JP4782587B2 - チャックテーブルの検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物の裏面を研削する研削装置や半導体ウエーハ等の被加工物を切断するダイシング装置等の加工装置に装備され被加工物を吸引保持するチャックテーブルの吸引保持性能を検査するチャックテーブルの検査方法に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハを切削装置等のダイシング装置によりストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々のデバイス（チップ）を製造している。また、半導体ウエーハを個々のデバイス（チップ）に分割される前にその裏面を研削装置によって研削して所定の厚さに形成されている。

上述した研削装置や切削装置等の加工装置は、半導体ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に所定の加工を施す加工手段とを具備している。このような加工装置において、被加工物に精密加工を施すには被加工物がチャックテーブルに確実に保持されていることが重要であり、チャックテーブルは被加工物を吸引保持するように構成されている。このようなチャックテーブルは、上面に保持領域を備えるとともに該保持領域に連通する吸引通路を備えたチャックテーブル本体と、該保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材とからなっている。

上述したチャックテーブルにおいては、チャックテーブル本体と保持領域に配設される吸引保持部材との接合が不十分であったり、チャックテーブル本体と吸引保持部材との間に段差がある場合、また、吸引保持部材自体に欠陥がある場合には、被加工物を吸引保持部材上に確実に吸引保持することができず、加工時においてチャックテーブルから被加工物が脱落して破損するという問題がある。このような問題を解消するためにチャックテーブルの製造時に吸引力を検査するとともに、チャックテーブルを加工装置に装着した状態で再度吸引力を検査している。このチャックテーブルの吸引保持性能を検査する方法としては、吸引保持部材を流通する空気の流量を測定することによりチャックテーブルの良否を判定していた。

而して、チャックテーブルを製造するメーカーと加工装置を製造するメーカーが異なる場合に、検査に用いる吸引手段の吸引能力が異なると吸引保持部材を流通する空気の流量が異なり、チャックテーブルの良否を適切に判定することが困難である。即ち、チャックテーブルの吸引保持部材上に被加工物を載置しない状態で吸引保持部材の性能を検査する場合、吸引能力が大きい吸引手段を用いた場合には吸引保持部材に多少の目詰まりが生じていても所定の流量が得られ良品として判定される場合がある。また、チャックテーブルの吸引保持部材上に被加工物を載置した状態でチャックテーブルとしての吸引性能を検査する場合、吸引能力が大きい吸引手段を用いた場合には吸引保持部材に欠陥がなくても所定以上の流量となって不良品として判定される場合がある。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、チャックテーブルの吸引保持性能を適切に検査することがチャックテーブルの検査方法を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、上面に保持領域を備えるとともに該保持領域に連通する吸引通路を備えたチャックテーブル本体と、該保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材とからなるチャックテーブルの検査方法であって、
チャックテーブルの該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめる吸引力生成工程と、
該吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して流通抵抗値を求める流量抵抗算出工程と、
該流通抵抗算出工程によって算出された該流通抵抗値が所定の許容範囲ならばチャックテーブルは良品と判定し、該流通抵抗値が所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する判定工程と、を含む、
ことを特徴とするチャックテーブルの検査方法が提供される。

上記吸引力生成工程および上記流量抵抗算出工程は、チャックテーブルの吸引保持部材に被加工物相当部材を載置しない状態で実施する。
また、上記吸引力生成工程および上記流量抵抗算出工程は、チャックテーブルの吸引保持部材の全面に被加工物相当部材を載置した状態で実施する。

また、本発明によれば、上面に保持領域を備えるとともに該保持領域に連通する吸引通路を備えたチャックテーブル本体と、該保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材とからなるチャックテーブルの検査方法であって、
チャックテーブルの該吸引保持部材に被加工物相当部材を載置しない状態で該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめる第１の吸引力生成工程と、
該第１の吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して流通抵抗値を求める第１の流通抵抗算出工程と、
チャックテーブルの該吸引保持部材の全面に被加工物相当部材を載置した状態で該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめ該吸引保持部材上に被加工物相当部材を吸引保持する第２の吸引力生成工程と、
該第２の吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して第２の流通抵抗値を求める第２の流通抵抗算出工程と、
該第１の流通抵抗値および第２の流通抵抗値がそれぞれ所定の許容範囲ならばチャックテーブルは良品と判定し、該第１の流通抵抗値および第２の流量抵抗値の少なくとも一方がそれぞれ所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する判定工程と、を含む、
ことを特徴とするチャックテーブルの検査方法が提供される。

