JP4795349B2 - 調整可能な変調伝達関数(mtf)を使用して感知するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
eOXは酸化物の誘電率、
eSiはシリコンの誘電率、
eoは真空の誘電率、
qは電気素量、
toxは酸化物の厚さ、
NAはpドーピング濃度、
VFBはフラットバンド電圧、
VOXは酸化物の電圧、
VIMPは注入電圧、
VGはゲート電圧である。
式(2)の注入電圧は次のように計算することができる。
Claims (22)
- ピクセルに関連する変調伝達関数(MTF)を有するピクセルと、
前記ピクセルに接続され、可変ゲート電圧をピクセルに印加することにより前記ピクセルMTFを変化させ、エイリアジングを低減するように前記可変ゲート電圧の値を決定する可変ゲート電圧要素と、
を備えることを特徴とするセンサ。 - 請求項1に記載のセンサであって、前記ピクセルが空乏領域および非空乏深部を含み、1つ以上の可変ゲート電圧を印加することが前記ピクセルの前記非空乏深部を変更することを特徴とするセンサ。
- 請求項1に記載のセンサであって、前記センサが裏面薄化シリコンセンサを含むことを特徴とするセンサ。
- 請求項1に記載のセンサであって、前記センサが前面照明型センサであることを特徴とするセンサ。
- 請求項1に記載のセンサであって、前記センサがCMOSセンサであることを特徴とするセンサ。
- 請求項1に記載のセンサであって、前記可変ゲート電圧要素に関連する電圧が試験体の検査の間に実時間で調整可能であることを特徴とするセンサ。
- 試験体の画像を感知する方法であって、
前記試験体から光エネルギーを受け取り、前記光エネルギーを少なくとも1つのピクセルを含むセンサに与えるステップと、
可変ゲート電圧を各ピクセルに印加するステップであって、ピクセルの変調伝達関数(MTF)を調整するステップと、
を含み、
エイリアジングを低減するように前記可変ゲート電圧の値を決定することを特徴とする方法。 - 請求項7に記載の方法であって、各ピクセルが空乏領域を含み、前記可変ゲート電圧を印加するステップが前記ピクセルの前記空乏領域を物理的に変更し、それによって前記MTFを調整することを特徴とする方法。
- 請求項7に記載の方法であって、前記可変ゲート電圧を印加するステップが試験体の検査の間に実時間で行われることを特徴とする方法。
- センサを含む、試験体を検査するためのシステムであって、
基板から形成され、空乏領域および非空乏深部を含む前記センサ内の少なくとも1つのピクセルと、
前記基板上に形成された絶縁体と、
前記絶縁体上に形成された導体と、
前記導体および前記基板に接続された可変ゲート電圧源と、
を備え、
前記可変ゲート電圧源が、前記ピクセルの変調伝達関数(MTF)を変化させ、エイリアジングを低減するように前記可変ゲート電圧の値を決定し、可変電圧を印加することを特徴とするシステム。 - 請求項10に記載のシステムであって、前記ピクセルが空乏領域および非空乏深部を含み、可変比率の電圧を印加することが前記ピクセルの前記非空乏深部を変更することを特徴とするシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記センサが裏面薄化シリコンセンサを含むことを特徴とするシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記センサが前面照明センサであることを特徴とするシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記センサがCMOSセンサであることを特徴とするシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記可変ゲート電圧源に関連する電圧が試験体の検査の間に実時間で調整可能であることを特徴とするシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記導体を含む前記ピクセルの側に照明を与えることができる照明源をさらに備えることを特徴とするシステム。
- 請求項10に記載のシステムであって、前記基板を含む前記ピクセルの側に照明を与えることができる照明源をさらに備えることを特徴とするシステム。
- 請求項7に記載の方法であって、テストパターンを含むサンプルを画像化することによって検査の前に前記可変ゲート電圧の値を決定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
- 請求項7に記載の方法であって、半導体ウェハ上の類似の構造を画像化することによって検査の前に前記可変ゲート電圧の値を決定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
- 請求項7に記載の方法であって、レチクル上の類似の構造を画像化することによって検査の前に前記可変ゲート電圧の値を決定するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
- 請求項7に記載の方法であって、エイリアシングを低減するように前記可変ゲート電圧の値を決定するために複数のフレームを比較するステップをさらに含み、少なくとも1つのフレーム内の試験体の第1の位置が別のフレーム内の試験体の第2の位置と異なることを特徴とする方法。
- 請求項17に記載のシステムであって、前記照明源が400nm未満の波長を含むことを特徴とするシステム。
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CN100592201C (zh) * | 2006-06-02 | 2010-02-24 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 光学镜头测试装置及测试方法 |
US8031975B2 (en) * | 2007-08-06 | 2011-10-04 | Digital Domain Productions, Inc. | System and method of image zooming with intensity preservation |
US20090103142A1 (en) * | 2007-10-17 | 2009-04-23 | Lexmark International, Inc. | Method and apparatus for reducing aliasing artifacts in scans of screen printed originals |
US7936039B2 (en) * | 2008-10-20 | 2011-05-03 | Teledyne Scientific & Imaging, Llc | Backside illuminated CMOS image sensor with photo gate pixel |
US8947521B1 (en) | 2011-08-08 | 2015-02-03 | Kla-Tencor Corporation | Method for reducing aliasing in TDI based imaging |
DE102014204042A1 (de) * | 2014-03-05 | 2015-09-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Ansteuerung eines Röntgendetektors und zugehörige Steuereinheit |
US10903258B2 (en) | 2017-10-11 | 2021-01-26 | Kla Corporation | Image sensors with grounded or otherwise biased channel-stop contacts |
