JP4794065B2 - Support device for workpiece - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基台上に、被処理物を固定する固定テーブルを配置してその被処理物に所定の処理を施す処理装置で使用される被処理物の支持装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、被検査物や被加工物等の被処理物を処理装置で処理する場合、支持装置によって支持された被処理物を移動機構の駆動によって水平面上もしくは上下方向に移動させて、検査装置や加工具等の処理部の位置に位置決めし、その処理位置で被処理物の検査や加工の処理が行われている。
【0003】
この場合、被処理物の支持装置として、例えば、移動機構側に、一部に設けられた取付部を支持されて移動可能になった固定テーブルを備えたものがある。この支持装置では、固定テーブルの上面に被処理物を固定するようになっており、固定テーブルは、移動機構側に支持された取付部以外の部分が宙に浮いた状態になっていたり、処理装置の台部側に設けられた基台上に載せられた状態になっていたりしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、固定テーブルが一部の取付部だけで支持される場合には、支持された部分以外の部分が自重で下がってしまい、固定テーブルの上下方向の位置を正確に位置決めすることができないという問題がある。このような支持装置を備えた処理装置を用いて、精度のよい処理を行うためには、被処理物を適正な状態で処理位置に固定することが要求され、特に、被処理面を水平な状態にすることが要求される。しかしながら、この支持装置では、この要件を満たすことができず、処理装置で精度のよい処理を行うことができない。一方、基台上に固定テーブルを載せると、固定テーブルの下面全体が基台と接触するようになって接触抵抗が大きくなり、基台や固定テーブルが消耗しやすくなるという問題がある。
【0005】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、被処理物を水平な状態で取り付けることができ、さらに、移動時の接触抵抗も小さくなる被処理物の支持装置を提供することである。
【0006】
上記の目的を達成するため、本発明に係る被処理物の支持装置の特徴は、上面が水平になった基台と、基台の上方に配置され上面に被処理物を固定する固定部と、固定部を、X軸方向、Y軸方向およびθ軸方向に移動させる移動機構と、固定部に固定される被処理物に所定の処理を施す処理部とを備えた処理装置で使用される被処理物の支持装置であって、基台上に所定間隔を保って略平行に配置される複数の同径のシャフトからなる支持シャフトと、固定部の下面における両側に、支持シャフトと交差するよう位置決めされた一対の同径のシャフトからなる位置合わせシャフトとを備え、固定部が、位置合わせシャフトを支持シャフトに接触させて同一面上で移動するようにしたことにある。
【0007】
この場合、位置合わせシャフトと支持シャフトとが4か所で接触させることが好ましい。
【0008】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、水平な基台の上面に同径の支持シャフトを載せ、この支持シャフトと交差する一対の位置合わせシャフトを固定部の下面に位置決めするため、固定部を簡単に水平状態で保持することができるようになる。すなわち、支持シャフトおよび位置合わせシャフトを交差させて重ねると、支持シャフトおよび位置合わせシャフトは点接触よって接触する。
【0009】
したがって、例えば、使用する支持シャフトおよび位置合わせシャフトがともに、二本一組のシャフトの場合であれば、接触点は四箇所であり、各組におけるシャフト同士は同径であるため、この四つの接触点は同一平面上に位置する。そして、二本の支持シャフトの下端が位置する平面および二本の位置決めシャフトの上端が位置する平面はそれぞれ、上記同一平面と平行する平面になる。このため、基台と支持シャフトおよび固定部と位置決めシャフトが、それぞれ接触する線状の部分の平面度(直線性)を良好にしておけば、固定部は精度のよい水平状態で支持される。また、その際、支持シャフトと位置合わせシャフトの交差の角度を直角にすると、固定部の安定性が良くなる。
【0010】
また、本発明の他の構成上の特徴は、固定部が、移動機構側に取り付けられるXYテーブルと、このXYテーブルに支持され被処理物を固定する固定テーブルとを備え、固定テーブルを、XYテーブルに対して上下に移動可能にしていることにある。これによると、被処理物を固定する固定テーブルの位置決めがさらに精度よく行え、被処理物の適正な支持ができるようになる。
【0011】
また、本発明の他の構成上の特徴は、支持シャフトの水平レベルを調節可能にしたことにある。これによると、支持シャフトの上端が位置する面を精度よく水平状態にすることができ、被処理物の適正な支持ができるようになる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図1は同実施形態に係る被処理物の支持装置を備えた処理装置の中央部分の概略を示す正面図であり、図2ないし図4はその各部分を示す平面図である。この処理装置中央部分10は、四角板状の平面部11aと脚部11bからなる台部11の上面に、CCDカメラ12と、CCDカメラ12を移動させるX軸移動機構13およびY軸移動機構14が設けられて構成されている。
【0013】
CCDカメラ12は平面部11aと平行する水平面内で移動可能に組付けられており、X軸移動機構13によって、X軸方向(図1ないし図4における台部11の長手方向に沿う方向)に移動可能で、Y軸移動機構14によって、X軸方向に直交するY軸方向(図2ないし図4における台部11の長手方向に直交する方向)に移動可能になっている。
【0014】
X軸移動機構13は、平面部11aの上面に配設されたモータ15と、このモータ15の回転軸15aに連結されX軸方向に延びるボールねじ16と、縦断面形状が凹形のレール部17と、レール部17に沿って移動する移動部材18とで構成されている。レール部17は、支持部材19a,19bを介して平面部11aの上面にX軸方向に沿って取り付けられており、その凹部内に移動部材18が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材18にはねじ穴(図示せず)が設けられて、このねじ穴にボールねじ16が螺合している。
【0015】
前記レール部17の凹部両端には、それぞれ図示せぬ穴部が設けられた壁部17a,17bが取り付けられており、壁部17aの穴部には、モータ15の回転軸15aが挿通し、壁部17bの穴部にはボールねじ16の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ15の駆動により、回転軸15aが回転すると、回転軸15aとともにボールねじ16が回転し、それによって、移動部材18がレール部17に沿ってX軸方向に移動する。
【0016】
Y軸移動機構14は、移動部材18の上面に取り付けられたレール部20と、レール部20の一端に固定されたモータ21と、モータ21の回転軸21aに連結されたボールねじ22と、レール部20に沿って移動する移動部材(図5(b)参照)23とで構成されている。レール部20はX軸移動機構13のレール部17と同形に形成されており、レール部17と直交するY軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部材23が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材23にはねじ穴23aが設けられて、このねじ穴23aにボールねじ22が螺合している。
【0017】
さらに、前記レール部17と同様、レール部20の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部20a,20bが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部20aの穴部には、モータ21の回転軸21aが挿通し、壁部20bの穴部にはボールねじ22の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ21を駆動させると、回転軸21aおよびボールねじ22が回転し、それによって、移動部材23がレール部20に沿ってY軸方向に移動する。
【0018】
また、移動部材23の上面には、図5(a),(b)に示すような板状のキャリッジベース24が取り付けられ、そのキャリッジベース24の一端にCCDカメラ12の高さを調節する上下調節部25を介してCCDカメラ12が取り付けられている。キャリッジベース24の一端には、断面L形の取り付け片26が固定されており、その水平部26bの上面にリング状の照明装置27が取り付けられている。なお、水平部26bには、CCDカメラ12のレンズ部12aが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部12aは、この挿通穴および照明装置27の中心穴を挿通して、その上端を上方に露呈させている。
【0019】
また、キャリッジベース24の他端には、水平状の取り付け片28が固定され、その取り付け片28の上面に、内部がケーブル29を収容する空洞30aになったキャタピラー状のケーブルガイド30の先端部が固定されている。なお、レール部20の先端部にも同様のケーブルガイド31の先端部が固定されている。
【0020】
また、台部11の上面におけるX軸移動機構13の周囲に対応する部分には、それぞれY軸方向の幅が長くなった断面形状がL字状の支柱32a,32b,32c,32dがボルト33a,33b,33c,33dによって固定されている。そして、その支柱32a,32bの上面および支柱32c,32dの上面にそれぞれ、上面が水平面に形成された細板状の基板34aおよび基板34bが掛け渡されている。
【0021】
さらに、台部11の上面における支柱32a,32bおよび支柱32c,32dを挟む両外側部分には、基板34a,34bの上面と略高さの等しい平板状の支持板35a,35bがボルト36a,36bの固定により立設されている。前記台部11、支柱32a,32b,32c,32d、基板34a,34bおよび支持板35a,35bで本発明の基台が構成されている。そして、図3に示すように、基板34a,34bおよび支持板35a,35bの上面に架け渡された状態で、支持シャフトを構成する5本のシャフト37a,37b,37c,37d,37eが互いに一定間隔を保って載置されている。これらのシャフト37a,37b,37c,37d,37eは、撓んだり変形したりしない鋼等の材料で構成されており、すべて同径同長で真っ直ぐの丸棒に形成されている。
【0022】
また、基板34a,34bおよび支持板35a,35bの上面における各シャフト37a,37b,37c,37d,37eの間およびシャフト37eの前方側部分(シャフト37e側を前方側とし、シャフト37a側を後方側とする。)には、図4に示すように、それぞれ、水平板38a,38b,38c,38d,38e,38fが、各シャフト37a,37b,37c,37d,37eを、多少の自由度を持たせた状態で位置決めして取り付けられている。
【0023】
なお、水平板38b,38cは、他の水平板38a,38d,38e,38fよりも短く設定されて、シャフト37b,37c間に、互いの間隔を保って設置されている。そして、水平板38bと38cの間には、CCDカメラ12のレンズ部12aおよび照明装置27を上方に露呈するための隙間となる窓部38gが設けられている。また、水平板38a,38b,38c,38d,38e,38fの厚みは、シャフト37a,37b,37c,37d,37eの直径よりも小さく設定されて、水平板38a,38b,38c,38d,38e,38fの上面の高さよりも、シャフト37a,37b,37c,37d,37eの上端部の高さが高くなっている。
【0024】
台部11の上面におけるX軸方向に沿う両側の後方側(シャフト37aの両端側)には、それぞれ柱39a,39bが立設され、各シャフト37a,37b,37c,37d,37eおよび水平板38a,38b,38c,38d,38e,38fの周囲には枠状台40が設けられている。そして、枠状台40の前方側には、操作パネル41が設けられている。
【0025】
また、台部11の後方には、移動機構としてのXYテーブル駆動装置(一部しか図示していない)42が設置されている。このXYテーブル駆動装置42には、X軸移動機構、Y軸移動機構(ともに平面部11aの下方に設置されている)およびθ軸移動機構43が備わっている。そして、このXY駆動装置42は、図6に示したXYテーブル44を台部11の上方に位置させた状態で支持するとともに、X軸方向、Y軸方向およびθ軸方向(水平面上で回転する方向)に移動させる。
【0026】
XYテーブル44は、平面視略台形状の被固定部44aと四角枠状の取付け部44bとで構成され、被固定部44aの係合穴44cをθ軸移動機構43のモータ43aに連結された係合軸43b(図7参照)に係合させて、XYテーブル駆動装置42のXYテーブル取付部42aに固定されている。そして、モータ43aを駆動させることにより、XYテーブル44は、θ軸方向に回転する。
【0027】
また、平面部11aの下方に設置されたX軸移動機構、Y軸移動機構は、X軸移動機構13、Y軸移動機構14と同様に構成され、それぞれ備わったモータを駆動させることにより、XYテーブル44をθ軸移動機構43とともに、X軸方向およびY軸方向に移動させる。
【0028】
XYテーブル44における取付け部44bの下面には、枠状のベース45が取り付けられ、ベース45の上面に、図8に示した透明アクリル板からなる固定テーブル46が取り付けられている。ベース45の下面両側には、図7および図9に示すように、位置合わせシャフトを構成する一対の細径シャフト47が、シャフト支持部47aによって取り付けられている。この一対の細径シャフト47は、シャフト37b,37c等と直交した状態で点接触して配設されており、これによってベース45および固定テーブル46の水平度が良好に保たれる。なお、この細径シャフト47も撓んだり変形したりしない鋼等で構成されている。
【0029】
また、ベース45の上面における両側中央部には、図6および図10に示すようなガイドピン48a,48bが立設されており、このガイドピン48a,48bに対応するXYテーブル44における取付け部44bの部分には挿通穴44cが設けられている。そして、挿通穴44c内におけるガイドピン48a,48bの周囲には小径の球体49が複数個配設されている。このため、ベース45は、XYテーブル44に対して上下に摺動できるようになっている。
【0030】
さらに、ベース45の上面における両側前後部の四箇所に、頭部が大径に形成された連結ピン50a,50b,50c,50dが取り付けられ、この連結ピン50a,50b,50c,50dに対応するXYテーブル44の部分に挿通穴(図示せず)が設けられている。連結ピン50a,50b,50c,50dはこの挿通穴を挿通して、その頭部でベース45がXYテーブル44から外れることを防止している。また、ベース45とXYテーブル44の間における連結ピン50a,50b,50c,50dの外周には、ベース45とXYテーブル44を反発させるコイルばね(図示せず)が挿通して取り付けられている。
【0031】
ベース45および固定テーブル46をシャフト37b,37c等の上に載せた状態では、ベース45および固定テーブル46は、各コイルばねの弾性力に抗して、自重で、細径シャフト47をシャフト37b,37c等に圧接させる。この場合、シャフト37b,37cの二本のシャフトがメインシャフトとして、一対の細径シャフト47と接触して、固定テーブル46を水平に保つようになっており、他のシャフト37a,37d,37eは補助シャフトとして、ベース45および固定テーブル46を支受する。
【0032】
すなわち、このメインシャフトとしてのシャフト37b,37cおよび補助シャフトとしてのシャフト37a,37d,37eによって、ベース45および固定テーブル46のどの部分を窓部38gに位置決めしても、ベース45および固定テーブル46の各部分は、各シャフト37a,37b,37c,37d,37eのいずれかに支持されて全体が水平状態に維持される。
【0033】
固定テーブル46は、複数の電極パターンがプリントされたシート状の基板(図9参照)51を固定するためのもので、図8に示すように、上面に格子状のエア抜き用線状溝46aおよび幅広の浅い溝46bが設けられている。また、この固定テーブル46には、エア抜き用の吸引装置(図示せず)がホース52aおよび継手52b等を介して接続されており、固定テーブル46上にシート状の基板51を設置した状態で、吸引装置を駆動させると、固定テーブル46の上面に基板51が吸引固定される。なお、前記XYテーブル44、ベース45および固定テーブル46で、本発明の固定部が構成される。
【0034】
また、柱39a,39bの上端を結ぶ部分にはレール部を備えた支持部(図示せず)が架け渡されており、この支持部に、基板51に所定の処理を施す処理部としてのプローブヘッド53およびこのプローブヘッド53をそれぞれZ軸方向(上下方向)に移動させるためのZ軸移動機構が設けられている。
【0035】
プローブヘッド53は、処理部として、基板51の電極パターン(図示せず)が適正に導通しているかどうかを検査するものであり、下面に、先端に細線状のプローブ54が突出したプローブ基板54aが固定具55によって固定されている。この取り付け構造は、図11および図12に示すように構成されている。すなわち、プローブ基板54aの上に異方性導電ゴムからなるシート54bが積層され、そのシート54bの上面に、フレキシブル基板54cが積層されて接合部が形成されている。そして、そのフレキシブル基板54cの上面を、弾性ゴム54dを介して固定具55で押圧した状態で、その固定具55をボルト55aでプローブヘッド53の下面に固定している。
【0036】
このプローブ54は、フレキシブル基板54cを介して、プローブヘッド53の本体に設けられたコネクタ56に接続され、さらに、フラットケーブル56aを介して図示せぬ検査装置に接続されている。また、このプローブ54の先端部の平面上における形状は、基板51の電極パターンにおける電極部と同形になるように設定され、その電極部にプローブ54の先端部を接触させることにより導通検査が行えるようになっている。
【0037】
なお、この処理装置には、前述した各装置等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピュータが設けられており、CCDカメラ12が捉える画像を画像処理して位置データに変換するとともに、基板51の電極部とプローブ54との二つの位置データの差を補正データとしてX軸移動機構13、Y軸移動機構14、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構、Y軸移動機構およびθ軸移動機構43に出力する機能を有する。
【0038】
また、支持シャフトを構成するシャフト37a,37b,37c,37d,37eには、シャフト37a,37b,37c,37d,37eの水平面におけるレベルを調節する調節機構が備わっている。このレベル調節機構は、基板34aまたは基板34bを上下移動させる機構と、基板34aおよび基板34bの長手方向に沿う一方の端部側を上下移動させる機構で構成することができる。
【0039】
また、基板34a,34bと、各シャフト37a,37b,37c,37d,37eとの間に、薄板からなるスペーサを差し込むことにより、レベル調整を行うようにしてもよい。さらに、細径シャフト47とシャフト37a,37b,37c,37d,37eの接触状態を電気的に検出できる検出装置を設けることもできる。これによって、固定テーブル46が水平になっているかどうかの確認ができるようになる。また、前記レベル調整を行う場合には、公知のレベル計を用いることが好ましい。
【0040】
このような構成において、基板51に設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パターンの導通検査を行う際には、CCDカメラ12でプローブヘッド53を撮影しながら、X軸移動機構13およびY軸移動機構14を駆動してCCDカメラ12のレンズ部12aがプローブヘッド53のプローブ54の真下に位置するようにする。
【0041】
そして、XYテーブル44に取り付けられた固定テーブル46の上面に基板51を載置するとともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テーブル46上面と基51の間を吸気することにより、基板51を固定テーブル46上に固定する。ついで、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構およびY軸移動機構を駆動して、基板51の電極パターンの位置が窓部38gの上方になるように、固定テーブル46を移動させる。つぎに、θ軸移動機構43を駆動して、電極パターンの縦横の並びがY軸方向およびX軸方向に揃うように、固定テーブル46を回転させる。
【0042】
この際、固定テーブル46を支持するベース45の下面に取り付けられた細径シャフト47は、基台のシャフト37a,37b,37c,37d,37eと直交して接触しており、固定テーブル46とベース45は自重によって、細径シャフト47をシャフト37a,37b,37c,37d,37eに圧接させる。
【0043】
また、ベース45は、ガイドピン48a,48bとXYテーブル44の挿通穴44cによって、Z軸方向に移動可能であるため、シャフト37a,37b,37c,37d,37eの上端に追従して、水平状態を保ったまま、高さを変更したり、水平方向に移動したりすることができる。この場合、細径シャフト47とシャフト37a,37b,37c,37d,37eは、点接触しているため抵抗が少なくなる。
【0044】
そして、電極パターンの並びがY軸方向およびX軸方向に揃った状態で、CCDカメラ12によって基板51の電極パターンのうちの最初に導通検査をする電極パターンを撮影しながら、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構およびY軸移動機構を駆動して、その電極パターンの電極部位置とプローブヘッド53のプローブ54の位置を合わせて一致させる。
【0045】
そして、プローブヘッド53を上下移動させるZ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド53を下降させて、プローブ54と電極パターンの電極部を接触させる。これによって、電極パターンが導通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行う場合には、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド53を上昇させ、その状態で、XYテーブル駆動装置42のX軸移動機構またはY軸移動機構を駆動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド53の位置を合わせる。
【0046】
そして、Z軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド53を下降させて、プローブ54を位置合わせした電極パターンの電極部に接触させる。これによって、この電極パターンが導通しているかどうかの検査ができる。
【0047】
上記の操作を繰り返すことにより、基板51のすべての電極パターンについて導通検査を行うことができる。このように、この支持装置では、水平に配置された基台34a,34bの上面に、シャフト37b,37c等を一定間隔で並設して、このシャフト37b,37c等の上面に、シャフト37b,37c等と直交する一対の細径シャフト47が下面に取り付けられたベース45を載置している。そして、そのベース45の上面に、固定テーブル46が配設されるため、基板51の水平度が良好になる。
【0048】
すなわち、基台34a,34bとシャフト37b,37c等との接触、および細径シャフト47とベース45との接触は線接触になり、シャフト37b,37c等と細径シャフト47との接触は点接触になる。平面同士を水平度を保ったまま接触させることは精度を要求されることからコストアップにつながり設計上難しいが、線接触や点接触の状態で互いを水平に保つことは比較的容易にできる。この結果、上記の構成をとることにより基板51を水平に固定でき、さらに検査の確実性が増すようになる。
【0049】
また、CCDカメラ12と、基板51およびプローブヘッド53との間に配設された固定テーブル46が透明体で構成されているため、CCDカメラ12、基板51およびプローブヘッド53を一直線上に位置させることができる。このため、CCDカメラ12の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなって、基板51の精度のよい位置決めができ、その結果、適正な導通検査ができるようになる。
【0050】
なお、前記実施形態では、細径シャフト47とシャフト37a,37b,37c,37d,37eが直交するとしているが、CCDカメラ12で撮影するための窓部38gさえ確保していれば、シャフト37b,37cは多少斜めに配置されていてもよいし、他のシャフト37a,37d,37eは、さらに斜めになっていてもよい。要は、細径シャフト47とシャフト37a,37b,37c,37d,37eで固定テーブル46を水平にできればよい。また、この発明にかかる支持装置は、被処理物を水平状態で固定する必要のある処理装置であれば、どのような装置でも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態による支持装置を備えた処理装置の中央部分を示す概略正面図である。
【図2】 図1の平面図である。
【図3】 処理装置の基台に支持シャフトを並設した状態を示す平面図である。
【図4】 図3におけるシャフト間に水平板を配設した状態を示す平面図である。
【図5】 (a)はCCDカメラが取り付けられたキャリッジベースの平面図であり、(b)はその正面図である。
【図6】 XYテーブルの平面図である。
【図7】 XYテーブルがXYテーブル駆動装置に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図8】 (a)は固定テーブルの平面図であり、(b)はその一部を切り欠いた正面図である。
【図9】 細径シャフトと固定テーブルの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図10】 XYテーブルとベースの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図11】 プローブの固定状態を示す斜視図である。
【図12】 プローブの固定状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
