JP4784391B2 - ウェーハの欠陥検出方法 - Google Patents
ウェーハの欠陥検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4784391B2 JP4784391B2 JP2006136707A JP2006136707A JP4784391B2 JP 4784391 B2 JP4784391 B2 JP 4784391B2 JP 2006136707 A JP2006136707 A JP 2006136707A JP 2006136707 A JP2006136707 A JP 2006136707A JP 4784391 B2 JP4784391 B2 JP 4784391B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- etching
- sige
- defect
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
(1)ウェーハの酸化層上に形成したSiGe層とSi層の積層体に内在する欠陥を検出する方法であって、所定の前処理エッチング液として、K 2 Cr 2 O 7 およびCrO 3 の1種または2種を合計で0.001〜0.04mol/l含有するCr含有HF溶液を用い、前記積層体に内在する欠陥を、Si層中は比較的緩やかなエッチングレートで選択エッチングするとともに、SiGe層中は比較的急速なエッチングレートで選択エッチングして、積層体を貫通するエッチピットを形成する前処理エッチング工程と、所定の後処理エッチング液を用い、前記エッチピットを通じて、エッチピットの底面に位置する酸化層の部分を選択エッチングすることにより、前記酸化層部分を含む拡大された領域に凹状の浸食部を形成する後処理エッチング工程とを有することを特徴とするウェーハの欠陥検出方法。
図1(a),(b),(c)は、この発明の製造方法によってウェーハの欠陥検出方法を説明するためのフローチャートであり、図1中の符号1は半導体ウェーハ、2はSiウェーハ、3は酸化層(SiO2層)、4はSiGe層、5はSi層である。
rSiGe=0.1161[Ge]2+2.3023[Ge]+11.01
rSiGe=(0.1161[Ge]2+2.3023[Ge]+11.01)×rSi
t(min.)=X/2.8+Y/rSiGe
これにより、前処理エッチング液により、Si層とSiGe層を貫通する選択エッチング処理するための最適な時間を算出することが可能である。
欠陥検出用サンプルとしては、サイズが200mmのSiウェーハ上に形成した140nmのSiO2層の上に、膜厚100nm、Ge含有量:20質量%のSiGe層と12nmのSi層からなる積層体を形成したものを用いた。まず、前処理エッチング工程を行った。前処理エッチング液としては、0.006mol/lのK2Cr2O7溶液と50質量%HFとを5:1の割合で混合した溶液を用い、この前処理エッチング液にサンプルを90秒間浸漬して、積層体に、SiO2層へ達するエッチピットを形成した。このとき、Si層はエッチングにより消失し、SiGe層の残膜は70nmであった。次に、後処理エッチング工程を行った。後処理エッチング液は、50質量%のHF水溶液を用い、前処理エッチング工程を行ったサンプルを、この後処理エッチング液中に30秒間浸漬し、前記エッチピットを通じて、エッチピットの底面に位置する酸化層の部分を選択エッチングして、前記酸化層部分を含む拡大された領域に凹状の浸食部を形成した。
従来のセコエッチング液(0.15mol/lのK2Cr2O7水溶液と、50質量%のHF水溶液を1:2の割合で混合したもの)を用いて選択エッチングした。このとき、処理時間が数秒と短時間で、Si層およびSiGe層が消失し、それに伴って、欠陥も消失した。
従来のシンメルエッチング液(1mol/lのCrO3水溶液と、50質量%のHF水溶液を1:2の割合で混合したもの)を用いて選択エッチングした。この場合も、比較例1の場合と同様、処理時間が数秒と短時間で、Si層およびSiGe層が消失し、それに伴って、欠陥も消失した。
後処理エッチング工程を行わないこと以外は実施例1と同様の工程で行った。
作製した上記各サンプルについて、光学顕微鏡を用いて、倍率500倍で任意の表面を3箇所について観察を行い、単位面積あたりの欠陥(エッチピット)の個数をカウントし、このカウント結果から欠陥密度の平均値を算出した。また、後処理エッチング工程を行わないサンプルの表面を、形状観察により欠陥(ピット)の正確な判別が可能である共焦点レーザー顕微鏡(倍率:400倍)により観察し、欠陥密度を測定したものを標準サンプルとした。図4に欠陥密度の測定結果を示す。
2 ウェーハ(またはSiウェーハ)
3 酸化層(またはSiO2層)
4 SiGe層
5 Si層
6 積層体
7 エッチピット
8 浸食部
Claims (4)
- ウェーハの酸化層上に形成したSiGe層とSi層の積層体に内在する欠陥を検出する方法であって、
所定の前処理エッチング液として、K 2 Cr 2 O 7 およびCrO 3 の1種または2種を合計で0.001〜0.04mol/l含有するCr含有HF溶液を用い、前記積層体に内在する欠陥を、Si層中は比較的緩やかなエッチングレートで選択エッチングするとともに、SiGe層中は比較的急速なエッチングレートで選択エッチングして、積層体を貫通するエッチピットを形成する前処理エッチング工程と、
所定の後処理エッチング液を用い、前記エッチピットを通じて、エッチピットの底面に位置する酸化層の部分を選択エッチングすることにより、前記酸化層部分を含む拡大された領域に凹状の浸食部を形成する後処理エッチング工程と
を有することを特徴とするウェーハの欠陥検出方法。 - 後処理エッチング液は、Crを含有しないCrフリーHF溶液である請求項1に記載のウェーハの欠陥検出方法。
- 積層体を構成するSi層の膜厚は3〜40nmの範囲である請求項1または2に記載のウェーハの欠陥検出方法。
- 積層体を構成するSiGe層中のGe含有量は、5質量%以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載のウェーハの欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006136707A JP4784391B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | ウェーハの欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006136707A JP4784391B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | ウェーハの欠陥検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007311415A JP2007311415A (ja) | 2007-11-29 |
JP4784391B2 true JP4784391B2 (ja) | 2011-10-05 |
