46 performs vacuum suction of the IC chip 4 on the transport path 36 at the position Sa, and releases the IC chip 4 at the position Sc.

Ｚ軸ユニット４４は、駆動モータ４１の側面に対向するように２つ配置されており、Ｚ軸ユニット本体５１と、円盤プレート４２に対して垂直な方向であるＺ軸方向に可動であるスライド部５２とを備えている。
スライド部５２は、Ｚ軸ユニット本体５１内に配置されたＡＣサーボモータ（図示略）によりＺ軸方向に可動となっている。また、スライド部５２の側面には、円盤プレート４２の周方向外方に向かってノズルユニット４３の円盤部４８を係合する係合部５３が突出して設けられている。この係合部５３で円盤部４８を係合し、ＡＣサーボモータによってスライド部５２をＺ軸方向にスライドさせることにより、シリンダ部４６がＺ軸方向に可動となるように構成されている。 Two Z-axis units 44 are arranged so as to face the side surface of the drive motor 41, and a Z-axis unit main body 51 and a slide portion that is movable in the Z-axis direction that is perpendicular to the disk plate 42. 52.
The slide part 52 is movable in the Z-axis direction by an AC servo motor (not shown) disposed in the Z-axis unit main body 51. Further, an engaging portion 53 that engages the disc portion 48 of the nozzle unit 43 is provided on the side surface of the slide portion 52 so as to protrude outward in the circumferential direction of the disc plate 42. The disc portion 48 is engaged by the engaging portion 53, and the slide portion 52 is slid in the Z-axis direction by an AC servo motor, so that the cylinder portion 46 is movable in the Z-axis direction.

同期ローラ部２８は、図８に示すように、同期ローラ６１と、同期ローラ６１を動作させる駆動モータ６２と、同期ローラ６１によるＩＣチップ４の搭載位置を補正するアライメントステージ６３と、同期ローラ６１上のＩＣチップ４を撮像するＣＣＤカメラ６４とを備えている。 As shown in FIG. 8, the synchronization roller unit 28 includes a synchronization roller 61, a drive motor 62 that operates the synchronization roller 61, an alignment stage 63 that corrects the mounting position of the IC chip 4 by the synchronization roller 61, and the synchronization roller 61. And a CCD camera 64 for imaging the upper IC chip 4.

同期ローラ６１には、その周方向に吸着孔６１ａが等間隔で５箇所形成されており、ロータリーヘッド部２７によって搬送されたＩＣチップ４を吸着、保持するような構成となっている。
駆動モータ６２は、制御部１７により同期ローラ６１が７２°ずつ同期ローラ６１の中心軸を回転中心としてインデックス動作を行うような構成となっている。このインデックス動作によって、同期ローラ６１の吸着孔６１ａは、図９に示すように、側面視において位置Ｓｃと重なる位置Ｓｅと、位置Ｓｆ〜Ｓｉとで一時的に停止する様に構成されている。 In the synchronous roller 61, suction holes 61a are formed at five positions in the circumferential direction at equal intervals, and the IC chip 4 conveyed by the rotary head unit 27 is sucked and held.
The drive motor 62 is configured such that the control unit 17 causes the synchronization roller 61 to perform an indexing operation about the central axis of the synchronization roller 61 by 72 ° in each rotation. By this indexing operation, the suction hole 61a of the synchronous roller 61 is configured to temporarily stop at a position Se that overlaps the position Sc and the positions Sf to Si in a side view, as shown in FIG.

アライメントステージ６３は、Ｘ軸モータ６５及びＹ軸モータ６６を有している。このアライメントステージ６３は、ＣＣＤカメラ２２によるフィルム基板３上のアンテナ回路３ａの位置情報とＣＣＤカメラ６４によるＩＣチップ４の位置情報とを基に制御部１７が算出した補正量によってＸ軸モータ６５及びＹ軸モータ６６が適宜駆動して補正する。   The alignment stage 63 has an X-axis motor 65 and a Y-axis motor 66. The alignment stage 63 includes the X-axis motor 65 and the X-axis motor 65 according to the correction amount calculated by the control unit 17 based on the position information of the antenna circuit 3a on the film substrate 3 by the CCD camera 22 and the position information of the IC chip 4 by the CCD camera 64. The Y-axis motor 66 is appropriately driven and corrected.

なお、４組の搭載装置２５のうち、フィルム基板収容部１１から最も離間した位置に配されている１組は、他の３組のＩＣチップ搭載部１３によってＩＣチップ４が搭載されなかったアンテナ回路３ａ上にＩＣチップ４を搭載するためのバックアップ専用である。すなわち、ＩＣチップ４が裏面であったためにリターンフィーダ３３に排出されたり、不良であったために同期ローラ６１の吸着孔６１ａに設置されずに、アンテナ回路３ａ上に搭載できなかったときに、バックアップ用の１組からＩＣチップ４を供給してアンテナ回路３ａ上に搭載するように構成されている。   Of the four sets of mounting devices 25, one set arranged at the position farthest from the film substrate housing portion 11 is an antenna in which the IC chip 4 is not mounted by the other three sets of IC chip mounting portions 13. This is dedicated to backup for mounting the IC chip 4 on the circuit 3a. That is, when the IC chip 4 is discharged from the return feeder 33 because it is the back surface, or is not installed in the suction hole 61a of the synchronous roller 61 because it is defective, it cannot be mounted on the antenna circuit 3a. The IC chip 4 is supplied from one set and mounted on the antenna circuit 3a.

図４に示すように、このＩＣチップ実装体の製造装置１では、第１イオナイザー（イオナイザー）２０１と第２イオナイザー２０２とが用いられている。
第１イオナイザー２０１は、ＩＣチップ４にイオン化空気を吹き付けることによってＩＣチップ４から静電気を除去するためのものであり、ボウル３１に収容されたＩＣチップ４、特に搬送路３６上を搬送中のＩＣチップ４、搬送路３６から搬送路３７へ移動するＩＣチップ４、搬送路３７の先端まで搬送されたＩＣチップ４、位置Ｓｅにおいて同期ローラ６１に吸着されたＩＣチップ４にそれぞれイオン化空気を吹き付けるために、ボウル３１の上方、搬送路３６，３７の連結部近傍、搬送路３７の先端部近傍、及び同期ローラ６１の位置Ｓｅ近傍にそれぞれ配置されている。 As shown in FIG. 4, in the IC chip mounting apparatus 1, a first ionizer (ionizer) 201 and a second ionizer 202 are used.
The first ionizer 201 is for removing static electricity from the IC chip 4 by blowing ionized air onto the IC chip 4, and the IC chip 4 accommodated in the bowl 31, particularly the IC being transported on the transport path 36. To blow ionized air onto the chip 4, the IC chip 4 that moves from the conveyance path 36 to the conveyance path 37, the IC chip 4 that is conveyed to the tip of the conveyance path 37, and the IC chip 4 that is adsorbed by the synchronization roller 61 at the position Se. In addition, they are arranged above the bowl 31, in the vicinity of the connecting portion of the conveying paths 36 and 37, in the vicinity of the leading end of the conveying path 37, and in the vicinity of the position Se of the synchronization roller 61.

