JP4775443B2 - 固体レーザ装置および波長変換レーザ装置 - Google Patents
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Description
本発明は、固体レーザ素子で高出力のレーザ光を発振する固体レーザ装置、ならびに該装置で発生したレーザ光を非線形結晶で波長変換して出力する波長変換レーザ装置に関するものである。
固体レーザの主要な用途として、金属材料やシリコンウェハーの精密加工、プリント基板材料の微細穴あけ加工等が挙げられる。上記のような精密加工では、一般的に、加工材料への熱影響を極力避けて高品質の加工を実現する為に、Qスイッチで高ピークパルス発振したシングルモード固体レーザと、そのような固体レーザを基本波レーザ光源とした波長変換レーザが用いられる。波長変換レーザとしては、赤外波長の基本波レーザ光を1/2の波長に変換したグリーンレーザ、1/3または1/4波長に変換した紫外レーザ(以下UVレーザと称する)が一般的である。
上記用途の内、金属やシリコン材料の加工には高ピークパルスのレーザが適しており、パルス幅が短く(短パルス)高エネルギーの固体レーザ、もしくは波長変換レーザが求められている。一方、樹脂材料からなるプリント基板の穴あけ加工用途では、高繰返し周波数のUVレーザの方が樹脂材料の加工効率が高く、高速加工が出来ることから、なるべく高い繰返し周波数で高い平均出力のUVレーザが求められている。高周波数、高平均出力のUVレーザを得るには、その大元となる基本波レーザとして、高周波数、高平均出力のパルス固体レーザが必要である。結局、横シングルモード固体レーザの分野において、短パルス、高エネルギー化に関する技術の向上と、高周波、高出力化に関する技術の向上の2通りが求められており、両方の要請を満足する固体レーザ技術があれば最も理想的といえる。
高出力発振をする固体レーザ装置としては、Nd原子をドープしたY3Al5O12結晶(通称YAG結晶)を材料とするロッド形状のレーザ素子(以下YAGロッドと省略)を用いたNd:YAGレーザと、同じくNd原子をドープしたYVO4結晶を用いたNd:YVO4レーザが一般的である。Nd:YVO4レーザはレーザ利得が非常に高い為、高効率かつ、100kHz程度の高繰返し周波数でも安定したパルス発振が可能である反面、大型の結晶の育成が困難な為、高出力化に限界がある。一方、Nd:YAGレーザは大型のYAGロッドの作成が可能で、高出力・高エネルギーのパルスレーザ発振が可能な反面、Nd:YVO4結晶ほどレーザ利得が高くない為、高繰返し周波数でのパルス発振が不安定となる傾向があり、一般的には50kHz以下の中程度の繰返し周波数領域で実用化されている。
現在市販されているUVレーザは、高エネルギータイプではNd:YAGレーザを基本波レーザとしたもの、高繰返し周波数タイプではNd:YVO4レーザを基本波レーザとしたものが主流となっている。しかし、結晶サイズの制約等からNd:YVO4レーザでのこれ以上の高出力化は困難となっており、もし、高出力化の容易なNd:YAGレーザで100kHz程度の高繰返し周波数でも安定したパルス発振が可能となる製品技術があれば、高繰返し周波数の分野でもより高出力のUVレーザが得られるようになる。
Nd:YAGレーザで高繰返し周波数での高出力発振を狙うには、YAGロッド内での励起密度を増加することが有効であり、その為には、YAGロッド内部で発生する強い熱レンズに対応して安定してレーザ発振できる共振器技術と励起技術が必要となる。この点は、高エネルギー・高出力のNd:YAGレーザを作る上でも同様である。即ち、Nd:YAGレーザで高エネルギー・高出力化を図る上でも、高繰返し・高出力化を図る上でも、共に、如何に強い熱レンズで安定してレーザ発振できるかといった技術が鍵となる。
Nd:YAGレーザで高繰返し周波数での高出力発振を狙うには、YAGロッド内での励起密度を増加することが有効であり、その為には、YAGロッド内部で発生する強い熱レンズに対応して安定してレーザ発振できる共振器技術と励起技術が必要となる。この点は、高エネルギー・高出力のNd:YAGレーザを作る上でも同様である。即ち、Nd:YAGレーザで高エネルギー・高出力化を図る上でも、高繰返し・高出力化を図る上でも、共に、如何に強い熱レンズで安定してレーザ発振できるかといった技術が鍵となる。
次に、Nd:YAGレーザにおける高出力横シングルモード発振の技術について説明する。
YAGロッドには励起入力に応じて変化する熱レンズがある為、共振器を設計する場合は、YAGロッド内部の熱レンズを考慮して安定型発振するような設計値とする必要がある。YAGロッドの熱レンズは励起密度に応じて変化する為、励起入力を低入力から高入力へと変化させると、それに応じてYAGロッドの熱レンズも徐々に増大する特性を持つが、一つの共振器が安定型発振を維持できる為の、内部に抱える熱レンズの強さには限界があり、特定の熱レンズ範囲でしかレーザ発振ができない。この熱レンズ範囲には上限と下限が存在し、その値と熱レンズ範囲の広さは共振器の設計値に応じて異なる。即ち、弱い熱レンズ条件用に設計した共振器では強い熱レンズ(=高励起入力)ではレーザ発振できず、強い熱レンズ向けに設計した共振器では弱い熱レンズ(=低励起入力)ではレーザ発振できない。このレーザ発振可能な熱レンズ範囲のことを以降、共振器の発振領域と呼ぶことにする。
YAGロッドには励起入力に応じて変化する熱レンズがある為、共振器を設計する場合は、YAGロッド内部の熱レンズを考慮して安定型発振するような設計値とする必要がある。YAGロッドの熱レンズは励起密度に応じて変化する為、励起入力を低入力から高入力へと変化させると、それに応じてYAGロッドの熱レンズも徐々に増大する特性を持つが、一つの共振器が安定型発振を維持できる為の、内部に抱える熱レンズの強さには限界があり、特定の熱レンズ範囲でしかレーザ発振ができない。この熱レンズ範囲には上限と下限が存在し、その値と熱レンズ範囲の広さは共振器の設計値に応じて異なる。即ち、弱い熱レンズ条件用に設計した共振器では強い熱レンズ(=高励起入力)ではレーザ発振できず、強い熱レンズ向けに設計した共振器では弱い熱レンズ(=低励起入力)ではレーザ発振できない。このレーザ発振可能な熱レンズ範囲のことを以降、共振器の発振領域と呼ぶことにする。
この発振領域の広さは共振器の設計値によって変化し、主に、YAGロッド内部で励起している領域の光軸と垂直な方向の断面積と、共振器設計値で理論的に計算されるYAGロッド内でのTEM00ビームの断面積との比によって決まる。例えば、側面励起方式のNd:YAGレーザであれば、YAGロッドの全体が励起される為、YAGロッドの円形断面積に対するTEM00ビームの断面積比によって発振領域の広さが決まる。よって、YAGロッド径に対して十分細いTEM00ビーム径で発振する横マルチモード発振の場合は、広い発振領域が確保されるが、YAGロッドの外径に近いTEM00ビーム径で発振する横シングルモード発振の場合は、狭い発振領域しか確保できない。尚、YAGロッド径よりも十分小さいアパーチャを共振器内に挿入してマルチモード成分の発振を抑制し、YAGロッド径に対して十分細いビーム径で横シングルモード発振をすることも可能である。しかし、その場合は広い発振領域が確保できる代わりに非常に低い効率でのレーザ発振を余儀なくされ、高出力発振が出来なくなる。上記は、YAGロッド端面の中心を集中励起する端面励起の場合も同様で、励起範囲と同等のTEM00ビーム径で横シングルモード発振する共振器を設計した場合、発振領域の幅は相応に狭くなる。
結局、高効率で高出力の横シングルモード発振器を設計する場合、励起方式によらず、必ず狭い発振領域となることを余儀なくされ、特定の狭い励起入力の範囲でのみ発振する尖鋭な形状の入出力特性を持つレーザとなる。集光性の低い横マルチモード発振の場合は広い発振領域が確保でき低励起入力から高励起入力まで発振するブロードな入出力特性の高出力レーザが得られるが、高出力の横シングルモード発振の場合は集光性の高さと引き換えに狭い先鋭な入出力特性のレーザになるとも言える。
ところで、発振領域の幅が極端に狭い場合はYAGロッドの熱レンズの揺らぎ、変動に対して敏感な特性となり、安定したレーザ発振ができず高出力発振が望めなくなる。高出力発振する為に必要な発振領域の幅の限界というものが存在するが、通常、高効率での横シングルモード発振をしようとすると発振領域の幅が限界値を下回ってしまう為、高励起入力で発振する共振器を設計しても出力飽和現象が起こり、狙いの高出力発振が得られない。この限界を回避するために、左右の共振器ミラーを同じ曲率として対称な光学系配置で構成した対称共振器構成が有効である。左右非対称な共振器構成の場合は、狭い2つの発振領域が低励起入力側と高励起入力側にそれぞれ分離して存在する為、それぞれの発振領域が狭く出力飽和現象が起こってしまう。しかし、対称共振器構成の場合は2つの発振領域が分離せず一体となって2倍の広さの発振領域を形成する為、熱レンズの揺らぎ、変動に対して十分安定しており、励起入力の増加に応じた高出力の横シングルモード発振が出来るようになる。
尚、どの程度の熱レンズ条件でレーザ発振する共振器設計とするかは、主に共振器ミラーの曲率、配置等の設計値によって決まり、強い熱レンズ条件(高励起入力)で発振させたい場合は強い曲率(短い曲率半径)の共振器ミラーで対称共振器構成を組むのが一般的である。ただし、非常に強い熱レンズ条件で発振させる場合、共振器ミラー上でのビーム径が極端に小さくなり、ミラーのコーティングの耐光強度限界を超えてミラーが破損してしまう恐れが生じてくる。このような限界を回避する為に、YAGロッドの熱レンズを打ち消す働きをする熱レンズ補償光学系(凹レンズ等で構成)を共振器内に組み込み、より強い熱レンズ条件でもレーザ発振できるようにした構成もある。
一方、YAGロッドには、偏光方向に応じて異なる2種類の熱レンズが発生する熱複レンズの問題がある。励起したYAGロッド内に、温度分布に伴う応力発生により複屈折が生じることによるもので、YAGロッド断面の径方向と周方向に偏光面を持つ2種類の光に対し、別々の熱レンズを感じさせる現象である。その結果、共振器の中で2種類の偏光モードが別々の熱レンズ状態で発振する為、モード間での競合が発生し、特に横シングルモード発振の場合は、発振効率が低下し、非常に不安定な発振状態に陥る問題があった。
これを解決する為には、同等に励起した2本のYAGロッドを用い、YAGロッドの間に水晶ローテータ等の90度旋光子を配置して、2つの偏光モードの光が夫々共振器の中を1往復する際に感ずる熱レンズの総和を平均化するようにした複屈折補償技術が有効である。両偏光モードが同じ熱レンズ状態で互いに安定して発振することで、高効率の横シングルモード発振が可能となる。
特許文献1の図1には、この複屈折補償技術を用いた従来の共振器の例が示されている。この例では更に、前述した凹レンズによる熱レンズ補償手段を両ロッドの外側に配置して、より強い熱レンズでの高出力発振ができるような共振器構成となっている。
また、より完全な複屈折補償を行う手段として、上記複屈折補償の技術に、YAGロッド間をテレスコープにより像転写連結する技術を組み合わせた方法が知られている。非特許文献1のFig.5には、90度旋光子による複屈折補償の技術に加え、2本のYAGロッド間に、2枚のレンズ(焦点距離f)から成るテレスコープを、YAGロッドの中心とレンズとの間の光学的距離をf、2枚のレンズ間の光学的距離を2fと規定して配置した構成が記載されている。これにより、熱複レンズの影響を完全に解消し、最高114Wの直線偏光の横シングルモード発振を実現した例が示されている。
また、非特許文献2のFigure14の構成のように、上記複屈折補償技術で発振した横シングルモードレーザ光を、励起したYAGロッドに通過させて出力増幅するMOPA技術と組み合わせて、高出力の横シングルモード出力を得る方法もある。
次に波長変換レーザ技術について説明する。
一般的に、UVレーザを代表とする高出力の波長変換レーザにおいては、直線偏光で発振された固体レーザの出力光を基本波レーザ光として、非線形結晶に入射することで、波長が1/Nの高調波レーザ光に変換して出力する。非線形結晶としてはLBO結晶(LiB3O5)、KTP結晶(KTiOPO4)、CLBO結晶(CsLiB6O10)等が一般的である。1/2波長に変換されたレーザ光を2倍波、1/3、1/4波長に変換されたレーザ光は各々3倍波、4倍波と呼ぶ。基本波レーザとしては、Qスイッチでパルス発振された横シングルモードの直線偏光レーザ発振器が使用される。上で述べてきたように、特に3倍波を代表とするUVレーザでは、高エネルギー・高出力化の他に高周波化・高出力化の要請が強く、その為には高繰返し周波数でも安定してレーザ発振する横シングルモードの基本波レーザが必須である。現状は、高繰返し周波数での発振に有利なNd:YVO4レーザを基本波としたUVレーザ製品が多く、例えば100kHzの繰返し周波数で約20Wの平均出力の3倍波レーザ等も市販されている。一方、高エネルギータイプのUVレーザでは、高出力化に有利なNd:YAGレーザを基本波レーザとする場合が多い。
一般的に、UVレーザを代表とする高出力の波長変換レーザにおいては、直線偏光で発振された固体レーザの出力光を基本波レーザ光として、非線形結晶に入射することで、波長が1/Nの高調波レーザ光に変換して出力する。非線形結晶としてはLBO結晶(LiB3O5)、KTP結晶(KTiOPO4)、CLBO結晶(CsLiB6O10)等が一般的である。1/2波長に変換されたレーザ光を2倍波、1/3、1/4波長に変換されたレーザ光は各々3倍波、4倍波と呼ぶ。基本波レーザとしては、Qスイッチでパルス発振された横シングルモードの直線偏光レーザ発振器が使用される。上で述べてきたように、特に3倍波を代表とするUVレーザでは、高エネルギー・高出力化の他に高周波化・高出力化の要請が強く、その為には高繰返し周波数でも安定してレーザ発振する横シングルモードの基本波レーザが必須である。現状は、高繰返し周波数での発振に有利なNd:YVO4レーザを基本波としたUVレーザ製品が多く、例えば100kHzの繰返し周波数で約20Wの平均出力の3倍波レーザ等も市販されている。一方、高エネルギータイプのUVレーザでは、高出力化に有利なNd:YAGレーザを基本波レーザとする場合が多い。
非特許文献2のFigure14には、上記の様な複屈折補償技術により発振した基本波レーザ光を、更に、励起したYAGロッドを通過させて出力増幅するMOPA技術で205Wまで高出力化し、非線形結晶に入射することで、最高64Wの3倍波出力を周波数40−45kHzで得た例が報告されている。
しかしながら、上記固体レーザ、特にNd:YAGレーザに関する従来技術は、いずれも強い熱レンズ条件で安定した高出力レーザ発振をする為の技術であるが、より高出力化もしくは強い熱レンズ条件でのレーザ発振を狙う上で2つの問題が存在した。1つは、より高出力を得る為の励起入力の増加に伴い、レーザ素子にかかる熱負荷やレーザ共振の理想状態からのずれが増大し、結果的に高出力発振を阻害する要因が生じて出力飽和してしまう問題である。もう1つは、原理的に理想状態に近いレーザ共振が可能で高出力発振時の阻害要因が発生しない構成であっても、高出力(強い熱レンズ)に対応した共振器設計値が取れない問題である。
特許文献1を例において説明する。特許文献1の構成では、熱レンズ補償手段として共振器内に配置した凹レンズの焦点距離、配置を調整することで、原理的にいくらでも強い熱レンズ条件での共振器設計が可能である。しかし、実際には高出力発振時にレーザ共振が理想的な左右対称状態から崩れることに起因する高出力発振の阻害要因が生じる。この阻害要因が励起入力の増加に合わせて増大する特性を持つため、どれだけ高い励起入力で発振する共振器を設計しても、ある一定レベルよりもレーザ出力が増加しない飽和現象に陥ってしまう。具体的には、複屈折補償による対称共振器の場合、発振領域の中心で不安定型発振に陥る特異点領域が発生し、その条件付近での高出力発振を妨げられる問題である。これは、90度旋光子で複屈折補償したことで、左右のYAGロッドでレーザ光が感じる熱レンズに差(複熱レンズの差に相当し約20%の差異)が生じることによる、共振器のわずかな対称性の崩れが原因であり、励起入力に対するレーザ出力の変化を測定したレーザ入出力特性において、特性の中心でレーザ出力が最も高くなる領域の付近に出力のくぼみ(これを仮にディップと称する)が生じる現象となって現れる。特に高励起入力(強い熱レンズ条件)で発振する共振器設計とする程、対称性の崩れが増加し、特異点領域が拡大してディップが増大し、高出力発振を阻害するようになる。特許文献1の構成による公知例では最大208Wの横シングルモードレーザ発振を実現した論文報告がある。しかし、我々の実験では、同構成で安定して横シングルモード発振が出来るのは120W程度が限界であり、更に励起入力を上げて高出力発振を狙った設計としても、レーザ出力は120W程度で飽和してしまい高出力の横シングルモード発振を得ることはできなかった。
もう一方の問題については、非特許文献1を例において説明する。非特許文献1では、2つのYAGロッドの間に挿入したテレスコープで左右のYAGロッド間を像転写接続し、レーザ共振の対称性の崩れを防止している。これにより、ディップは発生せず、高出力発振の阻害要因が生じない。しかし、テレスコープが、2つの凸レンズの焦点距離をともにf、レンズ間の距離を2fに限定した像転写構成となっている為、実際には、高励起入力に対応した共振器が設計できない問題が生じている。この構成では、左右の共振器ミラーを非常に曲率の強い(曲率半径が短い)ミラーとすることで高励起入力対応の共振器にすることはできる。しかし、その場合ミラー上でのビーム径が極端に小さくなる為、ミラーの反射コーティングの耐光強度の限界を超え、ミラーが破損してしまう。この為、ある程度以上の高出力化には対応できず、横シングルモードで100W以上の高出力発振は困難であった。
また、この構成では、各YAGロッドの両端面にそれぞれ複数のLD光源からの励起光を集光照射する端面励起構成が採られている。この場合、YAGロッドの両端面付近に局部的に励起光が集中吸収される為、それぞれ局部的に強い熱レンズが生じるが、実際には複数のLD光を重畳して合成した励起光の強度分布を一様化することが非常に困難で、各熱レンズが全て特性の揃った一様なレンズにはならない。その結果、YAGロッド間をテレスコープで像転写接続しても実際にはレーザ共振の非対称性が残り、結局、前者の問題である高出力発振の阻害要因が発生してしまう場合があった。Nd:YAGレーザで高繰り返し周波数での安定した横シングルモード発振を実現する上で、本来、励起密度の高い端面励起方式の方が有利ではあるが、実用化する上ではこの点がネックとなっている。
他に、上記テレスコープと複屈折補償技術を組み合わせた共振器に、更に、特許文献1の様な熱レンズ補償手段を組み合わせた方法も考えられる。しかし、共振器内にテレスコープと熱レンズ補償用凹レンズの両方、計4枚以上のレンズを配置した非常に複雑な構成となる為、事実上、調整出来る共振器構成ではなく産業製品に応用できる技術ではない。
また、非特許文献2のFigure14における基本波発振器部の様に、複屈折補償技術で発振した横シングルモードレーザ光をMOPA技術で出力増幅する方法がある。しかし、複数の増幅ユニットで出力増幅する度にビームモードの崩れが顕著となり、高出力化は出来ても横シングルモードとしての高集光性が損なわれる問題、構成が複雑で調整が困難な問題があり、産業製品に応用できる技術とはいえない。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、高出力、望ましくは100W以上の横シングルモード発振が安定して可能な固体レーザ装置を得ることを目的とする。
一方、波長変換レーザにおいては、高周波数で高出力の波長変換レーザの実現が困難な問題があった。具体的には、基本波レーザ発振器としてNd:YAGレーザを使用した場合は、高周波発振時のパルス幅の拡大やパルス発振の不安定化の問題により、高周波数での波長変換効率が著しく低下し、特に80kHzを超える高周波数で高出力の高調波レーザ光が得られる波長変換レーザは実現できていない。またNd:YVO4レーザを使用した場合でも、100kHz以上の高周波発振は可能であるが、YVO4結晶のサイズの制約から高出力発振が出来ず、高出力の波長変換レーザの実現は困難であった。例えば3倍波レーザの場合、論文等では100kHzで最高36Wの波長変換をした例も報告されているが、非線形結晶での集光強度を上げて波長変換効率を高め非線形結晶の寿命を犠牲にした結果によるものであり、製品レベルの技術としては100kHzで20W程度の3倍高調波出力が限界であった。結局、いずれの基本波レーザの場合においても、製品レベルの品質で、100kHzで30W以上の高出力発振をする3倍高調波レーザは実現できていない。
本発明は上述した固体レーザ装置を用いて、高周波数、望ましくは約100kHzで高出力の高調波レーザ光が得られる、波長変換レーザ装置を得ることを目的とする。
この発明に係る固体レーザ装置においては、2つの固体レーザ素子を備えた対称共振器の固体レーザ素子間に、焦点距離fの2枚の凸レンズと90度旋光子とを配置し、2枚のレンズの間隔を2fより短くし、各レンズと隣接する固体レーザ素子の中心の距離を略fとしたものである。
また、この発明に係る波長変換レーザ装置においては、本発明に係る固体レーザ装置にQスイッチと偏光素子とを更に備え、出力された基本波レーザ光を非線形素子に入射し波長変換するものである。
この発明は、テレスコープの構成を工夫することで、強い熱レンズ条件でも発振できる共振器が設計でき、高出力発振が可能という効果を奏する。
以下に、本発明にかかる固体レーザ装置、波長変換レーザ装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、本明細書中に記載の距離については、特に断らない限り光学的距離を示すものとする。
実施の形態1.
図1は、本発明にかかる固体レーザ装置の実施の形態の構成を示す図である。この固体レーザ装置は、全反射ミラー11と部分反射ミラー12で共振器を構成し、共振器の内部に2つの固体レーザ素子21,22と、90度旋光子5と、2枚のレンズ61,62を同軸上に配置している。ここで、全反射ミラー11側の固体レーザ素子を、第1の固体レーザ素子21または左の固体レーザ素子21と呼び、部分反射ミラー12側の固体レーザ素子を、第2の固体レーザ素子22または右の固体レーザ素子22と呼ぶ。また、全反射ミラー11側のレンズを第1のレンズ61と呼び、部分反射ミラー12側のレンズを第2のレンズ62と呼ぶ。第1の固体レーザ素子21と第2の固体レーザ素子22は、一例として、共に同じサイズのYAGロッドであり、同等の励起入力で励起され、同等の熱レンズが発生している(以後、固体レーザ素子をYAGロッドとも呼ぶ)。全反射ミラー11と部分反射ミラー12は共に曲率半径Rのミラーであり、2つの固体レーザ素子21,22を挟んで光学的に左右対称となるように配置され、対称共振器を構成している(以後、全反射ミラー11と部分反射ミラー12を共振器ミラーとも呼ぶ)。
図1は、本発明にかかる固体レーザ装置の実施の形態の構成を示す図である。この固体レーザ装置は、全反射ミラー11と部分反射ミラー12で共振器を構成し、共振器の内部に2つの固体レーザ素子21,22と、90度旋光子5と、2枚のレンズ61,62を同軸上に配置している。ここで、全反射ミラー11側の固体レーザ素子を、第1の固体レーザ素子21または左の固体レーザ素子21と呼び、部分反射ミラー12側の固体レーザ素子を、第2の固体レーザ素子22または右の固体レーザ素子22と呼ぶ。また、全反射ミラー11側のレンズを第1のレンズ61と呼び、部分反射ミラー12側のレンズを第2のレンズ62と呼ぶ。第1の固体レーザ素子21と第2の固体レーザ素子22は、一例として、共に同じサイズのYAGロッドであり、同等の励起入力で励起され、同等の熱レンズが発生している(以後、固体レーザ素子をYAGロッドとも呼ぶ)。全反射ミラー11と部分反射ミラー12は共に曲率半径Rのミラーであり、2つの固体レーザ素子21,22を挟んで光学的に左右対称となるように配置され、対称共振器を構成している(以後、全反射ミラー11と部分反射ミラー12を共振器ミラーとも呼ぶ)。
この対称共振器と第1の固体レーザ素子21、第2の固体レーザ素子22及び、両固体レーザ素子の間に設置した90度旋光子5とで複屈折補償型共振器を構成している。また、第1のレンズ61と第2のレンズ62は共に焦点距離fの凸レンズであり、第1の固体レーザ素子21と第2の固体レーザ素子22との間に設置されテレスコープを構成している。ここで、第1のレンズ61とそれに隣接する第1の固体レーザ素子21の中心との光学的距離はレンズ61,62の焦点距離fと略同じ長さに設定され、また、第2のレンズ62とそれに隣接する第2の固体レーザ素子22の中心との光学的距離も同様に略fに設定されている。また第1のレンズ61と第2のレンズ62との光学的距離は、後述する2f未満の任意の長さL2に設定される。尚、90度旋光子5の設置位置は両レーザ素子の間であればどこでも良いが、通常は耐久性の観点から、ビーム径の太い第1の固体レーザ素子21と第1のレンズ61との間、もしくは第2の固体レーザ素子22と第2のレンズ62との間に設置される。
この固体レーザ発振器では、各YAGロッド21,22が強い熱レンズを持つ為、図1における発振レーザ光7のトレースが示すように、YAGロッド21,22内部でのビーム径が最も太く共振器ミラー11,12上では細くなるような伝播状態のレーザ光が発振する。ここで、固体レーザ素子21,22内の最大横シングルモードビーム径を2ω0とすると、この2ω0がYAGロッド21,22の外径Dに対し十分大きな値となるように共振器を設計にした場合に、高効率の横シングルモードのレーザ光が発振する。この十分大きな値とは、一般的には、YAGロッドの外径の70%程度の大きさである。ただし、構成によっては60%以上で横シングルモード発振する場合もあり、一概に数値規定するものではない。
左右の固体レーザ素子21,22の間に設置したテレスコープは、第1の固体レーザ素子21の中心と第2の固体レーザ素子22の中心の2つの像が互いに重なるような像転写の作用をする。複屈折補償型共振器では、左右のYAGロッドで別々の熱レンズを発振レーザ光に対して感じさせてしまう為、共振器の非対称が生じてしまう。しかし、テレスコープで左右のYAGロッドの中心を像転写すると、異なる強さの熱レンズがあたかも同一の位置で発生しているように発振レーザ光に感じさせる為、共振器の中心で2つの異なる熱レンズが重なって発生している状態となり、共振器の非対称性が解消される。
ここで、非特許文献1に記載の従来技術では、テレスコープの構成として、第1のレンズと第2のレンズとの間の距離L2が、各レンズの焦点距離fの2倍(2f)と等しくなるような限定配置としている。ここで、2枚のレンズで像転写光学系を構成する場合、上述のように、2枚のレンズ間の距離を2fとするのが一般的に採用される構成であり、これにより、各固体レーザ素子の中心との間で、ビーム径のみならずレーザの波面情報をも転写する完全な像転写条件のテレスコープが構成される。しかし、このような構成では低励起入力(弱い熱レンズ条件)で発振する共振器しか設計出来ない問題があった。本発明では、L2を2f以外の距離にしても複屈折補償型共振器の中で像転写の効果が発揮されることを見出し、L2<2fの条件とすることで、従来得られなかった高励起入力(強い熱レンズ)の条件でも発振する高出力の横シングルモード発振器が実現できた。
図2に特許文献1に記載の、従来のテレスコープを含まない複屈折補償型共振器の構成を示す。平板の部分反射ミラー312と平板の全反射ミラー311と2つの固体レーザ素子21,22により左右対称な共振器を構成し、固体レーザ素子21,22間に90度旋光子を備え、固体レーザ素子21,22と共振器ミラー311,312間に凹レンズ361,362を備えた構成である。図1と同様な構成については同じ番号を付してある。図3は、YAGロッドの熱レンズ(ここで熱レンズの焦点距離をf0とし、以後熱レンズの強さを1/f0で表す)とYAGロッド内の横シングルモードビーム径との関係をシミュレーション計算した結果を示したものである。図3(a)は特許文献1および非特許文献1に記載の従来技術によるものであり、図3(b)は本発明によるものである。図4は、図3に示した構成に対応したレーザ入出力特性の実験結果を示すものである。図4(a)が従来の複屈折補償型共振器の結果とその問題点を示すもので、図4(b)が複屈折型共振器に新規構成のテレスコープを組み合わせた結果と従来構成のテレスコープを組み合わせた結果を比較したものである。
図3において、設計条件AとBは、図2に示した特許文献1に記載の従来技術による、複屈折補償型共振器の低励起入力用の設計値と高励起入力用の設計値によるものである。低励起用とするか高励起用とするかは、例えば図2の凹レンズの焦点距離を変化させることで対応することができる。設計条件Cは、非特許文献1に記載の従来技術によるテレスコープと複屈折補償型共振器とを組み合わせたものである。設計条件D、Eが本発明の構成によるもので、後述する効率を最適化した場合の設計値と、更に高励起入力用の設計値によるものである。
まず設計条件A、Bの場合に注目する。図3のシミュレーションのグラフの中で、ロッド内ビーム径が有限の値を採る熱レンズの範囲があり、これが安定型発振可能な条件範囲を示す発振領域と呼ぶものである。この発振領域の中心にビーム径が有限な値を採らない領域があり、これが発振の非対称性に起因する特異点領域である。この特異点領域は、低励起入力用(弱い熱レンズ条件)の設計値では狭く、高励起入力用(強い熱レンズ条件)の設計値では広くなる傾向を持っている。
これに対応する図4(a)のレーザ入出力特性の実験結果を見比べると、低励起入力(弱い熱レンズ条)用の設計条件Aでは、特異点は発生しつつもレーザ入出力特性に対し影響は現れていない。しかし、高励起入力(強い熱レンズ条件)用の設計条件Bでは、特異点領域の幅の拡大に応じてレーザ入出力特性が2山に割れ発振効率が低下している。この2山に割れた特性形状の谷間の部分を以降ディップと呼ぶ。すなわち、特異点領域の幅が狭いときはレーザ入出力特性には影響を及ぼさないが、ある臨界点を超え十分広い特異点領域となると、レーザ入出力特性にディップが発生し、高出力のレーザ発振ができなくなることを示している。図4(a)において、設計条件AとBの特性の間に細かく条件を変更した複数の特性を載せているが、これによると(1/f0)=0.010mm−1よりも強い熱レンズ条件で設計した共振器でディップが発生しており、上記臨界点が(1/f0)=0.010mm−1であることを示している。これよりも強い熱レンズ条件では、従来の複屈折補償型共振器ではディップが発生してしまい、安定して高出力の横シングルモード発振をすることができなくなる。この制限により、我々の実験結果では、レーザ出力として120W程度が限界であった。
また、従来のテレスコープ(L2=2f)を組み込んだ複屈折補償型共振器のビーム径特性の計算結果を、図3(a)の設計条件Cに示す。計算上、特異点領域は完全に解消されており理想的な横シングルモード発振が可能である。ただし、設計可能な熱レンズの強さが限られており、低出力発振しか出来なかった。想定されるレーザ入出力特性を図4(b)に破線で示す。最高出力としては約100Wが限界である。
これに対し、本発明の構成(L2<2f)によるビーム径特性のシミュレーション結果(図3(b)の設計条件D、E)をみると、特異点領域が発生することなく従来構成(L2=2f)の2倍以上の熱レンズ条件で発振可能であることが分かる。それに対応したレーザ入出力特性の実験結果が図4(b)の設計条件D、Eであり、それぞれディップの無い滑らかな1山の特性となっており、励起入力の増加に比例して高出力のレーザ発振が実現できていることが分かる。その結果、部分反射ミラーの透過率の最適化とも組み合わせて、我々の実験では、最高で200W以上の高出力の横シングルモード発振を実現することができた。
この点についての理論的な背景を以下で、もう少し詳細に説明する。図5(a)に非特許文献1に記載の構成、図5(b)に本発明の構成での2つのレンズ61,62によるテレスコープの模式図、及びその光線行列を示す。なお、計算の簡単化の為に、それぞれのYAGロッド21,22の中心に熱レンズがあるものとした。図5(a)の従来技術のテレスコープの光線行列に着目すると、この行列式(ABCD)の内BとCの値が0となっており、これは左右のYAGロッド21,22の中心間で、ビーム径情報と波面情報の両方を転写する完全な像転写構成のものとなっていることを示している。このテレスコープを共振器内に組み入れた場合の模式図を図6(a)に示す。この図で、fφ、frはYAGロッドの複熱レンズに対応した2種類の熱レンズの焦点距離を示すものであり、YAGロッド断面の周方向に偏光面を持つφ偏光に対する熱レンズの焦点距離がfφ、YAGロッド断面の径方向に偏光面を持つr偏光に対する熱レンズの焦点距離がfrである。
複屈折補償型共振器では左のYAGロッド21でφ偏光、右のYAGロッド22でr偏光となるレーザ光と、左のYAGロッド21でr偏光、右のYAGロッド22でφ偏光となるレーザ光の2種類のレーザ光が発振するが、互いに左右を入れ替えただけで同じ特性を持つレーザ光なので、単純化の為、前者のレーザ光のみを模式図として抽出した。この場合、テレスコープの左右に位置する焦点距離frの熱レンズと焦点距離fφの熱レンズが伝搬距離0の状態で並んでいるとみなすことができる。すなわち、図6(b)に示したように、焦点距離fφのレンズとfrのレンズの2つのレンズが同じ位置に重なっている状態と等価であり、この共振器の光線行列は、2つの異なった熱レンズが共振器の中心に重なって配置している状態を示している。その結果、共振器は光学的に左右対称な構成となり、特異点の無い特性を得ることができる。
一方、本発明の構成(L2<2f)の光線行列は図5(b)に示したように、行列式(ABCD)の内、Bのみが0となっており、これは左右のYAGロッド21,22間でビーム径情報のみを転写し、波面情報は転写しない部分的な像転写構成と言える。これを共振器に組み込んだ場合、左右のYAGロッド21,22上での波面の向きは同じとはならないが、焦点距離frの熱レンズと焦点距離fφの熱レンズが伝搬距離0の状態で並んでいる、すなわち重なって配置される特徴は維持される。結局この場合でも、共振器の中心に2つの異なった熱レンズが重なって配置された対称共振器を構成とすることになる。更に、左右のYAGロッド21,22での波面の向きが同じとならないことを利用し、図5(b)の様にテレスコープから両側のYAGロッド21,22に入射する波面が発散波面となるように構成すれば、従来構成のテレスコープよりも強い熱レンズでレーザ発振することができる。従って、複屈折補償型共振器の非対称性に起因する特異点問題に対しての効果を保持しつつ、強い熱レンズに対応する設計条件が選択可能になるメリットが生じる。
理論的にはL2を短くするほど強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振が可能であり、この点について以下で説明する。まず、本発明の構成によるテレスコープを含む共振器の模式図を図7に示す。ここで単純化のために、YAGロッド21,22の熱レンズはYAGロッド21,22の中心位置で(1/frod)の強さで発生しているものとする。ここで、熱レンズの焦点距離frodは、φ偏光の熱レンズの焦点距離fφとr偏光の熱レンズの焦点距離frを平均化したものでもある。この共振器の1往復分の光線行列は、下記のように計算される。
この(ABCD)行列を用いて、共振器のレーザビームの固有解(ビーム径2ω、波面曲率r)を下記式で求めることが出来る。
このωの値が有限な数値(実数解)をもつfrodの範囲が発振領域であり、この発振領域の中心の熱レンズの焦点距離をf0としたとき、下記f0の解を得る。
この(ABCD)行列を用いて、共振器のレーザビームの固有解(ビーム径2ω、波面曲率r)を下記式で求めることが出来る。
このωの値が有限な数値(実数解)をもつfrodの範囲が発振領域であり、この発振領域の中心の熱レンズの焦点距離をf0としたとき、下記f0の解を得る。
このときのビーム径が横シングルモード発振に必要なYAGロッド21,22内ビーム径2ω0と一致しているとした時、ω0はRとL1のみの関数になり、ビーム径2ω0を得るのに必要なL1は下記の式になる。
(3)式は下記の様に変換することができる。
これが、テレスコープのレンズ61,62間距離L2と発振可能な熱レンズの強さとの関係を表す関係式であり、L2を短くするほど強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振することを示している。
(3)式は下記の様に変換することができる。
これが、テレスコープのレンズ61,62間距離L2と発振可能な熱レンズの強さとの関係を表す関係式であり、L2を短くするほど強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振することを示している。
(5)式に従来構成のテレスコープの条件(L2=2f)を当てはめると、従来構成の場合の熱レンズ(1/f0)は下式となる。
図8に(6)式による発振領域の熱レンズ(1/f0)の計算結果の一例として、例えばφ2mmのYAGロッドを使用した場合を示す。共振器ミラーの曲率が強い(曲率半径Rが小さい)ほど、強い熱レンズ条件で発振することができる。しかし、現実的に採りえるミラー曲率半径の上限(R=50mm程度)を考慮すると、熱レンズ条件の上限は、(1/f0)=0.005mm−1程度であり、それ以上強い熱レンズ条件で発振するレーザ共振器を設計することは出来ない。
図8に(6)式による発振領域の熱レンズ(1/f0)の計算結果の一例として、例えばφ2mmのYAGロッドを使用した場合を示す。共振器ミラーの曲率が強い(曲率半径Rが小さい)ほど、強い熱レンズ条件で発振することができる。しかし、現実的に採りえるミラー曲率半径の上限(R=50mm程度)を考慮すると、熱レンズ条件の上限は、(1/f0)=0.005mm−1程度であり、それ以上強い熱レンズ条件で発振するレーザ共振器を設計することは出来ない。
これに対し、本発明の構成(L2<2f)による熱レンズ(5)式は、従来構成よりも下記の分だけ強い熱レンズ条件(=高励起入力)で発振することができる。
図9に、一例として共振器ミラーの曲率半径Rを50mmとした場合の、L2に対する発振領域の熱レンズの強さ(1/f0)の計算結果、および上述した設計条件C,D,Eと対応する点をプロットした結果を示す。図9より、L2が短い程、強い熱レンズ条件で発振することができることが判る。例えば、従来構成(L2=2f)である設計条件Cに比べ、本発明の構成である設計条件Eでは、約3倍の強さの熱レンズでも発振することが可能となる。また、原理的にL2はいくらでも短く設定することができる為、設計条件Cに比べ3倍以上の強さの熱レンズで発振するレーザ共振器も設計可能である。ここで、励起入力と熱レンズの強さは比例関係にある為、3倍以上の励起入力で発振するレーザ共振器が設計可能と言える。
図9に、一例として共振器ミラーの曲率半径Rを50mmとした場合の、L2に対する発振領域の熱レンズの強さ(1/f0)の計算結果、および上述した設計条件C,D,Eと対応する点をプロットした結果を示す。図9より、L2が短い程、強い熱レンズ条件で発振することができることが判る。例えば、従来構成(L2=2f)である設計条件Cに比べ、本発明の構成である設計条件Eでは、約3倍の強さの熱レンズでも発振することが可能となる。また、原理的にL2はいくらでも短く設定することができる為、設計条件Cに比べ3倍以上の強さの熱レンズで発振するレーザ共振器も設計可能である。ここで、励起入力と熱レンズの強さは比例関係にある為、3倍以上の励起入力で発振するレーザ共振器が設計可能と言える。
次に、L2の最適化について説明する。ここでは、焦点距離frodの熱レンズを持つYAGロッドでレーザ発振した場合の、YAGロッド内部でのレーザ光の伝播状態を考える。YAGロッドの熱レンズは、ロッド内の温度分布を反映した屈折率分布に起因するものであり、通過するレーザ光の波面を収束気味に変化させる凸レンズの作用を成す。従って、YAGロッドに入射したレーザ光は、YAGロッド内部で弓なりの曲線を描き収束しながら通過していく。この曲線の内側、すなわち発振レーザ光が通過する領域が、YAGロッド内部の励起エネルギーをレーザ出力に変換している領域であり、この領域のボリューム(モードボリュームと称する)が、励起領域に対して大きいほどレーザ発振効率が向上する。モードボリュームは、YAGロッド内部でのレーザ光の伝播状態によって大きく異なり、YAGロッド内部でのレーザ光の伝播状態は、テレスコープの設計値によって決まる。即ち、テレスコープの設計値によってモードボリュームが左右される。この点を以下で説明する。
図10(a)は、第2のYAGロッド22に平行波面のレーザ光が入射した場合のYAGロッド22内部でのレーザ光の伝播状態を示す模式図、図10(b)は、発散波面のレーザ光が入射した場合のYAGロッド22内部でのレーザ光伝播状態を示す模式図である。図10では第2のYAGロッド22のみ記載しているが、第1のYAGロッド21も、第2のYAGロッド22と左右対称に同様なレーザ光伝搬状態となっている。図10(a)は、ちょうど従来構成のテレスコープの配置(L2=2f)の場合に共振器内で再現される伝播状態であり、YAGロッド22の左側端面(入射端面)でビーム径が最大となり、右側に進行するにつれビーム径が縮小し、右側端面で最少となっている。図10(b)は、本発明の構成(L2<2f)の場合に共振器内で再現される伝播状態であり、YAGロッド22の左側端面(入射端面)から内部に進行した位置(x)にてビーム径が最も膨らむ伝播状態となっている。この位置(x)は、入射波面の曲率が強い程、YAGロッド22の右側に移行する傾向がある。本発明の共振器構成では、YAGロッド22へのレーザ光の入射波面はテレスコープのレンズ61,62間距離L2に依存し、L2が短い程波面曲率は強くなる為、YAGロッド22内部でのビーム径が最も膨らむ位置(x)も右側に移行することになる。
ここで図10(a)と図10(b)のモードボリュームを比較する。互いに最大ビーム径は同じであってもモードボリュームは後者の方が大きく、より高効率のレーザ発振が出来ることを意味する。更に、ビーム径が最大となる位置(x)に応じてモードボリュームが変化し、これはモードボリュームを最大にする最適な位置が存在することを意味している。
図10(c)に、第2のYAGロッド22内部でのレーザ光の伝播状態とモードボリュームとの関係を示す。グラフの横軸は、ロッド内部でビームが最も膨らむ位置のロッド端面からの距離(x)であり、YAGロッドの全長を1で規格化している。グラフの縦軸はモードボリュームである。まず、(x=0)の伝播状態(ア)はYAGロッドの入射端面でビーム径が最大の従来構成によるものである。これに対し、(x)の値が増加するにつれモードボリュームも増加していき、(x=0.5)の伝播状態(イ)でモードボリュームは最大となるが、更に大きな値(x=0.75)の伝播状態(ウ)では逆にモードボリュームは減少してしまう。この例では、モードボリュームが最大となる伝播状態(イ)では、伝播状態(ア)よりも約30%モードボリュームが大きく、その分高効率の発振が出来ることを意味している。
次に、この伝播状態(イ)を満足するテレスコープの設計値について述べる。この伝播状態は、YAGロッド22の中心でビーム径が最大となっており、YAGロッド22の中心を境に左右対称の伝播状態となっている。従って、YAGロッドに入射するレーザ光の波面(1/r)が、YAGロッドの熱レンズ(1/f0)の半分と均衡している条件である。式(2)にこの条件を付加すると下記の式が導出される。
また、この時の熱レンズは下式である。
また、(4)式で定義したパラメータKは、共振器パラメータR,L1を用いると下記のようにも変形できる。
これを用いて、(7)式は下記のように表記を変形することも出来る。
また、この時の熱レンズは下式である。
また、(4)式で定義したパラメータKは、共振器パラメータR,L1を用いると下記のようにも変形できる。
これを用いて、(7)式は下記のように表記を変形することも出来る。
また、ω0はYAGロッド半径dの0.6〜0.7倍でモードボリュームの大きい横シングルモード発振をすることができる。0.7倍以上の場合も、発振レーザ光の外縁部がYAGロッドの外径からはみ出してしまい効率が低下してしまう場合はあるが、横シングルモード発振には有効である。また0.6倍未満の場合でも、横シングルモード発振時のモードボリュームは低下するが、本発明が有効であることには変わりない。
以上の結果、狙いの熱レンズ(1/f0)で発振するレーザ共振器を設計する場合、共振器ミラー11,12の曲率半径Rは(8)式で、テレスコープのレンズ61,62間の距離L2は(7)式で最適化することが出来る。この(7)式を満足する設計値がモードボリュームを最大化し、最も効率の良い横シングルモード発振をする為の設計解である。
尚、以上の説明は横シングルモード発振に対する有効性を中心に説明してきたが、横マルチモード発振に対しても本質的には有効な技術である。発振領域の特異点条件で共振器損失が増大すると、単一の次数成分のレーザ光しか発振しない横シングルモード発振の場合は、特に敏感に影響を受け、レーザ入出力特性のディップの現象となって現れる。しかし、多数の次数のレーザ光が共生発振する横マルチモード発振では、ある次数の光が特異点の影響で損失を受けても、別の次数のレーザ光が補って発振する為、相対的に特異点に対し鈍感な傾向を持つが、影響を受けることには変わりない。特に、M2=10以下程度の低次マルチモードと呼ばれる低次数発振では、横シングルモード発振に準じる効果が期待できる。ただし、あくまで横シングルモードで最大の効果が得られることは言うまでもない。
また、以上で述べてきたテレスコープを構成しているレンズ61,62の配置等の設計値は、あくまでも理論計算で求めた理想値であり、必ずしも厳密に理想の設計値と一致させる必要は無い。とはいえ、あまりにも理想値とかけ離れた設計値を取ると、本来のレーザ発振の特異点の影響を解消する効果が得られなくなってしまう。例えば、テレスコープのレンズ61,62とYAGロッド21,22の中心からの光学的距離がレンズ61,62の焦点距離fと一致せずずれてしまった場合、特異点領域が発生し、ずれ量に比例して特異点領域の幅も拡大してしまうが、この量が十分小さいものであれば入出力特性にディップが発生することは無く、問題にはならない。
ここで、先述したように、従来技術の複屈折補償型共振器において入出力特性にディップが現れだす熱レンズの臨界条件が判明している。本質的には、YAGロッドの熱レンズが強くなることによる特異点領域の幅の拡大がディップの発生原因であるから、上記臨界条件は、特異点領域の幅に対する臨界条件に置き換えることができる。本発明にて理想値から外れた設計値を採った場合の特異点領域の幅が、この臨界量よりも小さければ、ディップは発生せず問題とならない。
我々の試算では、テレスコープのレンズとYAGロッドの中心との光学的距離に関する設計値と理想値の差異は約10%以下であれば問題なく、10%を超えると臨界量を越してディップが発生する恐れがある。即ち、理想値に対し±10%程度の範囲内のズレとなるように設計値を採択すれば、十分に本発明の効果が得られる。
実施の形態2.
図11は、本発明にかかる固体レーザ装置の実施の形態2の構成を示す図である。図1と同構成の部分には同番号を付している。本構成は、図1の構成と同じ原理に基づき、同様の効果を有するが、YAGロッド間に配置されるレンズ63の構成(枚数、配置)が異なる。この構成の動作原理を以下で述べる。
図11は、本発明にかかる固体レーザ装置の実施の形態2の構成を示す図である。図1と同構成の部分には同番号を付している。本構成は、図1の構成と同じ原理に基づき、同様の効果を有するが、YAGロッド間に配置されるレンズ63の構成(枚数、配置)が異なる。この構成の動作原理を以下で述べる。
まず、図1においては、一対のYAGロッド21,22の中心間を像転写接続する為に、同じ焦点距離fのレンズ61,62を2枚用い、レンズ61,62間の距離L2はレンズの焦点距離fの2倍(2f)よりも短い任意の距離としている。このL2は短い程、高励起入力で発振する共振器を構成するが、どれほど短くしても制約はなく、原理的には0であっても良い。2枚のレンズ61,62が距離0で並ぶのは即ち、2倍の強さ(半分の焦点距離)のレンズ1枚に合成することを意味する。従ってこの状態は、左右のYAGロッド21,22の光学的な中間の位置に、1枚のレンズ63が挿入されており、そのレンズ63と左右のYAGロッド21,22の中心との光学的距離は、夫々、該レンズ63の焦点距離の2倍になっている状態といえる。この構成を模式化したものが図11である。一対のYAGロッド21,22の間に焦点距離fのレンズ63が1枚あり、左右のYAGロッド21,22の中心とレンズ63との間の光学的距離は夫々、レンズの焦点距離fの2倍(2f)となっている。
このような構成により、図10(c)の伝搬状態(イ)よりも励起効率はやや低下するものの(本構成の場合、図10(c)においてモードボリュームはx=0.8付近の値となる)、非常に高励起入力に適した構成となり、非常に高出力なレーザ光が得られるレーザ共振器となり得るという効果がある。
実施の形態3.
図12は、図1に示した実施の形態1に係る固体レーザ装置において、YAGロッドの励起部分を側面励起方式で構成した装置の図である。図12において、第1のYAGロッド21は、第1の励起用レーザダイオード(LD)501、502によって側面方向から励起光を照射され、第2のYAGロッド22は、第2の励起用レーザダイオード(励起用LDまたは単にLDとも呼ぶ)503、504によって側面方向から励起光を照射されることで、各YAGロッド内部全体がほぼ均一に励起されている。尚、高い繰り返し周波数でのパルスレーザ発振をする場合は、この共振器にQスイッチ素子を組み込み、またYAGロッド内の励起密度を引き上げる為、YAGロッド21、22には細い外径寸法のものが採用される。できるだけ高い繰り返し周波数でのパルス発振をしたい場合は、YAGロッドの外径もできるだけ細い方が良い。
図12は、図1に示した実施の形態1に係る固体レーザ装置において、YAGロッドの励起部分を側面励起方式で構成した装置の図である。図12において、第1のYAGロッド21は、第1の励起用レーザダイオード(LD)501、502によって側面方向から励起光を照射され、第2のYAGロッド22は、第2の励起用レーザダイオード(励起用LDまたは単にLDとも呼ぶ)503、504によって側面方向から励起光を照射されることで、各YAGロッド内部全体がほぼ均一に励起されている。尚、高い繰り返し周波数でのパルスレーザ発振をする場合は、この共振器にQスイッチ素子を組み込み、またYAGロッド内の励起密度を引き上げる為、YAGロッド21、22には細い外径寸法のものが採用される。できるだけ高い繰り返し周波数でのパルス発振をしたい場合は、YAGロッドの外径もできるだけ細い方が良い。
一方、これと対比する構成として、図1の固体レーザ装置を端面励起方式で構成した装置を図13に示す。図13において、ベンドミラー511、512、513,514を介して、YAGロッド21、22、共振器ミラー11、12、テレスコープを構成する第1および第2のレンズ61、62および90度旋光子5とで、実施形態1と同様のレーザ共振器を構成している。ベンドミラー511〜514はそれぞれ、赤外波長の発振レーザ光を全反射し、808nm付近の波長の励起光を全透過するダイクロイックコーティングが施されている。第1の励起用LD521,522から発した励起光は、それぞれ集光レンズ531、532によってベンドミラー511、512の裏面から、第1のYAGロッド21の両端面に集光され、両端面中心部が集中励起されている。また、第2の励起用LD523,524から発した励起光は、それぞれ集光レンズ533、534によってベンドミラー513、514の裏面から、第2のYAGロッド22の両端面に集光され、同様に両端面中心部が集中励起されている。
ただし、高出力発振する固体レーザを設計する上で、各端面を励起するLDは1個では励起パワーが足りず、複数のLDを重畳して集光照射する必要がある。通常は個別のLDから発した励起光を光ファイバー541〜544で光伝送し、その複数の励起光伝送ファイバーを一つに束ねてファイバーの出射端部で重畳し、集光レンズ531〜534でYAGロッド21,22端部の中心に集光する。その状態を図14に示す。図14(a)は1個の励起LDで励起した場合の図、図14(b)は複数の励起LDで励起した場合の図であり、それぞれYAGロッド端部に集光照射する励起光の強度分布を示している。図14(a)における単一LDでの励起の場合は、YAGロッド端面に集光される励起光の強度分布は滑らかなガウシアン分布を示すが、図14(b)の様に複数のLDを集光励起する場合は、重畳部の精度や個々のLDの特性のばらつき等により、複数のピークを持つ歪んだ形状の強度分布となる傾向がある。この為、YAGロッド端面の温度分布が必ずしも一様な分布とはならず、均質で歪みの無い熱レンズが形成されるとは限らない。
また、YAGロッドで吸収される励起光量は、YAGロッド端面付近が最も強く、YAGロッド内部に進行するにつれて徐々に弱くなるが、この吸収分布は個々の励起LDの特性(例えば発光波長や発散角)により大きく変化する為、形成される熱レンズのでき方にも敏感に影響を及ぼす。図15(a)は、図13の構成においてベンドミラーとレーザ光の折り返しを省略した図であるが、その結果、図15(a)に示すように、各YAGロッド21,22端面に形成される各熱レンズa,b,c,dの強さはばらつきを持つ場合が多く、かつ、個々の熱レンズが異なる収差成分を持ち易い傾向がある。そのため、テレスコープにより2つのYAGロッドの熱レンズが伝搬距離0の状態で並んでいるとみなすことができたとしても、図15(b)に示したように、熱レンズaと熱レンズcが重なったレンズと、熱レンズbと熱レンズdが重なったレンズとが左右に存在している状態と等価となり、共振器の左右対称性が崩れてしまう。
一方、図12の側面励起方式の場合は、拡散した励起光でYAGロッド21,22全体をまんべんなく照射励起する為、YAGロッド内部の温度分布が均質化され、収差の少ない均等な熱レンズが形成される特徴がある。このような励起方式の差異を考えると、端面励起方式では図13のように2つのYAGロッド間をテレスコープで像転写接続しても、個々の端面での熱レンズのばらつきや収差により、共振器の左右対称性が崩れてしまうため、実施の形態1に示すような効果が十分得られず、側面励起方式の方が効果的と言える。2つのYAGロッド間を像転写接続する本発明に係る他の実施の形態でも、側面励起方式が有効である。
なお、上記実施の形態では励起光源としてレーザダイオードを例として説明したが、励起光源はレーザダイオードに限定されるものではなく、例えばランプ等でも同様の効果を得られることは明らかである。
実施の形態4.
実施の形態1では、2つのYAGロッドの間に2枚の凸レンズを備えたものであり、実施の形態2では、2つのYAGロッドの間に1枚の凸レンズを備えたものであった。本実施の形態は、2つのYAGロッドに凸レンズの作用を持たせ、凸レンズを不要とした固体レーザ装置である。図16は、図1に示した固体レーザ装置におけるテレスコープを構成する2枚の凸レンズ61,62を、YAGロッドと一体化した構成の固体レーザ装置の構成図であり、テレスコープ以外の構成は実施の形態1と同様である。第1および第2のYAGロッド121,122の対向する端面に、それぞれ曲率半径Raの球面加工を施し凸レンズを形成している。また、各YAGロッド121,122の間には90度旋光子5が配置されている。
実施の形態1では、2つのYAGロッドの間に2枚の凸レンズを備えたものであり、実施の形態2では、2つのYAGロッドの間に1枚の凸レンズを備えたものであった。本実施の形態は、2つのYAGロッドに凸レンズの作用を持たせ、凸レンズを不要とした固体レーザ装置である。図16は、図1に示した固体レーザ装置におけるテレスコープを構成する2枚の凸レンズ61,62を、YAGロッドと一体化した構成の固体レーザ装置の構成図であり、テレスコープ以外の構成は実施の形態1と同様である。第1および第2のYAGロッド121,122の対向する端面に、それぞれ曲率半径Raの球面加工を施し凸レンズを形成している。また、各YAGロッド121,122の間には90度旋光子5が配置されている。
ここで、各YAGロッド121,122の長さをL0、屈折率n0、YAGロッド端部の凸レンズの焦点距離をfとする。この場合、焦点距離fが球面加工したYAGロッド121,122の端部から中心までの光学的距離、即ちYAGロッド121,122の長さの半分の光学長L0/(2n0)と等しくなる時、2つのYAGロッド121,122の中心間が像転写接続するように作用する。
YAGロッド端の凸レンズを曲率半径Raで球面加工した場合の焦点距離fは、以下の式で表される。
この焦点距離fが、YAGロッド121,122の半分の光学長に等しいとして、下記条件が必要となる。
(11)式、(12)式より、下記曲率半径Raでの条件式が得られる。
YAGロッド端の凸レンズを曲率半径Raで球面加工した場合の焦点距離fは、以下の式で表される。
この焦点距離fが、YAGロッド121,122の半分の光学長に等しいとして、下記条件が必要となる。
(11)式、(12)式より、下記曲率半径Raでの条件式が得られる。
また、この共振器では、実施の形態1(図1)と異なり独立した凸レンズがない為、YAGロッド端に形成された凸レンズとして作用する球面加工部の間の距離、すなわちYAGロッドの球面加工部分のみを切り取ったレンズを仮定したときのこのレンズの主点間の距離L3が、図1の固体レーザ装置におけるレンズ間距離L2に相当する。よって、L3を短くする程、高励起入力条件で発振するレーザ共振器が設計できる。図5に示した従来のテレスコープのように完全像転写条件に相当するL3の距離は、以下の式で求められる。
これに対し、下記L3の条件を満たした場合に、この共振器は実施の形態1の固体レーザ装置と同様の効果を得て高出力の横シングルモード発振が可能となる。
これに対し、下記L3の条件を満たした場合に、この共振器は実施の形態1の固体レーザ装置と同様の効果を得て高出力の横シングルモード発振が可能となる。
本実施の形態においては、上記のように、別途凸レンズを使用せずにシンプルな構成で2本のYAGロッド間を像転写接続できるため、実施の形態1(図1)や実施の形態2(図11)に比べ構成要素が単純化され、コンパクトで故障の少ない高出力の横シングルモード固体レーザが実現される。
実施の形態5.
実施の形態1および2では、同じ曲率を有したミラーにより共振器を構成していたが、本実施の形態は、平面ミラーにより共振器を構成した固体レーザ装置である。図17は、図1に示した固体レーザ装置において、共振器ミラーを平面ミラーとした場合の構成を示した構成図である。図17において、YAGロッド21,22、テレスコープを構成する第1および第2のレンズ61,62および90度旋光子5の配置は、実施の形態1と同様であるが、共振器ミラー311,312を平面ミラーとしている。また、平面ミラー311,312とYAGロッド21,22および2枚のレンズ61,62は、実施の形態1と同様に対称に配置されている
実施の形態1および2では、同じ曲率を有したミラーにより共振器を構成していたが、本実施の形態は、平面ミラーにより共振器を構成した固体レーザ装置である。図17は、図1に示した固体レーザ装置において、共振器ミラーを平面ミラーとした場合の構成を示した構成図である。図17において、YAGロッド21,22、テレスコープを構成する第1および第2のレンズ61,62および90度旋光子5の配置は、実施の形態1と同様であるが、共振器ミラー311,312を平面ミラーとしている。また、平面ミラー311,312とYAGロッド21,22および2枚のレンズ61,62は、実施の形態1と同様に対称に配置されている
従来の復屈折補償型共振器や、テレスコープ間の距離を2fに限定した像転写光学系を組み込んだ共振器では、平面ミラーで共振器を構成すると強い熱レンズ条件でのレーザ発振ができず、高出力のレーザ発振器を設計することができなかった。しかし、図1の様にテレスコープを構成する第1および第2のレンズ61,62間の距離の狭い像転写光学系を組み込んだ共振器構成では、第1および第2のレンズ61,62間の距離を調整するだけで、共振器ミラーの曲率に関係なくいくらでも強い熱レンズに対応した共振器が設計できる為、平面ミラーによる共振器構成でも高出力のレーザ発振器が設計できる。
すなわち、実施の形態1においては(5)式により、テレスコープの2枚のレンズ61,62間距離L2を短くするほど強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振することを示していたが、本実施の形態では共振器ミラーが平面であるので、(5)式中の共振器ミラー11,12の曲率半径Rが無限大(∞)の場合を想定すればよい。(5)式においてR=∞とすると、(5)式は以下の通りとなる。
(5)’式より明らかに、本実施の形態においてもテレスコープのレンズ61,62間距離L2を短くするほど、強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振が可能であることがわかる。
すなわち、実施の形態1においては(5)式により、テレスコープの2枚のレンズ61,62間距離L2を短くするほど強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振することを示していたが、本実施の形態では共振器ミラーが平面であるので、(5)式中の共振器ミラー11,12の曲率半径Rが無限大(∞)の場合を想定すればよい。(5)式においてR=∞とすると、(5)式は以下の通りとなる。
(5)’式より明らかに、本実施の形態においてもテレスコープのレンズ61,62間距離L2を短くするほど、強い熱レンズ(高励起入力)でのレーザ発振が可能であることがわかる。
次に、共振器ミラーを平面ミラーで構成する場合の利点について以下説明する。
図18は、YAGロッド21,22や第1および第2のレンズ61,62等の共振器内光学部品の位置変動に対する発振光軸の変化の様子を示した図である。図18においては、90度旋光子5は省略している。共振器周囲の環境温度の変化や振動、レーザ発振器の筐体への外力等で、共振器内の光学部品は必ず微小な位置変動を起こし得るが、その際レーザ光軸が変化する現象となって現れる。位置変動の発生による影響が大きい光学部品としては、YAGロッドとテレスコープを構成するレンズとが考えられる。いずれが位置変動しても、その影響は類似したものとなるので、以下テレスコープを構成する第1のレンズ61が位置変動した場合について説明する。図18(a)は平面ミラー311,312による共振器構成の場合、図18(b)は曲率を持つ球面ミラー11,12による共振器構成の場合の、第1のレンズ61の位置変動による出射するレーザ光の光軸9の変化である。図18(b)に示したように、球面ミラー11,12による構成の場合は、出射するレーザ光の光軸9は理想光軸(一点鎖線)に対して位置と角度の両方が変化している。一方、図18(a)に示したように、平面ミラー311,312による構成の場合は、光軸9は第1のレンズ61の位置変化によるオフセット変動のみであり角度変化は発生していない。
図18は、YAGロッド21,22や第1および第2のレンズ61,62等の共振器内光学部品の位置変動に対する発振光軸の変化の様子を示した図である。図18においては、90度旋光子5は省略している。共振器周囲の環境温度の変化や振動、レーザ発振器の筐体への外力等で、共振器内の光学部品は必ず微小な位置変動を起こし得るが、その際レーザ光軸が変化する現象となって現れる。位置変動の発生による影響が大きい光学部品としては、YAGロッドとテレスコープを構成するレンズとが考えられる。いずれが位置変動しても、その影響は類似したものとなるので、以下テレスコープを構成する第1のレンズ61が位置変動した場合について説明する。図18(a)は平面ミラー311,312による共振器構成の場合、図18(b)は曲率を持つ球面ミラー11,12による共振器構成の場合の、第1のレンズ61の位置変動による出射するレーザ光の光軸9の変化である。図18(b)に示したように、球面ミラー11,12による構成の場合は、出射するレーザ光の光軸9は理想光軸(一点鎖線)に対して位置と角度の両方が変化している。一方、図18(a)に示したように、平面ミラー311,312による構成の場合は、光軸9は第1のレンズ61の位置変化によるオフセット変動のみであり角度変化は発生していない。
精密レーザ加工をする上でレーザ光のポインティング安定性は重要な問題で、加工ワークに集光するレーザ光の照射位置が時間変動すると精密加工ができなくなる。このポインティング変化は、レーザ発振器の出口でのレーザ光軸の位置変化成分と角度変化成分で切り分けて考えることができる。レーザ発振器から加工ワークまでの光路系の設計にもよるが、一般的にレーザのポインティング変化で大きな影響を及ぼすのはレーザ光軸の角度変化成分の方である。図18(a)の平面ミラーによる構成の場合、光軸の角度変化は起らずオフセット変動のみである為、レーザ加工への影響が限定され、安定した精密加工が実現できる。
なお、本実施の形態に示した構成の場合、図10(c)の伝搬状態(イ)よりも励起効率は低下する(本構成の場合、図10(c)においてモードボリュームはx=1.0付近の値となる)という点においては、実施の形態1の構成に対してデメリットを有している。しかし本実施の形態の構成では、実施の形態1の構成と同様に高励起入力に対応することも可能であるとともに、上述したように、レーザ光のポインティング安定性が実施の形態1の構成よりも更に向上するという効果が得られるという特徴がある。また、実施の形態4に示した固体レーザ素子とテレスコープのレンズを一体化した構成の固体レーザ装置への、平面ミラーの適用も可能である。
実施の形態6.
図19は、本実施の形態に係る固体レーザ装置の構成を示した図であり、実施の形態5の図17に示した平面ミラーによる共振器の内部構成(共振器ミラー311と312の間の構成)を2個直列に並べ、両端に平面ミラーの共振器ミラー311、312を配置した共振器構成である。図19において、左側に配置されたYAGロッド21a,22a、2枚のレンズ61a,62aおよび90度旋光子5aと、右側に配置されたYAGロッド21b,22b、2枚のレンズ61b,62bおよび90度旋光子5bとは、対称に配置される。また、全反射ミラー311とこのミラーに隣接するYAGロッド21aの中心間の距離、および部分反射ミラー312とこのミラーに隣接するYAGロッド22bの中心間の距離をL1とすると、互いに隣接するYAGロッド22aの中心とYAGロッド21bの中心との距離LはL1の2倍に設定される。
図19は、本実施の形態に係る固体レーザ装置の構成を示した図であり、実施の形態5の図17に示した平面ミラーによる共振器の内部構成(共振器ミラー311と312の間の構成)を2個直列に並べ、両端に平面ミラーの共振器ミラー311、312を配置した共振器構成である。図19において、左側に配置されたYAGロッド21a,22a、2枚のレンズ61a,62aおよび90度旋光子5aと、右側に配置されたYAGロッド21b,22b、2枚のレンズ61b,62bおよび90度旋光子5bとは、対称に配置される。また、全反射ミラー311とこのミラーに隣接するYAGロッド21aの中心間の距離、および部分反射ミラー312とこのミラーに隣接するYAGロッド22bの中心間の距離をL1とすると、互いに隣接するYAGロッド22aの中心とYAGロッド21bの中心との距離LはL1の2倍に設定される。
図19に示した共振器では、共振器内部で発振するレーザ光の伝搬状況は、図17の共振器をそのまま2個直列に並べた状態と同一になり、2つの構成要素のそれぞれが図17の共振器と同じ特性の共振器ユニットとして作用する。これにより、発振領域の幅や狙いの熱レンズ値等の特性は同じ状態を保ったまま、レーザ出力のみが約2倍の高出力レーザ装置となる。
図20に、図17で示したYAGロッド2本の基本構成と、単純にYAGロッド本数を倍増した構成、及び図19に示した基本構成を2段連結した本実施の形態の構成による発振領域の比較を示す。図20(a−1)が基本構成を示し、図20(a−2)が基本構成による発振領域の特性を示している。また、図20(b−1)がYAGロッド本数を単純倍増した共振器の構成を示し、図20(b−2)がこの構成での特性を示している。さらに、図20(c−1)が本実施例の構成を示し、図20(c−2)がその特性を示している。図20(b−1)の構成の場合、共振器内のYAGロッド本数の増加に伴い、共振器内でレーザ光が感じる熱レンズ量の総和も単純に倍加する為、励起入力Pの変化に対する熱レンズの変化が倍増する。そのため図20(b−2)に示したように、発振領域の幅Wbは図20(a−1)に示した基本構成の発振領域の幅Waに比べて半分になってしまう(Wb=Wa/2)。しかし図20(c)の構成では、共振器の左半分と右半分がそれぞれ図20(a)の基本構成と同じ共振器の周期構成要素(以下、共振器ユニットと呼ぶ)を構成し、各YAGロッドの熱レンズ変化に対する負荷をそれぞれの共振器ユニットが分担して背負うため、図20(c−1)に示したように、発振領域の幅Wcは図20(a−1)に示した基本構成の幅Waと全く同一になる(Wc=Wa)。
従って、本実施の形態の構成によれば、発振領域の幅が狭くなることなく、共振器内のレーザ利得が倍増し、レーザ出力も約2倍に向上することができる。更に、共振器内でのレーザ利得が増えることで、より高い繰り返し周波数でのQスイッチパルスレーザ発振も可能となる。
なお、上記は図17に示した基本構成を2段連結した場合について説明してきたが、3段以上の複数段を連結しても同様の効果が期待でき、連結段数に応じたレーザ出力の向上とQスイッチパルス発振時の繰り返し周波数の向上が期待できる。また、すべての連結段を共振器内部で連結するのではなく、共振器の外に同様の配置を並べ、それらを増幅段として使用するMOPA構成としても良い。また、実施の形態4に示した固体レーザ素子とテレスコープのレンズを一体化した構成を適用することも可能である。
実施の形態7.
図21は、本実施の形態に係る固体レーザ装置の構成を示した図であり、実施の形態1の図1に示したような球面ミラー構成による共振器を、実施の形態6の図19に示した様に2段連結した場合の構成である。両端には曲率半径Rの球面ミラー11,12を配置し共振器を構成しており、共振器中心部には焦点距離fmのレンズ13を配置している。この焦点距離fmは、共振器ミラー11,12の曲率半径Rに対して、fm=R/2の値となるように設計されており、共振器ミラー11,12が凸ミラーの場合はこのレンズ13は凹レンズであり、共振器ミラー11,12が凹ミラーの場合はこのレンズ13は凸レンズとなる。図21は、共振器ミラー11,12が凸ミラー、レンズ13が凹レンズの場合を示している。また、共振器ミラー11,12、YAGロッド21a,22a,21b,22b、レンズ61a,62a,61b,62b、90度旋光子5a,5bの配置は実施の形態6(図19)と同様である。
図21は、本実施の形態に係る固体レーザ装置の構成を示した図であり、実施の形態1の図1に示したような球面ミラー構成による共振器を、実施の形態6の図19に示した様に2段連結した場合の構成である。両端には曲率半径Rの球面ミラー11,12を配置し共振器を構成しており、共振器中心部には焦点距離fmのレンズ13を配置している。この焦点距離fmは、共振器ミラー11,12の曲率半径Rに対して、fm=R/2の値となるように設計されており、共振器ミラー11,12が凸ミラーの場合はこのレンズ13は凹レンズであり、共振器ミラー11,12が凹ミラーの場合はこのレンズ13は凸レンズとなる。図21は、共振器ミラー11,12が凸ミラー、レンズ13が凹レンズの場合を示している。また、共振器ミラー11,12、YAGロッド21a,22a,21b,22b、レンズ61a,62a,61b,62b、90度旋光子5a,5bの配置は実施の形態6(図19)と同様である。
このような構成を備えることにより、実施の形態6と同様に、左右の共振器ユニットの基本構成と同じ発振領域特性を持ち、かつ、レーザ出力が約2倍の高出力レーザ装置を実現できる。
尚、中心の焦点距離fmのレンズ13は、あくまでレンズに入射する曲率半径Rのレーザ波面の発散角を反転する作用の光学部品として採用しているものであり、例えば2枚組のレンズによるテレスコープ等、同じ波面反転の作用をする光学部品であれば必ずしも単一のレンズでなくても良い。また、実施の形態6と同様に、3段以上の複数段を連結しても、共振器外部に同構成を並べて増幅段として使用するMOPA構成としても良い。また、共振器ミラーが球面ミラーである実施の形態2(図11)の構成や実施の形態4(図16)の構成も、本実施の形態に適用して複数段連結することで、レーザ出力を向上させることができる。
実施の形態8.
図22は、実施の形態5の図17に示した基本構成を2段並べ、かつ、4枚のベンドミラー421〜424でリング状に連結した共振器構成を有した固体レーザ装置の構成図である。図22において、4枚のベンドミラーの中で1枚のベンドミラー422を部分反射ミラーとし、他のベンドミラー421,423,424を全反射ミラーとしている。また、上側に配置されたYAGロッド21a,22a、2枚のレンズ61a,62aおよび90度旋光子5aと、下側に配置されたYAGロッド21b,22b、2枚のレンズ61b,62bおよび90度旋光子5b、および4枚のベンドミラーとは、対称に配置される。また、ベンドミラー422とベンドミラー425の間には、レーザ光の進行方向を規定するアイソレータ425が挿入されている。図22においては、黒矢印の向きにレーザ光の進行方向が規制されている。この場合、部分反射ミラーであるベンドミラー422からは、白矢印の方向にレーザ光が出射される。
図22は、実施の形態5の図17に示した基本構成を2段並べ、かつ、4枚のベンドミラー421〜424でリング状に連結した共振器構成を有した固体レーザ装置の構成図である。図22において、4枚のベンドミラーの中で1枚のベンドミラー422を部分反射ミラーとし、他のベンドミラー421,423,424を全反射ミラーとしている。また、上側に配置されたYAGロッド21a,22a、2枚のレンズ61a,62aおよび90度旋光子5aと、下側に配置されたYAGロッド21b,22b、2枚のレンズ61b,62bおよび90度旋光子5b、および4枚のベンドミラーとは、対称に配置される。また、ベンドミラー422とベンドミラー425の間には、レーザ光の進行方向を規定するアイソレータ425が挿入されている。図22においては、黒矢印の向きにレーザ光の進行方向が規制されている。この場合、部分反射ミラーであるベンドミラー422からは、白矢印の方向にレーザ光が出射される。
上記構成により本実施の形態に係るレーザ装置は、実施の形態6と同じ発振特性を持つリング共振器となる。リング共振器自体は単一縦モード発振をしたい場合に良く用いられる手法であるが、これに、高励起入力でのレーザ発振を可能とする実施の形態6の構成とを組み合わせることで、非常に高出力な単一縦モードの横シングルモード発振が可能となる。
尚、リング共振器の中で連結する基本構成の段数は必ずしも2段とする必要は無く、3段以上の連結で更に高出力発振ができる構成としても良い。この場合、各共振器ユニットの距離がすべて等しくなるように配置すればよい。また、4枚のベンドミラー中、いずれを部分反射ミラーとしても良く、アイソレータの挿入位置もレーザ光路中であればどこでも良い。また、アイソレータを挿入しない構成も可能であり、この場合レーザ光は、図19において、ベンドミラー422から白矢印と破線矢印の2方向に出射されることになる。また、実施の形態4で示したYAGロッドとテレスコープのレンズを一体化した構成を適用してもよい。
実施の形態9.
図23は、2枚のレンズでテレスコープを構成する実施の形態1および実施の形態3〜8に係る固体レーザ装置において、テレスコープを構成する2つのレンズ61,62の制御に関する装置の構成を示す図である。テレスコープを構成する第1のレンズ61と第2のレンズ62は、共通のガイド60に添って移動可能なホルダーで保持されている。第1のレンズ61と第2のレンズ62はそれぞれ、ボールネジ等の第1の移動手段31と第2の移動手段32によってガイド60に添って光軸(一点鎖線)方向に移動可能になっている。移動手段31,32は制御手段33により、その動作を制御される。制御手段33は、別途入力される励起入力指令値に基づき、励起入力とそれに対する最適なL2の値との組み合わせテーブルを記憶した記憶部より最適なL2を選択し、第1のレンズ61と第2のレンズ62間の距離がこの最適なL2となるように、移動手段31,32を制御する。ここでは2枚のレンズ61,62をともに移動させるため、移動手段を各レンズに設けたが、いずれか1枚のレンズのみを移動可能としても良い。
図23は、2枚のレンズでテレスコープを構成する実施の形態1および実施の形態3〜8に係る固体レーザ装置において、テレスコープを構成する2つのレンズ61,62の制御に関する装置の構成を示す図である。テレスコープを構成する第1のレンズ61と第2のレンズ62は、共通のガイド60に添って移動可能なホルダーで保持されている。第1のレンズ61と第2のレンズ62はそれぞれ、ボールネジ等の第1の移動手段31と第2の移動手段32によってガイド60に添って光軸(一点鎖線)方向に移動可能になっている。移動手段31,32は制御手段33により、その動作を制御される。制御手段33は、別途入力される励起入力指令値に基づき、励起入力とそれに対する最適なL2の値との組み合わせテーブルを記憶した記憶部より最適なL2を選択し、第1のレンズ61と第2のレンズ62間の距離がこの最適なL2となるように、移動手段31,32を制御する。ここでは2枚のレンズ61,62をともに移動させるため、移動手段を各レンズに設けたが、いずれか1枚のレンズのみを移動可能としても良い。
通常、例えば200Wのレーザ出力が得られるように設計した共振器で100Wのレーザ出力を得たい場合、励起入力を調整してレーザ出力を目的の値に合わせ込むが、その場合、レーザビームの発散角、パルス安定性等のビーム品質も変化してしまう。そこで、上記で示したように、第1のレンズ61と第2のレンズ62の間の距離L2を変化することにより、低励起入力で発振する共振器から高励起入力で発振する共振器まで共振器の形態を変化することができることを利用し、励起入力の増減に合わせて、テレスコープのレンズ間距離L2を制御するようにした。その結果、励起入力を変化して弱い出力のレーザ発振をしたい場合でも、レーザビームの発散角、パルス安定性等のビーム品質を一定に保つことが出来るようになった。
尚、ここでは、第1のレンズ61と第2のレンズ62は共通のガイド60に添って移動可能としたが、各レンズがレーザ光の光軸に添って移動できれば、共通のガイドでなくても良い。ただし、共通のガイドに添って各レンズを移動するようにした方が、レンズが光軸上から外れて共振器のアライメントが崩れてしまうリスクを最小化することができ、信頼性の高い制御が可能となる。なお、テレスコープのレンズのみを移動することでYAGロッドの中心とレンズとの間の光学的距離が変化し、像転写の理想条件を崩してしまうが、先述したように理想値からのズレ量が±10%以内の範囲でレンズを移動する分には問題とならない。
実施の形態10.
実施の形態5の図18において、共振器ミラーが曲率を持ったミラーの場合、光学部品の位置変動に影響を受けやすい点について説明したが、本実施の形態は、この点を解消するための固体レーザ装置である。図24は、本発明にかかる固体レーザ装置の実施の形態10の構成を示す図である。共振器の基本構成は実施の形態1(図1)と同じであるが、各光学素子の保持構造に特徴を持つ。図24(a)が固体レーザ素子とテレスコープを含むキャビティモジュールに関する部分構成図であり、図24(b)が共振器ミラーを含む共振器全体の構成図である。
実施の形態5の図18において、共振器ミラーが曲率を持ったミラーの場合、光学部品の位置変動に影響を受けやすい点について説明したが、本実施の形態は、この点を解消するための固体レーザ装置である。図24は、本発明にかかる固体レーザ装置の実施の形態10の構成を示す図である。共振器の基本構成は実施の形態1(図1)と同じであるが、各光学素子の保持構造に特徴を持つ。図24(a)が固体レーザ素子とテレスコープを含むキャビティモジュールに関する部分構成図であり、図24(b)が共振器ミラーを含む共振器全体の構成図である。
まず図24(a)において、第1の固体レーザ素子21と第2の固体レーザ素子22は夫々、第1の励起ユニット23、第2の励起ユニット24の内部に固定保持されている。励起ユニットは、例えば図24(a)に示したように2つの板状体の間にYAGロッドを挟み込むような構成であり、YAGロッドの周りには図示していない励起光源や集光器等が設けられている。各励起ユニット23,24と、第1のレンズ61、第2のレンズ62は、第1の光学基台25上で一体となるように固定され、キャビティモジュール20を形成している。また、90度旋光子5も第1の励起ユニット23、又は第2の励起ユニット24のレンズ61,62側の側部に固定され、キャビティモジュール20内で保持されている。このキャビティモジュール20は、共振器ミラーを固定する第2の光学基台26とは分離独立した構成となっている。
図24(b)にこのキャビティモジュール20と第2の光学基台26の構成を示した。キャビティモジュール20は、全反射ミラー11と部分反射ミラー12を保持する第2の光学基台26上に、隙間を空けて、3個の支持部材201,202,203を介して間接的に固定されている。3個の支持部材は球面軸受けを内蔵し、第2の光学基台26とキャビティモジュール20が角度方向に摺動可能なように接続支持している。また、このキャビティモジュール20は第2の光学基台26上から着脱可能であり、位置決めピン211、212、213のあて面に押し当てながら固定することにより、位置再現性良く取り付けできるようにしている。ここで、位置決めピン211,212はレーザ光の光軸と直交する方向のキャビティモジュール20の位置を決めるべく、図24(b)において、キャビティモジュール20の手前側に配置されている。また、位置決めピン213はレーザ光の光軸方向のキャビティモジュール20の位置を決めるべく、図24(b)において、キャビティモジュール20の部分反射ミラー12側に配置されている。
ところで、レーザ発振器の使い勝手を高める為の一つのコンセプトとして、レーザ発振器をどのような場所に移送し、持ち込んでも、移送前と同じ状態に無調整で立上るというハンズフリーの思想がある。高出力のレーザ発振器の場合、通常は移設の度に再調整が必要だが、頻繁にレイアウトの変更を必要とする生産設備の中に適用される場合は、移設しても無調整で立ち上がり、即時稼動できるレーザ発振器とすることには大きなメリットがある。本発明の共振器においてもハンズフリーを達成するには、共振器の中で特に位置ずれに対し敏感な感度を持つ光学部品の位置安定性を集中的に高めることが有効である。
本発明の共振器は、共振器ミラー11,12の位置ずれに対しては比較的に広い裕度を持つが、テレスコープのレンズ61,62の位置ずれに対しては敏感な特性を持つ。特に、左右のYAGロッド21,22の中心軸とテレスコープのレンズ61,62の中心軸とがずれることに対して非常に敏感であり、この2つの軸が常に一致するような状態を維持することが、安定性の向上やハンズフリーの達成の上で重要である。
図25は、共振器内の光学素子の位置ずれに対する、レーザ光の発振状態をシミュレーションした結果を示したものである。図25(a)は、位置ずれの無いオリジナルの状態を示したものであり、図25(b)は、YAGロッド21,22や共振器ミラー11,12の中心軸(二点鎖線)に対し、2つのレンズ61,62の中心軸(一点鎖線)が下方にずれたケースである。また、図25(c)はYAGロッド21,22やテレスコープを構成する第1および第2のレンズ61,62の中心軸(一点鎖線)に対し、2つの共振器ミラー11,12の中心軸(二点鎖線)が上方に位置ずれしたケースである。特に、YAGロッド21,22の位置でのレーザ光の光軸(破線)の変化に対して注目する。レーザ光の光軸とYAGロッド21,22の中心軸とのずれが大きいほど、YAGロッド21,22内を通過せずカットされるレーザ光の成分が増加し、レーザ出力が低下することを意味する。両ケースを比較すると、図25(c)に示したような共振器ミラーが位置ずれしたケースでは、レーザ光の光軸はYAGロッドの中心軸に対しほとんどずれておらず、レーザ出力が低下しないのに対し、図25(b)に示したようなレンズが位置ずれしたケースでは、レーザ光の光軸がYAGロッドの中心軸から大きくずれてしまい、その分レーザ出力が大幅に低下することを示している。
図26は、レーザ発振器を搬送する際に、レーザ発振器にどのような外力が加わり、変形するのかを示した模式図である。図26(a)は光学基台上に励起ユニットを直接固定した場合の構成、図26(c)は本発明の構成である。横シングルモードで発振するレーザ共振器の場合、一般的に長い共振器長を必要とする為、共振器ミラー61,62を固定する第2の光学基台26も光軸方向に伸びる細長い形状をなしている。このような長方形状の装置を搬送する場合、通常は重さのバランスが取れるように左右の支点に力Fを加えて持ち上げることになる。その際、図26に示すように、光学基台26は自重によって中央部が湾曲してくぼみ、変形する傾向をもつが、そのような変形に対し、図26(a)に示した構成の場合はYAGロッド21,22の軸とテレスコープのレンズ61,62の中心軸がずれてしまい、レーザ出力が低下する等の影響を受けてしまう。図26(b)に、YAGロッド21,22とレンズ61,62の中心軸のずれを示した。図26(b)において、第2の光学基第26の湾曲により、共振器ミラー11,12の中心軸(一点鎖線)よりもYAGロッド21,22の中心軸(破線)が下方に位置し、更にYAGロッド21,22の中心軸(破線)よりもレンズ61,62の中心軸(二点鎖線)が下方に位置することとなる。
一方、図26(c)に示したように本発明による構成の場合は、外力のかかる第2の光学基台26とキャビティモジュール20が独立した構造となっているため、外力Fにより第2の光学基台26が変形しても、角度方向に摺動可能な球面軸受け201,202,203による支持部材を介して固定されたキャビティモジュール20には外力が掛からず、キャビティモジュール20は変形しない。第2の光学基台26の変形に応じてキャビティモジュール20の位置は微小変化するが、特に敏感な部分であるYAGロッド21,22の中心軸とレンズ61,62の中心軸との位置関係は常に保持される為、レーザ出力への影響が小さく、搬送時の外力に対して強い、優れた安定性を持たせることが出来る。図26(d)に、YAGロッド21,22とレンズ61,62の中心軸の関係を示した。図26(d)において、第2の光学基第26の湾曲により、共振器ミラー11,12の中心軸(一点鎖線)よりもYAGロッド21,22の中心軸(二点鎖線)とレンズ61,62の中心軸(二点鎖線)が下方に位置するが、キャビティモジュール20の第1の光学基台25が湾曲しないので、YAGロッド21,22の中心軸(二点鎖線)とレンズ61,62の中心軸(二点鎖線)の位置関係にズレは、ほとんど発生しない。
尚、本実施の形態ではキャビティモジュール20を第2の光学基台26上に接続する球面軸受け201,202,203から成る支持部材は3個としたが、光学基台26とキャビティモジュール20が分離した構造となっていれば、4個以上の支持部材を用いても良い。また、球面軸受け以外の摺動部材であっても良い。
また、本発明では、位置決めピン211、212、213を位置決めの基準にして光学基台26上からキャビティモジュール20を着脱可能な構成にした。固体レーザ発振器において、励起光源のレーザダイオードは消耗部品であり、寿命に応じて交換が必要である。特に、YAGロッドの側面から励起光を照射し励起する側面励起型の固体レーザ発振器では、励起ユニットの内部にレーザダイオードを組み込んでいる場合が多く、レーザダイオードの交換には励起ユニット全体の交換が必要となる。従来技術では、各励起ユニットを個別に交換していたが、部品精度の問題で各励起ユニット毎にYAGロッドの中心軸の位置が微妙に異なる為、レンズの中心軸とYAGロッドの中心軸との位置再現性が低く、交換後は再調整が必要となっていた。
本発明の如く、キャビティモジュール内に励起ユニットとテレスコープを一体配置し、特に精密な調整を要するYAGロッドとレンズの中心軸との調整を予め別装置等で済ましておいたキャビティモジュールをそのまま交換することで、交換後のテレスコープの再調整が必要なくなる。また、本発明の共振器は、YAGロッドと共振器ミラーの中心軸との位置ずれに対しては比較的広い裕度を持つ。具体的には、両者の相対的な位置が0.2mm程度ずれたとしても、YAGロッドでの光軸の変化量は数μmレベルであり、レーザ出力にはほとんど影響しない。ここで、位置決めピン等のあて面を使ったキャビティモジュールの位置再現性は0.2mm以内であり、キャビティモジュール全体を位置決めピンに従って交換することで、結果的に共振器ミラー等の再調整をほとんど必要としない無調整交換が可能になる。
なお、本実施の形態では、実施の形態1(図1)に示した共振器の構成で説明を行ったが、実施の形態2(図11)に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない場合であっても、レンズとYAGロッドの中心軸のずれを効果的に防止することができる。
実施の形態11.
図27は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態11の構成を示す図である。本構成は、図1の固体レーザ装置を基本構成とし、共振器内部にQスイッチ3と偏光素子4を挿入して、Qスイッチ3をQスイッチ制御手段41により所望の周波数でオン・オフすることにより、直線偏光のQスイッチパルス発振が出来るようにしたものである。また共振器を構成する全反射ミラー11と部分反射ミラー12は共に、同曲率半径Rの凸ミラーである。図27において、Qスイッチ3は全反射ミラー11と第1のYAGロッド21との間に挿入したが、特に図27に規定されるものではなく、共振器内であればどこに配置してもよい。偏光素子4も、特に図27に規定されるものではないが、一般的には、図27に示したように固体レーザ素子に対して部分反射ミラー側に配置することが望ましい。また、Qスイッチ3および偏光素子4ともに、レーザ光による損傷の防止の観点から、なるべくビーム径が太くなるYAGロッド付近に配置することが望ましい。
図27は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態11の構成を示す図である。本構成は、図1の固体レーザ装置を基本構成とし、共振器内部にQスイッチ3と偏光素子4を挿入して、Qスイッチ3をQスイッチ制御手段41により所望の周波数でオン・オフすることにより、直線偏光のQスイッチパルス発振が出来るようにしたものである。また共振器を構成する全反射ミラー11と部分反射ミラー12は共に、同曲率半径Rの凸ミラーである。図27において、Qスイッチ3は全反射ミラー11と第1のYAGロッド21との間に挿入したが、特に図27に規定されるものではなく、共振器内であればどこに配置してもよい。偏光素子4も、特に図27に規定されるものではないが、一般的には、図27に示したように固体レーザ素子に対して部分反射ミラー側に配置することが望ましい。また、Qスイッチ3および偏光素子4ともに、レーザ光による損傷の防止の観点から、なるべくビーム径が太くなるYAGロッド付近に配置することが望ましい。
レーザ加工をする上で、加工の生産性を上げる為には、高周波数でなるべく短いパルス幅の高出力パルスレーザ発振器を必要とする用途がある。高出力のパルスレーザ発振に有利なNd:YAGレーザでこのような要請に対応していくには、下記のような方策が有効である。
(1)高周波発振の実現に対しては、YAGロッドの細径化や励起入力の増強による励起密度の向上。
(2)短パルス発振の実現に対しては、励起密度の向上と共振器長の短縮。
特に、励起密度の向上についてはパルス幅のみならず高周波発振時のレーザパルスの安定性にも強く影響する為、重要なパラメータと言え、レーザ発振周波数の高周波化と短パルス化の両方を実現するには、YAGロッドの励起密度の向上が不可欠であるといえる。励起密度を上げることは、YAGロッドの熱レンズを強くすることと等価であり、強い熱レンズ条件で発振する共振器が必要となる。しかし、上記実施の形態1でも述べたように、従来の共振器技術では強い熱レンズ条件で高出力の横シングルモード発振をすることができなかった。即ち、従来技術の共振器では、YAGロッドの励起密度を引き上げても安定して高出力発振することが出来なかった。本発明の共振器構成では、強い熱レンズ条件でも問題なく高出力発振できる為、YAGロッドの励起密度の向上にも対応でき、その結果、本発明の構成とすることで初めて100kHz以上の高周波数でも安定なパルス発振ができる高出力パルスレーザ共振器を実現することができた。
(1)高周波発振の実現に対しては、YAGロッドの細径化や励起入力の増強による励起密度の向上。
(2)短パルス発振の実現に対しては、励起密度の向上と共振器長の短縮。
特に、励起密度の向上についてはパルス幅のみならず高周波発振時のレーザパルスの安定性にも強く影響する為、重要なパラメータと言え、レーザ発振周波数の高周波化と短パルス化の両方を実現するには、YAGロッドの励起密度の向上が不可欠であるといえる。励起密度を上げることは、YAGロッドの熱レンズを強くすることと等価であり、強い熱レンズ条件で発振する共振器が必要となる。しかし、上記実施の形態1でも述べたように、従来の共振器技術では強い熱レンズ条件で高出力の横シングルモード発振をすることができなかった。即ち、従来技術の共振器では、YAGロッドの励起密度を引き上げても安定して高出力発振することが出来なかった。本発明の共振器構成では、強い熱レンズ条件でも問題なく高出力発振できる為、YAGロッドの励起密度の向上にも対応でき、その結果、本発明の構成とすることで初めて100kHz以上の高周波数でも安定なパルス発振ができる高出力パルスレーザ共振器を実現することができた。
一方、以下で共振器長の短縮による短パルス化について述べていく。図27では、共振器ミラー11,12として共に凸ミラー用いたケースを図示したが、本来は正の曲率(凸ミラー)と負の曲率(凹ミラー)のどちらでも採ることが出来る。同じ曲率半径Rであれば、凹ミラー、凸ミラーのどちらを採用した場合でも、YAGロッドの中心と共振器ミラーとの間の光学的距離L1を調整することで、互いに同じ励起入力で同じように横シングルモード発振する同じ発振特性のレーザ共振器を設計することができる。図28に、凸ミラーで共振器を設計した場合と、凹ミラーで設計した場合とを比較した。図28(a)が凸ミラー11,12の場合、図28(b)が凹ミラー111,112の場合である。両者の設計値を比較すると、凸ミラーの場合の方が共振器長は短い。夫々、横シングルモード発振する為のYAGロッド21,22の中心と共振器ミラーとの間の光学的距離L1は前記(4)式と(4)’式で求められる。両式を比較すると、凸ミラー構成のL1は凹ミラー構成の場合よりもちょうど曲率半径Rの分(共振器全長では2R)だけ短くなっていることが分かる。パルス幅は概略共振器長に比例する為、共振器長が短くなる分、短パルス発振することが可能となる。また、凹ミラー構成の場合は、共振器内で発生した寄生発振光を拾いやすく発振の壊乱要因となり、主発振成分の横シングルモードレーザ光の出力を低下させる傾向があり、高出力発振においても凸ミラー構成の方が有利である。
一例として、本構成では、YAGロッドの外径をφ2mm以下とし、励起入力としてYAGロッド1本あたり500W以上のレーザダイオードの出力光(波長808nm)をYAGロッドに照射した場合に、100kHzの周波数で180W以上の横シングルモードパルスレーザをパルス幅100ns以下で安定発振することができた。
なお、本実施の形態では、実施の形態1(図1)に示した固体レーザ装置の構成で説明を行ったが、実施の形態2(図11)に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない場合や、実施の形態4(図16)に示したような固体レーザ素子とテレスコープのレンズを一体化した場合や、実施の形態5(図17)に示したような共振器ミラーを平面ミラーで構成する場合においても、高出力なパルスレーザを出力することができる。また、実施の形態6,7,8で示したような複数の共振器ユニットの連結構成による固体レーザ装置にも適用できる。
また、本実施の形態に示した共振器にQスイッチを組み込み高繰り返し周波数でのパルスレーザ発振をする場合、本来ならば、光軸周辺の局部的範囲を集中励起し励起密度を高くし易い端面励起方式の方が有利である。しかし、高出力化の為に多数の励起用LDを必要とする構成の場合は、実施の形態1のような効果が十分得られなくなり、むしろ、側面励起励起方式で細い外径のYAGロッドを励起するような、図12に示した構成が高い繰り返し周波数に対応することが可能である。
実施の形態12.
図29は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態12の構成を示す図である。この波長変換レーザ装置は、基本波レーザ発振器と波長変換ユニットからなり、基本波レーザ発振器部は図27の固体レーザ装置と同じ構成である。もちろん、基本波レーザ発振器部を、図11に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない構成としてもよいし、図16に示したように固体レーザ素子とテレスコープのレンズを一体化した構成としてもよい。波長変換ユニットは、生成する高調波の種類によって構成が異なるが、ここでは、一例として3倍高調波を生成する波長変換レーザ装置の場合の構成を示した。
図29は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態12の構成を示す図である。この波長変換レーザ装置は、基本波レーザ発振器と波長変換ユニットからなり、基本波レーザ発振器部は図27の固体レーザ装置と同じ構成である。もちろん、基本波レーザ発振器部を、図11に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない構成としてもよいし、図16に示したように固体レーザ素子とテレスコープのレンズを一体化した構成としてもよい。波長変換ユニットは、生成する高調波の種類によって構成が異なるが、ここでは、一例として3倍高調波を生成する波長変換レーザ装置の場合の構成を示した。
図29において、基本波レーザ発振器では、Qスイッチ3のパルス動作により、高周波数のパルスレーザ光が発振し、部分反射ミラー412から出力される。一般的に、部分反射ミラー412は、製作の容易性等から裏面がフラットな凸ミラーで構成されていることが多く、図29では裏面がフラットな凸ミラーで記載した。このような裏面がフラットな凸ミラーや、図1に記載したような両面とも球面のメニスカス形状のミラーの場合、部分反射ミラーは透過するレーザ光に対して焦点距離fPRのレンズとして作用する。そのため、レンズの作用を考慮に入れて光路設計する必要がある。
上述のように、部分反射ミラーは焦点距離fPRのレンズとして作用するので、基本波レーザ光70は、部分反射ミラー412を通過した直後に一旦集光し、その後発散性の波面に切り替わる。そして、第1の集光レンズ81を通過して第1の非線形結晶91上に集光され2倍高調波を生成し、更に第2の集光レンズ82で第2の非線形結晶92上に基本波レーザ光と2倍高調波を同時に集光し3倍高調波光を生成する。第1の非線形結晶91、第2の非線形結晶92にはLBO結晶を使用している。
本実施の形態では、基本波レーザ発振器として図27の固体レーザ装置を用いたことに特徴がある。図27の構成を採用することで、高周波数で高出力のパルスレーザ光を基本波レーザとして波長変換レーザに用いることが出来る為、高周波数で高出力のUVレーザが実現できる。
尚、上記は3倍高調波レーザの場合の構成例について述べたものであるが、2倍波の場合は1個の非線形結晶(SHG結晶)で変換可能であり、3倍波の場合は2個の非線形結晶(SHG結晶とTHG結晶)、4倍波の場合も2個の結晶(SHG結晶とFHG結晶)が必要となる。SHG結晶としてはLBO結晶、KTP結晶が、THG結晶としてはLBO結晶、FHG結晶としてはCLBO結晶が一般的である。
加工用途からの要請に対応し、100kHz以上の高周波数で高出力の特性を持つ波長変換レーザを実現する為には、100kHzの高周波数で安定に短パルス発振する高出力の基本波レーザが必須である。本構成では、図27の固体レーザ装置を基本波レーザとして使用したことにより、100kHz以上の高周波数で30W以上の3倍波平均出力を製品レベルの非線形結晶寿命で初めて実現することが出来た。なお、実施の形態6,7,8で示したような複数の共振器ユニットの連結構成による固体レーザ装置にも適用できる。
実施の形態13.
図30は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態13の構成を示す図である。実施の形態12の図29の構成に加えて、部分反射ミラー412の直後にスペーシャルフィルタ71を設置している。固体レーザ発振器では、横シングルモードのメインビームの他に、寄生光が発振し、メインビームの周囲に同心円状の干渉光72が発生する場合がある。この干渉光72は、第1の集光レンズ81で結晶付近に集光され、非線形結晶91を保持するホルダー部材や、非線形結晶のエッジ部に照射し、熱として吸収される。その結果、精密な温度調整を必要とする非線形結晶の温度状態が変動してしまい、安定した波長変換が行われなくなることがある。
図30は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態13の構成を示す図である。実施の形態12の図29の構成に加えて、部分反射ミラー412の直後にスペーシャルフィルタ71を設置している。固体レーザ発振器では、横シングルモードのメインビームの他に、寄生光が発振し、メインビームの周囲に同心円状の干渉光72が発生する場合がある。この干渉光72は、第1の集光レンズ81で結晶付近に集光され、非線形結晶91を保持するホルダー部材や、非線形結晶のエッジ部に照射し、熱として吸収される。その結果、精密な温度調整を必要とする非線形結晶の温度状態が変動してしまい、安定した波長変換が行われなくなることがある。
スペーシャルフィルタ71は、そのような壊乱要因となる干渉光72を非線形結晶91に照射する以前に遮断し、波長変換の壊乱を防止する。また、この干渉光72は発振器から出射する際の発散角が基本波レーザ光70とは全く異なる為、基本波レーザ光70のビーム径が大きくなる位置では基本波レーザ光70と干渉光72は重なってしまい分離できなくなってしまう。部分反射ミラー412の直後の、基本波レーザ光70が集光されるウェスト位置付近が、最も効率よく基本波レーザ光70と干渉光72を分離できる位置である。この基本波レーザ光70のウェストは、部分反射ミラー412の裏面と、そこから部分反射ミラー412の透過レーザ光に対する焦点距離fPRだけ離れた位置との間に形成される為、この間の位置に基本波レーザ光70のビーム径よりも大きい開口形を持つスペーシャルフィルタ71を設置することが望ましい。
なお、本実施の形態では、図30に示したように固体レーザ素子間に2枚のレンズが配置された波長変換レーザ装置の構成で説明を行ったが、実施の形態2に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない構成、実施の形態4に示したようなYAGロッドとテレスコープのレンズを一体化した構成、および実施の形態5に示したような共振器ミラーが平面ミラーである構成であっても、同様な効果が得られることはいうまでもない。また、実施の形態6,7,8で示したような複数の共振器ユニットの連結構成による固体レーザ装置にも適用できる。
実施の形態14
図31は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態14の構成を示す図である。実施の形態12の図29とは、基本波発振器以降の光路設計が異なる。図31において、部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91との間には、第1の集光レンズ83と第2の集光レンズ84の2枚のレンズが設置されている。また第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間には、第3の集光レンズ85と第4の集光レンズ86が設置されている。第2の固体レーザ素子22と第1の非線形結晶91、第2の非線形結晶92は夫々像転写連結となるように、各区間の光学系が設計されている。
図31は、本発明にかかる波長変換レーザ装置の実施の形態14の構成を示す図である。実施の形態12の図29とは、基本波発振器以降の光路設計が異なる。図31において、部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91との間には、第1の集光レンズ83と第2の集光レンズ84の2枚のレンズが設置されている。また第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間には、第3の集光レンズ85と第4の集光レンズ86が設置されている。第2の固体レーザ素子22と第1の非線形結晶91、第2の非線形結晶92は夫々像転写連結となるように、各区間の光学系が設計されている。
各非線形結晶と固体レーザ素子間を像転写連結するのには、2つの理由がある。1つは基本波レーザ光のポインティング変動に対する安定性の向上であり、もう1つは励起入力を変化した際のビーム径の変化に対する信頼性の確保である。まず、前者について説明する。
基本波レーザ発振器として使用されている固体レーザ発振器は、常に一定の状態のレーザ光を出射するわけではなく、短い時間の間に、出射するレーザ光の位置、角度がある割合で変動している。この変動のことをポインティング変動と呼ぶ。このポインティング変動が大きいと、レーザ光が非線形結晶に照射する位置が変動してしまう為、非線形結晶内の温度状態が安定しない。このポインティング変動の原因は、主に、レーザ光の発生源であるYAGロッド等の固体レーザ素子の振動であり、固体レーザ素子を保持する部材の固有振動や、冷却水による固体レーザ素子の水流振動がその要因として挙げられる。従って、固体レーザ素子の微小振動を起点として、レーザ光の出射角度が変動し、ポインティング変動となって現れる。
一方、非線形結晶は、その温度によって波長変換効率(基本波レーザ光を高調波レーザ光に変換する割合)が変化する為、温度に対しては極めて敏感な特性を持つ。その為、精密な温度制御装置で常に温度制御されているが、結晶内部にもレーザ光の照射点を中心とした温度分布が発生しており、波長変換に最適な温度状態を維持するには、照射するレーザ光の状態も安定していることが不可欠である。従って、非線形結晶に照射するレーザ光の位置が変動すると、非線形結晶内の温度分布が安定せず、波長変換効率が不安定になってしまう。即ち、高調波レーザ光の出力が安定しなくなる。安定な波長変換レーザとするには、常に非線形結晶の一定の位置に、レーザ光が照射するようにすることが望ましい。これに対し、基本波レーザ光にはポインティング変動が存在する為、完全に一定の状態でレーザ光を照射することは不可能である。しかし、光路設計によって、ポインティング変動の影響が大きく現れる光路系と、影響の小さい光路系が存在する。
図32は、実施の形態12の構成と本構成の光路系でのポインティング変動に対する影響を比較した図である。図32(a)は、実施の形態12の構成でのレーザ光軸の変化を示した模式図であり、図32(b)が本構成による模式図である。光路設計によっては、基本波レーザ光のわずかなポインティング変動が非線形結晶上に増幅されて現れてしまう場合がある。図32(a)において、第2の固体レーザ素子22が上側にずれた場合、レーザ光のポインティング変動は実線矢印のようなずれとなり、非線形結晶91,92で特に大きくずれ、波長変換効率が不安定となってしまう。また、第2の固体レーザ素子が下側にずれた場合のポインティングの変動は、破線矢印のようになり、同様に非線形結晶91,92で非常に大きなずれとなる。一方、図32(b)に示したような像転写連結した光路系の場合は、像転写連結した2点でのポインティング変動量は互いに同じとなる為、非線形結晶91,92でのポインティング変動量は、第2の固体レーザ素子22の上下のずれによるポインティング変動量と同等になるように抑制される。これにより、図32(a)に比べ、非線形結晶91,92におけるポインティング変動は小さくなる。
従って、図32(b)に示したように、ポインティング変動源である固体レーザ素子22の中心と非線形結晶91の間を像転写連結させた光路系は、ポインティング変動の影響を抑制する上で有効な光路系であるといえる。本構成では、基本波レーザ発振器内の全ての固体レーザ素子21,22と各非線形結晶91,92が全て像転写連結されている。その結果、いずれのYAGロッド21,22を起点とするポインティング変動であっても、各非線形結晶での影響は最少化されることになり、安定性に優れた波長変換レーザを実現することが出来る。
次に、励起入力変化時の信頼性の問題について説明する。図33は、励起入力を変化したときのYAGロッド21,22内でのビーム径の変化と、非線形結晶91,92内でのビーム径の変化の様子を表したものである。図33(a)は実施の形態12の光路構成によるものであり、図33(b)は本発明の像転写連結による光路構成のものである。YAGロッドの内部では、ビーム径は励起入力の変化に対しちょうど“Uの字”を描いたような特性形状を成し、図3と同様にビーム径が有限の値を有する範囲を発振領域と呼ぶ。発振領域の下限付近と上限付近ではビーム径が大きくなり、発振領域の中心でビーム径が最小になる。
これに対し、非線形結晶でのビーム径は光路系の設計によって異なる特性を示す。図33(b)の像転写連結による光路系の場合は、YAGロッドでのビーム径変化特性と相似の形状を成し、発振領域の下限と上限付近ではビーム径が大きく、発振領域の中心で最小となる。ここで、発振領域の中心でのビーム径が狙いのスポット径となるように設計される。一方、図33(a)の実施の形態12の光路系の場合は、励起入力が増加するにつれてビーム径が小さくなり、発振領域の上限付近でビーム径が最小となるような特性になる場合がある。通常、上述したように発振領域の中心でのビーム径が、狙いのスポット径となるように設計する為、発振領域の中心条件よりも強い励起入力にすると結晶でのビーム径が更に小径化していく。その為、励起入力を入れすぎた場合、結晶内でレーザ光が集光し過ぎて、結晶の破壊閾値を超えてしまい、結晶が破壊する恐れが生じる。従って、実施の形態12の構成による光路系では励起入力を変化した場合、非線形結晶を破壊する恐れを伴うが、像転写連結による光路系の場合は励起入力を高めてもビーム径が拡大する為、そのような恐れは生じない。従って、本発明の像転写連結による光路系は、部品の破損防止という信頼性の観点でも優れた特性を持つといえる。
次に、像転写連結する為の光路設計条件について以下具体的に説明する。固体レーザ素子と非線形結晶間を像転写連結する為には、それなりの光路設計条件を満足する必要があり、本構成では、図31に示したように部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91の間に2枚の集光レンズ83,84を配置する構成とした。本来は1枚の集光レンズであっても良いが、我々の計算では1枚の集光レンズ構成では像転写連結を満足する現実的な設計値は存在せず、2枚以上の集光レンズが必要であった。3枚以上の集光レンズで構成しても良いが、ここでは最も簡単な構成である2枚の集光レンズ構成の場合について図示している。
まず、図31において、第1の集光レンズ83の焦点距離をfa、第2の集光レンズ84の焦点距離をfbとし、部分反射ミラー412から第1の集光レンズ83までの光学的距離をLa、両集光レンズ83,84間の光学的距離をLb、第2の集光レンズ84から第1の非線形結晶91の中心までの光学的距離をLcとする。また、部分反射ミラー412は曲率半径R(絶対値)の凸ミラーであり、透過レーザ光にレンズとして作用する際の焦点距離をfPRとする。第2の固体レーザ素子22の中心と部分反射ミラー412との間の光学的距離はL1である。この光路系の、第2の固体レーザ素子22から第1の非線形結晶91までの間の光線行列は次式である。
一方、この光路系は発振領域の中心での熱レンズ条件の時に、ちょうどレーザ光のウェスト位置にあるように第2の非線形結晶92が配置されている。そのときのウェストでのビーム径が、第2の固体レーザ素子22内でのビーム径ω0のMs倍であるという条件を付加すると、上記光線行列は下記を満足する必要がある。
ここでr0は、発振領域の中心条件における第2の固体レーザ素子22の中心でのレーザ光の波面曲率半径であり、(1)〜(3)式から得られる下式で計算することができる。
LbとLcを任意の距離とすると、(16)、(17)式を満足する条件は下記の通りである。
La、Lb、Lc、fa、fbの各パラメータが(19)〜(21)の式を満足することによって、第2のYAGロッド22から第1の非線形結晶91までの光路を像転写連結とすることが出来る。
LbとLcを任意の距離とすると、(16)、(17)式を満足する条件は下記の通りである。
La、Lb、Lc、fa、fbの各パラメータが(19)〜(21)の式を満足することによって、第2のYAGロッド22から第1の非線形結晶91までの光路を像転写連結とすることが出来る。
次に、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間の像転写光路を求める。図31において、第3の集光レンズ85の焦点距離をfc、第4の集光レンズ86の焦点距離をfd、第1の非線形結晶91の中心から第3の集光レンズ85までの光学的距離をLd、第3の集光レンズ85から第4の集光レンズ86までの光学的距離をLe、第4の集光レンズ86から第2の非線形結晶92の中心までの光学的距離をLfとすると、この間の光線行列は次式となる。
発振領域の中心での熱レンズ条件の時、ちょうど第2の非線形結晶92はレーザ光のウェスト位置にあるように配置されており、かつ、そのときのウェストでのビーム径が第2の固体レーザ素子22でのビーム径ω0のMt倍であるとし、次式の条件を課する。
(22)、(23)式より、これらを満足する解は、任意の距離Ldと任意の焦点距離fcに対し次式の条件を満足する必要がある。
fc、fd、Ld、Le、Lfの各設計値が上記条件を満足するとき、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間の光学系は像転写接続の光路となる。
発振領域の中心での熱レンズ条件の時、ちょうど第2の非線形結晶92はレーザ光のウェスト位置にあるように配置されており、かつ、そのときのウェストでのビーム径が第2の固体レーザ素子22でのビーム径ω0のMt倍であるとし、次式の条件を課する。
(22)、(23)式より、これらを満足する解は、任意の距離Ldと任意の焦点距離fcに対し次式の条件を満足する必要がある。
fc、fd、Ld、Le、Lfの各設計値が上記条件を満足するとき、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間の光学系は像転写接続の光路となる。
以上の条件を満足する設計値を採ることによって、第1の固体レーザ素子21、第2の固体レーザ素子22、第1の非線形結晶91、第2の非線形結晶92の全てを像転写接続する設計とすることができ、非常に安定した波長変換レーザ装置を実現できる。
なお、本実施の形態では、図31に示したように固体レーザ素子間に2枚のレンズが配置された波長変換レーザ装置の構成で説明を行ったが、実施の形態2に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない構成、実施の形態4に示したようなYAGロッドとテレスコープのレンズを一体化した構成、および実施の形態5に示したような共振器ミラーが平面ミラーである構成であっても、同様な効果が得られることはいうまでもない。また、実施の形態6,7,8で示したような複数の共振器ユニットの連結構成による固体レーザ装置にも適用できる。
実施の形態15.
ところで、実施の形態14においては、2つのYAGロッド21,22と第1、第2の非線形結晶91,92の各区間を像転写連結する構成について示した。しかし、その為には部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91の間に2枚以上の集光レンズ、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間にも2枚以上の集光レンズを配置する必要があり、構成として複雑かつ、長い伝送距離を必要とするデメリットも生じる。その様な場合、例えば第2のYAGロッド22と第2の非線形結晶92の間のみを像転写接続する構成としても良い。具体的には図34に示すように、部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91との間に2枚の集光レンズ87,88を配置し、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92との間に1枚の集光レンズ89を配置する。集光レンズ87,88は第2のYAGロッド22の中心を第2の非線形結晶91の中心に転写するように配置し、レンズ89はレーザ光を第2の非線形結晶に集光するように配置する。
ところで、実施の形態14においては、2つのYAGロッド21,22と第1、第2の非線形結晶91,92の各区間を像転写連結する構成について示した。しかし、その為には部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91の間に2枚以上の集光レンズ、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92の間にも2枚以上の集光レンズを配置する必要があり、構成として複雑かつ、長い伝送距離を必要とするデメリットも生じる。その様な場合、例えば第2のYAGロッド22と第2の非線形結晶92の間のみを像転写接続する構成としても良い。具体的には図34に示すように、部分反射ミラー412と第1の非線形結晶91との間に2枚の集光レンズ87,88を配置し、第1の非線形結晶91と第2の非線形結晶92との間に1枚の集光レンズ89を配置する。集光レンズ87,88は第2のYAGロッド22の中心を第2の非線形結晶91の中心に転写するように配置し、レンズ89はレーザ光を第2の非線形結晶に集光するように配置する。
3倍波や4倍波レーザの場合、第2の非線形結晶92に比べ、第1の非線形結晶91は比較的緩い温度特性を持ち、その分、結晶内部の温度変化やポインティング変動に対しても影響を受けにくい。従って、温度変化に特に敏感な特性を持つ第2の非線形結晶92でのポインティング変動を重点的に抑制するようにすれば、第1と第2の非線形結晶91,92の間には集光レンズを1枚だけ配置した簡素な構成で、上述した実施の形態と同様の高い安定性を得ることができる。
なお、本実施の形態では、図34に示したように固体レーザ素子間に2枚のレンズが配置された波長変換レーザ装置の構成で説明を行ったが、実施の形態2に示したような固体レーザ素子間に1枚のレンズしかない構成、実施の形態4に示したようなYAGロッドとテレスコープのレンズを一体化した構成、および実施の形態5に示したような共振器ミラーが平面ミラーである構成であっても、同様な効果が得られることはいうまでもない。また、実施の形態6,7,8で示したような複数の共振器ユニットの連結構成による固体レーザ装置にも適用できる。
この発明に係る固体レーザ装置は、高出力が要求される分野、特に波長変換レーザ装置の基本波光の発生手段として用いられるのに適している。
Claims (27)
- 共振器を構成する部分反射ミラーおよび全反射ミラーと、
前記部分反射ミラーと全反射ミラー間にレーザ光軸に沿って対称に配置された2つのロッド形状の固体レーザ素子と、
この2つの固体レーザ素子間のレーザ光軸上に配置された焦点距離fの2つの凸レンズおよび90度旋光子とを備え、
前記2つのレンズの距離は2fより小さく、各レンズと隣接する前記固体レーザ素子の中心とその隣接するレンズとの距離は略fであることを特徴とする固体レーザ装置。 - 前記90度旋光子は、前記2つのレンズのうち一方と当該レンズに隣接する前記固体レーザ素子との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の固体レーザ装置。
- 前記部分反射ミラーおよび全反射ミラーは、同じ曲率を有したミラーであることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記部分反射ミラーおよび全反射ミラーは、いずれも平面ミラーであることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記ビーム半径ω0は前記固体レーザ素子の半径の0.6〜0.7倍であることを特徴とする請求項5に記載の固体レーザ装置。
- 共振器を構成する同曲率の部分反射ミラーおよび全反射ミラーと、
前記部分反射ミラーと全反射ミラー間にレーザ光軸に沿って対称に配置された2つのロッド形状の固体レーザ素子と、
この2つの固体レーザ素子間のレーザ光軸上に配置された焦点距離fの凸レンズおよび90度旋光子とを備え、
前記レンズと前記各固体レーザ素子の中心との距離は略2fであることを特徴とする固体レーザ装置。 - 前記部分反射ミラーおよび全反射ミラーは、同じ曲率を有したミラーであることを特徴とする請求項9に記載の固体レーザ装置。
- 前記部分反射ミラーおよび全反射ミラーは、いずれも平面ミラーであることを特徴とする請求項9に記載の固体レーザ装置。
- 共振器を構成する平面ミラーである部分反射ミラーと全反射ミラー間に、レーザ光軸に沿って配置された2つのロッド形状の固体レーザ素子と、この2つの固体レーザ素子間のレーザ光軸上に配置された焦点距離fの2つの凸レンズおよび90度旋光子とを備え、前記2つのレンズの距離は2fより小さく、各レンズと隣接する前記固体レーザ素子の中心との距離は略fである共振器の周期的構成要素を複数備え、
前記部分反射ミラーと隣接する前記固体レーザ素子の中心とその部分反射ミラーとの距離および前記全反射ミラーと隣接する前記固体レーザ素子の中心とその全反射ミラーとの距離は等しく、
前記各共振器の周期的構成要素の間で隣接する前記固体レーザ素子の中心間の距離は前記部分反射ミラーと隣接する前記固体レーザ素子の中心との距離の2倍に等しいことを特徴とする固体レーザ装置。 - 共振器を構成する同曲率の部分反射ミラーと全反射ミラー間に、レーザ光軸に沿って配置された2つのロッド形状の固体レーザ素子と、この2つの固体レーザ素子間のレーザ光軸上に配置された焦点距離fの2つの凸レンズおよび90度旋光子とを備え、前記2つのレンズの距離は2fより小さく、各レンズと隣接する前記固体レーザ素子の中心との距離は略fである共振器の周期的構成要素を複数備え、
前記部分反射ミラーと隣接する前記固体レーザ素子の中心とその部分反射ミラーとの距離、および前記全反射ミラーと隣接する前記固体レーザ素子の中心とその全反射ミラーとの距離は等しく、
前記各共振器の周期的構成要素の間で隣接する前記固体レーザ素子の中心間の距離は、前記部分反射ミラーと隣接する前記固体レーザ素子の中心との距離の2倍に等しく、
互いに隣接する前記共振器の周期的構成要素の中間位置に、前記部分反射ミラーの曲率半径をRとした場合、焦点距離がR/2となるレンズを配置したことを特徴とする固体レーザ装置。 - 平面ミラーである1枚の部分反射ミラーと複数の全反射ミラーによりリング共振器が構成されており、
前記共振器内のレーザ光軸に沿って配置された2つのロッド形状の固体レーザ素子と、この2つの固体レーザ素子間のレーザ光軸上に配置された焦点距離fの2つの凸レンズおよび90度旋光子とを備え、前記2つのレンズの距離は2fより小さく、各レンズと隣接する前記固体レーザ素子の中心との距離は略fである共振器の周期的構成要素を複数備え、
前記共振器の周期的構成要素は、互いに隣接する各共振器の周期的構成要素間の距離が全て等しくなるように配置されていることを特徴とする固体レーザ装置。 - 前記2枚のレンズの一方、若しくは両方を、共振器の光軸方向に移動させる移動手段を備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 励起入力指令値に応じて前記移動手段を制御する制御手段を備えたことを特徴とする請求項15に記載の固体レーザ装置。
- 前記2つの固体レーザ素子と前記レンズと前記90度旋光子を配置した第1の光学基台と、
前記部分反射ミラーおよび全反射ミラーを配置した第2の光学基台とを備え、
前記第1の光学基台は、前記第2の光学基台上に角度方向に摺動可能な支持部材を介して配置されていることを特徴とする請求項3または5〜8のいずれかに記載の固体レーザ装置。 - 前記第1の光学基台は、3個の前記支持部材を介して前記第2の光学基台上に配置されていることを特徴とする請求項17に記載の固体レーザ装置。
- 前記第2の光学基台上に、前記第1の光学基台の側面に対してあて面を有した位置決め手段を備え、
この位置決め手段のあて面を基準にして前記第1の光学基台の前記第2の光学基台上の位置を決定することを特徴とする請求項17または18のいずれかにに記載の固体レーザ装置。 - 前記部分反射ミラーおよび全反射ミラーは共に凸ミラーであることを特徴とする請求項3、5〜8または10のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記部分反射ミラーと全反射ミラーとの間に配置されたQスイッチと、
このQスイッチのオン・オフを制御するQスイッチ制御手段と、
前記部分反射ミラーと当該部分反射ミラーに隣接する前記固体レーザ素子との間に配置された偏光素子とを備え、
直線偏光のパルスレーザ光を出力するようにしたことを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の固体レーザ装置。 - 前記各固体レーザ素子の側面から励起光を照射する側面励起方式であることを特徴とする請求項1〜21のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 発振するレーザ光が横シングルモードであることを特徴とする請求項1〜22のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 請求項1〜23のいずれかに記載の固体レーザ装置と、
この固体レーザ装置から出力されたレーザ光の光軸上に配置され、このレーザ光を高調波光に変換する非線形結晶とを備えたことを特徴とする波長変換レーザ装置。 - 前記部分反射ミラーは透過レーザ光に対し焦点距離fPRのレンズとして作用するものであり、
前記部分反射ミラーのレーザ光が透過する側の面と当該面から距離fPRだけ離れた位置との間に配置され、透過したレーザ光のビーム径よりも大きい開口を有したスペーシャルフィルタを備えたことを特徴とする請求項24に記載の波長変換レーザ装置。 - 前記部分反射ミラーと前記非線形結晶との間に配置され、前記部分反射ミラー側の前記固体レーザ素子と当該非線形結晶とを像転写連結する複数のレンズを備えたことを特徴とする請求項24または25のいずれかに記載の波長変換レーザ装置。
- 前記非線形結晶を複数備え、
この各非線形結晶間に配置され当該隣接する2つの非線形結晶間を像転写連結する複数のレンズを備えたことを特徴とする請求項26に記載の波長変換レーザ装置。
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