JP6207216B2 - Liquid discharge head - Google Patents

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本発明は、液体吐出ヘッドに関する   The present invention relates to a liquid discharge head.

液体吐出ヘッドはインクジェット記録装置等の液体吐出装置に用いられ、吐出口形成部材と基板とを有する。吐出口形成部材は基板上（基板の表面側）に樹脂等で形成されており、吐出口面に吐出口が開口している。吐出口形成部材の内部には、吐出口と連通する液体流路が形成されている。基板はシリコン等で形成されており、基板には、基板を貫通する液体供給口が形成されている。液体供給口からは液体流路に液体が供給され、供給された液体は、基板が有する吐出エネルギー発生素子によってエネルギーを与えられて吐出口から吐出され、記録媒体に着弾する。   The liquid discharge head is used in a liquid discharge apparatus such as an ink jet recording apparatus, and includes a discharge port forming member and a substrate. The discharge port forming member is formed of a resin or the like on the substrate (the surface side of the substrate), and the discharge port is opened on the discharge port surface. A liquid flow path communicating with the discharge port is formed inside the discharge port forming member. The substrate is formed of silicon or the like, and a liquid supply port that penetrates the substrate is formed in the substrate. The liquid is supplied from the liquid supply port to the liquid flow path, and the supplied liquid is discharged from the discharge port by being given energy by the discharge energy generating element of the substrate and landed on the recording medium.

液体吐出ヘッドが液体を吐出していると、吐出口面の吐出口近傍に液体が付着し、付着した液体が吐出に影響を与えることがある。この為、吐出口面をワイピングブレードでワイピングすることが知られているが、ワイピングブレードによって吐出口の形状が変形してしまうという課題がある。   When the liquid ejection head ejects liquid, the liquid adheres to the vicinity of the ejection port on the ejection port surface, and the adhered liquid may affect ejection. For this reason, it is known to wipe the discharge port surface with a wiping blade, but there is a problem that the shape of the discharge port is deformed by the wiping blade.

これに対し、特許文献１には、吐出口形成部材の吐出口面に窪みを形成する方法が記載されている。この窪みは１つの吐出口に対応して１つ形成されており、窪みの中に吐出口が開口している。この方法によって製造された液体吐出ヘッドでは、１つの窪みの中に１つの吐出口が開口しており、ワイピングブレードから吐出口を保護することができる。   On the other hand, Patent Document 1 describes a method of forming a recess in the discharge port surface of the discharge port forming member. One recess is formed corresponding to one discharge port, and the discharge port is opened in the recess. In the liquid discharge head manufactured by this method, one discharge port is opened in one recess, and the discharge port can be protected from the wiping blade.

また、特許文献２には、吐出口形成部材の吐出口面の撥水状態を維持する為に、開口を有するプレートで吐出口形成部材の吐出口面を覆うことが記載されている。吐出口はプレートの開口内に開口しており、この方法によって製造された液体吐出ヘッドも、ワイピングブレードから吐出口を保護することができる。   Patent Document 2 describes that the discharge port surface of the discharge port forming member is covered with a plate having an opening in order to maintain the water-repellent state of the discharge port surface of the discharge port forming member. The discharge port is opened in the opening of the plate, and the liquid discharge head manufactured by this method can also protect the discharge port from the wiping blade.

特表２００７−５１４２０１号公報Special table 2007-514201 gazette 特開２００６−２５６０２９号公報JP 2006-256029 A

しかしながら、特許文献１に記載の方法で製造した液体吐出ヘッドは、１つの吐出口に対してそれを囲むように１つの窪みが形成されている為、窪みの中にワイピングブレードが入りこみにくい。よって、吐出口面をワイピングすることはできるが、吐出口の開口した部分及びその近傍をワイピングすることは困難であり、吐出口の開口した部分近辺に液体が残り、吐出に影響を与えることがある。   However, since the liquid discharge head manufactured by the method described in Patent Document 1 is formed with one recess so as to surround one discharge port, the wiping blade is unlikely to enter the recess. Therefore, although the discharge port surface can be wiped, it is difficult to wipe the portion where the discharge port is opened and the vicinity thereof, and liquid remains in the vicinity of the portion where the discharge port is opened, which may affect the discharge. is there.