第２イオナイザー２０２は、同期ローラ６１にイオン化空気を吹き付けて同期ローラ６１から静電気を除去するためのものであり、同期ローラ６１の外周面近傍に配置されている。第２イオナイザー２０２は、ボウル３１、リニアフィーダ３２及びリターンフィーダ３３にそれぞれイオン化空気を吹き付けることができるよう、それらの近傍にそれぞれ配置してもよい。   The second ionizer 202 is for removing static electricity from the synchronization roller 61 by blowing ionized air onto the synchronization roller 61, and is disposed in the vicinity of the outer peripheral surface of the synchronization roller 61. The second ionizers 202 may be arranged in the vicinity of the bowl 31, the linear feeder 32, and the return feeder 33 so that ionized air can be blown to them.

ＩＣチップ４は、搬送路３６〜３８の搬送中にできる限り静電気を帯電しないようにするために、搬送路３６〜３８に対して面接触することなく、点又は線接触させるのが望ましい。これは、例えば搬送路３６〜３８を図５に示すような断面形状に形成することによって達成することができる。図５（ａ）は、搬送路３６〜３８を断面三角形状に形成したものである。図５（ｂ）は、搬送路３６〜３８を断面略円弧状に形成したものである。図５（ｃ）は、搬送路３６〜３８のＩＣチップ４との接触面にＩＣチップ４の搬送方向に沿って延びる突条３９を形成したものである。搬送路３６〜３８の断面形状を図５（ａ）〜（ｃ）のように形成すると、ＩＣチップ４が振動搬送によって搬送路３６〜３８上を搬送されるとき、ＩＣチップ４の搬送路３６〜３８に対する摺動面積が小さくなるので、ＩＣチップ４に発生する静電気の量を少なくなる。   The IC chip 4 is preferably point-contacted or line-contacted without surface contact with the transport paths 36 to 38 so as to prevent static electricity as much as possible during transport of the transport paths 36 to 38. This can be achieved, for example, by forming the conveyance paths 36 to 38 in a cross-sectional shape as shown in FIG. FIG. 5A shows the conveyance paths 36 to 38 formed in a triangular cross section. FIG. 5B is a diagram in which the conveyance paths 36 to 38 are formed in a substantially arc shape in cross section. FIG. 5C shows a protrusion 39 extending along the conveyance direction of the IC chip 4 on the contact surface of the conveyance paths 36 to 38 with the IC chip 4. When the cross-sectional shapes of the transport paths 36 to 38 are formed as shown in FIGS. 5A to 5C, when the IC chip 4 is transported on the transport paths 36 to 38 by vibration transport, the transport path 36 of the IC chip 4. Since the sliding area with respect to .about.38 is reduced, the amount of static electricity generated in the IC chip 4 is reduced.

ヒータ１４は、ＩＣチップ４が搭載されたフィルム基板３の接着剤６を乾燥、温熱処理を行う。   The heater 14 dries and heat-treats the adhesive 6 on the film substrate 3 on which the IC chip 4 is mounted.

貼り合わせ部１５は、ＩＣチップ４が搭載されたフィルム基板３とカバーフィルム５とを貼り合わせるボンディングローラ７１と、カバーフィルム５のローラ７２を収容するカバーフィルム収容部７３とを備えている。
ボンディングローラ７１は、製品巻取り部１６と共にフィルム基板収容部１１からフィルム基板３を搬送する搬送部となっており、カバーフィルム収容部７３からカバーフィルムを引き出して、フィルム基板３とカバーフィルム５とを貼り合わせるような構成となっている。
製品巻取り部１６は、カバーフィルム５を貼り合わせることによって製造されたＩＤタグ２を巻き取ってロール７５として収容するように構成されている。 The bonding unit 15 includes a bonding roller 71 that bonds the film substrate 3 on which the IC chip 4 is mounted and the cover film 5, and a cover film storage unit 73 that stores the roller 72 of the cover film 5.
The bonding roller 71 is a transport unit that transports the film substrate 3 from the film substrate housing unit 11 together with the product winding unit 16. The bonding roller 71 pulls out the cover film from the cover film housing unit 73, and the film substrate 3, the cover film 5, It is the structure which sticks together.
The product take-up unit 16 is configured to take up the ID tag 2 manufactured by bonding the cover film 5 and accommodate it as a roll 75.

制御部１７は、図１０に示すように、フィルム基板収容部１１、ボンディングローラ７１及び製品巻取り部７４の駆動を制御する駆動制御部８１と、接着剤印刷部１２の駆動を制御する印刷制御部８２と、ヒータ１４の駆動を制御するヒータ制御部８３と、ＩＣチップ供給部２６の振動を制御する振動制御部８４と、同期ローラ部２８及びロータリーヘッド部２７のインデックス動作を制御する動作制御部８５と、ＣＣＤカメラ２２、３４、３５、６４によって撮像されたそれぞれの画像の画像処理を行う画像処理部８６、８７、８８、８９と、画像処理部８８によって処理された画像からロータリーヘッド部２７のθ軸回転ギアを制御する回転補正制御部９１と、画像処理部８９によって処理された画像から補正量を同期ローラ部２８のアライメントステージ６３に送信する補正制御部９２と、画像処理部８７によって処理された画像からＩＣチップ４の表裏を判定してＩＣチップ供給部２６を制御する表裏判定部９３とを備えている。 As shown in FIG. 10, the control unit 17 includes a drive control unit 81 that controls driving of the film substrate housing unit 11, the bonding roller 71, and the product winding unit 74, and print control that controls driving of the adhesive printing unit 12. Part 82, heater control part 83 that controls the drive of the heater 14, vibration control part 84 that controls the vibration of the IC chip supply part 26, and operation control that controls the indexing operation of the synchronous roller part 28 and the rotary head part 27. Unit 85, image processing units 86, 87, 88, 89 that perform image processing of each image captured by the CCD cameras 22, 34 , 35, 64, and the rotary head unit from the images processed by the image processing unit 88 27, the rotation correction control unit 91 for controlling the θ-axis rotation gear of 27, and the correction amount from the image processed by the image processing unit 89. A correction control unit 92 that transmits to the alignment stage 63 and a front / back determination unit 93 that determines the front and back of the IC chip 4 from the image processed by the image processing unit 87 and controls the IC chip supply unit 26 are provided.