11…台部、32a,32b,32c,32d…支柱、34a,34b…基板、35a,35b…支持板、37a,37b,37c,37d,37e…シャフト、42…XYテーブル駆動装置、43…θ軸移動機構、44…XYテーブル、45…ベース、46…固定テーブル、47…細径シャフト、48a,48b…ガイドピン、44c…挿通穴、49…球体、50a,50b,50c,50d…連結ピン、51…基板、53…プローブ。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a support device for an object to be used that is used in a processing apparatus that places a fixed table for fixing an object to be processed on a base and performs a predetermined process on the object to be processed.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, when a processing object such as an inspection object or a workpiece is processed by a processing apparatus, the inspection object is moved by moving a processing object supported by a support device on a horizontal plane or in a vertical direction by driving a moving mechanism. The processing object is inspected and processed at the processing position.
[0003]
In this case, as an apparatus for supporting an object to be processed, for example, there is an apparatus provided with a fixed table that is movable on the moving mechanism side while supporting a mounting portion provided in part. In this support device, the object to be processed is fixed to the upper surface of the fixed table, and the fixed table is in a state where parts other than the mounting portion supported on the moving mechanism side are suspended in the air. It was in a state of being placed on a base provided on the base side of the apparatus.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the fixed table is supported by only a part of the mounting portion, the part other than the supported part is lowered by its own weight, and the vertical position of the fixed table cannot be accurately positioned. There is. In order to perform a highly accurate process using a processing apparatus having such a support device, it is required to fix the object to be processed at a processing position in an appropriate state. It is required to be in a state. However, this support apparatus cannot satisfy this requirement, and the processing apparatus cannot perform accurate processing. On the other hand, when the fixed table is placed on the base, there is a problem that the entire lower surface of the fixed table comes into contact with the base, the contact resistance increases, and the base and the fixed table are easily consumed.
[0005]
SUMMARY OF THE INVENTION
The present invention has been made to cope with the above-described problems, and an object of the present invention is to support an object to be processed in which the object to be processed can be mounted in a horizontal state and the contact resistance during movement is reduced. Is to provide.
[0006]
In order to achieve the above object, the feature of the support device for an object to be processed according to the present invention is The base with the top surface leveled and the top of the base A fixing part for fixing the workpiece to the surface, and a fixing part Are moved in the X-axis direction, Y-axis direction and θ-axis direction. A workpiece support device used in a processing apparatus including a moving mechanism to be moved and a processing unit that performs a predetermined process on the workpiece fixed to the fixing unit. , Group A support shaft comprising a plurality of shafts having the same diameter and arranged substantially parallel to each other at a predetermined interval on the table; , Solid An alignment shaft consisting of a pair of shafts of the same diameter positioned so as to intersect the support shaft is provided on both sides of the lower surface of the fixed portion. The fixed part moves on the same plane with the alignment shaft in contact with the support shaft. There is.
[0007]
in this case The alignment shaft and the support shaft are in contact at 4 points Preferably.
[0008]
According to the feature of the present invention configured as described above, a support shaft having the same diameter is placed on the upper surface of a horizontal base, and a pair of alignment shafts intersecting with the support shaft are positioned on the lower surface of the fixing portion. The fixing portion can be easily held in a horizontal state. That is, when the support shaft and the alignment shaft are crossed and overlapped, the support shaft and the alignment shaft come into contact with each other by point contact.
[0009]
Therefore, for example, if the support shaft and the alignment shaft to be used are both a pair of shafts, there are four contact points, and the shafts in each group have the same diameter. The contact points are located on the same plane. The plane where the lower ends of the two support shafts are located and the plane where the upper ends of the two positioning shafts are located are respectively parallel to the same plane. For this reason, if the flatness (linearity) of the linear part which a base, a support shaft, a fixing | fixed part, and a positioning shaft each contact is made favorable, a fixing | fixed part will be supported in a highly accurate horizontal state. At this time, if the angle of intersection between the support shaft and the alignment shaft is set to a right angle, the stability of the fixed portion is improved.
[0010]
Another structural feature of the present invention is that the fixing portion includes an XY table attached to the moving mechanism side and a fixing table that is supported by the XY table and fixes an object to be processed. This means that the table can be moved up and down. According to this, the positioning of the fixed table for fixing the object to be processed can be performed with higher accuracy, and the object to be processed can be properly supported.
[0011]
Another structural feature of the present invention is that the horizontal level of the support shaft can be adjusted. According to this, the surface on which the upper end of the support shaft is located can be accurately leveled, and the object to be processed can be properly supported.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view showing an outline of a central portion of a processing apparatus provided with a workpiece supporting device according to the embodiment, and FIGS. 2 to 4 are plan views showing the respective parts. The
[0013]
The
[0014]
The
[0015]
[0016]
The Y-
[0017]
Further, like the
[0018]
Further, a plate-
[0019]
Further, a
[0020]
Further, in the portion corresponding to the periphery of the
[0021]
Further,
[0022]
Further, between the
[0023]
The
[0024]
[0025]
Further, an XY table driving device (only a part of which is illustrated) 42 as a moving mechanism is installed behind the
[0026]
The XY table 44 includes a fixed
[0027]
Further, the X-axis moving mechanism and the Y-axis moving mechanism installed below the
[0028]
A frame-
[0029]
Further, guide pins 48a and 48b as shown in FIGS. 6 and 10 are erected at the center portions on both sides of the upper surface of the
[0030]
Further, connecting
[0031]
In a state where the
[0032]
That is, no matter which part of the
[0033]
The fixing table 46 is for fixing a sheet-like substrate (see FIG. 9) 51 on which a plurality of electrode patterns are printed. As shown in FIG. 8, a grid-like air-releasing
[0034]
In addition, a support portion (not shown) provided with a rail portion is bridged over a portion connecting the upper ends of the
[0035]
The
[0036]
The
[0037]
In addition to the devices described above, this processing device is provided with an image processing device and a position control microcomputer. The image captured by the
[0038]
Further, the
[0039]
Further, the level may be adjusted by inserting a spacer made of a thin plate between the
[0040]
In such a configuration, when conducting a continuity test of each electrode pattern along a plurality of electrode patterns provided on the
[0041]
Then, the
[0042]
At this time, the small-
[0043]
Further, the
[0044]
Then, in the state where the arrangement of the electrode patterns is aligned in the Y-axis direction and the X-axis direction, the XY
[0045]
Then, by driving a Z-axis moving mechanism that moves the
[0046]
Then, by driving the Z-axis moving mechanism, the
[0047]
By repeating the above operation, continuity inspection can be performed on all electrode patterns of the
[0048]
That is, the contact between the
[0049]
Since the fixed table 46 disposed between the
[0050]
In the above embodiment, the
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic front view showing a central portion of a processing apparatus including a support device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of FIG.
FIG. 3 is a plan view showing a state in which a support shaft is arranged in parallel on the base of the processing apparatus.
4 is a plan view showing a state in which a horizontal plate is disposed between shafts in FIG. 3. FIG.
FIG. 5A is a plan view of a carriage base to which a CCD camera is attached, and FIG. 5B is a front view thereof.
FIG. 6 is a plan view of an XY table.
FIG. 7 is a front view showing a state in which an XY table is attached to an XY table driving device.
FIG. 8A is a plan view of a fixed table, and FIG. 8B is a front view with a part thereof cut away.
FIG. 9 is a partially enlarged view showing an assembled state of the small-diameter shaft and the fixed table.
FIG. 10 is a partially enlarged view showing an assembled state of an XY table and a base.
FIG. 11 is a perspective view showing a fixed state of the probe.
FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing a fixed state of the probe.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記基台の上方に配置され上面に被処理物を固定する固定部と、
前記固定部を、X軸方向、Y軸方向およびθ軸方向に移動させる移動機構と、
前記固定部に固定される前記被処理物に所定の処理を施す処理部と
を備えた処理装置で使用される被処理物の支持装置であって、
前記基台上に所定間隔を保って略平行に配置される複数の同径のシャフトからなる支持シャフトと、
前記固定部の下面における両側に、前記支持シャフトと交差するよう位置決めされた一対の同径のシャフトからなる位置合わせシャフトとを備え、
前記固定部が、前記位置合わせシャフトを前記支持シャフトに接触させて同一面上で移動するようにしたことを特徴とする被処理物の支持装置。 A base whose top surface is horizontal;
A fixing unit for fixing the object to be processed in the upper surface being disposed above the base,
Said fixed portion, and the X-axis direction, moving mechanism for moving in the Y-axis direction and the θ-axis direction,
A processing object support device used in a processing apparatus including a processing unit that performs a predetermined process on the processing object fixed to the fixing unit,
A support shaft consisting of a plurality of shafts of the same diameter arranged substantially in parallel on the base at a predetermined interval;
On both sides of the lower surface of the front Symbol fixing unit, Bei example a positioning shaft comprising a pair of same diameter of the shaft that is positioned to cross the supporting shaft,
An apparatus for supporting an object to be processed, wherein the fixing portion moves on the same plane with the alignment shaft in contact with the support shaft .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001143071A JP4794065B2 (en) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | Support device for workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001143071A JP4794065B2 (en) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | Support device for workpiece |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002341075A JP2002341075A (en) | 2002-11-27 |
JP4794065B2 true JP4794065B2 (en) | 2011-10-12 |
Family
ID=18989270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001143071A Expired - Fee Related JP4794065B2 (en) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | Support device for workpiece |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4794065B2 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0464616U (en) * | 1990-10-18 | 1992-06-03 | ||
JP2000075072A (en) * | 1998-09-02 | 2000-03-14 | Shuhei Takasu | Driving method and device of table or the like |
JP3789655B2 (en) * | 1998-09-03 | 2006-06-28 | 独立行政法人 日本原子力研究開発機構 | Cesium introduction device |
JP3897469B2 (en) * | 1998-11-17 | 2007-03-22 | 株式会社日本マイクロニクス | Inspection apparatus and inspection method for flat object |
-
2001
- 2001-05-14 JP JP2001143071A patent/JP4794065B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002341075A (en) | 2002-11-27 |
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