Family
ID=38844032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006136707A Expired - Fee Related JP4784391B2 (ja) | 2006-05-16 | 2006-05-16 | ウェーハの欠陥検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4784391B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108010863A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-05-08 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112928037B (zh) * | 2021-01-22 | 2023-11-24 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 检测方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1070166A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Hitachi Ltd | 半導体検査方法およびそれに用いる結晶欠陥検出液 |
JP2003188223A (ja) * | 2001-12-19 | 2003-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 結晶欠陥の顕在化方法、評価用半導体装置の製造方法、結晶欠陥の評価方法及び、評価用半導体装置 |
US6803240B1 (en) * | 2003-09-03 | 2004-10-12 | International Business Machines Corporation | Method of measuring crystal defects in thin Si/SiGe bilayers |
-
2006
- 2006-05-16 JP JP2006136707A patent/JP4784391B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108010863A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-05-08 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 凹陷缺陷的检测方法以及用于检测凹陷缺陷的晶圆 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007311415A (ja) | 2007-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5032168B2 (ja) | バルク基板中の結晶欠陥を顕在化する方法 | |
CN105717137B (zh) | 石英玻璃微缺陷检测方法 | |
KR20060130695A (ko) | 실리콘웨이퍼의 결정결함 평가방법 | |
JP4784391B2 (ja) | ウェーハの欠陥検出方法 | |
US8847335B2 (en) | Membrane structure for electrochemical sensor | |
US7517706B2 (en) | Method for evaluating quality of semiconductor substrate and method for manufacturing semiconductor substrate | |
WO2001048810A1 (fr) | Dispositif d'inspection des defauts de cristal d'une plaquette de silicium et procede de detection des defauts de cristal de cette plaquette | |
JP2008028178A (ja) | 単結晶基板の評価方法 | |
EP0702204A2 (en) | A method of evaluating silicon wafers | |
US20110244601A1 (en) | Method for producing a substrate including a step of thinning with stop when a porous zone is detected | |
JP2019047108A (ja) | シリコンウェーハの評価方法及びシリコンウェーハの製造方法 | |
JP2004235350A (ja) | Soiウエーハの結晶欠陥評価方法およびエッチング液 | |
JP2017098502A (ja) | エッチング方法 | |
JPH11238773A (ja) | シリコンウェーハの評価方法 | |
CN106770484A (zh) | 铜材的检测方法 | |
EP2737295B1 (en) | Evaluation of porosity in aluminum ingot | |
JP2012049392A (ja) | 転位の出現深さを特定する方法 | |
WO2014069156A1 (ja) | シリコンウェーハの評価方法及びそのエッチング液 | |
KR100969190B1 (ko) | 접합 웨이퍼의 평가 방법 | |
GB2428885A (en) | Etching solution for identifying defects in silicon | |
JP6349290B2 (ja) | 単結晶ウェーハの表裏判定方法 | |
JP2009115626A (ja) | 薄膜強度評価方法 | |
JP4370812B2 (ja) | Soiウェーハの検査方法 | |
JP2006267048A (ja) | 断面観察用試料の作製方法 | |
JP2009252880A (ja) | Soiウェーハの評価方法およびsoiウェーハの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090507 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090507 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110525 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4784391 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140722 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |