JP4777301B2 - 光学素子成形用金型の製造方法 - Google Patents
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Description
前記スパッタリング工程において、前記母材は、回転機構によって回転されてもよい。この場合、成形面に形成される被膜の厚さの偏りが緩和され、膜厚が均一になる。
金型1は、高精度が要求される、例えば光学有効径φが10ミリメートルないし5ミリメートル程度の小径の光学素子を成形するために用いられるものである。
次に、ステップS2において、コイルヒータ102とターゲット103との間にプレート105が配置されて、コイルヒータ102とターゲット103との間が遮断される。
以上の工程を経て本実施形態の金型1が得られる。
図4は本実施形態の金型製造方法によって作製された金型11を示す図である。図4に示すように、本実施形態の金型11は、母材2の成形面2a上に、プラチナーイリジウム(Pt−Ir)合金からなる被膜13が形成されて構成されている。
ステップS2において、シースヒータ106とターゲット108との間が遮断されるが、本実施形態の装置においてはプレート107によって遮断されている。
例えば上述した各実施形態においては、スパッタ法としてDCスパッタを用いたが、ターゲットを使用するものであればよく、RFスパッタ、マグネトロンスパッタ、イオンビームスパッタ等の他のスパッタ法を用いることも可能である。
2 母材
2a 成形面
3、13 被膜
102 コイルヒータ(加熱機構)
103、108 ターゲット
105、107 プレート(遮断部材)
106 シースヒータ(加熱機構)
Claims (5)
- 成形面を有する母材を加熱機構によって加熱し、スパッタリングによって前記成形面にターゲットの材質からなる被膜を形成する光学素子成形用金型の製造方法であって、
前記母材を加工して前記成形面を形成する工程と、
前記加熱機構と前記ターゲットとの間を遮断部材によって遮断する工程と、
前記加熱機構によって前記母材を加熱してスパッタリングを行い、前記成形面の全面に前記被膜を形成するスパッタリング工程と、
前記スパッタリング工程の後に、前記遮断部材を洗浄または交換する工程と、を備えることを特徴とする光学素子成形用金型の製造方法。 - 前記遮断部材の洗浄または交換は、前記被膜を形成するごとに行われることを特徴とする請求項1に記載の光学素子成形用金型の製造方法。
- 前記スパッタリング工程において、前記母材は、回転機構によって回転されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学素子成形用金型の製造方法。
- 前記光学素子成形用金型は、その光学有効径φが10ミリメートル以下である光学素子を製造するためのものであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光学素子成形用金型の製造方法。
- 前記母材は、タングステンカーバイド又はタングステンカーバイドを含む合金からなることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光学素子成形用金型の製造方法。
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