JP4788237B2 - Droplet discharge head - Google Patents

Droplet discharge head Download PDF

Info

Publication number
JP4788237B2
JP4788237B2 JP2005238826A JP2005238826A JP4788237B2 JP 4788237 B2 JP4788237 B2 JP 4788237B2 JP 2005238826 A JP2005238826 A JP 2005238826A JP 2005238826 A JP2005238826 A JP 2005238826A JP 4788237 B2 JP4788237 B2 JP 4788237B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
nozzles
convex portion
plate
ink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005238826A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007050661A (en
Inventor
秀樹 福永
洋 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd, Fujifilm Business Innovation Corp filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP2005238826A priority Critical patent/JP4788237B2/en
Publication of JP2007050661A publication Critical patent/JP2007050661A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4788237B2 publication Critical patent/JP4788237B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、記録媒体へ液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a droplet discharge head that discharges droplets onto a recording medium.

インクジェット方式の記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドでは、ノズルからインク滴を吐出した際、ノズルからインクが盛り上がるオーバーシュート現象によるインク漏れが生じて、インク滴がノズル周囲に付着することがある。このノズル周囲に付着したインクによって、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径および速度がばらつくことがあり、これによって、インクジェット記録ヘッドの印字性能が著しく低下する場合がある。   In an ink jet recording head used in an ink jet recording apparatus, when an ink droplet is ejected from a nozzle, ink leakage may occur due to an overshoot phenomenon in which the ink rises from the nozzle, and the ink droplet may adhere to the periphery of the nozzle. The ink adhering to the periphery of the nozzle may incline the ink ejection direction, and the ink droplet diameter and speed may vary, and this may cause the printing performance of the ink jet recording head to deteriorate significantly.

そこで、インク滴がノズル周囲に付着するのを防ぐため、ノズル表面に撥水膜を施すことが行われている。しかし、この撥水膜は、用紙の浮き上がり等による擦れや、ノズル面のメンテナンスのためのワイピング等による機械的な摩擦によって破壊されることがある。これにより、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径及び速度にばらつきが生じるなど、インクの吐出性能が悪化する。   In order to prevent ink droplets from adhering to the periphery of the nozzle, a water repellent film is applied to the nozzle surface. However, this water-repellent film may be destroyed by rubbing due to paper floating or mechanical friction due to wiping for maintenance of the nozzle surface. As a result, the ink ejection performance is deteriorated, for example, the ink ejection direction is inclined and the ink droplet diameter and speed are varied.

この対策として、図10(A)に示すように、ノズルプレート102に、ザグリとなる孔104が形成された金属プレート106を積層して、ノズル108の周囲にザグリ(段差)を形成し、ノズル108が形成された部分を周囲のプレート面よりも後退させることで、ノズル108周辺の撥水膜110が、用紙の接触による摩擦や、ワイピング等による機械的な摩擦を受けないようにしているものがある(特許文献1参照)。   As a countermeasure, as shown in FIG. 10A, a metal plate 106 having a counterbore hole 104 is laminated on the nozzle plate 102 to form a counterbore (step) around the nozzle 108. By retreating the portion on which the nozzle 108 is formed from the surrounding plate surface, the water repellent film 110 around the nozzle 108 is prevented from being subjected to friction due to contact with paper or mechanical friction due to wiping or the like. (See Patent Document 1).

しかし、特許文献1では、ノズル108を金属プレート106に形成された孔104によって個々に取り囲んでいるため、メンテナンス時にノズル面の余剰インクを除去する際に、除去した余剰インクやゴミ等が孔104の隅(側壁)に残留してしまうなど、余剰インクの除去性が悪い。   However, in Patent Document 1, since the nozzles 108 are individually surrounded by the holes 104 formed in the metal plate 106, when the excess ink on the nozzle surface is removed during maintenance, the removed excess ink, dust, or the like is removed from the holes 104. The residual ink is poorly removed, such as remaining in the corners (side walls) of the ink.

一方、図10(B)に示すように、同一ライン上に配列された複数のノズル112を、ノズル112の配列方向に沿って延びる凹部114で取り囲むことで、ノズル112の周囲をプレート面よりも後退させる構成としたものがある(特許文献2参照)。しかし、特許文献2では、凹部114の中央に位置しているノズル112周囲の余剰インクの除去性は良好となるものの、凹部114の端部に余剰インクやゴミ等が溜まってしまい、凹部114の端部近傍に位置するノズル112周囲の余剰インクの除去性は悪く、端部近傍のノズル112の吐出性能を劣化させてしまう。
特開平4−234665号公報 特開平11−334084号公報
On the other hand, as shown in FIG. 10B, by surrounding the plurality of nozzles 112 arranged on the same line with recesses 114 extending along the arrangement direction of the nozzles 112, the periphery of the nozzles 112 is surrounded by the plate surface. There exists what was made the structure made to reverse (refer patent document 2). However, in Patent Document 2, although the removability of excess ink around the nozzle 112 located in the center of the recess 114 is improved, excess ink, dust, or the like accumulates at the end of the recess 114, and The removability of excess ink around the nozzle 112 located in the vicinity of the end portion is poor, and the discharge performance of the nozzle 112 in the vicinity of the end portion is deteriorated.
JP-A-4-234665 JP 11-334084 A

本発明は上記問題を考慮し、全てのノズルにおいて余剰インクの除去性が良好で、且つ、ノズル周囲にゴミ等が溜まるのを防止することを目的とする。   In consideration of the above problems, an object of the present invention is to prevent excess ink from being removed from all nozzles and to prevent dust from being collected around the nozzles.

請求項1に記載の本発明は、液滴を吐出する複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドにおいて、液滴が吐出される液滴吐出面には、前記ノズル列の両側に該ノズル列に沿った縦凸部と、前記縦凸部の前記ノズルの並び方向側の一方の端部を連接する横凸部と、が設けられていることを特徴としている。   According to the first aspect of the present invention, in the recording head having a nozzle row composed of a plurality of nozzles for discharging droplets, the nozzle rows are arranged on both sides of the nozzle row on a droplet discharge surface on which the droplets are discharged. And a horizontal convex portion that connects one end of the vertical convex portion on the side in which the nozzles are arranged is provided.

請求項1に記載の本発明は、液滴を吐出する複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドにおいて、液滴が吐出される液滴吐出面には、隣接するノズル列に跨って前記ノズル間に、且つ、ノズル列に対して斜め方向に傾斜凸部が設けられていることを特徴としている。 The present invention is defined in claim 1, a recording head having a nozzle array comprising a plurality of nozzles for ejecting droplets, the droplet ejecting face of the liquid droplet is ejected, the across adjacent nozzle rows nozzle In addition , an inclined convex portion is provided in an oblique direction with respect to the nozzle row.