次に、ＩＤタグの製造方法について図１１を用いて説明する。
まず、ボンディングローラ７１及び製品巻取り部１６は、フィルム基板３をフィルム基板収容部１１から一定の速度で接着剤印刷部１２に搬送する（ステップＳＴ１）。
そして、接着剤印刷部１２のＣＣＤカメラ２２がフィルム基板３のアンテナ回路３ａを撮像し、画像処理部８６が撮像した画像を基にフィルム基板３に形成されたアンテナ回路３ａの位置を確認する。そして、印刷部２６は、この位置情報を基にフィルム基板３のＩＣチップ４が搭載される位置にフィルム基板３を止めることなく例えば輪転機といった塗布装置で接着剤６を塗布する（ステップＳＴ２）。 Next, an ID tag manufacturing method will be described with reference to FIG.
First, the bonding roller 71 and the product winding unit 16 transport the film substrate 3 from the film substrate housing unit 11 to the adhesive printing unit 12 at a constant speed (step ST1).
Then, the CCD camera 22 of the adhesive printing unit 12 images the antenna circuit 3a of the film substrate 3, and the position of the antenna circuit 3a formed on the film substrate 3 is confirmed based on the image captured by the image processing unit 86. And the printing part 26 apply | coats the adhesive agent 6 with a coating device, such as a rotary press, without stopping the film board | substrate 3 in the position where the IC chip 4 of the film board | substrate 3 is mounted based on this positional information (step ST2). .

次に、チップ搭載部１３が、アンテナ回路３ａの所定位置にＩＣチップ４を搭載する（ステップＳＴ３）。
そして、ヒータ１４が、ＩＣチップ４が搭載されたフィルム基板３を加熱し、接着剤６を硬化させることでＩＣチップ４をフィルム基板３に固定する（ステップＳＴ４）。
その後、貼り合わせ部１５が、アンテナ回路３ａ及びＩＣチップ４を覆うようにカバーフィルムを貼り合わせる（ステップＳＴ５）。
最後に、製品巻取り部１６が、カバーフィルム５が貼り合わされたフィルム基板３を巻き取る（ステップＳＴ６）。 Next, the chip mounting unit 13 mounts the IC chip 4 at a predetermined position of the antenna circuit 3a (step ST3).
Then, the heater 14 heats the film substrate 3 on which the IC chip 4 is mounted, and cures the adhesive 6 to fix the IC chip 4 to the film substrate 3 (step ST4).
Thereafter, the bonding unit 15 bonds the cover film so as to cover the antenna circuit 3a and the IC chip 4 (step ST5).
Finally, the product winding unit 16 winds up the film substrate 3 on which the cover film 5 is bonded (step ST6).

次に、チップ搭載部１３によるＩＣチップ４の搭載方法について図１２を用いて詳細に説明する。
まず、振動制御部８４が振動ドライブを駆動させることで、ＩＣチップ供給部２６は、ボウル３１にあるＩＣチップ４を振動により等速、等間隔で搬送路３６上を搬送する。ＩＣチップ４は、搬送路３６から搬送路３７に移送される。ＣＣＤカメラ３４は、リニアフィーダ３２の搬送路３７上を搬送されるＩＣチップ４の撮像を上面側から行い、制御部１７の画像処理部８７がＣＣＤカメラ３４の撮影画像から撮像したＩＣチップ４の表裏判定を行う（ステップＳＴ１１）。ここではバンプ４ｂが設けられている面を裏面とする。 Next, a method for mounting the IC chip 4 by the chip mounting unit 13 will be described in detail with reference to FIG.
First, when the vibration control unit 84 drives the vibration drive, the IC chip supply unit 26 conveys the IC chip 4 in the bowl 31 on the conveyance path 36 at a constant speed and at equal intervals by vibration. The IC chip 4 is transferred from the transfer path 36 to the transfer path 37. The CCD camera 34 captures an image of the IC chip 4 transported on the transport path 37 of the linear feeder 32 from the upper surface side, and the image processing unit 87 of the control unit 17 captures an image of the IC chip 4 captured from the captured image of the CCD camera 34. Front / back determination is performed (step ST11). Here, the surface on which the bumps 4b are provided is the back surface.

ステップＳＴ１１において、画像処理部８７がＩＣチップ４を表であると判定したとき、表裏判定部９３は、このＩＣチップ４をリターンフィーダ３３に排出する。排出されたＩＣチップは、リターンフィーダ３３によってボウル３１に搬送される（ステップＳＴ１２）。
また、ステップＳＴ１１において、画像処理部８７がＩＣチップ４を裏であると判定したとき、リニアフィーダ３２は、ＩＣチップ４を搬送路３７の先端に向かってさらに搬送する。ここで、ＣＣＤカメラ３５は、リニアフィーダ３２の先端に搬送されたＩＣチップ４の撮像を行う。（ステップＳＴ１３）。 In step ST <b> 11, when the image processing unit 87 determines that the IC chip 4 is the front side, the front / back determination unit 93 discharges the IC chip 4 to the return feeder 33. The discharged IC chip is conveyed to the bowl 31 by the return feeder 33 (step ST12).
In step ST <b> 11, when the image processing unit 87 determines that the IC chip 4 is behind, the linear feeder 32 further conveys the IC chip 4 toward the tip of the conveyance path 37. Here, the CCD camera 35 takes an image of the IC chip 4 conveyed to the tip of the linear feeder 32. (Step ST13).

次に、図７に示す位置Ｓａにあるノズルユニット４３が、搬送路３７の先端のＩＣチップ４を吸着する。すなわち、ノズルユニット４３の円盤部４８がＺ軸ユニット４４の係合部５３に係合している状態で、スライド部５２をＺ軸下方にスライドさせる。そして、シリンダ部４６がＺ軸下方に移動し、吸着部４７がリニアフィーダ３２の搬送路３７上を搬送されたＩＣチップ４を吸着する（ステップＳＴ１４）。
ＩＣチップ４を吸着した後、シリンダ部４６は、Ｚ軸ユニット４４によってＺ軸上方に移動する。そして、円盤プレート４２が、周方向で９０°回転するインデックス動作を行い、ノズルユニット４３を図７に示す位置Ｓｂに移動させる。
このとき、制御部１７の画像処理部８８が、ステップＳＴ１３においてＣＣＤカメラ３５の撮影画像から撮像したＩＣチップ４の良否判定を行う（ステップＳＴ１５）。 Next, the nozzle unit 43 at the position Sa shown in FIG. 7 sucks the IC chip 4 at the tip of the transport path 37. That is, the slide portion 52 is slid downward in the Z axis while the disk portion 48 of the nozzle unit 43 is engaged with the engagement portion 53 of the Z axis unit 44. Then, the cylinder part 46 moves downward in the Z axis, and the suction part 47 sucks the IC chip 4 transported on the transport path 37 of the linear feeder 32 (step ST14).
After adsorbing the IC chip 4, the cylinder portion 46 moves upward in the Z axis by the Z axis unit 44. Then, the disk plate 42 performs an index operation that rotates 90 ° in the circumferential direction, and moves the nozzle unit 43 to a position Sb shown in FIG.
At this time, the image processing unit 88 of the control unit 17 determines pass / fail of the IC chip 4 captured from the image captured by the CCD camera 35 in step ST13 (step ST15).

ステップＳＴ１５において、画像処理部８８がＩＣチップ４を不良品であると判定したとき、ノズルユニット４３は、シリンダ部４６がこのＩＣチップ４をリリースすることによって不良品として排出する（ステップＳＴ１６）。
また、ステップＳＴ１５において、画像処理部８８がＩＣチップ４を良品であると判定したとき、円盤プレート４２がインデックス動作を行う。このインデックス動作中に、画像処理部８８がＣＣＤカメラ３５によって撮像した画像からＩＣチップ４を搭載するのに適切な方向を算出し、θ軸回転ギアがＩＣチップ４を所定の方向に回転させる（ステップＳＴ１７）。 In step ST15, when the image processing unit 88 determines that the IC chip 4 is a defective product, the nozzle unit 43 discharges the IC chip 4 as a defective product when the cylinder unit 46 releases the IC chip 4 (step ST16).
In step ST15, when the image processing unit 88 determines that the IC chip 4 is a non-defective product, the disk plate 42 performs an index operation. During this indexing operation, the image processing unit 88 calculates an appropriate direction for mounting the IC chip 4 from the image captured by the CCD camera 35, and the θ-axis rotation gear rotates the IC chip 4 in a predetermined direction ( Step ST17).

ノズルユニット４３は、このインデックス動作によって図７に示す位置Ｓｃに移動する。
ロータリーヘッド部２７は、スライド部５２をＺ軸下方にスライドし、シリンダ部４６をＺ軸下方に移動させる。そして、吸着部４７は、同期ローラ６１の吸着孔６１ａに当接してＩＣチップ４をリリースすることにより、ＩＣチップ４が図９に示す位置Ｓｅにある同期ローラ６１の吸着孔６１ａに吸着する（ステップＳＴ１８）。 The nozzle unit 43 moves to the position Sc shown in FIG. 7 by this index operation.
The rotary head portion 27 slides the slide portion 52 downward in the Z axis and moves the cylinder portion 46 downward in the Z axis. Then, the suction unit 47, by releasing the IC chip 4 in contact with the suction hole 61a of the synchronous roller 61, an IC chip 4 is sucked to the suction hole 61a of the synchronous roller 61 in the position Se shown in FIG. 9 ( Step ST18).

同期ローラ６１は、駆動モータ６２によって７２°回転するインデックス動作を行う。
これによりＩＣチップ４は、図９に示す位置Ｓｆに移動する。ここで、ＣＣＤカメラ６４は、同期ローラ６１上のＩＣチップ４を撮像する（ステップＳＴ１９）。そして、補正制御部９２は、画像処理部８６によるアンテナ回路３ａの位置情報及び画像処理部８９によるＩＣチップ４の位置情報から同期ローラ６１の位置の補正量を算出する。
同期ローラ６１がさらにインデックス動作を行うと共に、アライメントステージ６３は、補正制御部９２によって同期ローラ６１の位置を補正する（ステップＳＴ２０）。 The synchronous roller 61 performs an index operation that is rotated 72 ° by the drive motor 62.
As a result, the IC chip 4 moves to a position Sf shown in FIG. Here, the CCD camera 64 images the IC chip 4 on the synchronization roller 61 (step ST19). Then, the correction control unit 92 calculates the correction amount of the position of the synchronization roller 61 from the position information of the antenna circuit 3 a by the image processing unit 86 and the position information of the IC chip 4 by the image processing unit 89.
The synchronization roller 61 further performs an index operation, and the alignment stage 63 corrects the position of the synchronization roller 61 by the correction controller 92 (step ST20).

同期ローラ６１が、さらにインデックス動作を行い、図９に示す位置Ｓｇと位置Ｓｈとの間でフィルム基板３とＩＣチップ４とを当接させて、吸着孔６１ａからＩＣチップ４をリリースしてフィルム基板３上にＩＣチップ４を搭載する（ステップＳＴ２１）。なお、同期ローラ６１において、フィルム基板３との接触位置は、ロータリーヘッド部２７から同期ローラ６１にＩＣチップ４がリリースされる位置と対向する位置にある。したがって、フィルム基板３との接触位置において、ＩＣチップ４は、インデックス動作によって止まらずにフィルム基板３上に配置される。   The synchronization roller 61 further performs an indexing operation to bring the film substrate 3 and the IC chip 4 into contact with each other between the position Sg and the position Sh shown in FIG. 9 and release the IC chip 4 from the suction hole 61a. IC chip 4 is mounted on substrate 3 (step ST21). In the synchronization roller 61, the contact position with the film substrate 3 is a position opposite to the position where the IC chip 4 is released from the rotary head unit 27 to the synchronization roller 61. Therefore, the IC chip 4 is arranged on the film substrate 3 without stopping by the index operation at the position of contact with the film substrate 3.

