JP4792200B2 - リセスエッチング前のインタフェロメトリによるin−situモニタリングを伴う平坦化エッチング方法 - Google Patents
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Claims (15)
- 基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
a)前記基板上にハードマスクを形成し、
b)前記ハードマスクを使用して、前記基板にトレンチをエッチングし、
c)前記ハードマスク上およびトレンチ内に誘電層を形成し、前記誘電層は、前記トレンチの内側を覆うように構成され、
d)前記誘電層上に導電材料を、前記導電材料のブランケットが前記ハードマスク上を覆い、かつ前記トレンチを充填するように、付加し、
e1)前記導電材料を平坦化エッチングして前記導電材料を実質的に平坦化し、
e2)前記ハードマスクを覆う前記誘電層上の前記導電材料の一部を残すように、前記平坦化エッチングの終点を特定するために、インタフェロメトリ終点検知を行い、
e3)前記平坦化エッチングの前記終点が特定されると、前記平坦化エッチングを終了し、
f)前記ハードマスクを覆う前記誘電層上の導電材料が除去され、且つ前記トレンチ内から前記導電材料の少なくとも一部が除去されるように、前記平坦化エッチングを行うために使用される化学反応とは異なる化学反応を使用して、前記導電材料をリセスエッチングし、
g)前記トレンチ内に前記導電材料の複数の層を形成するために、前記(c)ないし前記(f)を一回以上繰り返す、
工程を備え、
前記平坦化エッチングの終点を特定するために前記インタフェロメトリ終点検知を利用することで、複数回のリセスエッチングに使用され得るように前記ハードマスクが保護され、
前記導電材料の前記平坦化エッチングは、Cl 2 、He、およびSF 6 を含む第一の化学反応を利用し、
前記リセスエッチングは、ArおよびSF 6 を含む第二の化学反応を利用する、基板におけるリセスエッチング作業を行う方法。 - 請求項1記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
前記平坦化エッチングおよび前記リセスエッチングが、エッチングチャンバで起こり、これによりウェーハ生産スループットが増加する、方法。 - 請求項1記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
Cl2の流量が、20sccmないし200sccmであり、
Heの流量が、20sccmないし500sccmであり、
SF6の流量が、2sccmないし50sccmである、方法。 - 請求項1記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
Arの流量が、0sccmないし300sccmであり、
SF6の流量が、10sccmないし100sccmである、方法。 - 請求項1記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
前記リセスエッチングを、インタフェロメトリ終点(IEP)検出と、実行されるリセスエッチングの量を規定するエッチングの時間と、の一方と共に使用して、前記導電材料の除去をモニタする、方法。 - 基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
a)前記基板上にハードマスクを形成し、
b)前記ハードマスクを使用して、前記基板にトレンチをエッチングし、
c)前記ハードマスク上およびトレンチ内に誘電層を形成し、前記誘電層は、前記トレンチの内側を覆うように構成され、
d)前記誘電層上に導電材料を、前記導電材料のブランケットが前記ハードマスク上を覆い、かつ前記トレンチを充填するように、付加し、
e1)第一の化学反応を利用して前記導電材料を平坦化エッチングし、前記導電材料を実質的に平坦化し、
e2)前記ハードマスクを覆う前記誘電層上の前記導電材料の一部を残すように、前記平坦化エッチングの終点を特定するために、インタフェロメトリ終点検知を行い、
e3)前記平坦化エッチングの前記終点が特定されると、前記平坦化エッチングを終了し、
f)前記ハードマスクを覆う前記誘電層上の導電材料が除去され、且つ前記トレンチ内から前記導電材料の少なくとも一部が除去されるように、第二の化学反応、ならびにインタフェロメトリ・モニタリングと、実行されるリセスエッチングの量を規定するエッチングの時間と、の一方を使用して、前記導電材料をリセスエッチングし、
g)前記トレンチ内に前記導電材料の複数の層を形成するために、前記(c)ないし前記(f)を一回以上繰り返す、
工程を備え、
前記平坦化エッチングの終点を特定するために前記インタフェロメトリ終点検知を利用することで、複数回のリセスエッチングに使用され得るように前記ハードマスクが保護され、
前記第一の化学反応は、Cl 2 、He、およびSF 6 を含み、
第二の化学反応は、ArおよびSF 6 を含む、
基板におけるリセスエッチング作業を行う方法。 - 請求項6記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
前記平坦化エッチングおよび前記リセスエッチングが、エッチングチャンバで起こり、これによりウェーハ生産スループットが増加する、方法。 - 請求項6記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
Cl2の流量が、20sccmないし200sccmであり、
Heの流量が、20sccmないし500sccmであり、
SF6の流量が、2sccmないし50sccmである、方法。 - 請求項6記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
Arの流量が、0sccmないし300sccmであり、
SF6の流量が、10sccmないし100sccmである、方法。 - 基板におけるリセスエッチング作業を行う方法であって、
a)前記基板上にハードマスクを形成し、
b)前記ハードマスクを使用して、前記基板にトレンチをエッチングし、
c)前記ハードマスク上およびトレンチ内に二酸化ケイ素層を形成し、前記二酸化ケイ素層は、前記トレンチの内側を覆うように構成され、
d)前記誘電層上にポリシリコン材料を、前記ポリシリコン材料のブランケットが前記ハードマスク上を覆い、かつ前記トレンチを充填するように、付加し、
e1) Cl 2 、He、およびSF 6 を含む第一の化学反応を使用して、前記ポリシリコン材料を平坦化エッチングして前記ポリシリコン材料を実質的に平坦化し、
e2)前記ハードマスクを覆う前記二酸化ケイ素層上の前記ポリシリコン材料の一部を残すように、前記平坦化エッチングの終点を特定するために、インタフェロメトリ終点検知を行い、
e3)前記平坦化エッチングの前記終点が特定されると、前記平坦化エッチングを終了し、
f)前記ハードマスクを覆う前記二酸化ケイ素層上のポリシリコン材料が除去され、且つ前記トレンチ内から前記ポリシリコン材料の少なくとも一部が除去されるように、インタフェロメトリ・モニタリングと、実行されるリセスエッチングの量を規定するエッチングの時間と、の一方を使用して、前記ポリシリコン材料をリセスエッチングし、
前記リセスエッチングは、ArおよびSF6を含む第二の化学反応を使用し、
g)前記トレンチ内に前記ポリシリコン材料の複数の層を形成するために、前記(c)ないし前記(f)を一回以上繰り返す、
工程を備え、
前記平坦化エッチングの終点を特定するために前記インタフェロメトリ終点検知を利用することで、複数回のリセスエッチングに使用され得るように前記ハードマスクが保護され、
基板におけるリセスエッチング作業を行う方法。 - 請求項10記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う前記方法であって、
前記工程(e1)において、
前記第一の化学反応は、
流量が100sccmのCl 2 と、
流量が100sccmのHeと、
流量が10sccmのSF 6 で定められる、方法。 - 請求項10記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う前記方法であって、
前記工程(f)において、
前記第二の化学反応は、
流量が200sccmのArと、
流量が15sccmのSF 6 で定められる、方法。 - 請求項10記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う前記方法であって、
前記工程(e1)において、
前記平坦化エッチングが、
800ワットないし1200ワットのトップ出力と、
40ワットないし100ワットのボトム出力と、
3mTorrないし10mTorrのガス圧力と、
10度Cないし60度Cの温度と、を利用するエッチングチャンバ内で起こる、方法。 - 請求項10記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う前記方法であって、
前記工程(e1)において、
平坦化エッチングが、
1000ワットのトップ出力と、
66ワットのボトム出力と、
5mTorrのガス圧力と、
30度Cの温度と、を利用するエッチングチャンバ内で起こる、方法。 - 請求項10記載の基板におけるリセスエッチング作業を行う前記方法であって、
前記工程(e2)において、
前記インタフェロメトリ終点検知は、第一の波長を有する第一の光信号と、第二の波長を有する第二の光信号と、の使用を含み、前記第一の波長は前記第二の波長と異なる、方法。
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