特許文献２に記載の方法で製造した液体吐出ヘッドは、吐出口形成部材の吐出口面に対して別部材であるプレートを貼り合わせる為、吐出口面とプレートとの間に段差や隙間が少なからず生じる。この為、ワイピングブレードによる液体の拭き残しが発生する場合がある。また、プレートを貼り合わせる際に、吐出口面を吸着したりハンドリングしたりする必要があり、この過程で吐出口面が傷つく場合がある。さらに、プレートは吐出口形成部材とは別部材なので、その分部品点数が増えてコストが増加するといったこともある。   Since the liquid discharge head manufactured by the method described in Patent Document 2 has a plate as a separate member attached to the discharge port surface of the discharge port forming member, there are few steps or gaps between the discharge port surface and the plate. Will occur. For this reason, the wiping blade may leave uncleaned liquid. In addition, when the plates are bonded together, it is necessary to suck or handle the discharge port surface, and the discharge port surface may be damaged in this process. Furthermore, since the plate is a separate member from the discharge port forming member, the number of parts may be increased and the cost may increase accordingly.

以上の課題を鑑み、本発明は、吐出口面をワイピングブレード等でワイピングしても、吐出口の開口した部分及びその近傍を保護しながらも良好にワイピングすることができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。   In view of the above problems, the present invention provides a liquid discharge head capable of wiping well even while wiping the discharge port surface with a wiping blade or the like while protecting the opening portion of the discharge port and its vicinity. For the purpose.

上記課題は、以下の本発明によって解決される。即ち本発明は、複数の吐出口を形成する吐出口形成部材を有する液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出口は前記吐出口形成部材の吐出口面に配列方向に沿って配列して開口しており、前記吐出口面には前記複数の吐出口の配列方向に沿って延在し前記吐出口形成部材の短手方向における断面形状が円弧形状の溝が形成されており、前記溝には前記配列方向に沿って配列した複数の吐出口が開口しており、前記吐出口形成部材の長手方向において隣接する吐出口は、前記吐出口形成部材の短手方向において前記溝の中心に対して互いに反対側の位置に開口していることを特徴とする液体吐出ヘッドである。 The above problems are solved by the present invention described below. That is, the present invention is a liquid discharge head having a discharge port forming member that forms a plurality of discharge ports, wherein the plurality of discharge ports are arranged on the discharge port surface of the discharge port forming member in an arrangement direction. and it has, above the discharge port surface and the cross-sectional shape in the lateral direction of the discharge port forming member to extend along the arrangement direction of the plurality of outlets is formed a groove arcuate shape and the groove Has a plurality of discharge ports arranged along the arrangement direction, and the discharge ports adjacent in the longitudinal direction of the discharge port forming member are located in the short direction of the discharge port forming member with respect to the center of the groove. Thus , the liquid ejection head is characterized by opening at positions opposite to each other .

本発明によれば、吐出口面をワイピングブレード等でワイピングしても、吐出口の開口した部分及びその近傍を保護しながらも良好にワイピングすることができる液体吐出ヘッドを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a liquid discharge head capable of wiping well even while wiping the discharge port surface with a wiping blade or the like while protecting the opening portion of the discharge port and its vicinity.

本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す図。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a liquid discharge head according to the present invention. 本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す図。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a method for manufacturing a liquid discharge head according to the present invention. 本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を示す図。FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a method for manufacturing a liquid discharge head according to the present invention.

以下、図面を参照して本発明を実施するための形態を説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

図１（ａ）は、本発明の液体吐出ヘッドの一例を示す図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ´で示す部分での液体吐出ヘッドの断面図である。   FIG. 1A is a diagram illustrating an example of a liquid discharge head according to the present invention. FIG. 1B is a cross-sectional view of the liquid ejection head at a portion indicated by AA ′ in FIG.

液体吐出ヘッドは、シリコン等で形成された基板１を有する。図１における基板１の上面を表面とすると、基板１の表面側には、吐出口形成部材６が形成されている。また、基板１と吐出口形成部材６との間には、中間層４が形成されている。吐出口形成部材６はエポキシ樹脂等で形成されている。中間層４はポリエーテルアミド等で形成されている。   The liquid discharge head has a substrate 1 made of silicon or the like. Assuming that the upper surface of the substrate 1 in FIG. 1 is the surface, a discharge port forming member 6 is formed on the surface side of the substrate 1. An intermediate layer 4 is formed between the substrate 1 and the discharge port forming member 6. The discharge port forming member 6 is formed of an epoxy resin or the like. The intermediate layer 4 is made of polyether amide or the like.

吐出口形成部材６には、複数の吐出口１０が形成されている。複数の吐出口１０は、吐出口形成部材の吐出口面に開口している。また、複数の吐出口１０は、配列方向に沿って配列して開口している。配列方向とは、吐出口が配列して並んでいる方向のことであり、図１（ａ）に示すＢ−Ｂ´の方向である。吐出口の配列方向は、図１（ａ）では基板の長手方向と一致している。   A plurality of discharge ports 10 are formed in the discharge port forming member 6. The plurality of discharge ports 10 are open on the discharge port surface of the discharge port forming member. Further, the plurality of discharge ports 10 are arranged and opened along the arrangement direction. The arrangement direction is a direction in which the discharge ports are arranged and arranged, and is a direction BB ′ shown in FIG. The arrangement direction of the discharge ports coincides with the longitudinal direction of the substrate in FIG.

吐出口形成部材６の吐出口面には、複数の吐出口の配列方向に沿って延在する溝９が形成されている。溝９には、配列方向に沿って配列した複数の吐出口が開口している。溝９は、１本の吐出口列に対して１本形成されていることが好ましい。図１（ａ）では、各吐出口列に沿うように１本ずつ、合計２本の溝が形成されている。   On the discharge port surface of the discharge port forming member 6, a groove 9 extending along the arrangement direction of the plurality of discharge ports is formed. A plurality of discharge ports arranged along the arrangement direction are opened in the groove 9. One groove 9 is preferably formed for one discharge port array. In FIG. 1A, a total of two grooves are formed one by one along each discharge port array.

図１（ｂ）に示すように、溝９の底には吐出口１０が開口している。図１（ｂ）では、吐出口形成部材の短手方向に関して、溝９と吐出口１０の開口部分の中心とが一致している。このような配置の場合、吐出が制御しやすく好ましい。また、吐出口形成部材の短手方向に関して、溝９と吐出口１０の開口部分の中心とは一致させないこともできる。例えば、図１（ｂ）に示すような左右対称の溝９に対し、吐出口１０の開口部分を左右のいずれかの方向にずらして配置する。このような配置の場合、溝９の底に溜まることがある液体の影響を受けにくくすることができる。また、溝内の吐出口の開口部分をずらし、吐出口の開口部分が溝の中心に対して一方にずれている場合、その溝におけるワイピングは吐出口が開口している側、即ち一方の方向から行うことが好ましい。より具体的には、ある吐出口１０の開口部分を図１（ｂ）の溝の左側にずらした場合、図１（ｂ）の左側からワイピングを行う。そのようにすることで、吐出口の開口部分をワイピングした後で溝の底がワイピングされることになるので、溝の底に溜まった液体が吐出口付近に集まることを抑制できる。また、吐出口の開口部分のずらし方を、吐出口形成部材の長手方向に関して隣接する吐出口でずらすこともできる。即ち、ある吐出口１０の開口部分を図１（ｂ）の溝の左側にずらした場合、隣接する吐出口の開口部分は右側にずらす。このような配置であれば、吐出方向の偏りを液体吐出ヘッド全体として制御することができる。   As shown in FIG. 1B, a discharge port 10 is opened at the bottom of the groove 9. In FIG. 1B, the groove 9 and the center of the opening of the discharge port 10 coincide with each other in the short direction of the discharge port forming member. In such an arrangement, it is preferable that the discharge is easy to control. In addition, the groove 9 and the center of the opening of the discharge port 10 may not coincide with each other with respect to the short direction of the discharge port forming member. For example, the opening portion of the discharge port 10 is shifted in either the left or right direction with respect to the symmetrical groove 9 as shown in FIG. In the case of such an arrangement, it is possible to make it difficult to be affected by the liquid that may accumulate at the bottom of the groove 9. Also, when the opening part of the discharge port in the groove is shifted and the opening part of the discharge port is shifted to one side with respect to the center of the groove, the wiping in the groove is the side where the discharge port is open, that is, one direction It is preferable to perform from. More specifically, when the opening portion of a certain discharge port 10 is shifted to the left side of the groove in FIG. 1B, wiping is performed from the left side in FIG. By doing so, the bottom of the groove is wiped after wiping the opening portion of the discharge port, so that the liquid accumulated in the bottom of the groove can be prevented from collecting near the discharge port. Further, the way of shifting the opening portion of the discharge port can be shifted between adjacent discharge ports in the longitudinal direction of the discharge port forming member. That is, when the opening portion of a certain discharge port 10 is shifted to the left side of the groove in FIG. 1B, the opening portion of the adjacent discharge port is shifted to the right side. With such an arrangement, the deviation in the ejection direction can be controlled for the entire liquid ejection head.

図１（ａ）及び（ｂ）に示す液体吐出ヘッドの吐出口面を、ワイピングブレードでワイピングした状態を、図１（ｃ）に示す。ワイピングブレード１７は、例えば液体吐出装置に装着されており、吐出口面に付着した液体１８をワイピングする。ワイピングブレードは、ゴム等で形成されている。   FIG. 1C shows a state where the discharge port surface of the liquid discharge head shown in FIGS. 1A and 1B is wiped with a wiping blade. The wiping blade 17 is mounted on, for example, a liquid discharge device, and wipes the liquid 18 attached to the discharge port surface. The wiping blade is made of rubber or the like.

溝９には、複数の吐出口が開口している。そして、溝９が複数の吐出口の配列方向に沿って延在している。このような形状である為、ワイピングブレード１７が溝９の中に入り込み、吐出口の開口した部分及びその近傍をワイピングすることができる。その一方で、吐出口は溝９の中に開口している為、ワイピングブレード等によって吐出口の形状が変形してしまうことを十分に抑制できる。   A plurality of discharge ports are opened in the groove 9. And the groove | channel 9 is extended along the sequence direction of a some discharge outlet. Because of such a shape, the wiping blade 17 can enter the groove 9 and wipe the portion where the discharge port is opened and its vicinity. On the other hand, since the discharge port is opened in the groove 9, it is possible to sufficiently suppress the shape of the discharge port from being deformed by a wiping blade or the like.

ワイピングブレード１７は、吐出口形成部材の短手方向に沿って吐出口形成部材をワイピングすることが好ましい。また、ワイピングブレードの吐出口面をワイピングする部分は、Ｒ形状であることが好ましい。特に、ワイピングブレードの角部がＲ形状であり、この角部を吐出口面に当接させながら、ワイピングブレードを吐出口形成部材の短手方向に沿って移動させる方法が好ましい。   The wiping blade 17 preferably wipes the discharge port forming member along the short direction of the discharge port forming member. Moreover, it is preferable that the part which wipes the discharge port surface of a wiping blade is R shape. In particular, a method in which the corner of the wiping blade has an R shape and the wiping blade is moved along the short direction of the discharge port forming member while the corner is in contact with the discharge port surface is preferable.

溝９は、吐出口形成部材６の長手方向の端部まで延在していることが好ましい。溝９が吐出口形成部材の長手方向の端部まで延在していることで、ワイピングブレードが溝９内に良好に入りこみ、吐出口の開口した部分及びその近傍を十分にワイピングすることができる。特に、ワイピングブレードの長手方向の長さが、吐出口形成部材の長手方向以上の長さとなったときに、その効果は顕著である。さらに、溝９は吐出口形成部材６の長手方向の両端部まで延在していることがより好ましい。長手方向の両端部まで延在していることで、ワイピング効果がより向上する。   It is preferable that the groove 9 extends to an end portion in the longitudinal direction of the discharge port forming member 6. Since the groove 9 extends to the end portion in the longitudinal direction of the discharge port forming member, the wiping blade can satisfactorily enter the groove 9, and the portion where the discharge port is open and the vicinity thereof can be sufficiently wiped. . In particular, the effect is significant when the length of the wiping blade in the longitudinal direction is equal to or longer than the length of the discharge port forming member. Furthermore, it is more preferable that the groove 9 extends to both ends in the longitudinal direction of the discharge port forming member 6. The wiping effect is further improved by extending to both ends in the longitudinal direction.

図１（ｄ）は、図１（ｃ）における吐出口面にワイピングブレードが接触した部分を拡大したものである。図１（ｃ）においては、ワイピングブレードの角部はＲ形状で、曲率半径は５０μｍである。また、吐出口形成部材の短手方向に関する溝９の幅は５０μｍであり、基板の表面に対して垂直方向の溝９の深さは３μｍである。   FIG. 1D is an enlarged view of a portion where the wiping blade is in contact with the discharge port surface in FIG. In FIG.1 (c), the corner | angular part of a wiping blade is R shape and a curvature radius is 50 micrometers. The width of the groove 9 in the short direction of the discharge port forming member is 50 μm, and the depth of the groove 9 perpendicular to the surface of the substrate is 3 μm.

吐出口形成部材の短手方向に関して、溝９の幅は吐出口１０の開口部分の幅よりも長いことが好ましい。より好ましくは２倍以上であり、吐出口の開口部分の幅が１０μｍの場合、溝の幅を２０μｍ以上とする。さらに好ましくは３倍以上である。   The width of the groove 9 is preferably longer than the width of the opening of the discharge port 10 in the short direction of the discharge port forming member. More preferably, when the width of the opening of the discharge port is 10 μm, the width of the groove is 20 μm or more. More preferably, it is 3 times or more.

一方で、吐出口形成部材の短手方向における溝９の幅が長くなりすぎると、例えばワイピングブレードの強い接触や吐出口面への吸着等に対し、吐出口の開口部分を十分に保護することができない場合がある。この為、吐出口形成部材の短手方向における溝９の幅は、１０００μｍ以下とすることが好ましい。   On the other hand, if the width of the groove 9 in the short direction of the discharge port forming member becomes too long, the opening portion of the discharge port is sufficiently protected against, for example, strong contact with the wiping blade or adsorption to the discharge port surface. May not be possible. For this reason, the width of the groove 9 in the short direction of the discharge port forming member is preferably 1000 μm or less.

基板の表面に対して垂直方向の溝９の深さは１μｍ以上であることが好ましい。１μｍ以上であることで、吐出口の開口部分を良好に保護することができる。より好ましくは２μｍ以上、さらに好ましくは３μｍ以上である。一方で、溝９の幅にもよるが、基板の表面に対して垂直方向の溝９の深さが深すぎると、ワイピングブレードが吐出口の開口部分をワイピングしにくくなる。この為、基板の表面に対して垂直方向の溝９の深さは、１００μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは５０μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以下である。   The depth of the groove 9 perpendicular to the surface of the substrate is preferably 1 μm or more. By being 1 μm or more, the opening part of the discharge port can be well protected. More preferably, it is 2 micrometers or more, More preferably, it is 3 micrometers or more. On the other hand, although depending on the width of the groove 9, if the depth of the groove 9 in the direction perpendicular to the surface of the substrate is too deep, it becomes difficult for the wiping blade to wipe the opening of the discharge port. For this reason, the depth of the groove 9 perpendicular to the surface of the substrate is preferably 100 μm or less. More preferably, it is 50 micrometers or less, More preferably, it is 10 micrometers or less.

次に、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法の一例を説明する。   Next, an example of the manufacturing method of the liquid discharge head of the present invention will be described.

まず、図２（ａ）に示すように、シリコン等で形成された基板１を用意する。基板１の表面側には、エネルギー発生素子２が形成されている。エネルギー発生素子２としては、熱エネルギー発生素子や圧電素子が挙げられる。エネルギー発生素子２は、基板１に接触していても、基板１に対して一部中空状に形成されていてもよい。エネルギー発生素子２は、保護膜３で覆われている。保護膜３としては、例えばＳｉＮやＳｉＯ２等の絶縁膜や、Ｔａ等の耐キャビテーション膜が挙げられる。 First, as shown in FIG. 2A, a substrate 1 made of silicon or the like is prepared. An energy generating element 2 is formed on the surface side of the substrate 1. Examples of the energy generating element 2 include a thermal energy generating element and a piezoelectric element. The energy generating element 2 may be in contact with the substrate 1 or may be partially hollow with respect to the substrate 1. The energy generating element 2 is covered with a protective film 3. Examples of the protective film 3 include an insulating film such as SiN and SiO 2 and a cavitation resistant film such as Ta.

次に、図２（ｂ）に示すように、中間層４を形成する。中間層４としてはポリエーテルアミド等が挙げられる。中間層４は必須ではないが、基板１や保護膜３と流路形成部材等との密着性を考えると、形成しておくことが好ましい。   Next, as shown in FIG. 2B, the intermediate layer 4 is formed. Examples of the intermediate layer 4 include polyether amide. The intermediate layer 4 is not essential, but is preferably formed in consideration of the adhesion between the substrate 1 or the protective film 3 and the flow path forming member.

次に、図２（ｃ）に示すように、基板の表面側に、液体流路の型材５と、型材５を覆う吐出口形成部材６を形成する。型材５は感光性樹脂、特にはポジ型感光性樹脂で形成することが好ましい。吐出口形成部材６は感光性樹脂、特にはネガ型感光性樹脂で形成することが好ましい。   Next, as shown in FIG. 2C, the mold material 5 of the liquid flow path and the discharge port forming member 6 that covers the mold material 5 are formed on the surface side of the substrate. The mold member 5 is preferably formed of a photosensitive resin, particularly a positive photosensitive resin. The discharge port forming member 6 is preferably formed of a photosensitive resin, particularly a negative photosensitive resin.

吐出口形成部材６の製造方法は、これに限られることはない。例えば、型材５を形成せずに、感光性樹脂層を複数層重ねてパターニングし、そのうちいずれかの層を吐出口形成部材としてもよい。また、液体流路の壁を先に形成しておき、その上に吐出口形成部材を形成してもよい。   The manufacturing method of the discharge port forming member 6 is not limited to this. For example, without forming the mold material 5, a plurality of photosensitive resin layers may be stacked and patterned, and one of the layers may be used as a discharge port forming member. Alternatively, the liquid channel wall may be formed first, and the discharge port forming member may be formed thereon.

次に、図２（ｄ）に示すように、吐出口形成部材の表面である吐出口面に、必要に応じて撥水材７を塗工する。撥水材７としては、フッ素系の樹脂を用いることが好ましい。撥水材７は、フィルム状態として吐出口形成部材の吐出口面に積層させてもよいし、液体に近い状態として吐出口形成部材の吐出口面から吐出口形成部材に浸透させてもよい。   Next, as shown in FIG.2 (d), the water-repellent material 7 is applied to the discharge port surface which is the surface of a discharge port formation member as needed. As the water repellent material 7, it is preferable to use a fluorine-based resin. The water repellent material 7 may be laminated on the discharge port surface of the discharge port forming member as a film state, or may be infiltrated into the discharge port forming member from the discharge port surface of the discharge port forming member as a liquid state.

次に、図２（ｅ）及び（ｆ）に示すように、吐出口形成部材の吐出口面に溝９を形成する。ここでは、吐出口形成部材６としてネガ型感光性樹脂を用いた例で、溝９の形成方法を説明する。まず、図２（ｅ）に示すように、マスク８を用いて吐出口形成部材６を露光する。マスク８は、溝９を形成したい部分を遮光するようなパターンとする。露光は５００Ｊ／ｃｍ２以上１０００Ｊ／ｃｍ２以下で行うことが好ましい。続いて、露光した吐出口形成部材を加熱する。加熱の条件は１００℃で４分程度とする。加熱によって溝を形成したい部分の溶媒が揮発し、溝９が形成される。溝９の幅や長さ、深さ等は、この露光及び加熱の条件によって制御することができる。 Next, as shown in FIGS. 2E and 2F, a groove 9 is formed on the discharge port surface of the discharge port forming member. Here, the method of forming the groove 9 will be described by using an example in which a negative photosensitive resin is used as the discharge port forming member 6. First, as shown in FIG. 2E, the discharge port forming member 6 is exposed using a mask 8. The mask 8 has a pattern that shields light from a portion where the groove 9 is to be formed. Exposure are preferably carried out at 500 J / cm 2 or more 1000 J / cm 2 or less. Subsequently, the exposed discharge port forming member is heated. The heating condition is 100 ° C. for about 4 minutes. The solvent in the portion where the groove is to be formed is volatilized by heating, and the groove 9 is formed. The width, length, depth, and the like of the groove 9 can be controlled by the conditions of exposure and heating.

溝９の形成方法としては、これに限られず、例えば吐出口形成部材に型を押し付ける方法でもよい。この場合は、型の形状や押し付け方によって溝９の形状を制御する。   The method of forming the groove 9 is not limited to this, and for example, a method of pressing a mold against the discharge port forming member may be used. In this case, the shape of the groove 9 is controlled by the shape of the mold and the pressing method.

次に、図３（ａ）に示すように、吐出口形成部材６に吐出口１０を複数形成する。ここでは、吐出口形成部材６としてネガ型感光性樹脂を用いているので、吐出口を形成したい部分を遮光するようなパターンを有するマスク１１を用い、露光を行う。露光は２０００Ｊ／ｃｍ２以上８０００Ｊ／ｃｍ２以下で行うことが好ましい。露光後、現像液を用いて非露光部分を現像し、溝に開口する吐出口１０を形成する。吐出口１０は、例えばドライエッチング等によって形成することもできる。吐出口１０は、溝の中に、配列方向に沿って配列するように形成する。吐出口の開口部分の位置は、この時に決定すればよい。 Next, as shown in FIG. 3A, a plurality of discharge ports 10 are formed in the discharge port forming member 6. Here, since a negative photosensitive resin is used as the discharge port forming member 6, exposure is performed using a mask 11 having a pattern that shields a portion where the discharge port is to be formed. Exposure is preferably carried out at 2000J / cm 2 or more 8000J / cm 2 or less. After the exposure, the non-exposed portion is developed using a developer to form the discharge port 10 opening in the groove. The discharge port 10 can also be formed by, for example, dry etching. The discharge ports 10 are formed in the grooves so as to be arranged along the arrangement direction. The position of the opening of the discharge port may be determined at this time.

その後、必要に応じて図３（ｂ）に示すように吐出口形成部材６を保護部材１２で覆い、図３（ｃ）に示すように基板１の裏面側にＳｉＯ２等からなるマスク層１３を形成する。続いて図３（ｄ）に示すように、ウェットエッチングやドライエッチング等によって液体供給口１４を形成する。液体供給口１４は基板１の表面側まで到達させる。続いて図３（ｅ）に示すように保護膜３の一部をドライエッチング等によって除去し、空間部分１５を形成する。そして保護部材１２及び型材５を除去液等で除去し、２００℃で６０分程度加熱することで、図３（ｆ）に示すような液体吐出ヘッドが製造される。 Thereafter, if necessary, the discharge port forming member 6 is covered with a protective member 12 as shown in FIG. 3B, and a mask layer 13 made of SiO 2 or the like is formed on the back side of the substrate 1 as shown in FIG. 3C. Form. Subsequently, as shown in FIG. 3D, the liquid supply port 14 is formed by wet etching, dry etching, or the like. The liquid supply port 14 reaches the surface side of the substrate 1. Subsequently, as shown in FIG. 3E, a part of the protective film 3 is removed by dry etching or the like to form a space portion 15. Then, the protective member 12 and the mold material 5 are removed with a remover and heated at 200 ° C. for about 60 minutes, whereby a liquid discharge head as shown in FIG. 3F is manufactured.

以上のようにして、本発明の液体吐出ヘッドが製造される。このような製造方法で製造された液体吐出ヘッドは、吐出口面に吐出口の配列方向に沿って延在する溝が形成されており、溝には吐出口が開口した構成となる。   As described above, the liquid discharge head of the present invention is manufactured. The liquid discharge head manufactured by such a manufacturing method has a structure in which a groove extending along the arrangement direction of the discharge ports is formed on the discharge port surface, and the discharge ports are opened in the groove.

Claims (9)

複数の吐出口を形成する吐出口形成部材を有する液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出口は前記吐出口形成部材の吐出口面に配列方向に沿って配列して開口しており、前記吐出口面には前記複数の吐出口の配列方向に沿って延在し前記吐出口形成部材の短手方向における断面形状が円弧形状の溝が形成されており、前記溝には前記配列方向に沿って配列した複数の吐出口が開口しており、前記吐出口形成部材の長手方向において隣接する吐出口は、前記吐出口形成部材の短手方向において前記溝の中心に対して互いに反対側の位置に開口していることを特徴とする液体吐出ヘッド。 A liquid discharge head having a discharge port forming member for forming a plurality of discharge ports, wherein the plurality of discharge ports are arranged and opened along an arrangement direction on a discharge port surface of the discharge port forming member, the discharge port surface and the cross-sectional shape in the lateral direction of the discharge port forming member to extend along the arrangement direction of the plurality of outlets is formed a groove arcuate, the arrangement direction in the groove A plurality of discharge ports arranged along the opening are open, and the discharge ports adjacent in the longitudinal direction of the discharge port forming member are opposite to each other with respect to the center of the groove in the short direction of the discharge port forming member. A liquid discharge head having an opening at a position . 前記溝は前記吐出口形成部材の長手方向における端部まで延在している請求項１に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the groove extends to an end portion in a longitudinal direction of the discharge port forming member. 前記溝は前記吐出口形成部材の長手方向における両端部まで延在している請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the groove extends to both end portions in the longitudinal direction of the discharge port forming member. 前記吐出口形成部材の短手方向に関して、前記溝の幅が前記吐出口の開口部分の幅の２倍以上である請求項１乃至３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   4. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the width of the groove is at least twice the width of the opening of the ejection port with respect to the short direction of the ejection port forming member. 前記吐出口形成部材の短手方向に関して、前記溝の幅が１００μｍ以下である請求項１乃至４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   5. The liquid discharge head according to claim 1, wherein a width of the groove is 100 μm or less with respect to a short direction of the discharge port forming member. 前記吐出口形成部材は基板の表面側に形成されており、前記基板の表面に対して垂直方向の前記溝の深さが１μｍ以上である請求項１乃至５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the discharge port forming member is formed on a surface side of the substrate, and a depth of the groove in a direction perpendicular to the surface of the substrate is 1 μm or more. . 前記吐出口形成部材は基板の表面側に形成されており、前記基板の表面に対して垂直方向の前記溝の深さが１００μｍ以下である請求項１乃至６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharge head according to claim 1, wherein the discharge port forming member is formed on a surface side of the substrate, and a depth of the groove in a direction perpendicular to the surface of the substrate is 100 μm or less. . 請求項１乃至７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、ワイピングブレードを有する液体吐出装置であって、前記ワイピングブレードによって前記吐出口形成部材の前記溝を含む吐出口面をワイピングすることを特徴とする液体吐出装置。 Wherein the liquid discharge head according to any of claims 1 to 7, a liquid ejecting apparatus having a wiping blade, to wipe the discharge port surface containing said groove of said discharge port forming member by said wiping blade A liquid ejection device. 前記ワイピングブレードの前記吐出口面をワイピングする部分がＲ形状である請求項８に記載の液体吐出装置。 The liquid ejection apparatus according to claim 8 , wherein a portion of the wiping blade that wipes the ejection port surface has an R shape.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06134998A (en) * 1992-10-22 1994-05-17 Canon Inc Ink jet recorder
JP3629944B2 (en) * 1998-03-30 2005-03-16 セイコーエプソン株式会社 Ink jet printing apparatus, print head, and manufacturing method thereof
JP2000127421A (en) * 1998-10-27 2000-05-09 Canon Inc Ink jet recording head, ink jet cartridge and ink jet recorder
JP2000158660A (en) * 1998-11-26 2000-06-13 Fuji Electric Co Ltd Ink jet recorder
US6547369B1 (en) * 2001-10-12 2003-04-15 Xerox Corporation Layered cleaning blade and image forming device arranged with the same
JP2003182092A (en) * 2001-12-19 2003-07-03 Konica Corp Inkjet recorder
JP2005074652A (en) * 2003-08-28 2005-03-24 Seiko Epson Corp Liquid ejector
JP2005212286A (en) * 2004-01-29 2005-08-11 Konica Minolta Holdings Inc Inkjet head
JP2005246122A (en) * 2004-03-01 2005-09-15 Seiko Epson Corp Liquid drop discharging head, liquid drop discharging device having liquid drop discharging head, inkjet head having liquid drop discharge head, color filter forming apparatus having liquid drop discharge head, and organic el panel forming apparatus having liquid drop discharge head
JP2006192622A (en) * 2005-01-12 2006-07-27 Sony Corp Liquid-delivering head, liquid-delivering apparatus, and method for manufacturing liquid-delivering head
JP4788237B2 (en) * 2005-08-19 2011-10-05 富士ゼロックス株式会社 Droplet discharge head
JP2007210127A (en) * 2006-02-07 2007-08-23 Fuji Xerox Co Ltd Method for manufacturing droplet ejection head and droplet ejection head

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