本発明によるチャックテーブルの検査方法においては、チャックテーブルの吸引通路を流通する空気の流量と吸引通路の圧力を測定し、吸引通路圧力を空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して流通抵抗値を求め、この流通抵抗値に基づいてチャックテーブルの良否を判定するので、吸引手段の能力に影響されることなくチャックテーブルの吸引保持性能を適切に検査することができる。

以下、本発明によるチャックテーブルの検査方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図１には、本発明による検査方法によって検査されるチャックテーブルの断面図が示されている。図１に示すチャックテーブル２は、チャックテーブル本体２１と、該チャックテーブル本体２１の保持領域２１０に配設された通気性を有する吸引保持部材３とからなっている。チャックテーブル本体２１は、円盤状の保持部２１１と、該保持部２１１の下面に突出して設けられた回転軸部２１２とからなっており、ステンレス鋼等の金属材やセラミックス等によって一体的に形成されている。保持部２１１の上面には保持領域２１０に円形の嵌合凹部２１３が設けられている。この嵌合凹部２１３には、底面の外周部に吸引保持部材３が載置される環状の支持棚２１３aが設けられている。チャックテーブル本体２１を形成する保持部２１１および回転軸部２１２には、嵌合凹部２１３に開口する吸引通路２１４が設けられている。

上記吸引保持部材３は、図示の実施形態においてはポーラスなセラミックスによって円形に形成されている。この吸引保持部材３は、チャックテーブル本体２１の保持部２１１の上面に形成された嵌合凹部２１１に嵌合され環状の支持棚２１３a上に載置され、吸引保持部材３の外周面と嵌合凹部２１１の内周面が適宜の接着剤によって接合されている。このようにしてチャックテーブル本体２１の保持部２１１に設けられた嵌合凹部２１３に嵌合され吸引保持部材３は、その上面が保持部２１１の上面と同一平面を形成するように構成されている。

以上のように構成されたチャックテーブル２は、研削装置や切削装置等の加工装置に装着され、チャックテーブル本体２１に形成された吸引通路２１４が図示しない吸引手段に接続される。従って、チャックテーブル本体２１の保持領域２１０に配設された吸引保持部材３上に被加工物を載置し、図示しない吸引手段を作動することにより、吸引通路２１４を介して吸引保持部材３の上面に負圧が作用し、該吸引保持部材３の上面に被加工物が吸引保持される。

次に、上述したチャックテーブル２の吸引保持性能を検査する検査方法の第１の実施形態について、図２を参照して説明する。
先ず、検査装置について説明する。図２に示す検査装置４は、吸引ポンプ５１と、該吸引ポンプ５１とチャックテーブル２の吸引通路２１４とを接続する吸引パイプ５２と、該吸引パイプ５２に配設された可変絞り弁５３とからなる吸引手段５を具備している。この吸引手段５の吸引パイプ５２には、吸引通路２１４を流通する空気の流量を測定する流量計６と、吸引通路２１４の圧力を測定する圧力計７が配設されている。

上述した検査装置を用いてチャックテーブル２の吸引保持性能を検査するには、図２に示すように吸引手段５の吸引パイプ５２をチャックテーブル２の吸引通路２１４に接続する。そして、吸引ポンプ５１を作動すると、吸引パイプ５２および吸引通路２１４を介してチャックテーブル本体２１の保持領域２１０に形成された嵌合凹部２１３に吸引力が生成せしめられる（吸引力生成工程）。この結果、嵌合凹部２１３に嵌合されている通気性を有する吸引保持部材３を通して空気が吸引され、この吸引された空気が吸引通路２１４および吸引パイプ５２を介して吸引ポンプ５１に吸引される。そして、吸引パイプ５２に配設された流量計６によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）を流通する空気の流量(Q1)を測定するとともに、吸引パイプ５２に配設された圧力計７によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）の吸引通路圧力値(P1)が測定される。なお、この測定においては後述する流通抵抗値の計算を容易にするために吸引通路圧力値(P1)が一定（例えば、−３５kPa）になるように可変絞り弁５３を調整する。従って、吸引パイプ５２（吸引通路２１４）の圧力が安定した状態においては、圧力計７によって測定される吸引通路圧力値(P1)は一定（例えば、−３５kPa）となる。そして、測定した空気流量値(Q1)と吸引通路圧力値(P1)に基づいて、吸引保持部材３の流通抵抗値(R1)を計算する（流通抵抗算出工程）。この流通抵抗値(R1)は、吸引通路圧力値(P1)を空気流量値(Q1)で除算（(R1＝P1÷Q1)することによって求められる。

上述したように求められた流通抵抗値(R1)に基づいて、チャックテーブルが良品か不良品かを判定する。即ち、流通抵抗値(R1)がそれぞれ所定の許容範囲内ならば良品と判定し、流通抵抗値(R1)が所定の許容範囲外の場合には不良品と判定する(判定工程)。

上記判定工程について、更に詳細に説明する。
下記表１は７個のチャックテーブルについて上記吸引力生成工程および流通抵抗算出工程を実施したデータである。

上述した表１に示す例においては吸引通路圧力値(P1)の設定値を変えると空気流量値(Q1)は変化するが、流通抵抗値(R1)は変わらない。従って、チャックテーブルの良否を判定する基準として流通抵抗値(R1)が例えば−０．３以上であればチャックテーブルの吸引保持部材は十分な通気性を有しており、良品であると判定する。表１に示す例においては、No．１〜No．６のチャックテーブルは流通抵抗値(R1)が−０．２２で判定基準である−０．３以上であるので良品と判定する。一方、No．７のチャックテーブルは流通抵抗値(R1)が−０．３２で判定基準である−０．３より小さいので、吸引保持部材が目詰まり等により十分な通気性を有していないため、不良品であると判定する。

次に、上述したチャックテーブル２の吸引保持性能を検査する検査方法の第２の実施形態について、図３を参照して説明する。
図３に示すように、チャックテーブル２の保持領域２１０の全面、即ち吸引保持部材３の全面にウエーハ等の被加工物相当部材Wを載置するとともに、吸引ポンプ５１を作動する。従って、吸引パイプ５２および吸引通路２１４を介してチャックテーブル本体２１の保持領域２１０を形成する嵌合凹部２１３に吸引力が生成せしめられる。この結果、嵌合凹部２１３に嵌合されている通気性を有する吸引保持部材３を通して空気が吸引され、吸引保持部材３に載置された被加工物相当部材Wが吸引保持部材３上に吸引保持される（吸引力生成工程）。この吸引力生成工程を実施している際に、吸引パイプ５２に配設された流量計６によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）を流通する空気の流量(Q2)を測定するとともに、吸引パイプ５２に配設された圧力計７によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）の吸引通路圧力値(P2)が測定される。なお、この測定においても後述する流通抵抗値の計算を容易にするために吸引通路圧力値(P2)が一定（例えば、−６０kPa）になるように可変絞り弁５３を調整する。従って、吸引パイプ５２（吸引通路２１４）の圧力が安定した状態においては、圧力計７によって測定される吸引通路圧力値(P2)は一定（例えば、−６０kPa）となる。そして、測定した空気流量値(Q2)と吸引通路圧力値(P2)に基づいて、吸引保持部材３の流通抵抗値(R2)を計算する（流通抵抗算出工程）。この流通抵抗値(R2)は、吸引通路圧力値(P2)を空気流量値(Q2)で除算（(R2＝P2÷Q2することによって求められる。

上述したように求められた流通抵抗値(R2)に基づいて、チャックテーブルが良品か不良品かを判定する。即ち、流通抵抗値(R2)がそれぞれ所定の許容範囲内ならば良品と判定し、流通抵抗値(R2)が所定の許容範囲外の場合には不良品と判定する(判定工程)。

上記判定工程について、更に詳細に説明する。
下記表２は７個のチャックテーブルについて上記吸引力生成工程および流通抵抗算出工程を実施したデータである。

上述した表２に示す例において吸引通路圧力値(P2)の設定値を変えると空気流量値(Q2)は変化するが、流通抵抗値(R2)は変わらない。従って、チャックテーブルの良否を判定する基準として流通抵抗値(R2)が例えば−１．０以下であればチャックテーブルの吸引保持性能は十分であり、良品であると判定する。表２に示す例においては、No．１〜No．３およびNo．５〜No．７のチャックテーブルは流通抵抗値(R2)が判定基準である−１．０以下であるので良品と判定する。一方、No．４のチャックテーブルは流通抵抗値(R2)が−０．６０で判定基準である−１．０より大きいので、吸引保持部材の上面とチャックテーブル本体の上面との段差等によって空気の洩れがあり、吸引保持性能が不十分であるため、不良品であると判定する。

次に、上述したチャックテーブル２の吸引保持性能を検査する検査方法の第３の実施形態について説明する。
第３の実施形態においては、同一のチャックテーブルについてそれぞれ図２に示す第１の実施形態における上記吸引力生成工程（第１の吸引力生成工程）と流通抵抗算出工程（第１の流通抵抗算出工程）および図３に示す第２の実施形態における上記吸引力生成工程（第２の吸引力生成工程）と流通抵抗算出工程（第２の流通抵抗算出工程）を実施する。そして、第１の流通抵抗算出工程によって算出された流通抵抗値(R1)（第１の流通抵抗値(R1)）および第２の流通抵抗算出工程によって算出された流通抵抗値(R2)（第２の流通抵抗値(R2)）に基づいて、 第１の流通抵抗値(R1)および第２の流通抵抗値(R2)がそれぞれ許容範囲内ならばチャックテーブルは良品と判定し、第１の流通抵抗値(R1)および第２の流通抵抗値(R2)の少なくとも一方がそれぞれ所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する。従って、上記表１および表２に示す実施例においては、No．１〜No．３およびNo．５〜No．６のチャックテーブルは良品と判定し、No．４とNo．７のチャックテーブルは不良品と判定する。

次に、上述したチャックテーブル２の吸引保持性能を検査する検査方法の第４の実施形態について、図４を参照して説明する。
図４に示す検査方法においては、検査装置４にコンピュータ等の制御手段８が用いられる。そして、上記図２および図３に示す検査装置４における流量計６および圧力計７は、それぞれ計測した流量値および圧力値を制御手段８に送る。制御手段８は、流量計６および圧力計７から送られた流量値および圧力値に基づいて流量抵抗値を演算し、チャックテーブルの吸引性能を判定するとともに、これらの値を表示手段９に表示する。なお、図４に示す検査装置４においては、上記図２および図３に示す検査装置４における可変絞り弁５３を設ける必要はない。

上述した検査装置４を用いてチャックテーブル２の吸引保持性能を検査するには、図４に示すように吸引手段５の吸引パイプ５２をチャックテーブル２の吸引通路２１４に接続する。そして、吸引ポンプ５１を作動すると、吸引パイプ５２および吸引通路２１４を介してチャックテーブル本体２１の保持領域２１０に形成された嵌合凹部２１３に吸引力が生成せしめられる（吸引力生成工程）。この結果、嵌合凹部２１３に嵌合されている通気性を有する吸引保持部材３を通して空気が吸引され、この吸引された空気が吸引通路２１４および吸引パイプ５２を介して吸引ポンプ５１に吸引される。このとき、吸引パイプ５２に配設された流量計６によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）を流通する空気の流量が測定され、測定された空気流量値(Q1)が制御手段８に送られる。また、吸引パイプ５２に配設された圧力計７によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）の圧力が測定され、測定された吸引通路圧力値(P1)が制御手段８に送られる。なお、図４に示す実施形態においては上記図２および図３に示す検査装置４における可変絞り弁５３を設けていないので、圧力計７によって測定された吸引通路圧力値(P1)は、チャックテーブル２の吸引保持部材３の流通抵抗によって変化する。制御手段８は、入力した空気流量値(Q1)と吸引通路圧力値(P1)に基づいて、吸引保持部材３の流通抵抗値(R1)を演算する（流通抵抗算出工程）。この流通抵抗値(R1)は、吸引通路圧力値(P1)を空気流量値(Q1)で除算（(R1＝P1÷Q1)することによって求められる。そして、制御手段８は、上記空気流量値(Q1)、吸引通路圧力値(P1)および流通抵抗値(R1)を図示しないメモリに格納する。

上述したように求められた流通抵抗値(R1)に基づいて、制御手段８はチャックテーブルが良品か不良品かを判定する。即ち制御手段８は、上記図２に示す実施形態と同様に流通抵抗値(R1)がそれぞれ所定の許容範囲内ならば良品と判定し、流通抵抗値(R1)が所定の許容範囲外の場合には不良品と判定する(判定工程)。なお、制御手段８は、上記吸引通路圧力値(P1)、空気流量値(Q1)、流通抵抗値(R1)および判定結果を表示手段８に表示する。

次に、上述したチャックテーブル２の吸引保持性能を検査する検査方法の第５の実施形態について、図５を参照して説明する。図５に示す実施形態においても上記図４に示す検査装置４を用いて実施する。
図５に示すように、チャックテーブル２の保持領域２１０の全面、即ち吸引保持部材３の全面にウエーハ等の被加工物相当部材Wを載置するとともに、吸引ポンプ５１を作動する。従って、吸引パイプ５２および吸引通路２１４を介してチャックテーブル本体２１の保持領域２１０を形成する嵌合凹部２１３に吸引力が生成せしめられる。この結果、嵌合凹部２１３に嵌合されている通気性を有する吸引保持部材３を通して空気が吸引され、吸引保持部材３に載置された被加工物相当部材Wが吸引保持部材３上に吸引保持される（吸引力生成工程）。この吸引力生成工程を実施している際に、吸引パイプ５２に配設された流量計６によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）を流通する空気の流量が測定され、測定された空気流量値(Q2)が制御手段８に送られる。また、吸引パイプ５２に配設された圧力計７によって吸引パイプ５２（吸引通路２１４）の圧力が測定され、測定された吸引通路圧力値(P2)が制御手段８に送られる。なお、図５に示す実施形態においても上記図２および図３に示す検査装置４における可変絞り弁５３を設けていないので、圧力計７によって測定された吸引通路圧力値(P2)は、チャックテーブル２の吸引保持部材３の流通抵抗によって変化する。制御手段８は、入力した空気流量値(Q2)と吸引通路圧力値(P2)に基づいて、吸引保持部材３の流通抵抗値(R2)を演算する（流通抵抗算出工程）。この流通抵抗値(R2)は、吸引通路圧力値(P2)を空気流量値(Q2)で除算（(R2＝P2÷Q2)することによって求められる。そして、制御手段７は、上記空気流量値(Q2)、吸引通路圧力値(P2)および流通抵抗値(R2)を図示しないメモリに格納する。

上述したように求められた流通抵抗値(R2)に基づいて、制御手段７はチャックテーブルが良品か不良品かを判定する。即ち制御手段８は、流通抵抗値(R2)がそれぞれ所定の許容範囲内ならば良品と判定し、流通抵抗値(R2)が所定の許容範囲外の場合には不良品と判定する(判定工程)。なお、制御手段８は、上記吸引通路圧力値(P2)、空気流量値(Q2)、流通抵抗値(R2)および判定結果を表示手段８に表示する。

次に、上述したチャックテーブル２の吸引保持性能を検査する検査方法の第６の実施形態について説明する。
第６の実施形態においては、同一のチャックテーブルについてそれぞれ図４に示す第４の実施形態における上記吸引力生成工程（第１の吸引力生成工程）と流通抵抗算出工程（第１の流通抵抗算出工程）および図５に示す第５の実施形態における上記吸引力生成工程（第２の吸引力生成工程）と流通抵抗算出工程（第２の流通抵抗算出工程）を実施する。そして、第１の流通抵抗算出工程によって算出された流通抵抗値(R1)（第１の流通抵抗値(R1)）および第２の流通抵抗算出工程によって算出された流通抵抗値(R2)（第２の流通抵抗値(R2)）に基づいて、 第１の流通抵抗値(R1)および第２の流通抵抗値(R2)がそれぞれ許容範囲内ならばチャックテーブルは良品と判定し、第１の流通抵抗値(R1)および第２の流通抵抗値(R2)の少なくとも一方がそれぞれ所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する。

以上のように、図示の実施形態におけるチャックテーブルの検査方法においては、チャックテーブルの吸引通路を流通する空気の流量と吸引通路の圧力を測定し、吸引通路圧力を空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して流通抵抗値を求め、この流通抵抗値に基づいてチャックテーブルの良否を判定するので、吸引手段の能力に影響されることなくチャックテーブルの吸引保持性能を適切に検査することができる。

本発明によるチャックテーブルの検査方法によって検査されるチャックテーブルに一例を示す断面図。 本発明によるチャックテーブルの検査方法の第１の実施形態を示す説明図。 本発明によるチャックテーブルの検査方法の第２の実施形態を示す説明図。 本発明によるチャックテーブルの検査方法の第４の実施形態を示す説明図。 本発明によるチャックテーブルの検査方法の第５の実施形態を示す説明図。

符号の説明

２：チャックテーブル
２１：チャックテーブル本体
２１０：保持領域
２１１：保持部
２１２：回転軸部
２１３：嵌合凹部
２１４：吸引通路
３：吸引保持部材
４：検査装置
５：検査装置
５１：吸引ポンプ
５２：吸引パイプ
５３：可変絞り弁
６：流量計
７：圧力計
８：制御手段
９：表示手段

Claims (4)

1. 上面に保持領域を備えるとともに該保持領域に連通する吸引通路を備えたチャックテーブル本体と、該保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材とからなるチャックテーブルの検査方法であって、
   チャックテーブルの該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめる吸引力生成工程と、
   該吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して流通抵抗値を求める流量抵抗算出工程と、
   該流通抵抗算出工程によって算出された該流通抵抗値が所定の許容範囲ならばチャックテーブルは良品と判定し、該流通抵抗値が所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する判定工程と、を含む、
   ことを特徴とするチャックテーブルの検査方法。
2. 該吸引力生成工程および該流量抵抗算出工程は、チャックテーブルの該吸引保持部材に被加工物相当部材を載置しない状態で実施する、請求項１記載のチャックテーブルの検査方法。
3. 該吸引力生成工程および該流量抵抗算出工程は、チャックテーブルの該吸引保持部材の全面に被加工物相当部材を載置した状態で実施する、請求項１記載のチャックテーブルの検査方法。
4. 上面に保持領域を備えるとともに該保持領域に連通する吸引通路を備えたチャックテーブル本体と、該保持領域に配設された通気性を有する吸引保持部材とからなるチャックテーブルの検査方法であって、
   チャックテーブルの該吸引保持部材に被加工物相当部材を載置しない状態で該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめる第１の吸引力生成工程と、
   該第１の吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して流通抵抗値を求める第１の流通抵抗算出工程と、
   チャックテーブルの該吸引保持部材の全面に被加工物相当部材を載置した状態で該吸引通路を吸引手段に連通して該保持領域に吸引力を生成せしめ該吸引保持部材上に被加工物相当部材を吸引保持する第２の吸引力生成工程と、
   該第２の吸引力生成工程を実施している際に、該吸引通路を流通する空気の流量と該吸引通路の圧力を測定し、該吸引通路圧力を該空気流量で除算（吸引通路圧力÷空気流量）して第２の流通抵抗値を求める第２の流通抵抗算出工程と、
   該第１の流通抵抗値および第２の流通抵抗値がそれぞれ所定の許容範囲ならばチャックテーブルは良品と判定し、該第１の流通抵抗値および第２の流量抵抗値の少なくとも一方がそれぞれ所定の許容範囲外の場合にはチャックテーブルは不良品と判定する判定工程と、を含む、
   ことを特徴とするチャックテーブルの検査方法

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