JP4781630B2 - 膜厚測定装置 - Google Patents
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また本発明の請求項2に係る膜厚測定装置は、請求項1に係る膜厚測定装置において、前記測定点を複数箇所とすることにより前記処理手段が前記測定対象物の膜厚ラインプロファイルデータを演算するようにしたものである。
また本発明の請求項3に係る膜厚測定装置は、請求項1または2に係る膜厚測定装置において、前記正反射光をP偏光とS偏光に分離するPS分離手段を具備し、前記P偏光と前記S偏光の各々について、前記撮像と前記演算が行われるようにしたものである。
また本発明の請求項4に係る膜厚測定装置は、請求項1〜3のいずれかに係る膜厚測定装置において、光の干渉縞を撮像することができる半値全幅を有するバンドパスフィルターを光路に挿入するようにしたものである。
また本発明の請求項5に係る膜厚測定装置は、請求項1〜4のいずれかに係る膜厚測定装置において、前記照明手段の光源として低圧ナトリウムランプまたはレーザーを使用するようにしたものである。
また本発明の請求項6に係る膜厚測定装置は、請求項1〜5のいずれかに係る膜厚測定装置において、前記撮像手段は結像レンズとラインセンサとを有し、前記結像レンズの中心がラインセンサの受光中心に対してシフト配置されているようにしたものである。
また本発明の請求項2に係る膜厚測定装置によれば、測定対象物の膜厚ラインプロファイルデータ(直線上の多点における膜厚測定)が得られる。
また本発明の請求項3に係る膜厚測定装置によれば、P偏光とS偏光の各々について膜厚測定を行うことができる。
また本発明の請求項4に係る膜厚測定装置によれば、光の干渉縞を撮像することができる半値全幅を有するバンドパスフィルターが光路に挿入される。したがって、照明手段の光源に白色光を使用することができ、そのときバンドパスフィルターを交換するだけで膜色に適合する膜厚測定ができる。
また本発明の請求項5に係る膜厚測定装置によれば、照明手段の光源として低圧ナトリウムランプまたはレーザーが使用される。発光スペクトル幅が極めて狭く干渉縞が明瞭となるから高い測定精度が得られる。
また本発明の請求項6に係る膜厚測定装置によれば、撮像手段は結像レンズとラインセンサとを有し、結像レンズの中心がラインセンサの受光中心に対してシフト配置されている。すなわち、撮像可能な反射角を一方の側だけに振分けることができ、左右対称の場合と比較して撮像可能な反射角の範囲を広げることができるから高い測定精度が得られる。
まず、図11のステップS1において、測定対象100はシーケンサ16によって制御されたコンベヤ15によって搬送されラインセンサカメラ11a,11bの撮像領域に達する。測定対象100が撮像領域に達したことは、光電センサ等(図示せず)により検出する。この検出信号を入力してPC17は撮像を開始する。またこの検出信号を入力してシーケンサ16はコンベヤ15を速度制御し検出後における適正な搬送とする。測定対象100は、すくなくとも撮像領域において高周波点灯電源13から電力供給を受ける低圧ナトリウムランプ14によって照明が行われている。その結果、ラインセンサカメラ11a,11bの結像レンズを通してラインセンサに光像が結像している。
なお、単位を一致させる必要性はなく、サンプリング間隔が一定であればその比によって決まる角度の線分上の画素に特定の測定点の輝度データが存在することになる。
図13はその座標変換画像の構成を示す図である。図12の撮像領域の座標を示すX軸は、図13においては入射角度を示すθ軸に変わる。また図13においては、Y軸は測定対象の辺を原点とする測定点の座標を表す。図13に示すように、座標変換画像においては1つの測定点の輝度データはθ軸に平行な線分上の画素に存在することになる。
12 駆動装置
13 高周波点灯電源
14 低圧ナトリウムランプ
15 コロコンベヤ
16 シーケンサ
17 PC
18 ディスプレイ
19 偏光ビームスプリッター
20 白色照明
21a,21b バンドパスフィルター
22 レンズ
23 ハーフミラー
24a,24b 偏光フィルター
100 測定対象
Claims (6)
- 単色光の干渉を利用して膜厚を測定する膜厚測定装置であって、搬送手段と照明手段と撮像手段と処理手段とを具備し、
前記搬送手段は測定対象物を載置して搬送するとともに、その搬送にともなって変化する前記測定対象物の位置データを生成し、
前記照明手段は前記測定対象物からの正反射光が前記撮像手段に結像して到達するように前記測定対象物を照明し、
前記撮像手段は前記測定対象物の搬送方向に延びる線分状の撮像領域を有し、前記搬送にともなって前記測定対象物の表面における測定点が前記線分の一端から他端へと前記撮像領域を通過する間に、前記撮像領域の位置によって角度を変えながら到達する前記測定点からの前記正反射光を撮像し複数の輝度ラインプロファイルデータを生成し、
前記処理手段は前記撮像時の前記位置データに基づいて前記輝度ラインプロファイルデータにおける前記測定点のアドレスを特定し、前記測定点からの前記正反射光の前記角度と輝度とを演算するとともに、前記複数の輝度ラインプロファイルデータの各々について演算した複数対の前記角度と前記輝度に基づいて前記測定点の膜厚を演算する、
ことを特徴とする膜厚測定装置。 - 請求項1記載の膜厚測定装置において、前記測定点を複数箇所とすることにより前記処理手段が前記測定対象物の膜厚ラインプロファイルデータを演算することを特徴とする膜厚測定装置。
- 請求項1または2記載の膜厚測定装置において、前記正反射光をP偏光とS偏光に分離するPS分離手段を具備し、前記P偏光と前記S偏光の各々について、前記撮像と前記演算が行われることを特徴とする膜厚測定装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の膜厚測定装置において、光の干渉縞を撮像することができる半値全幅を有するバンドパスフィルターを光路に挿入することを特徴とする膜厚測定装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の膜厚測定装置において、前記照明手段の光源として低圧ナトリウムランプまたはレーザーを使用することを特徴とする膜厚測定装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の膜厚測定装置において、前記撮像手段は結像レンズとラインセンサとを有し、前記結像レンズの中心がラインセンサの受光中心に対してシフト配置されていることを特徴とする膜厚測定装置。
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