請求項1に記載の発明によれば、隣接するノズル列に跨って設けられた傾斜凸部は、ノズル列に対して斜め方向に設けられている。これにより、ノズルに付着した余剰インクやゴミ等は、傾斜凸部に沿ってノズル列に対して斜めに移動する。したがって、余剰インクやゴミ等は、ノズル周囲に溜まらない。また、余剰インクやゴミ等は斜めに移動されるため、ノズルを清掃する清掃部材を移動させる方向が限定されない。 According to the first aspect of the present invention, the inclined convex portion provided across the adjacent nozzle rows is provided in an oblique direction with respect to the nozzle rows. As a result, excess ink, dust, or the like adhering to the nozzle moves obliquely with respect to the nozzle row along the inclined convex portion. Therefore, excess ink, dust, etc. do not collect around the nozzles. Further, since excess ink, dust, and the like are moved obliquely, the direction in which the cleaning member that cleans the nozzles is moved is not limited.

さらに、傾斜凸部はノズル列に跨って広い面積で設けられているため、ノズルプレートに他のプレートを接合する際に、ノズルプレートにかかる押圧力が、狭い範囲に集中してかかることが防げる。したがって、押圧力によってノズルプレートが撓んだり、破損したりする恐れがない。   Furthermore, since the inclined convex portion is provided in a wide area across the nozzle row, it is possible to prevent the pressing force applied to the nozzle plate from being concentrated in a narrow range when another plate is joined to the nozzle plate. . Therefore, there is no possibility that the nozzle plate is bent or damaged by the pressing force.

請求項2に記載の本発明は、請求項1に係る発明において、前記ノズル列に備えられた前記ノズルは、隣接する前記ノズル列に備えられた前記ノズルに対し、ノズル配列方向に対して直交する方向に並ぶように配置され、前記傾斜凸部は、隣接するノズル列に備えられたノズルがノズル配列方向に1個分ずれるように隣接するノズル列に跨って斜め方向に傾斜していることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the nozzles provided in the nozzle row are orthogonal to the nozzle arrangement direction with respect to the nozzles provided in the adjacent nozzle row. The inclined convex portions are inclined obliquely across the adjacent nozzle rows so that the nozzles provided in the adjacent nozzle rows are shifted by one in the nozzle arrangement direction. It is characterized by.

請求項7に記載の発明によれば、ノズルは少なくとも一箇所に開口部が形成された開環状の環状凸部に取り囲まれている。これにより、ノズルに付着した余剰インクやゴミ等は、開口部から環状凸部の外側へ排出されるので、ノズル周囲に溜まらない。   According to the seventh aspect of the present invention, the nozzle is surrounded by the annular annular convex portion having an opening formed at least at one place. As a result, excess ink, dust or the like adhering to the nozzle is discharged from the opening to the outside of the annular convex portion, so that it does not collect around the nozzle.

本発明は上記構成としたので、全てのノズルにおいて余剰インクの除去性が良好で、且つ、ノズル周囲にゴミ等が溜まるのを防止される。   Since the present invention has the above-described configuration, it is possible to remove excess ink at all nozzles and prevent dust and the like from being collected around the nozzles.

以下、本発明の参考形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, a reference embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の参考形態のインクジェット記録ヘッド10を示す断面図である。 FIG. 1 is a sectional view showing an ink jet recording head 10 according to a reference embodiment of the present invention.

図1に示すように、インクジェット記録ヘッド10は、保護凸部12、ノズルプレート14、プールプレート16、連通孔プレート18、供給路プレート20、圧力室プレート22、および振動板24の合計7枚のプレートを位置合わせして積層し、接着剤等の接合手段によって接合することにより形成されている。   As shown in FIG. 1, the ink jet recording head 10 includes a total of seven protection convex portions 12, a nozzle plate 14, a pool plate 16, a communication hole plate 18, a supply path plate 20, a pressure chamber plate 22, and a diaphragm 24. The plates are formed by aligning and laminating the plates and bonding them by a bonding means such as an adhesive.

ノズルプレート14には、インクを吐出するノズル26が設けられている。図2に示すように、ノズル26は、用紙の搬送方向と直交する方向に沿って所定の間隔で配設されており、ノズル列26Aを形成している。このノズル列26Aが、用紙の搬送方向に沿って、所定の間隔で複数配設されている。   The nozzle plate 14 is provided with nozzles 26 that eject ink. As shown in FIG. 2, the nozzles 26 are arranged at a predetermined interval along a direction orthogonal to the paper transport direction, and form a nozzle row 26A. A plurality of the nozzle rows 26A are arranged at predetermined intervals along the paper transport direction.

また、図1に示すように、ノズルプレート14には、機械的強度、耐薬品性、薄膜化に優れた合成樹脂が用いられ、本参考形態ではポリイミドが用いられている。ポリイミドを用いることで、インクに吐出エネルギーを与えた際にダンパ効果によりクロストークを抑制するという利点がある。 Further, as shown in FIG. 1, the nozzle plate 14 is made of a synthetic resin excellent in mechanical strength, chemical resistance and thinning, and polyimide is used in the present embodiment . By using polyimide, there is an advantage that crosstalk is suppressed by a damper effect when ejection energy is given to the ink.

プールプレート16及び連通孔プレート18には、それぞれ連通孔28、30が形成されている。また、供給路プレート20には供給孔32が形成されている。これらのノズル26、連通孔28、30、供給孔32は、プールプレート16、連通孔プレート18、供給路プレート20が積層された状態で連通し、圧力室プレート22に形成された圧力室34に繋がっている。   In the pool plate 16 and the communication hole plate 18, communication holes 28 and 30 are formed, respectively. A supply hole 32 is formed in the supply path plate 20. The nozzle 26, the communication holes 28 and 30, and the supply hole 32 communicate with the pool plate 16, the communication hole plate 18, and the supply path plate 20 in a stacked state, and a pressure chamber 34 formed in the pressure chamber plate 22. It is connected.

プールプレート16にはインクプール40が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート18及び供給路プレート20には、それぞれ供給孔42、44が形成されている。インクプール40及び供給孔42、44は、プールプレート16、連通孔プレート18、供給路プレート20が積層された状態で連通し、圧力室プレート22に形成された圧力室34に繋がっている。   An ink pool 40 is formed on the pool plate 16 and stores ink supplied from an ink supply hole (not shown). The communication hole plate 18 and the supply path plate 20 are provided with supply holes 42 and 44, respectively. The ink pool 40 and the supply holes 42 and 44 communicate with each other in a state where the pool plate 16, the communication hole plate 18, and the supply path plate 20 are stacked, and are connected to a pressure chamber 34 formed in the pressure chamber plate 22.

なお、図示は省略するが、振動板24の上部には、圧力室34の上方に単板型の圧電素子が取り付けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。   Although not shown, a single plate type piezoelectric element is attached to the upper portion of the vibration plate 24 above the pressure chamber 34 so that a driving voltage is applied from a flexible wiring board (not shown). ing.

上記構成により、インク供給孔(図示省略)から供給されインクプール40に貯留されたインクは、供給孔42、44を経て圧力室34内に充填される。そして、圧電素子(図示省略)に駆動電圧が印加されると、圧電素子とともに振動板24がたわみ変形して圧力室34を膨張又は圧縮させる。これによって、圧力室34に体積変化が生じ、圧力室34内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル26から外部へインク滴が吐出されるようになっている。   With the above configuration, the ink supplied from the ink supply hole (not shown) and stored in the ink pool 40 is filled into the pressure chamber 34 through the supply holes 42 and 44. When a drive voltage is applied to the piezoelectric element (not shown), the diaphragm 24 is deformed together with the piezoelectric element to expand or compress the pressure chamber 34. As a result, a volume change occurs in the pressure chamber 34, and a pressure wave is generated in the pressure chamber 34. The ink is moved by the action of the pressure wave, and ink droplets are ejected from the nozzle 26 to the outside.

一方、ノズルプレート14のインク吐出側の面(ノズル面)には、保護凸部12が設けられている。保護凸部12は薄板状とされ、図2に示すように、ノズル26の配列方向に沿ってノズル列26Aの両側に設けられた矩形状の縦凸部12Aと、縦凸部12Aの一方の端部に設けられ、他の縦凸部12Aを連接する横凸部12Bとで、櫛歯状に構成されている。つまり、ノズルプレート14のインク吐出側の面には、ノズル列26Aの三方向を囲むようにして保護凸部12が設けられている。これにより、ノズルプレート14には段差が設けられた状態となっており、この段差部分にノズル26が形成された構成となっている。なお、本参考形態では、保護凸部12の厚さは、5μm以上50μm以下とされているが、保護凸部12の厚さはこの数値に限定されるものではない。 On the other hand, a protective projection 12 is provided on the surface (nozzle surface) of the nozzle plate 14 on the ink discharge side. As shown in FIG. 2, the protective convex portion 12 has a thin plate shape, and as shown in FIG. 2, a rectangular vertical convex portion 12A provided on both sides of the nozzle row 26A along the arrangement direction of the nozzles 26 and one of the vertical convex portions 12A. It is configured in a comb-like shape with a horizontal convex portion 12B provided at the end and connecting the other vertical convex portions 12A. That is, the protective convex portion 12 is provided on the ink discharge side surface of the nozzle plate 14 so as to surround the three directions of the nozzle row 26A. Thus, the nozzle plate 14 is provided with a step, and the nozzle 26 is formed at the step. In this reference embodiment , the thickness of the protective convex portion 12 is 5 μm or more and 50 μm or less, but the thickness of the protective convex portion 12 is not limited to this value.

このように、ノズルプレート14のインク吐出側の面に段差を設けることで、印字時に浮き上がった用紙が、ノズル面に接触するのを防ぐので、ノズル26周りに設けられた後述する撥水膜38に傷がつかない。   In this way, by providing a step on the surface of the nozzle plate 14 on the ink ejection side, the paper that has floated during printing is prevented from coming into contact with the nozzle surface. Therefore, a water repellent film 38, which will be described later, provided around the nozzle 26. Is not scratched.

保護凸部12の表面、保護凸部12の側壁及び保護凸部12によって囲まれたノズル26周りにかけて、撥水膜38が設けられている。撥水膜38は、ノズル26から吐出されたインクがノズル26周りに付着するのを防止する。これにより、ノズル26から吐出されるインク滴の吐出性能の低下を引き起こすことがない。なお、図2では、撥水膜38は省略している。   A water repellent film 38 is provided around the surface of the protective convex portion 12, the side wall of the protective convex portion 12, and the nozzle 26 surrounded by the protective convex portion 12. The water repellent film 38 prevents ink ejected from the nozzle 26 from adhering around the nozzle 26. As a result, the ejection performance of the ink droplets ejected from the nozzle 26 is not reduced. In FIG. 2, the water repellent film 38 is omitted.

ところで、ノズルプレート14のノズル面は、メンテナンス動作時にノズル面に接触して用紙の搬送方向と直交する方向(矢印A方向)に沿って移動するワイパープレード(図示省略)によって払拭されるようになっている。このとき、ノズル列26Aは櫛歯状の保護凸部12(縦凸部12A及び横凸部12B)によって囲まれた状態にあり、ノズル26の配列方向の一方の端部は開放されている。つまり、ワイパーブレードのワイピング方向の下流側の端部が開放されているので、ノズル26に付着した余剰インクやゴミ等は、ワイパーブレードによって開放された側から保護凸部12の外側へ排出されるので、ノズル26周囲に溜まりにくい。   By the way, the nozzle surface of the nozzle plate 14 is wiped by a wiper blade (not shown) that moves along a direction (arrow A direction) perpendicular to the paper transport direction by contacting the nozzle surface during a maintenance operation. ing. At this time, the nozzle row 26 </ b> A is surrounded by the comb-like protective convex portions 12 (vertical convex portions 12 </ b> A and horizontal convex portions 12 </ b> B), and one end portion in the arrangement direction of the nozzles 26 is open. That is, since the end of the wiper blade on the downstream side in the wiping direction is opened, excess ink, dust or the like adhering to the nozzle 26 is discharged from the side opened by the wiper blade to the outside of the protective projection 12. Therefore, it is difficult to collect around the nozzle 26.

次に、上記インクジェット記録ヘッド10の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the inkjet recording head 10 will be described.

まず、図3(A)に示すように、ポリイミドフィルムからなるノズルプレート14の表面に、SUSなどの金属からなる保護凸部12を加熱加圧によって圧着する。   First, as shown in FIG. 3A, a protective convex portion 12 made of a metal such as SUS is pressure-bonded to the surface of a nozzle plate 14 made of a polyimide film by heating and pressing.