なお、ＩＣチップ４が表面であったためにリターンフィーダ３３に排出されたり、ＩＣチップ４が不良であったために排出されたりしたため、３組の搭載装置２５のうち、いずれかの同期ローラ６１の吸着孔６１ａにＩＣチップ４が吸着されない場合がある。このようにアンテナ回路３ａ上にＩＣチップ４が搭載されなかった場合には、バックアップ専用の搭載装置２５がＩＣチップ４を搭載する。また、ＩＣチップ４の搭載動作中、第１、第２イオナイザー２０１，２０２が起動されている。 Incidentally, or IC chip 4 is ejected to the return feeder 33 because it was a table surface, due to or discharged to the IC chip 4 is defective, among the three sets of mounting device 25, one of the synchronous roller 61 There is a case where the IC chip 4 is not sucked into the suction hole 61a. As described above, when the IC chip 4 is not mounted on the antenna circuit 3a, the mounting device 25 dedicated for backup mounts the IC chip 4. Further, during the mounting operation of the IC chip 4, the first and second ionizers 201 and 202 are activated.

このように構成されたＩＣチップ実装体の製造装置によれば、同期ローラ６１が、フィルム基板３を搬送する速度と同期した速度で、ＩＣチップ４を移動させつつフィルム基板３上に搭載する。したがって、フィルム基板３を一時的に停止させることなくＩＣチップ４を搭載するので、ＩＤタグ２の製造効率が向上する。しかも、ＩＣチップ４をフィルム基板３に搭載するためにＩＣチップ４を搬送する際には、ＩＣチップ４の静電気を解除しているので、ＩＣチップ４を搬送路３６〜３８において滞留することなくスムースに搬送することができる。ＩＣチップ４のスムースな搬送は、ボウル３１、リニアフィーダ３２及びリターンフィーダ３３の静電気を解除することによってさらに向上する。この結果、ＩＤタグ２の製造効率がより一層向上する。また、１Ｃチップ４の静電気を解除することにより、ＩＣチップ４の故障を防止することができる。さらに、同期ローラ６１及びそれに吸着されるＩＣチップ４の静電気を解除することにより、ＩＣチップ４の同期ローラ６１からのリリースを確実に行うことができる。   According to the IC chip assembly manufacturing apparatus configured as described above, the synchronization roller 61 mounts the IC chip 4 on the film substrate 3 while moving the IC chip 4 at a speed synchronized with the speed at which the film substrate 3 is conveyed. Therefore, since the IC chip 4 is mounted without temporarily stopping the film substrate 3, the manufacturing efficiency of the ID tag 2 is improved. Moreover, when the IC chip 4 is transported to mount the IC chip 4 on the film substrate 3, the static electricity of the IC chip 4 is released, so that the IC chip 4 does not stay in the transport paths 36 to 38. Can be transported smoothly. Smooth conveyance of the IC chip 4 is further improved by releasing static electricity from the bowl 31, the linear feeder 32 and the return feeder 33. As a result, the manufacturing efficiency of the ID tag 2 is further improved. Further, by releasing the static electricity of the 1C chip 4, it is possible to prevent the IC chip 4 from being broken. Furthermore, by releasing the static electricity of the synchronization roller 61 and the IC chip 4 attracted thereto, the IC chip 4 can be reliably released from the synchronization roller 61.

また、３台の搭載装置２５を用いてＩＣチップ４を搭載するので、単位時間当たりに製造することができるＩＣチップ実装体の数が増加する。単位時間当たりに多数のＩＤタグ２を製造することができので、ＩＤタグ２のコストダウンが図れる。さらに、フィルム基板３を等速で搬送するので、フィルム基板３に悪影響を与えない。
また、ＣＣＤカメラ３４、３５がアンテナ回路３ａ及びＩＣチップ４を撮像し、アライメントステージ６３が撮像した画像から同期ローラ６１によるＩＣチップ４の搭載の位置を補正する。これにより、フィルム基板３の送り精度が向上する。また、ＩＣチップ４を所定の搭載位置に搭載させることができるので、ＩＤタグ２の製造歩留まりが向上する。
また、この３台の搭載装置２５がＩＣチップ４をフィルム基板３のアンテナ回路３ａ上に搭載することができなかった場合に、フィルム基板収容部１１から最も離間した位置に配されている搭載装置２５がＩＣチップ４を搭載する。これにより、ＩＤタグ２の製造の歩留まりがさらに向上する。 Further, since the IC chip 4 is mounted using the three mounting devices 25, the number of IC chip mounting bodies that can be manufactured per unit time increases. Since many ID tags 2 can be manufactured per unit time, the cost of the ID tag 2 can be reduced. Furthermore, since the film substrate 3 is transported at a constant speed, the film substrate 3 is not adversely affected.
The CCD cameras 34 and 35 image the antenna circuit 3 a and the IC chip 4, and the mounting position of the IC chip 4 by the synchronization roller 61 is corrected from the image captured by the alignment stage 63. Thereby, the feeding accuracy of the film substrate 3 is improved. Further, since the IC chip 4 can be mounted at a predetermined mounting position, the manufacturing yield of the ID tag 2 is improved.
In addition, when the three mounting devices 25 cannot mount the IC chip 4 on the antenna circuit 3 a of the film substrate 3, the mounting devices disposed at the positions farthest from the film substrate housing portion 11. 25 mounts the IC chip 4. Thereby, the production yield of the ID tag 2 is further improved.

次に、第２の実施形態について、図１３を参照しながら説明する。
なお、ここで説明する実施形態はその基本的構成が上述した第１の実施形態と同様であり、上述の第１の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図１３においては、図９と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。 Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.
The basic configuration of the embodiment described here is the same as that of the first embodiment described above, and another element is added to the first embodiment described above. Therefore, in FIG. 13, the same components as those in FIG.

第２の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、第２の実施形態ではＩＣチップ４の搭載位置の前後にわたってフィルム基板３を支持する面支持ローラ部（面支持部）１００が設けられている点である。
すなわち、図１３に示すように、面支持ローラ部１００は、同期ローラ６１と対向して設けられた大ローラ１０１と、大ローラ１０１とフィルム基板３を介して対向して設けられた一対の小ローラ１０２Ａ、１０２Ｂとによって構成されている。 The difference between the second embodiment and the first embodiment is that in the second embodiment, a surface support roller portion (surface support portion) 100 that supports the film substrate 3 before and after the mounting position of the IC chip 4 is provided. This is the point.
That is, as shown in FIG. 13, the surface support roller unit 100 includes a large roller 101 provided to face the synchronization roller 61 and a pair of small rollers provided to face the large roller 101 via the film substrate 3. The rollers 102A and 102B are configured.

大ローラ１０１は、ＩＣチップ４の搭載位置よりも上流側において小ローラ１０２Ａと共にフィルム基板３を挟み、ＩＣチップ４の搭載位置よりも下流側において小ローラ１０２Ｂと共にフィルム基板３を挟むように設けられており、ＩＣチップ４の搭載位置の前後にわたってフィルム基板３を大ローラ１０１の周面に沿って搬送するように構成されている。
また、大ローラ１０１は、その周方向に吸着孔（吸着機構）１０１ａが等間隔で複数箇所形成されており、フィルム基板３を真空吸着するように構成されている。 The large roller 101 is provided so as to sandwich the film substrate 3 together with the small roller 102A upstream of the mounting position of the IC chip 4 and sandwich the film substrate 3 together with the small roller 102B downstream of the mounting position of the IC chip 4. The film substrate 3 is transported along the circumferential surface of the large roller 101 before and after the mounting position of the IC chip 4.
The large roller 101 has a plurality of suction holes (suction mechanisms) 101a formed at equal intervals in the circumferential direction, and is configured to vacuum-suck the film substrate 3.

このように構成されたＩＣチップ実装体の製造装置によれば、フィルム基板３がＩＣチップ４の搭載位置の前後にわたって面で支持されると共に、真空吸着されているので、ＩＣチップ４の搭載時にフィルム基板３が振動することが抑制される。これにより、ＩＣチップ４の搭載位置が安定し、ＩＤタグ２の歩留まりが向上する。   According to the manufacturing apparatus of the IC chip mounting body configured as described above, the film substrate 3 is supported on the front and back of the mounting position of the IC chip 4 and is vacuum-sucked. It is suppressed that the film substrate 3 vibrates. Thereby, the mounting position of the IC chip 4 is stabilized, and the yield of the ID tag 2 is improved.

なお、上述した第２の実施形態では面支持ローラ部１００が、大ローラ１０１及び小ローラ１０２Ａ、１０２ＢによってＩＣチップ４の搭載位置の前後にわたってフィルム基板３を大ローラ１０１に沿って搬送させているが、図１４に示すような面支持ローラ部１１０であってもよい。   In the above-described second embodiment, the surface support roller unit 100 transports the film substrate 3 along the large roller 101 before and after the mounting position of the IC chip 4 by the large roller 101 and the small rollers 102A and 102B. However, the surface support roller unit 110 as shown in FIG. 14 may be used.

この面支持ローラ部１１０は、３つの搬送コンベア１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃによって構成されている。
搬送コンベア１１１Ａは、一対のローラ１１２Ａ、１１２Ｂ及びベルト１１３によって構成されており、ＩＣチップ４の搭載位置でフィルム基板３を支持するプレート１１４が設けられている。
搬送コンベア１１１Ｂ、１１１Ｃは、搬送コンベア１１１Ａと同様に、一対のローラ１１５Ａ、１１５Ｂ及びベルト１１６によって構成されている。
フィルム基板３は、ＩＣチップ４の搭載位置の前後にわたってベルト１１３に沿って搬送されるように構成されている。
このような構成であっても、上述と同様に、ＩＣチップ４の搭載位置においてフィルム基板３がプレート１１４によって支持されているので、ＩＣチップ４の搭載位置が安定する。 The surface support roller unit 110 includes three conveyors 111A, 111B, and 111C.
The conveyor 111 </ b> A includes a pair of rollers 112 </ b> A and 112 </ b> B and a belt 113, and a plate 114 that supports the film substrate 3 at the mounting position of the IC chip 4 is provided.
The conveyors 111B and 111C are configured by a pair of rollers 115A and 115B and a belt 116, similarly to the conveyor 111A.
The film substrate 3 is configured to be conveyed along the belt 113 before and after the mounting position of the IC chip 4.
Even with such a configuration, since the film substrate 3 is supported by the plate 114 at the mounting position of the IC chip 4 as described above, the mounting position of the IC chip 4 is stabilized.

また、図１５に示すような面支持ローラ部１２０であってもよい。
この面支持ローラ部１２０は、大ローラ１０１及び搬送コンベア１１１Ｂ、１１１Ｃによって構成されている。
このような構成であっても、上述と同様に、ＩＣチップ４の搭載位置の前後にわたってフィルム基板３が大ローラ１０１によって支持されているので、ＩＣチップ４の搭載位置が安定する。 Moreover, the surface support roller part 120 as shown in FIG. 15 may be sufficient.
The surface support roller unit 120 includes a large roller 101 and transport conveyors 111B and 111C.
Even with such a configuration, since the film substrate 3 is supported by the large roller 101 before and after the mounting position of the IC chip 4 as described above, the mounting position of the IC chip 4 is stabilized.

次に、第３の実施形態について、図１６及び図１７を参照しながら説明する。
なお、ここで説明する実施形態はその基本的構成が上述した第１の実施形態と同様であり、上述の第１の実施形態に別の要素を付加したものである。したがって、図１６及び図１７においては、図８及び図９と同一構成要素に同一符号を付し、この説明を省略する。 Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS.
The basic configuration of the embodiment described here is the same as that of the first embodiment described above, and another element is added to the first embodiment described above. Therefore, in FIGS. 16 and 17, the same components as those in FIGS. 8 and 9 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

第３の実施形態と第１の実施形態との異なる点は、第１の実施形態では同期ローラ部２８が円柱状の同期ローラ６１を備えているのに対して、第３の実施形態では同期ローラ部１３０の同期ローラ１３１がその周方向に形成された突出部１３１ａを備えている点である。   The difference between the third embodiment and the first embodiment is that, in the first embodiment, the synchronization roller portion 28 includes a cylindrical synchronization roller 61, whereas in the third embodiment, the synchronization is synchronized. The synchronous roller 131 of the roller part 130 is provided with the protrusion part 131a formed in the circumferential direction.

すなわち、同期ローラ部１３０は、図１６及び図１７に示すように、同期ローラ１３１と、駆動モータ６２と、アライメントステージ６３と、ＣＣＤカメラ６４とを備えている。
同期ローラ１３１には、その周方向にＩＣチップ４を保持する突出部１３１ａ及び吸着孔１３１ｂが等間隔で５箇所形成されている。この突出部１３１ａは、同期ローラ１３１を回転させると、その先端がフィルム基板３と当接するように形成されている。また、同期ローラ６１とフィルム基板３を介して対向する位置には、フィルム基板３を搬送する補助ローラ１３２が設けられている。 That is, the synchronization roller unit 130 includes a synchronization roller 131, a drive motor 62, an alignment stage 63, and a CCD camera 64, as shown in FIGS.
The synchronous roller 131 has five protrusions 131a and suction holes 131b that hold the IC chip 4 in the circumferential direction at equal intervals. The protrusion 131 a is formed such that the tip of the protrusion 131 a comes into contact with the film substrate 3 when the synchronization roller 131 is rotated. Further, an auxiliary roller 132 that conveys the film substrate 3 is provided at a position facing the synchronization roller 61 via the film substrate 3.