US10734438B2 (en) | 2018-03-15 | 2020-08-04 | Kla Corporation | Spread-spectrum clock-signal adjustment for image sensors |
CN111307956B (zh) * | 2019-12-19 | 2023-08-01 | 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 | 一种基于线性调频信号的导波信号激励电路 |
US11227958B2 (en) * | 2020-04-30 | 2022-01-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Circular grating structure for photonic device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58182265A (ja) * | 1982-04-19 | 1983-10-25 | Toshiba Corp | 固体撮像素子の撮像方法 |
JPH03165187A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像デバイス |
JPH08286163A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-01 | Sharp Corp | 画像処理装置及び撮像装置 |
JP2000114503A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-21 | Nikon Corp | 固体撮像装置および収差測定装置 |
JP2001503918A (ja) * | 1996-11-01 | 2001-03-21 | ローレンス バークレイ ラボラトリー | 感光シリコン検出器に取り付けられた低抵抗率光子透過性ウィンドウ |
JP2001112029A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Sharp Corp | テレビカメラの映像検査装置 |
US20030223053A1 (en) * | 2000-12-11 | 2003-12-04 | Xingiao Liu | Methods and devices for charge management for three-dimensional and color sensing |
JP2004525351A (ja) * | 2000-12-11 | 2004-08-19 | カネスタ インコーポレイテッド | 量子効率変調を用いたcmosコンパチブルの三次元イメージセンシングのためのシステム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63110867A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-16 | Canon Inc | 固体撮像素子 |
US4926225A (en) * | 1988-06-29 | 1990-05-15 | Texas Instruments Incorporated | High performance extended wavelength imager and method of use |
GB2225474A (en) * | 1988-12-01 | 1990-05-30 | To Ping Kuan | Musical attachment for nursing bottle or other liquid container |
BE1007803A3 (nl) * | 1993-11-26 | 1995-10-24 | Philips Electronics Nv | Beeldopneemapparaat. |
US5703642A (en) * | 1994-09-30 | 1997-12-30 | Eastman Kodak Company | Full depletion mode clocking of solid-state image sensors for improved MTF performance |
WO1996039619A1 (en) * | 1995-06-06 | 1996-12-12 | Kla Instruments Corporation | Optical inspection of a specimen using multi-channel responses from the specimen |
US5884775A (en) * | 1996-06-14 | 1999-03-23 | Src Vision, Inc. | System and method of inspecting peel-bearing potato pieces for defects |
US6274871B1 (en) * | 1998-10-22 | 2001-08-14 | Vysis, Inc. | Method and system for performing infrared study on a biological sample |
JP3774597B2 (ja) * | 1999-09-13 | 2006-05-17 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
-
2004
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58182265A (ja) * | 1982-04-19 | 1983-10-25 | Toshiba Corp | 固体撮像素子の撮像方法 |
JPH03165187A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像デバイス |
JPH08286163A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-01 | Sharp Corp | 画像処理装置及び撮像装置 |
JP2001503918A (ja) * | 1996-11-01 | 2001-03-21 | ローレンス バークレイ ラボラトリー | 感光シリコン検出器に取り付けられた低抵抗率光子透過性ウィンドウ |
JP2000114503A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-21 | Nikon Corp | 固体撮像装置および収差測定装置 |
JP2001112029A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Sharp Corp | テレビカメラの映像検査装置 |
US20030223053A1 (en) * | 2000-12-11 | 2003-12-04 | Xingiao Liu | Methods and devices for charge management for three-dimensional and color sensing |
JP2004525351A (ja) * | 2000-12-11 | 2004-08-19 | カネスタ インコーポレイテッド | 量子効率変調を用いたcmosコンパチブルの三次元イメージセンシングのためのシステム |
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