JP4800432B2 - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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Description
101’ 処理室壁
102 基板ステージ
103 基板
103’ 膜
104 排気口
105 UHF帯電磁波電源
106 整合器
107 アンテナ
108 ソレノイドコイル
109 プラズマ
110 高周波電源
111 スイッチ
112 直流電源(静電吸着用電源)
113 アース
114 電流検知機
115 制御コンピュータ
201 誘電体膜
202 空隙
Claims (3)
- 被処理基板をプラズマ処理するための処理室と、該処理室内にプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、前記処理室内に設けられ前記被処理基板を保持する静電チャックを備えたウエハステージを具備したプラズマ処理装置において、
前記静電チャックに静電吸着電圧を印加する直流電源と、
前記静電チャックと前記被処理基板間に流れるリーク電流の電流値を検出する電流検知手段と、
前記電流検知手段によって検出されたリーク電流の電流値が被処理基板の吸着条件が設定された電流値になるよう前記静電チャックに印加する電圧を制御する印加電圧制御手段と、
処理中に前記印加電圧制御手段により制御される印加電圧と、前記電流検知手段により検出された前記印加電圧に対するリーク電流とを取得して記憶するとともにその結果を表示する吸着特性取得手段を具備し、
前記印加電圧制御手段が印加電圧値を任意に選べるある刻み幅で増加させ、この印加電圧の刻み幅に対応するリーク電流の電流値の増加分ΔIの上限値を閾値として前記吸着特性取得手段に予め設定しておき、リーク電流の電流値の増加分ΔIが予め設定された閾値を超えたときの電流値ならびに電圧値を記憶する
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、
前記印加電圧制御手段が、さらに前記予め設定したリーク電流の電流値の増加分ΔIの閾値を超えたときの電圧を印加電圧とする機能を持つ
ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置を用いた被処理基板のプラズマ処理方法において、複数の試用基板を用いて、基板処理の時間内でリーク電流の電流値の設定ならびに該電流値になる印加電圧の選択を実施する
ことを特徴とするプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010095735A JP4800432B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010095735A JP4800432B2 (ja) | 2010-04-19 | 2010-04-19 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005232608A Division JP2007048986A (ja) | 2005-08-10 | 2005-08-10 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010171454A JP2010171454A (ja) | 2010-08-05 |
JP4800432B2 true JP4800432B2 (ja) | 2011-10-26 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4800432B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016040805A (ja) * | 2014-08-13 | 2016-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理装置 |
JP7241540B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2023-03-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 測定方法及び測定治具 |
CN114400174B (zh) * | 2022-01-18 | 2023-10-20 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种等离子体处理装置及其处理晶片的方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0866071A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Sony Corp | 静電吸着装置 |
JP2002305237A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-18 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法および製造装置 |
JP3635463B2 (ja) * | 2001-11-27 | 2005-04-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 自己バイアス測定方法及び装置並びに静電吸着装置 |
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2010
- 2010-04-19 JP JP2010095735A patent/JP4800432B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JP2010171454A (ja) | 2010-08-05 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |