JP4787227B2 - 放射線検出器および放射線検出器の記録用光導電層の製造方法 - Google Patents
放射線検出器および放射線検出器の記録用光導電層の製造方法 Download PDFInfo
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Description
一方、特許文献3には一般的なセレンの蒸着方法が記載されている。
以下に本発明の製造方法の実施例を示す。
10ppm程度のナトリウムを含有するセレンを、ステンレスからなる金属メッシュ(#300(1インチ辺りの網目数が300))が付いている蒸着容器で加熱し、メッシュ温度を表1に示すようにセレンの融点(220)〜250℃の間で制御して100〜200μm蒸着した。なお、メッシュ温度はメッシュ枠で測定した。
10ppm程度のナトリウムを含有するセレンを蒸着源温度を255℃にして加熱し、100〜200μm蒸着した。
2 記録用放射線導電層
3 電荷輸送層
4 読取光導電層
5 導電層
10 放射線検出器
80 真空蒸着装置
82 蒸着容器
83 メッシュフィルタ
87 ヒータ
Claims (5)
- 記録用光導電層の両側に電極が設けられ、該電極間に所定のバイアス電圧を印加した状態で、放射線の照射を受けることにより前記記録用光導電層内部に発生した電荷を電気信号として検出する放射線検出器において、前記記録用光導電層が1.95±0.02の配位数を有するアモルファスセレンであることを特徴とする放射線検出器。
- 前記放射線検出器が、記録用の放射線に対して透過性を有する第1の導電体層、記録用の放射線の照射を受けることにより光導電性を呈する記録用光導電層、読取用電磁波の照射を受けることにより光導電性を呈する読取用光導電層、前記読取用電磁波に対して透過性を有する第2の導電体層をこの順に積層してなる放射線画像情報を静電潜像として記録する放射線検出器であって、
前記読取用光導電層が1.95±0.02の配位数を有するアモルファスセレンであることを特徴とする請求項1記載の放射線検出器。 - 記録用光導電層の両側に電極が設けられ、該電極間に所定のバイアス電圧を印加した状態で、放射線の照射を受けることにより前記記録用光導電層内部に発生した電荷を電気信号として検出する放射線検出器の前記記録用光導電層の製造方法であって、
所定量のアルカリ金属を含むセレンを収容した、蒸着容器を加熱し、セレンの融点〜243℃の範囲に温度制御されたメッシュを通して、前記アルカリ金属を含むセレンを蒸着することにより前記記録用光導電層を形成することを特徴とする記録用光導電層の製造方法。 - 記録用光導電層の両側に電極が設けられ、該電極間に所定のバイアス電圧を印加した状態で、放射線の照射を受けることにより前記記録用光導電層内部に発生した電荷を電気信号として検出する放射線検出器の前記記録用光導電層の製造方法であって、
アルカリ金属を含まないセレンを収容した、アルカリ金属を含有する化合物で改質された蒸着容器を加熱し、セレンの融点〜243℃の範囲に温度制御されたメッシュを通して、前記アルカリ金属を含む前記セレンを蒸着することにより前記記録用光導電層を形成することを特徴とする記録用光導電層の製造方法。 - 前記アルカリ金属がナトリウムであることを特徴とする請求項3または4記載の記録用光導電層の製造方法。
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