このように構成された同期ローラ部１３０を備えるＩＣチップ実装体の製造装置は、上述した第１の実施形態と同様に、ＩＣチップ４を、ロータリーヘッド部２７から図１７に示す位置Ｓｅにある同期ローラ１３１の吸着孔１３１ｂに吸着する。
そして、同期ローラ１３１は、駆動モータ６２によってインデックス動作を２回行い、ＩＣチップ４を図１７に示す位置Ｓｇに移動させる。さらに、インデックス動作を行うと、図１７に示す位置Ｓｇと位置Ｓｈとの間であるＩＣチップ搭載位置において、突出部１１１ａがフィルム基板３に当接する。そして、ＩＣチップ４をリリースしてフィルム基板３上にＩＣチップ４を搭載する。ここで、突出部１３１ａが設けられていることによって、同期ローラ１１１を上下運動させることなく、同期ローラ１１１の回転軸を一定に保ったままＩＣチップ４が搭載される。
その後、上述した第１の実施形態と同様の手順によって、ＩＤタグが製造される。 In the manufacturing apparatus of the IC chip mounting body including the synchronization roller unit 130 configured as described above, the IC chip 4 is located at the position Se shown in FIG. 17 from the rotary head unit 27, as in the first embodiment described above. It is sucked into the suction hole 131b of the synchronous roller 131.
Then, the synchronization roller 131 performs the index operation twice by the drive motor 62, and moves the IC chip 4 to the position Sg shown in FIG. Further, when the index operation is performed, the protruding portion 111a contacts the film substrate 3 at the IC chip mounting position between the position Sg and the position Sh shown in FIG. Then, the IC chip 4 is released and the IC chip 4 is mounted on the film substrate 3. Here, by providing the protrusion 131a, the IC chip 4 is mounted while keeping the rotation axis of the synchronization roller 111 constant without moving the synchronization roller 111 up and down.
Thereafter, the ID tag is manufactured by the same procedure as that of the first embodiment described above.

このように構成された同期ローラ部１３０置によれば、同期ローラ１３１に突出部１３１ａが形成されていることで、ＩＣチップ４の搭載位置において同期ローラ１３１を下方向に移動させる必要がない。これにより、同期ローラ１３１の上下運動がなくなり、ＩＣチップ４の搭載位置が安定する。   According to the configuration of the synchronization roller unit 130 configured as described above, the projection 131a is formed on the synchronization roller 131, so that it is not necessary to move the synchronization roller 131 downward at the mounting position of the IC chip 4. Thereby, the vertical movement of the synchronous roller 131 is eliminated, and the mounting position of the IC chip 4 is stabilized.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施形態では、ＩＤタグの製造装置であったが、ＩＣチップを実装したカードであってもよい。
また、ＩＣチップ搭載部が搭載装置を４組備えていたが、１組であっても、また、他の複数組であってもよい。
また、バックアップ用の搭載装置は１台であったが、複数であってもよいし、なくてもよい。
また、フィルム基板には予めアンテナ回路が形成されていたが、アンテナ回路を製作する装置を接着剤印刷装置の前に配置することで、アンテナ回路が形成されていないフィルム基板を供給するような装置であってもよい。
また、カバーフィルムがアンテナ回路及びＩＣチップを挟むように覆うような構造にしてもよい。
また、フィルム基板のローラ２１は、回転自在にしてもよい。
また、駆動モータ４１は、筐体に内蔵されたものでもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change can be added in the range which does not deviate from the meaning of this invention.
For example, in the above embodiment, the ID tag manufacturing apparatus is used, but a card mounted with an IC chip may be used.
Further, although the IC chip mounting portion has four sets of mounting devices, it may be one set or other plural sets.
In addition, although there is one backup mounting device, there may be a plurality of backup devices.
In addition, although an antenna circuit is formed in advance on the film substrate, an apparatus for supplying a film substrate on which an antenna circuit is not formed by disposing an apparatus for manufacturing the antenna circuit in front of the adhesive printing apparatus. It may be.
Further, the cover film may be structured so as to cover the antenna circuit and the IC chip.
Further, the roller 21 of the film substrate may be rotatable.
Further, the drive motor 41 may be built in the housing.

本発明にかかる第１の実施形態におけるＩＤタグを示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。The ID tag in 1st Embodiment concerning this invention is shown, (a) is a top view, (b) is sectional drawing. 図１のフィルム基板を示す平面図である。It is a top view which shows the film substrate of FIG. 本発明にかかる一実施形態におけるＩＣチップ実装体の製造装置を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the manufacturing apparatus of the IC chip mounting body in one Embodiment concerning this invention. 図３のＩＣチップ供給部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the IC chip supply part of FIG. 搬送路の断面形状を示すもので、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ断面形状の一例を示している。The cross-sectional shape of a conveyance path is shown, (a), (b), (c) has shown an example of the cross-sectional shape, respectively. 図３のロータリーヘッド部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the rotary head part of FIG. 図６のロータリーヘッド部のインデックス動作によるノズルユニットの停止位置を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the stop position of the nozzle unit by the index operation of the rotary head part of FIG. 図３の同期ローラ部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the synchronous roller part of FIG. 図８の同期ローラ部のインデックス動作による吸着孔の停止位置を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the stop position of the suction hole by the index operation | movement of the synchronous roller part of FIG. 図３の制御部を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control part of FIG. 本発明にかかる第１の実施形態におけるＩＤタグの製造手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacture procedure of the ID tag in 1st Embodiment concerning this invention. 図１１のＩＣチップの搭載手順を示すフローチャートである。12 is a flowchart showing a mounting procedure of the IC chip of FIG. 本発明にかかる第２の実施形態における同期ローラを示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the synchronous roller in 2nd Embodiment concerning this invention. 本発明にかかる第２の実施形態以外の、本発明を適用可能な面支持ローラ部を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the surface support roller part which can apply this invention other than 2nd Embodiment concerning this invention. 同じく、本発明にかかる第２の実施形態以外の、本発明を適用可能な面支持ローラ部を示す概略正面図である。Similarly, it is a schematic front view showing a surface support roller part to which the present invention can be applied, other than the second embodiment according to the present invention. 本発明にかかる第３の実施形態における同期ローラ部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the synchronous roller part in 3rd Embodiment concerning this invention. 図１５のロータリーヘッド部のインデックス動作によるノズルユニットの停止位置を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the stop position of the nozzle unit by the index operation | movement of the rotary head part of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ ＩＣチップ実装体の製造装置２ ＩＤタグ（ＩＣチップ実装体）３ フィルム基板５ カバーフィルム４ ＩＣチップ１１ フィルム基板収容部（搬送部）１３ ＩＣチップ搭載部１５ カバーフィルム貼り合わせ部１６ 製品巻取り部（搬送部）２５ ＣＣＤカメラ２６ ＩＣチップ供給部３１ ボウル３２ リニアフィーダ ３３ リターンフィーダ ３６、３７、３８ 搬送路 ２８、１３０ 同期ローラ部７１ ボンディングローラ（搬送部）１００、１１０、１２０ 面支持ローラ部（面支持部）１０１ａ 吸着孔（吸着機構）１３１ 同期ローラ１３１ａ 突出部１３２ 補助ローラ（搬送部） ２０１ 第１イオナイザー（イオナイザー） ２０２ 第２イオナイザー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Manufacturing apparatus of IC chip mounting body 2 ID tag (IC chip mounting body) 3 Film substrate 5 Cover film 4 IC chip 11 Film substrate accommodating part (conveyance part) 13 IC chip mounting part 15 Cover film bonding part 16 Product winding Unit (conveying unit) 25 CCD camera 26 IC chip supply unit 31 bowl 32 linear feeder 33 return feeder 36, 37, 38 conveying path 28, 130 synchronous roller unit 71 bonding roller (conveying unit) 100, 110, 120 surface support roller unit (Surface support portion) 101a Adsorption hole (adsorption mechanism) 131 Synchronous roller 131a Protruding portion 132 Auxiliary roller (conveyance portion) 201 First ionizer (ionizer) 202 Second ionizer

Claims (4)

一面に一定の間隔でアンテナ回路が形成されたフィルム基板を等速で搬送する搬送部と、
ＩＣチップを、前記フィルム基板に沿って該フィルム基板と等速で移動させつつ、裏面に設けたバンプが前記アンテナ回路に接続されるように前記フィルム基板上に前記一定の間隔で搭載するＩＣチップ搭載部と、
前記ＩＣチップの静電気を除去するために、前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けるイオナイザーと、を備え、
前記ＩＣチップ搭載部が、前記ＩＣチップが前記フィルム基板と等速で移動するように吸着孔によって前記ＩＣチップの表面を吸着した状態で支持しつつ回転する同期ローラを有する同期ローラ部と、前記ＩＣチップが搬送される搬送路を有し且つ当該搬送路を搬送された前記ＩＣチップを前記同期ローラに供給するＩＣチップ供給部と、吸着部によって前記ＩＣチップの裏面を吸着した状態で上面視において前記ＩＣチップ供給部の前記搬送路の先端に重なる位置と前記同期ローラの前記吸着孔に重なる位置との間で移動可能なノズルユニットと、を備えたものであり、
さらに、
前記搬送路を搬送される前記ＩＣチップの撮像画像に基づいて前記ＩＣチップの表裏を判定し、裏面が上向きとなる裏であると判定したＩＣチップのみを搬送路の先端に向かってさらに搬送する表裏判定部を備え、
前記イオナイザーが、少なくとも前記搬送路を搬送される前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けるものであることを特徴とするＩＣチップ実装体の製造装置。 A transport unit that transports a film substrate having an antenna circuit formed on a surface at a constant interval at a constant speed;
The IC chip, while moving in the film substrate and the constant speed along the film substrate, IC mounted at the predetermined intervals on the film substrate as bumps formed on the back surface is connected to the antenna circuit chip A mounting section;
An ionizer that blows ionized air onto the IC chip to remove static electricity from the IC chip ,
A synchronizing roller portion having a synchronizing roller that rotates while supporting the IC chip mounting portion in a state where the surface of the IC chip is adsorbed by an adsorption hole so that the IC chip moves at a constant speed with the film substrate; An IC chip supply unit that has a conveyance path through which the IC chip is conveyed and supplies the IC chip conveyed through the conveyance path to the synchronous roller; and a top view in a state where the back surface of the IC chip is adsorbed by the adsorption unit A nozzle unit movable between a position overlapping the tip of the conveyance path of the IC chip supply unit and a position overlapping the suction hole of the synchronization roller,
further,
The front and back sides of the IC chip are determined based on the captured image of the IC chip that is transported through the transport path, and only the IC chip that is determined to be the back with the back side facing upward is further transported toward the front end of the transport path. It has a front / back judgment part,
An apparatus for manufacturing an IC chip mounting body, wherein the ionizer blows ionized air onto at least the IC chip transported through the transport path . 前記イオナイザーが前記同期ローラに支持された前記ＩＣチップにイオン化空気を吹き付けることを特徴とする請求項１に記載のＩＣチップ実装体の製造装置。 2. The IC chip mounting apparatus according to claim 1 , wherein the ionizer blows ionized air onto the IC chip supported by the synchronous roller . 前記ＩＣチップ供給部が、それぞれ前記搬送路を有し、振動することによって前記ＩＣチップを搬送するボウル、リニアフィーダ及びリターンフィーダを備え、前記リニアフィーダが前記ボウルと前記同期ローラとの間に設けられ、前記リターンフィーダが前記リニアフィーダと前記ボウルとの間に設けられ、前記ボウル、前記リニアフィーダ、前記リターンフィーダ及び前記同期ローラのうちの少なくとも一つの静電気を除去するために、当該一つにイオン化空気を吹き付ける第２イオナイザーをさらに備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のＩＣチップ実装体の製造装置。 Each of the IC chip supply units has the transport path, and includes a bowl, a linear feeder, and a return feeder that transport the IC chip by vibrating, and the linear feeder is provided between the bowl and the synchronization roller. The return feeder is provided between the linear feeder and the bowl, and in order to remove static electricity of at least one of the bowl, the linear feeder, the return feeder, and the synchronization roller, The apparatus for manufacturing an IC chip mounting body according to claim 1, further comprising a second ionizer that blows ionized air . 前記搬送路が、前記ＩＣチップに対して点又は線接触するような形状に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＩＣチップ実装体の製造装置。 The manufacturing apparatus of the IC chip mounting body according to any one of claims 1 to 3 , wherein the transport path is formed in a shape that makes point or line contact with the IC chip.
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