次に、保護凸部12の表面にスピンコート法によりレジスト58を塗布し、プリベーク後に保護凸部12の形状を焼き付けたパターンマスクを重ねてUV露光して、レジスト58を選択的に感光させた後に、現像液に浸して現像し、再度ベーキングする。これにより、図3(B)に示すように、保護凸部12の表面のレジスト58にパターンが形成される。   Next, a resist 58 was applied to the surface of the protective convex portion 12 by spin coating, and after pre-baking, a pattern mask on which the shape of the protective convex portion 12 was baked was superimposed and UV exposed to selectively expose the resist 58. Later, it is immersed in a developing solution and developed, and then baked again. Thereby, as shown in FIG. 3B, a pattern is formed on the resist 58 on the surface of the protective convex portion 12.

次に、酸素プラズマを用いて、レジスト58をマスクとして、保護凸部12をドライエッチングし、レジスト58を除去する。これにより、図3(C)に示すように、保護凸部12が所定形状(例えば、図2に示すように、略U字状)に形成される。   Next, using oxygen plasma, the protective projection 12 is dry-etched using the resist 58 as a mask, and the resist 58 is removed. As a result, as shown in FIG. 3C, the protective convex portion 12 is formed in a predetermined shape (for example, substantially U-shaped as shown in FIG. 2).

次に、図3(D)に示すように、保護凸部12の表面、すなわちインクの吐出側の面に、蒸着法などにより撥水膜38を形成する。この撥水膜38としては、4フッ化エチレン−6フッ化プロピレン共重合体(FEP)、4フッ化エチレン樹脂(PTFE)、4フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂(PFA)、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系樹脂が用いられる。特に、4フッ化エチレン樹脂(PTFE)、4フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂(PFA)が好ましく、本参考形態では、4フッ化エチレン樹脂(PTFE)が用いられている。 Next, as shown in FIG. 3D, a water repellent film 38 is formed on the surface of the protective convex portion 12, that is, the surface on the ink ejection side, by vapor deposition or the like. The water-repellent film 38 includes a tetrafluoroethylene-6 fluoropropylene copolymer (FEP), a tetrafluoroethylene resin (PTFE), a tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (PFA), a fluorine Fluorine resins such as vinylidene fluoride resin and vinyl fluoride resin are used. In particular, tetrafluoroethylene resin (PTFE) and tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (PFA) are preferable, and tetrafluoroethylene resin (PTFE) is used in this embodiment .

次に、図3(E)に示すように、撥水膜38の表面に、真空ラミネータにより保護シート46を密着させる。これにより、撥水膜38は保護シート46に被覆された状態となる。保護シート46は、エキシマレーザLによってアブレーション加工が可能なシートが用いられる。ここでは、保護シート46として、ORDYL BF45Z(東京応化製)、エレップホルダー BT-150E-KL(日東電工製)、ELEGRIP TAPE AD-80H(電気化学工業製)等が用いられる。   Next, as shown in FIG. 3E, a protective sheet 46 is adhered to the surface of the water repellent film 38 by a vacuum laminator. As a result, the water repellent film 38 is covered with the protective sheet 46. The protective sheet 46 is a sheet that can be ablated by the excimer laser L. Here, as protective sheet 46, ORDYL BF45Z (manufactured by Tokyo Ohka), ELEP holder BT-150E-KL (manufactured by Nitto Denko), ELEGRIP TAPE AD-80H (manufactured by Denki Kagaku Kogyo), etc. are used.

なお、アブレーションとは、高分子材料がエキシマレーザLを吸収することにより、高分子材料の分子結合が切られ、結合が切られた分子、原子が分解、飛散する現象であり、アブレーション加工とは、アブレーションを利用して高分子材料に所望の形状を形成するための加工法である。   Ablation is a phenomenon in which the polymer material absorbs the excimer laser L and thereby the molecular bond of the polymer material is broken, and the broken molecules and atoms are decomposed and scattered. This is a processing method for forming a desired shape in a polymer material using ablation.

そして、図3(F)に示すように、ノズルプレート14の裏面(インクの吐出側と反対側)側からエキシマレーザLを照射する。エキシマレーザLの照射領域には、エキシマレーザLのビーム断面と略相似形状(ノズル26に対応する形状)の孔が形成され、エキシマレーザLの照射時間の増加にしたがって、深く掘り下げられていく。この孔がノズルプレート14及び撥水膜38を貫通し、保護シート46の途中に達するまでエキシマレーザLを照射して、ノズルプレート14及び撥水膜38に、ノズル26に対応する孔を形成する。   Then, as shown in FIG. 3F, the excimer laser L is irradiated from the back surface (the side opposite to the ink ejection side) of the nozzle plate 14. In the irradiation region of the excimer laser L, a hole having a shape substantially similar to the beam cross section of the excimer laser L (a shape corresponding to the nozzle 26) is formed, and the hole is dug deeper as the irradiation time of the excimer laser L increases. This hole penetrates the nozzle plate 14 and the water repellent film 38 and irradiates the excimer laser L until reaching the middle of the protective sheet 46, thereby forming a hole corresponding to the nozzle 26 in the nozzle plate 14 and the water repellent film 38. .

上記方法によって撥水膜38に孔38Aを形成することで、孔38Aの周囲にバリが発生することがなく、孔38Aを高精度に形成することができる。   By forming the hole 38A in the water repellent film 38 by the above method, no burr is generated around the hole 38A, and the hole 38A can be formed with high accuracy.

そして、図3(G)に示すように、保護シート46を剥離、除去する。上記構成によって形成されたノズル26が、所定のパターンで複数設けられている。   Then, as shown in FIG. 3G, the protective sheet 46 is peeled off and removed. A plurality of nozzles 26 formed by the above configuration are provided in a predetermined pattern.

その後、図1に示すように、ノズルプレート14の裏面に、プールプレート16を接合する。そして、このプールプレート16に、連通孔プレート18、供給路プレート20、圧力室プレート22を接合し、圧力室プレート22の開口を覆うように振動板24を接合する。   Thereafter, as shown in FIG. 1, the pool plate 16 is joined to the back surface of the nozzle plate 14. The communication hole plate 18, the supply path plate 20, and the pressure chamber plate 22 are joined to the pool plate 16, and the diaphragm 24 is joined so as to cover the opening of the pressure chamber plate 22.

以上の工程により、インクジェット記録ヘッド10が形成される。   The ink jet recording head 10 is formed by the above steps.

撥水膜38は、エキシマレーザLに対して透過性を有しており、エキシマレーザLによって直接的にはノズル26に対応した孔を形成することができない。このため、本参考形態では、エキシマレーザLによりノズルプレート14をアブレーション加工すると共に、撥水膜38を介して保護シート46をアブレーション加工することにより、ノズルプレート14及び保護シート46からそれぞれ分解、飛散する分子及び原子によって、撥水膜38に孔38Aを形成する。これにより、撥水膜38にも、エキシマレーザLの断面形状(ノズル26に対応した形状)の孔38Aが形成される。 The water repellent film 38 is permeable to the excimer laser L, and a hole corresponding to the nozzle 26 cannot be formed directly by the excimer laser L. Therefore, in this embodiment , the nozzle plate 14 is ablated by the excimer laser L and the protective sheet 46 is ablated via the water-repellent film 38, so that the nozzle plate 14 and the protective sheet 46 are disassembled and scattered. A hole 38 </ b> A is formed in the water-repellent film 38 by molecules and atoms. As a result, a hole 38A having a cross-sectional shape of the excimer laser L (a shape corresponding to the nozzle 26) is also formed in the water repellent film 38.

なお、本参考形態では、蒸着法によって保護凸部12の表面に撥水膜38を形成したが、撥水膜38を形成する方法は蒸着法に限定されるものではなく、例えば、スピンコート法を用いてもよい。 In this reference embodiment , the water-repellent film 38 is formed on the surface of the protective projection 12 by the vapor deposition method. However, the method for forming the water-repellent film 38 is not limited to the vapor deposition method. May be used.

また、エッチングによって保護凸部12を形成したが、保護凸部12の形成方法はエッチングに限定されるものではない。例えば、レーザ加工やプレス加工によって所定の形状に形成した保護凸部をノズルプレート14に圧着してもよい。   Moreover, although the protective convex part 12 was formed by etching, the formation method of the protective convex part 12 is not limited to an etching. For example, a protective convex portion formed in a predetermined shape by laser processing or press processing may be pressure-bonded to the nozzle plate 14.

なお、本参考形態では、図2に示すように、縦凸部12Aと、縦凸部12Aの一方の端部を連結する横凸部12Bとで構成された保護凸部12によってノズル列26Aを囲む構成としたが、保護凸部はこの形態に限定されるものではない。 In the present embodiment , as shown in FIG. 2, the nozzle row 26 </ b> A is formed by the protective convex portion 12 including the vertical convex portion 12 </ b> A and the horizontal convex portion 12 </ b> B that connects one end of the vertical convex portion 12 </ b> A. Although it was set as the structure enclosed, a protection convex part is not limited to this form.

例えば、図4(A)に示すように、ノズル26の配列方向に沿って設けられた凸部50Aと、凸部50Aの一方の端部を連結する凸部50Bとで構成された保護凸部50において、凸部50Aのノズル26近傍に、ノズル26側に張り出す凸部50Cを形成してもよい。これにより、保護凸部50は、ノズル26との間隔が狭く、ノズル26間との間隔が広い波型状とされ、用紙の先端がノズル面に当たりにくくなる。したがって、ノズル面に設けられた撥水膜38(図1参照)の破損を防止できる。   For example, as shown in FIG. 4 (A), a protective convex portion composed of a convex portion 50A provided along the arrangement direction of the nozzles 26 and a convex portion 50B connecting one end of the convex portion 50A. 50, a convex portion 50C projecting toward the nozzle 26 may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the convex portion 50A. As a result, the protective convex portion 50 has a corrugated shape in which the gap between the nozzles 26 is narrow and the gap between the nozzles 26 is wide, and the leading edge of the paper is less likely to hit the nozzle surface. Therefore, damage to the water repellent film 38 (see FIG. 1) provided on the nozzle surface can be prevented.

また、図4(B)に示すように、ノズル26の配列方向に沿って設けられた凸部52Aと、凸部52Aの一方の端部を連結する凸部52Bとで構成された保護凸部52において、凸部52Aのノズル26近傍に凹部52Cを形成してもよい。これにより、保護凸部50は、ノズル26との間隔が広く、ノズル26間との間隔が狭い波型状とされ、ワイパーブレードによってノズル26に付着した余剰インクやゴミ等は、凹部52Cに滞留してノズル26周囲に溜まらない。   Further, as shown in FIG. 4B, a protective convex portion composed of a convex portion 52A provided along the arrangement direction of the nozzles 26 and a convex portion 52B connecting one end of the convex portion 52A. In 52, a recess 52C may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the protrusion 52A. As a result, the protective convex portion 50 has a wavy shape in which the gap between the nozzles 26 is wide and the gap between the nozzles 26 is narrow, and excess ink or dust attached to the nozzles 26 by the wiper blade stays in the concave portions 52C. Therefore, it does not collect around the nozzle 26.

次に、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明の参考形態と同様の部分についての説明は割愛する。 Next, an embodiment of the present invention will be described. In addition, the description about the part similar to the reference form of this invention is omitted.

図5に示すように、ノズルプレート14のノズル面に設けられた囲み凸部60は、ノズルプレート14とほぼ同じサイズの板状とされ、ノズルプレート14に積層したときに、全てのノズルが露出するサイズの開口部62が形成されてロ字状とされている。つまり、囲み凸部60は、ノズルプレート14の縁部に沿って設けられており、全てのノズル26を包囲した状態とされている。   As shown in FIG. 5, the surrounding convex portion 60 provided on the nozzle surface of the nozzle plate 14 has a plate shape that is substantially the same size as the nozzle plate 14, and all the nozzles are exposed when stacked on the nozzle plate 14. An opening 62 of a size to be formed is formed in a square shape. That is, the surrounding convex portion 60 is provided along the edge of the nozzle plate 14 and surrounds all the nozzles 26.

これにより、ノズルプレート14にプールプレート16(図1参照)を接合する際に、ノズルプレート14にかかる押圧力は、囲み凸部60で受けられる。したがって、ノズルプレート14が撓んだり、押圧力がノズルプレート14の一点に集中してかかることによって破損したりすることが恐れがない。   Thereby, when joining the pool plate 16 (refer FIG. 1) to the nozzle plate 14, the pressing force concerning the nozzle plate 14 is received by the surrounding convex part 60. FIG. Therefore, there is no fear that the nozzle plate 14 is bent or damaged when the pressing force is concentrated on one point of the nozzle plate 14.

また、ノズル列26Aの間には、長尺状の凸部64が設けられている。凸部64は、長手方向のサイズが、囲み凸部60の開口部62よりも若干小さくされており、開口部62と凸部64との間には、隙間66が形成されている。   Further, a long convex portion 64 is provided between the nozzle rows 26A. The convex portion 64 is slightly smaller in size in the longitudinal direction than the opening 62 of the surrounding convex portion 60, and a gap 66 is formed between the opening 62 and the convex portion 64.

ワイピングブレードを、凸部64の長手方向(矢印A方向)に沿ってワイピングさせると、ノズル26に付着した余剰インクやゴミ等は、ワイパーブレードで除去されて、開口部62のワイピング方向側の壁部に付着しながら、隙間66に沿って壁部を移動する。したがって、余剰インクやゴミ等が、ノズル26周囲に溜まらない。   When the wiping blade is wiped along the longitudinal direction (arrow A direction) of the convex portion 64, excess ink and dust adhering to the nozzle 26 are removed by the wiper blade, and the wall of the opening 62 on the wiping direction side is removed. The wall portion is moved along the gap 66 while adhering to the portion. Accordingly, excess ink, dust, or the like does not collect around the nozzles 26.

なお、本実施形態では、ノズルプレート14の縁部に囲み凸部60を設け、この囲み凸部60の開口部62内に、ノズル26の配設方向の両側に隙間66を設けながら、ノズル26の配列方向に沿って凸部64を設ける構成としたが、図6(A)に示すように、ノズル26の配列方向に沿って設けた保護凸部68の一方の端部を、囲み凸部60と接続させてもよい。つまり、ノズル26の配設方向の一方に隙間69を形成する。このとき、隙間69側に向かってワイピングブレードを移動させれば、余剰インクやゴミ等は隙間69に移動するので、ノズル26周囲に溜まらない。   In the present embodiment, the surrounding projections 60 are provided at the edge of the nozzle plate 14, and the nozzles 26 are provided in the openings 62 of the surrounding projections 60 while the gaps 66 are provided on both sides in the arrangement direction of the nozzles 26. However, as shown in FIG. 6A, one end portion of the protective convex portion 68 provided along the arrangement direction of the nozzles 26 is surrounded by the surrounding convex portion. 60 may be connected. In other words, the gap 69 is formed on one side in the arrangement direction of the nozzle 26. At this time, if the wiping blade is moved toward the gap 69, excess ink, dust, etc. move to the gap 69 and do not accumulate around the nozzles 26.

また、図6(B)に示すように、ノズルプレート14の縁部に設けた囲み凸部70のノズル列26A上に、開口部72を形成してもよい。つまり、開口部72は、ワイピング方向に沿って設けられているため、ノズル26に付着した余剰インクやゴミ等は、開口部72からノズル面の外側へ排出される。したがって、余剰インクやゴミ等が、ノズル26周囲に溜まらない。   Further, as shown in FIG. 6B, the opening 72 may be formed on the nozzle row 26 </ b> A of the surrounding convex portion 70 provided at the edge of the nozzle plate 14. That is, since the opening 72 is provided along the wiping direction, excess ink, dust, or the like adhering to the nozzle 26 is discharged from the opening 72 to the outside of the nozzle surface. Accordingly, excess ink, dust, or the like does not collect around the nozzles 26.

さらに、図7(A)に示すように、ノズル列26Aの間に設けた凸部74のノズル26近傍に、ノズル26側に張り出す張出部74Aを形成してもよい。これにより、ノズル26と凸部74(張出部74A)の間隔が狭くなり、用紙の先端がノズル面に当たりにくくなって、ノズル面の撥水膜38(図1参照)の破損を防止できる。また、図7(B)に示すように、ノズル列26Aの間に設けた凸部76のノズル26近傍に凹部76Aを形成してもよい。これにより、ノズル26と凸部76(凹部76A)との間隔が大きくなるため、ノズル26周囲に余剰インクやゴミ等が溜まらない。   Furthermore, as shown in FIG. 7A, a protruding portion 74A that protrudes toward the nozzle 26 may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the convex portion 74 provided between the nozzle rows 26A. Thereby, the space | interval of the nozzle 26 and the convex part 74 (overhang | projection part 74A) becomes narrow, the front-end | tip of a paper becomes difficult to touch a nozzle surface, and damage to the water-repellent film 38 (refer FIG. 1) of a nozzle surface can be prevented. Further, as shown in FIG. 7B, a recess 76A may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the protrusion 76 provided between the nozzle rows 26A. As a result, the gap between the nozzle 26 and the convex portion 76 (concave portion 76A) is increased, so that excess ink, dust or the like does not accumulate around the nozzle 26.

なお、本発明の参考形態及び実施形態では、ノズル列26Aの両側(ノズル列26A間)に凸部を設ける構成で説明したが、図8に示すように、ノズル26の配列方向の両側(ノズル26間)に凸部を設けてもよい。 In the reference embodiment and the embodiment of the present invention, the configuration in which the convex portions are provided on both sides of the nozzle row 26A (between the nozzle rows 26A) has been described. However, as shown in FIG. (Between 26) may be provided with a convex portion.

例えば、図8(A)に示すように、ノズル列26Aの両側に、ノズル26の配列方向に沿って矩形状の保護凸部80を設け、ノズル26の配列方向の両側に小凸部82を設ける。これにより、ノズル26に付着した余剰インクやゴミ等をワイパーブレードで除去する際に、ワイピング方向(矢印A方向)の上流側のノズル26の余剰インクやゴミ等が、下流側のノズル26に入り込む恐れがない。   For example, as shown in FIG. 8A, rectangular protective convex portions 80 are provided on both sides of the nozzle row 26A along the arrangement direction of the nozzles 26, and small convex portions 82 are provided on both sides of the nozzle 26 in the arrangement direction. Provide. As a result, when excess ink or dust attached to the nozzle 26 is removed by the wiper blade, excess ink or dust or the like of the upstream nozzle 26 in the wiping direction (arrow A direction) enters the downstream nozzle 26. There is no fear.

また、図8(B)に示すように、ノズル26の配列方向両側に凸部84を設け、この凸部84と隙間を設けるようにして、ノズル26の配列方向と直交する方向の両側に凸部85を設けてもよい。これにより、ノズル26は凸部84及び凸部85によって包囲されるため、用紙の先端がノズル面に当たりにくくなり、ノズル面の撥水膜38(図1参照)の破損を防止できる。また、ノズル26の周りには、凸部84及び凸部85によって複数の隙間が形成されるので、余剰インクやゴミ等はこの隙間から排出される。したがって、余剰インクやゴミ等が、ノズル26周囲に溜まることがない。また、隙間はノズル26の配列方向及び用紙搬送方向に形成されるため、用紙搬送方向にワイピングさせても、余剰インクやゴミ等がノズル26周囲に溜まらない。つまり、ワイピング方向が限定されない。   Further, as shown in FIG. 8B, convex portions 84 are provided on both sides of the nozzles 26 in the arrangement direction, and gaps are provided between the convex portions 84 so as to project both sides in the direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzles 26. A portion 85 may be provided. Thereby, since the nozzle 26 is surrounded by the convex part 84 and the convex part 85, it becomes difficult for the front end of a sheet | seat to hit a nozzle surface, and damage to the water-repellent film 38 (refer FIG. 1) of a nozzle surface can be prevented. In addition, since a plurality of gaps are formed around the nozzle 26 by the convex portions 84 and the convex portions 85, excess ink, dust, and the like are discharged from the gaps. Accordingly, surplus ink, dust, and the like do not accumulate around the nozzles 26. Further, since the gap is formed in the arrangement direction of the nozzles 26 and the paper transport direction, even if wiping is performed in the paper transport direction, excess ink, dust or the like does not collect around the nozzles 26. That is, the wiping direction is not limited.

さらに、図8(C)に示すように、隣接するノズル列26A、26Bに跨るようにして、傾斜凸部86を設けてもよい。例えば、ノズル列26Aの図中の最下段のノズル26aの下方と、ノズル列26Aに隣接するノズル列26Bの下から2段目のノズル26bの下方に跨って傾斜凸部86を設ける。つまり、傾斜凸部86は、ノズル列26A、26B及び用紙の搬送方向に対して斜めに設けられている。これにより、ノズル列26A、26Bに沿ってワイピングしたとき、ノズル26に付着した余剰インクやゴミ等は、斜めに設けられた傾斜凸部86の壁面に沿って斜めに移動する。したがって、余剰インクやゴミ等がノズル26周囲に溜まらない。また、傾斜凸部86はノズル面に対して広い範囲で設けられているため、ノズルプレート14にプールプレート16(図1参照)を接合する際に、ノズルプレート14にかかる押圧力が、狭い範囲に集中してかかることが防げる。したがって、押圧力によってノズルプレート14が撓んだり破損したりする恐れがない。さらに、傾斜凸部86はノズル列26A、26B及び用紙搬送方向に対して斜めに設けられているため、ワイピング方向が限定されない。   Further, as shown in FIG. 8C, an inclined convex portion 86 may be provided so as to straddle the adjacent nozzle rows 26A and 26B. For example, the sloped convex portion 86 is provided below the lowermost nozzle 26a in the drawing of the nozzle row 26A and from below the nozzle row 26B adjacent to the nozzle row 26A to below the second stage nozzle 26b. That is, the inclined convex portion 86 is provided obliquely with respect to the nozzle rows 26A and 26B and the paper transport direction. As a result, when wiping is performed along the nozzle rows 26A and 26B, surplus ink, dust, and the like adhering to the nozzle 26 move obliquely along the wall surface of the inclined convex portion 86 provided obliquely. Therefore, excess ink, dust, etc. do not collect around the nozzles 26. Further, since the inclined convex portion 86 is provided in a wide range with respect to the nozzle surface, the pressure applied to the nozzle plate 14 when the pool plate 16 (see FIG. 1) is joined to the nozzle plate 14 is a narrow range. You can avoid concentrating on. Therefore, there is no fear that the nozzle plate 14 is bent or damaged by the pressing force. Furthermore, since the inclined convex portion 86 is provided obliquely with respect to the nozzle rows 26A and 26B and the paper transport direction, the wiping direction is not limited.

また、図9に示すように、ノズル26の周囲に環状の環状凸部88を設けてもよい。このとき、ノズル26は環状凸部88によって包囲されるので、用紙Pの先端からノズル面が保護される。このとき、環状凸部88に開口部を設けることで、ノズル26に付着した余剰インクやゴミ等がワイパーブレードで除去されて開口部から排出されるので、ノズル26周囲に溜まることがない。例えば、図9(A)に示すように、ノズル26の配列方向に沿って、環状凸部88に開口部90を2箇所形成し、ノズル26の配列方向(矢印A方向)に沿ってワイピングした場合、余剰インクやゴミ等が、開口部90から排出される。また、図9(B)に示すように、環状凸部88に開口部92を3箇所形成し、そのうちの一つをノズル26の配列方向に沿って形成することで、ノズル26の配列方向に沿ってワイピングしたとき、ワイピング方向の上流側のノズル26に付着した余剰インクやゴミ等は、ノズル26の配列方向に沿って形成された開口部92から排出されて、下流側のノズル26を包囲する環状凸部88の壁面に沿って、用紙搬送方向に移動する。これにより、ワイピング方向の上流側のノズル26の余剰インクやゴミ等が、下流側のノズル26に入り込む恐れがない。さらに、図9(C)に示すように、環状凸部88のノズル26の配列方向及び用紙搬送方向の4箇所に開口部94を形成する。これにより、ノズル26の配列方向に沿ってワイピングさせても、用紙搬送方向に沿ってワイピングさせても、余剰インクやゴミ等がノズル26周囲に溜まらない。つまり、ワイピング方向が限定されない。   Further, as shown in FIG. 9, an annular convex portion 88 may be provided around the nozzle 26. At this time, since the nozzle 26 is surrounded by the annular projection 88, the nozzle surface is protected from the leading edge of the paper P. At this time, by providing an opening in the annular protrusion 88, excess ink or dust attached to the nozzle 26 is removed by the wiper blade and discharged from the opening, so that it does not collect around the nozzle 26. For example, as shown in FIG. 9A, two openings 90 are formed in the annular convex portion 88 along the arrangement direction of the nozzles 26, and wiping is performed along the arrangement direction (arrow A direction) of the nozzles 26. In such a case, excess ink, dust, or the like is discharged from the opening 90. Further, as shown in FIG. 9B, three openings 92 are formed in the annular convex portion 88, and one of them is formed along the arrangement direction of the nozzles 26, so that the nozzles 26 are arranged in the arrangement direction. When wiping along the nozzle 26, excess ink or dust adhering to the upstream nozzle 26 in the wiping direction is discharged from the opening 92 formed along the arrangement direction of the nozzles 26 and surrounds the downstream nozzle 26. It moves in the paper conveying direction along the wall surface of the annular convex portion 88. Accordingly, there is no possibility that excess ink, dust, or the like of the upstream nozzle 26 in the wiping direction enters the downstream nozzle 26. Further, as shown in FIG. 9C, openings 94 are formed at four locations in the arrangement direction of the nozzles 26 of the annular convex portion 88 and in the paper conveyance direction. Thus, excess ink, dust, or the like does not accumulate around the nozzles 26 regardless of whether they are wiped along the arrangement direction of the nozzles 26 or wiped along the paper transport direction. That is, the wiping direction is not limited.

本発明の参考形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the inkjet recording head which concerns on the reference form of this invention. 本発明の参考形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet recording head which concerns on the reference form of this invention. 本発明の参考形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程の一部を(A)から(G)へと順番に模式的に示した図である。It is the figure which showed typically a part of manufacturing process of the inkjet recording head which concerns on the reference form of this invention in order from (A) to (G). 本発明の参考形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of the reference form of this invention. 本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of the inkjet recording head which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 従来のインクジェット記録ヘッドの断面図及び斜視図である。It is sectional drawing and a perspective view of the conventional inkjet recording head.

符号の説明Explanation of symbols

10 インクジェット記録ヘッド(液滴吐出ヘッド)
12A 縦凸部
12B 横凸部
26 ノズル
26A ノズル列
60 囲み凸部
64 凸部(中凸部)
80 保護凸部(第1凸部)
82 小凸部(第2凸部)
84 凸部(第1島凸部)
85 凸部(第2島凸部)
86 傾斜凸部
88 環状凸部
10 Inkjet recording head (droplet ejection head)
12A Vertical convex part 12B Horizontal convex part 26 Nozzle 26A Nozzle row 60 Surrounding convex part 64 Convex part (medium convex part)
80 Protective convex part (first convex part)
82 Small convex part (second convex part)
84 Convex (first island convex)
85 Convex (Second Island Convex)
86 Inclined convex part 88 Annular convex part

Claims (2)

液滴を吐出する複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドにおいて、In a recording head having a nozzle row composed of a plurality of nozzles for discharging droplets,
液滴が吐出される液滴吐出面には、隣接するノズル列に跨って前記ノズル間に、且つ、ノズル列に対して斜め方向に傾斜凸部が設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。  The droplet discharge surface on which the droplet is discharged has an inclined convex portion provided between the nozzles across the adjacent nozzle rows and in an oblique direction with respect to the nozzle rows. Discharge head.
前記ノズル列に備えられた前記ノズルは、隣接する前記ノズル列に備えられた前記ノズルに対し、ノズル配列方向に対して直交する方向に並ぶように配置され、
前記傾斜凸部は、隣接するノズル列に備えられたノズルがノズル配列方向に1個分ずれるように隣接するノズル列に跨って斜め方向に傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。
The nozzles provided in the nozzle row are arranged so as to be aligned in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction with respect to the nozzles provided in the adjacent nozzle row,
The said inclined convex part inclines in the diagonal direction across the adjacent nozzle row so that the nozzle with which the adjacent nozzle row was equipped may be shifted by one in the nozzle arrangement direction. Droplet discharge head.
JP2005238826A 2005-08-19 2005-08-19 Droplet discharge head Expired - Fee Related JP4788237B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005238826A JP4788237B2 (en) 2005-08-19 2005-08-19 Droplet discharge head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005238826A JP4788237B2 (en) 2005-08-19 2005-08-19 Droplet discharge head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007050661A JP2007050661A (en) 2007-03-01
JP4788237B2 true JP4788237B2 (en) 2011-10-05

Family

ID=37915425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005238826A Expired - Fee Related JP4788237B2 (en) 2005-08-19 2005-08-19 Droplet discharge head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4788237B2 (en)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8690294B2 (en) 2007-11-14 2014-04-08 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method for manufacturing nozzle plate
JP2009208349A (en) * 2008-03-04 2009-09-17 Fujifilm Corp Method for manufacturing protruding portion of nozzle plate, nozzle plate, inkjet head, and image forming device
JP4775470B2 (en) * 2009-03-26 2011-09-21 ブラザー工業株式会社 Nozzle plate manufacturing method
JP5644348B2 (en) 2010-10-08 2014-12-24 ブラザー工業株式会社 Liquid discharge head and manufacturing method thereof
JP6120645B2 (en) * 2012-04-18 2017-04-26 キヤノン株式会社 Liquid discharge head
JP6207216B2 (en) * 2013-04-25 2017-10-04 キヤノン株式会社 Liquid discharge head
JP6162521B2 (en) * 2013-07-26 2017-07-12 京セラ株式会社 Liquid discharge head, recording apparatus, and method of manufacturing liquid discharge head
JP2017007118A (en) * 2015-06-17 2017-01-12 エスアイアイ・プリンテック株式会社 Ink jet head, liquid jet recorder, and method for manufacturing ink jet head
JP7467125B2 (en) * 2020-01-07 2024-04-15 キヤノン株式会社 LIQUID EJECTION HEAD AND LIQUID EJECTION APPARATUS

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0372441A (en) * 1990-07-25 1991-03-27 Sankyo Co Ltd Intermediate for carbacycline analogous compound

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007050661A (en) 2007-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4788237B2 (en) Droplet discharge head
JP4766658B2 (en) Liquid discharge head and manufacturing method thereof
US7922289B2 (en) Nozzle plate of inkjet printhead and method of manufacturing the same
JP4784265B2 (en) Droplet discharge device
KR100825353B1 (en) Droplet ejection head, method of producing the same and droplet ejection apparatus
JP2006224624A (en) Laminated nozzle plate, liquid droplet discharge head and method for manufacturing laminated nozzle plate
JP2006256282A (en) Liquid droplet discharge head, its manufacturing method, and liquid droplet discharge apparatus
JP2006256029A (en) Inkjet head and manufacturing method and image forming device using the inkjet head
JP4617770B2 (en) Method for manufacturing laminated nozzle plate
JP2017105026A (en) Liquid jet head, liquid jet recording device and method for production of liquid jet head
JP2019147350A (en) Substrate for liquid discharge head, and method of manufacturing substrate for liquid discharge head
JP2007125849A (en) Liquid droplet discharging head, its manufacturing method and liquid droplet discharging device
JP4661126B2 (en) Ink jet recording head and method of manufacturing ink jet recording head
JP2006231601A (en) Laminated nozzle plate, droplet discharge head, and laminated nozzle plate manufacturing method
JP2007050583A (en) Droplet delivering head and method for manufacturing droplet delivering head
US8939548B2 (en) Lamination processes
JP6409407B2 (en) Liquid ejection device
JP2009154502A (en) Method for manufacturing liquid discharge head
JP6565146B2 (en) Method for manufacturing liquid ejection device
JP2008149526A (en) Multi-layer nozzle plate, liquid droplet ejection head and manufacturing method for multi-layer nozzle plate
JP2018051982A (en) Plate body, liquid jet head, and liquid jet recording device
JP6569424B2 (en) Method for manufacturing liquid ejection device, and liquid ejection device
JP2008012703A (en) Liquid droplet ejecting head, liquid droplet ejector and manufacturing method for liquid droplet ejecting head
JP6409408B2 (en) Liquid ejection device and method of manufacturing liquid ejection device
JP2023147756A (en) Element substrate manufacturing method, element substrate, and liquid discharge head

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080522

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110329

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110519

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110603

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110621

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110704

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140729

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees