JP4772023B2 - 位置の操作および/または決定のための運動部材を有する光学装置 - Google Patents
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Description
この目的は、本特許明細書の請求項1および10記載の特徴を有する装置によって、達成される。上記従属項は、本発明の有利な発展形および変形例に関する。
図1は、ピエゾアクチュエータ1a,1bとして構成された運動部材の、並列な配置を図示している。この場合、2つのピエゾアクチュエータ1a,1bの、レバー2a,2bは、連結部3a,3bと連接棒6とを介して、相互に連結されている。ピエゾアクチュエータ1aの稼動時に、レバー2aは双方向矢印7aの方向へ移動する。ピエゾアクチュエータ1aの稼働中であって、ピエゾアクチュエータ1bが稼働しない場合においては、連結棒6は連結部3b周りで移動する。結果として、連結部9,10と、制御レバー4と、を介して連接棒6に連結している光学素子5は、双方向矢印8の方向へ移動する。ピエゾアクチュエータ1aが稼働していない場合、双方向矢印7bの方向でレバー2bと連係して、ピエゾアクチュエータ1bの稼働することについては、同様に説明される。その結果、連結部3a周りで連接棒6が移動することとなる。
Claims (8)
- 並進および回転の自由度nで操作されうる少なくとも1つの光学素子(5)と、
前記光学素子(5)の位置を操作するまたは決定するために備えられた複数の運動部材(1a、1b)であって、前記運動部材(1a、1b)の数mが前記並進および回転の自由度nの数を超える運動部材とを備え、
少なくとも2つの前記運動部材が、前記自由度の少なくとも1つ毎に存在し、前記少なくとも2つの運動部材(1a、1b)の1つに不具合が生じたとき、前記自由度で前記光学素子がなお位置を操作または決定されることを特徴とする光学装置。 - 少なくとも2つの運動部材(1a、1b)が、前記光学素子(5)上の作用点に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 特定の自由度において、少なくとも1つの一方の運動部材(1a)が、他方の運動部材(1b)との関係で、前記一方の運動部材(1a)の作動時に、前記他方の運動部材(1b)も同様に作動されるように配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 少なくとも1つの運動部材(1a、1b)がアクチュエータであることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれかに記載の装置。
- 前記一方のおよび前記他方の運動部材(1a、1b)が、ピエゾクローラ(23)の個別のピエゾスタックであることを特徴とする、請求項3および4に記載の装置。
- 特定の自由度が、少なくとも1つの一方の運動部材(1a)が、他方の運動部材(1b)との関係で、前記一方の運動部材(1a)の作動時に、前記他方の運動部材(1b)が作動されないように配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 少なくとも1つの運動部材(1a、1b)がセンサとして用いられることを特徴とする、請求項1ないし6のいずれかに記載の装置。
- 請求項1ないし7のいずれかに記載の光学装置を有することを特徴とする、半導体リソグラフィーのための投影露光装置(11)。
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