JP4778079B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

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Description

本発明は、固体撮像装置に関し、特にデジタルスチルカメラ用の固体撮像装置の構造に関する。
図9は、従来の固体撮像装置100の概略平面図である。
固体撮像装置100は、多数の光電変換素子12及び光電変換素子で発生する信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送装置(VCCD)14を含む受光領域2、VCCD14によって転送された信号電荷を一時蓄積するラインメモリ5、ラインメモリ5から信号電荷を受け取り水平方向に転送する水平電荷転送装置(HCCD)3及び信号電荷を電圧に変換して出力する出力アンプ(出力回路)4を含んで構成される。
図に示すようなPIACCD(Pixel Interleaved Array CCD)を採用した撮像装置における受光領域2は、多数の光電変換素子12をいわゆる画素ずらし配置に配置して構成されている。それぞれの光電変換素子12の列間には、光電変換素子12で発生した信号電荷を読み出して垂直方向に転送する垂直電荷転送装置14が、光電変換素子12の間隙を垂直方向に蛇行するように設けられている。画素ずらし配置により形成された空隙部に蛇行する転送チャネルが配置され、隣接する転送チャネルは光電変換素子を介して離れたり、チャネルストップ領域(図示せず)を挟んで近接したりする。(例えば、特許文献1及び非特許文献1参照)
垂直電荷転送装置14は、図示しない垂直転送チャネルと該垂直転送チャネル上方に、絶縁膜(図示せず)を挟んで形成される転送電極が光電変換素子12の間隙を蛇行するように水平方向に形成されている。
図に示す従来例では、全ての画素12が同一色(P1〜4)の画像情報を光電変換する場合が示されている。ここで、同一色とは、例えば、赤(R)、青(B)、緑(G)等の三原色のいずれか一色や、白色等である。なお、説明の便宜上、ライン(光電変換素子行)毎にP1〜P4の記号が付されているが、同一色の画像信号を取り出す同一機能の光電変換素子12が配置されている。
通常、P1とP2の画素12で光電変換された信号電荷は、VCCD14の同一転送段を並列に同時に転送される。P3とP4も同様に、同一ライン信号としてVCCD14の同一転送段を並列に同時に転送される。 VCCD14の最終転送段は、CCDラインメモリ(LM)5に連結し、転送された信号電荷はラインメモリ5に蓄積される。
数百万画素を有するデジタルスティルカメラ等では、動画撮影時のフレームレート(コマ数/秒)を高めるために、或いは、暗いシーンをより明るく撮影するために、隣接した同一色の信号を加算する技術が用いられている。
図中、ラインメモリ5と多相HCCD3は、水平方向に隣接する同一色の信号電荷を加算混合する機能を有している。まず、φ2Aとφ2Bの電極だけにハイレベル電圧を印加し、LMをローレベルにすることで、P1信号のみをHCCD3に転送し、続いてφ2Aとφ2Bの電極にローレベル電圧を印加し、φ1Aとφ1Bの電極にハイレベル電圧を印加することにより、P1信号はφ1Aとφ1B電極の下に移動し、且つ、ラインメモリ5からP2信号が転送され、図に示すように、HCCD3内で、P1信号とP2信号が加算混合される。
このように、1信号の電荷量が2倍に増幅され、且つ映像出力の画素数が1/2となり、全画素の信号を出力するのに要する時間を1/2に低減することができる。結果として、2倍の感度と2倍のフレームレートを実現することができる。
近年、多画素化が進み、さらに効果を高めるために、4画素混合が有効技術となってきている。この場合、水平方向に隣接する4画素を加算混合すると、水平解像度が1/4になり、画像の水平方向のズレが著しくなる。従って、水平方向の2画素及び垂直方向の2画素を加算混合することが好ましい。
図10は、従来の固体撮像装置100による4画素加算混合を説明するための概念図である。
図10(A)は、画素12からVCCD14に転送された状態の信号の配列を示す。P2信号とP1信号が交互に配列される第1行とP4信号とP3信号が交互に配列される第2行とが、交互に配列されている。
図10(B)は、第1行のP2及びP1信号がラインメモリ5に転送され、続いて、第2行のP4及びP3信号がラインメモリ5に転送されることで、2つの行をなす信号電荷がラインメモリ5内で加算混合された状態から、P1とP3信号が加算混合された信号列だけを選択的にHCCD3に転送し、さらに、HCCD3内を1段左方向(出力端方向)に転送した状態を示す。その後、図10(C)に示すように、P2とP4信号が加算混合された信号列をHCCD3に転送し、HCCD3内で、P1〜P4の信号電荷が加算混合される。この一連の動作を繰り返すことにより、図10(A)に示す信号配列から、図10(D)に示すような4画素加算の時系列出力を得ることができる。
特開2002−112119号公報
山田哲生 他、「A Progressive Scan CCD Imager for DSC Applications」、ISSCC Digest of Technical Papers、2000年2月、p.110−111
図11(A)は、従来の固体撮像装置100による4画素加算の組み合わせを示す受光領域2の概略平面図である。図10に示す従来の4画素加算を行った場合の撮像面上のサンプリング単位は、図に示すように、平行四辺形で囲まれた領域となる。この単位領域の中心(黒丸で示す部分)を撮像サンプリング中心とした2次元ナイキストリミットを図11(B)及び図11(C)に示す。
図11(B)は、加算を行わないときのナイキストリミットを示すグラフであり、図11(C)は、図10に示す従来の4画素加算を行ったときのナイキストリミットを示すグラフである。
各画素は、水平と垂直方向に配列ピッチpの正方配列を成しているので、画素加算を行わないで全画素の信号を独立して出力する場合の2次元ナイキストリミットは、水平垂直方向ともに1pとなり、水平垂直方向で等しくなる。
図10に示す従来の4画素加算を行った場合、水平方向のナイキストリミットが、加算混合を行わない場合の1/2となり、垂直方向のナイキストリミットは1/4となってしまう。すなわち、水平方向の解像度に対して垂直方向の解像度が1/2に低下してしまう。また、サンプリング単位の領域の形が水平及び垂直方向に対し上下左右非対称であるため、MTF特性(解像特性)も方向によって顕著に変化してしまう。
本発明の目的は、4画素加算混合による垂直解像度の劣化を防ぎ、且つ、課産後の撮像サンプリング単位を成す領域の形を水平垂直方向で対象とし、解像度特性の方向による変化を最小限に抑える固体撮像装置を提供することである。
本発明の一観点によれば、隣接する行間及び隣接する列間で第1の行列を形成し、空間的位相が相対的に異なる複数の画素と、列方向に前記位相が異なる2行の前記画素の信号を1ラインとして並列に転送する複数の垂直転送装置と、並列に転送された前記1ラインの信号を受け取り一時的に蓄積するラインメモリと、複数の電気的に独立した制御電圧が印加され、前記ラインメモリから選択的に信号電荷を受け取り、行方向に直列に信号電荷を転送する水平転送装置と、前記水平転送装置で転送された信号電荷を電圧に変換して出力する出力回路とを有する固体撮像装置は、前記1ラインの信号の内、水平方向に隣接する4画素の信号を1グループとして、前記1グループを構成し且つ4画素周期をなす1画素の信号を前記1ラインの信号に隣接し且つ先に転送されて前記水平転送装置内に待機する先行ラインの信号に加算混合し、前記水平転送装置内の信号が全て出力された後に、前記ラインメモリ内に残された前記1グループの3画素の信号を前記水平転送装置で加算混合して前記ラインメモリを空にするのと並行して、後続し且つ前記垂直転送装置に待機する後続ラインの信号電荷を前記ラインメモリに転送し、4画素の信号を1グループとして、前記1グループを構成し且つ前記先行ラインに転送された1画素の信号に対し4画素を周期とした1ライン上の空間位相が180度異なる1画素の信号を選択的に前記水平転送装置に転送し、前記3画素の信号と加算混合することを特徴とする。
本発明によれば、4画素加算混合による垂直解像度の劣化を防ぎ、且つ、課産後の撮像サンプリング単位を成す領域の形を水平垂直方向で対象とし、解像度特性の方向による変化を最小限に抑える固体撮像装置を提供することができる。
本発明の第1の実施例によるによる4画素加算の組み合わせを示す受光領域2の概略平面図である。 本発明の第1の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。 本発明の第1の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。 本発明の第1の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。 本発明の第2の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。 本発明の第2の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。 本発明の第2の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。 本発明の第1及び第2の実施例による4画素加算の組み合わせを示す受光領域2の概略平面図及び撮像サンプリング中心とした2次元ナイキストリミットを示す図である。 従来の固体撮像装置100の概略平面図である。 従来の固体撮像装置100による4画素加算混合を説明するための概念図である。 従来の固体撮像装置100による4画素加算の組み合わせを示す受光領域2の概略平面図及び撮像サンプリング中心とした2次元ナイキストリミットを示す図である。
図1は、本発明の第1の実施例によるによる4画素加算の組み合わせを示す受光領域2の概略平面図である。図10に示す従来の4画素加算を行った場合の撮像面上のサンプリング単位は、図に示すように、菱形で囲まれた領域となる。
本発明の実施例と、図9に示す従来の固体撮像装置100とは、信号の加算混合方法が異なるのみであり、ハードウェア構成は同一であるので、その説明は省略する。すなわち、本発明の実施例による 固体撮像装置100は、多数の光電変換素子12及び光電変換素子で発生する信号電荷を垂直方向に転送する垂直電荷転送装置(VCCD)14を含む受光領域2、VCCD14によって転送された信号電荷を一時蓄積するラインメモリ5、ラインメモリ5から信号電荷を受け取り水平方向に転送する水平電荷転送装置(HCCD)3及び信号電荷を電圧に変換して出力する出力アンプ(出力回路)4を含んで構成される。
また、ラインメモリ5及び水平加算回路(HCCD)3の構成の詳細は、本発明者の特許出願2000−295896号(特開2002−112119号公報)の発明の実施の形態の項を参照する。
また、図9と同様に全ての画素12が同一色(P1〜4)の画像情報を光電変換する場合が示されている。ここで、同一色とは、例えば、赤(R)、青(B)、緑(G)等の三原色のいずれか一色や、白色等である。なお、説明の便宜上、ライン(光電変換素子行)毎にP1〜P4の記号が付されているが、同一色の画像信号を取り出す同一機能の光電変換素子12が配置されている。図中、P2信号とP1信号が交互に配列される第1行、P4信号とP3信号が交互に配列される第2行、P2信号とP1信号が交互に配列される第3行、P4信号とP3信号が交互に配列される第4行が交互に配列されている。
図2〜図4は、本発明の第1の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。
図2(A)は、画素12から全信号電荷がVCCD14に転送された後に、VCCD14内を1転送段だけ垂直下方向に転送され、第1行の信号電荷(P1及びP2)が、ラインメモリ5に転送された状態を示す。
この状態から、図2(B)に示すように、選択されたP1(図中左から第4、8、12、16列目のP1)がHCCD3に転送され、不要電荷として排出される。その後、図2(C)に示すように、ラインメモリ5残されたP1信号とその右方向隣接するP2信号が、HCCD3に選択的に転送される。
次に、図3(A)に示すように、P1信号のみが、HCCD3内を1電極分出力端側(ラインメモリ5に残されたP2信号に対応する位置)に転送され、さらに、ラインメモリ5に残されたP2信号をHCCD3に転送し、P1信号とP2信号を加算混合する。
次に、図3(B)に示すように、VCCD14内の信号電荷が1転送段転送され(ラインシフト)、第2行の信号電荷(P3及びP4)がラインメモリ5に転送される。HCCD3内では、全電荷が左方向(出力端方向)に1段(電極)転送され、非加算状態のP2信号が、ラインメモリ5内のP3信号の下方に移動する。その後、選択されたP3(図中左から第2、6、10、14列目のP3)がHCCD3に転送され、HCCD3内で、P2信号と加算混合される。この状態から、HCCD3内の全信号電荷は、左方向(出力端方向)に転送され、出力回路4(図9)から出力される。出力回路4の周知のフローティング形電荷検出部或いは、その近傍で、P1+P2信号とP2+P3信号とを加算混合すれば、4画素加算信号の第1ラインの出力を得ることができる。HCCD3内の全信号電荷が読み出されると、図3(C)に示す状態となる。この状態から、図2(C)〜図3(B)を参照して説明した動作と同様の動作により、第2ラインの4画素加算を行う。
図3(D)に示すように、ラインメモリ5残されたP3信号とその右方向隣接するP4信号が、HCCD3に選択的に転送される。次に、図4(A)に示すように、P3信号のみが、HCCD3内を1電極分出力端側(ラインメモリ5に残されたP4信号に対応する位置)に転送され、さらに、ラインメモリ5に残されたP4信号をHCCD3に転送し、P3信号とP24号を加算混合する。
次に、図4(B)に示すように、VCCD14内の信号電荷が1転送段転送され(ラインシフト)、第3行の信号電荷(P1及びP2)がラインメモリ5に転送される。HCCD3内では、全電荷が左方向(出力端方向)に1段(電極)転送され、非加算状態のP4信号が、ラインメモリ5内のP1信号の下方に移動する。その後、選択されたP1(図中左から第4、8、12、16列目のP1)がHCCD3に転送され、HCCD3内で、P1信号と加算混合される。この状態から、HCCD3内の全信号電荷は、左方向(出力端方向)に転送され、出力回路4(図9)から出力される。出力回路4の周知のフローティング形電荷検出部或いは、その近傍で、P3+P4信号とP1+P4信号とを加算混合すれば、4画素加算信号の第2ラインの出力を得ることができる。
その後、以上の工程(図2(C)〜図4(B)の工程)を繰り返すことにより、本発明の第1の実施例による4画素加算出力を得ることができる。
図5〜図7は、本発明の第2の実施例による4画素加算混合を説明するための概念図である。
この第2の実施例が、上述の第1の実施例と異なるのは、HCCD3内で、4画素加算を行い。余ったHCCD3の転送段に次ラインの4画素加算信号の転送を担わせる点である。すなわち、HCCD3内の全信号電荷を出力回路4に転送することで、第1の実施例の2倍のデータレートを実現することができる。
図5(A)は、画素12から全信号電荷がVCCD14に転送された後に、VCCD14内を1転送段だけ垂直下方向に転送され、第1行の信号電荷(P1及びP2)が、ラインメモリ5に転送された状態を示す。
この状態から、図5(B)に示すように、選択されたP1(図中左から第4、8、12、16列目のP1)がHCCD3に転送され、不要電荷として排出される。その後、図5(C)に示すように、ラインメモリ5残されたP1信号とP2信号が、HCCD3に選択的に転送される。
次に、図5(D)に示すように、HCCD3内でP1信号を1電極分出力端側に転送し、P2信号の一方を2電極分出力端側に転送することにより3画素(P2、P1、P2)の信号を加算し、P1+P2+P2信号を形成する。さらに、並行してラインメモリ5に転送されているVCCD14の第2行の信号電荷のうち選択されたP3信号(図中左から第2、6、10、14列目のP3)をHCCD3に転送し、さらにこれをHCCD3内で1電極分出力端側に転送することにより、図6(A)に示す4画素加算信号(P1+P2+P2+P3信号)の第1ラインを形成する。その後、図6(B)に示すように、4画素加算信号(P1+P2+P2+P3信号)をHCCD3内で3電極分出力端側に転送する。
次に、図6(C)に示すように、ラインメモリ5内に残されているP3信号及びP4信号を全てHCCD3に転送する。その後、図7(A)に示すように、HCCD3内でP3信号を1電極分出力端側に転送し、P4信号の一方を2電極分出力端側に転送することにより3画素(P4、P3、P4)の信号を加算し、P3+P4+P4信号を形成する。さらに、並行してラインメモリ5に転送されているVCCD14の第3行の信号電荷のうち選択されたP1信号(図中左から第4、8、12、16列目のP1)をHCCD3に転送し、さらにこれをHCCD3内で1電極分出力端側に転送することにより、図7(A)に示す4画素加算信号(P1+P3+P4+P4信号)の第2ラインを形成する。
次に、図7(B)に示すように、4画素加算信号(P1+P2+P2+P3信号)の第1ラインを形成する信号電荷をHCCD3内で1電極分出力端側に転送することにより、周知の2相駆動CCD動作ができる状態にする。その後、2相駆動パルスをHCCD3に印加することにより、4画素加算された第1信号ラインと第2信号ラインとをマルチプレクスされた時系列信号として出力回路4から出力する。この4画素加算された第1信号ラインと第2信号ラインとは、例えば、外部のサンプリング回路によって、容易に分離することができる。
以上の動作を繰り返すことによって、全ての4画素加算信号を外部に出力することができる。
この第2の実施例の特徴は、2本の4画素加算信号ラインを1つのHCCD走査期間に出力できる点にあり、結果として、全画素の信号を出力するのに要する期間を第1の実施例に比して1/2に短縮でき、いわゆるフレームレートを2倍に高めることができる。ただし、HCCD3の転送容量を第1の実施例に比して、2倍にするか或いは1画素の最大信号電荷量を相対的にほぼ1/2に抑制する等の制約を伴う。
図8(A)は、本発明の第1及び第2の実施例による4画素加算の組み合わせを示す受光領域2の概略平面図である。本発明の実施例では、隣接する行間及び隣接する列間で行列を形成する画素の空間的位相が相対的に、例えば、180度異なることを特徴としている。また、発明の実施例による4画素加算を行った場合の撮像面上のサンプリング単位は、図に示すように、菱形で囲まれた領域となる。各サンプリング単位の重心の配置は非加算状態の各画素の配置と同様に空間的位相がライン毎に反転(空間的インターリーブ)された状態を形成する。この単位領域の中心(黒丸で示す部分)を撮像サンプリング中心とした2次元ナイキストリミットを図8(B)に示す。なお、この撮像サンプリング中心は、加算混合される行方向の2画素を結ぶ線と、加算混合される列方向の2画素を結ぶ線との交点であり、加算混合される4画素の中心点と一致乃至はほぼ一致する点である。さらに、撮像サンプリング中心は、隣接する行間及び隣接する列間で空間的位相が相対的に、例えば、180度異なることを特徴としている。
図8(B)から明らかなように、水平方向と垂直方向のナイキストリミットは同一であり非加算時の画素ピッチをpとした場合、1/2pとなる。つまり、本発明の実施例による垂直方向のナイキストリミットは、図11(C)に示す従来の4画素加算の垂直方向のナイキストリミット1/4pに対して2倍に拡大されている。すなわち、垂直解像度が従来の2倍に高められていることになる。
また、水平方向と垂直方向の解像度が等しいことで、自然な再生画像を得ることができる。さらに、非加算時の画像配列と4画素加算時の画像配列が相似であるために、非加算時と画素加算時で同一の画像信号処理を適用することができ、画像処理システムを簡素化することができる。
以上、本発明の第1及び第2の実施例によれば、画素行及び画素列毎に画素の空間的位相が180度異なる非加算状態の画素配列と相似形を成す4画素加算単位(ユニット)の配列を得ることができる。よって、撮像サンプリング重心のナイキストリミットを水平方向と垂直方向で等しく、且つ、非加算状態の1/2に保つことができ、4画素加算における解像度を最大限に高めることができる。
また、非加算信号と4画素加算信号が相似の撮像サンプリング配列を有することにより、非加算信号と共通の信号処理により再生画像信号を得ることができる。
また、本発明の第1及び第2の実施例によれば、4画素を加算することにより、感度を4倍に高め、且つ、フレームレートを4倍に高めることができる。
なお、複数の固体撮像装置に選択された光波長域に分解された異なる同一色の映像を入射させ、各撮像装置に本発明の第1又は第2の実施例を適用することにより、上述の4画素加算混合に対し解像度を最大限に高めた多板式(代表的には3板式)カラー撮像装置を得ることができる。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
2…受光領域、4…周辺回路、12…光電変換素子、14…垂直電荷転送装置、5…ラインメモリ、3…水平加算回路、100…固体撮像装置

Claims (4)

  1. 隣接する行間及び隣接する列間で第1の行列を形成し、空間的位相が相対的に異なる複数の画素と、
    列方向に前記位相が異なる2行の前記画素の信号を1ラインとして並列に転送する複数の垂直転送装置と、
    並列に転送された前記1ラインの信号を受け取り一時的に蓄積するラインメモリと、
    複数の電気的に独立した制御電圧が印加され、前記ラインメモリから選択的に信号電荷を受け取り、行方向に直列に信号電荷を転送する水平転送装置と、
    前記水平転送装置で転送された信号電荷を電圧に変換して出力する出力回路とを有する固体撮像装置であって、
    前記1ラインの信号の内、水平方向に隣接する4画素の信号を1グループとして、前記1グループを構成し且つ4画素周期をなす1画素の信号を前記1ラインの信号に隣接し且つ先に転送されて前記水平転送装置内に待機する先行ラインの信号に加算混合し、前記水平転送装置内の信号が全て出力された後に、前記ラインメモリ内に残された前記1グループの3画素の信号を前記水平転送装置で加算混合して前記ラインメモリを空にするのと並行して、後続し且つ前記垂直転送装置に待機する後続ラインの信号電荷を前記ラインメモリに転送し、4画素の信号を1グループとして、前記1グループを構成し且つ前記先行ラインに転送された1画素の信号に対し4画素を周期とした1ライン上の空間位相が180度異なる1画素の信号を選択的に前記水平転送装置に転送し、前記3画素の信号と加算混合することを特徴とする固体撮像装置。
  2. 前記4画素の信号電荷を加算混合するに際し、前記水平転送装置内で各2画素を加算混合し、2画素加算信号として前記出力回路に転送し、前記出力回路内で4画素加算信号を得ることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
  3. 前記4画素の信号電荷を加算混合するに際し、前記水平転送装置内で各2画素を加算混合し、2画素加算信号として前記出力回路に転送し、前記出力回路から出力される2画素加算信号を外部の処理回路で加算して4画素加算信号を得ることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
  4. 前記4画素の信号電荷を加算混合するに際し、前記水平転送装置内で4画素を加算混合し、前記水平転送装置の水平転送段の隔段に信号電荷を配置して第1の4画素加算信号ラインを形成した後、後続ラインの信号電荷を4画素加算混合して第2の4画素加算信号ラインを形成し、第2の4画素加算信号ラインの各加算信号は前記第1の4画素加算信号ラインの各加算信号と交互に前記水平転送段に配置され、その後、前記水平転送装置を動作することで、前記第1の4画素加算信号ラインと前記第2の4画素加算信号ラインとが1時系列信号として交互に前記出力回路から出力されることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
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