JP4771872B2 - 半導体レーザ光源装置およびそれを用いた通信機器ならびに照明機器 - Google Patents
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Description
図1は本参考形態にかかる半導体レーザ光源装置(モジュール)の斜視図である。
本実施の形態にかかる光源装置は、ガラスエポキシ樹脂基板9にザグリ穴2が形成され、ザグリ穴2の表面は金でメッキされて金属反射膜を兼ねる第1の電極が形成されている。ザグリ穴2の底面中央において、半導体レーザ素子1が銀ペースト等により第1の電極と電気的に接続された状態で実装されている。
この参考形態では、図5に示すように、帯状金属配線5を複数(3本)半導体レーザ素子1上面に装着して、上記参考形態1よりもさらに放熱性を向上させている。この形態においては、複数の帯状金属配線からの信号が混線しないように、基板内において複数の第2の電極6相互が電気的に接続されている。この帯状金属配線5の材料は金である。
なお、第2の電極を1つのみとし、これに繋がる配線以外の配線は、電極と接続せず、放熱用帯(放熱のみに関与し、電気信号を送らない帯)としてもよい。
図7は、この参考形態3の概略図である。この参考形態では、上記参考形態1で記載した帯状金属配線15の裏面に、絶縁性の樹脂フィルム14が接着されていること以外はすべて同じ構造である。
図8は、参考形態4の概略図である。この参考形態では、ザグリ穴表面に帯状に絶縁樹脂膜16を塗布し、マスクを用いてその上だけに帯状の金属配線17を蒸着により形成する。塗布する絶縁性樹脂としては参考形態3で用いた光硬化性樹脂を用いる。また、金属を蒸着する部分はザグリ穴表面およびレーザ上端面であり、これらは平坦ではないので、マスクを密着させることができない。このため、絶縁性の樹脂の塗布する範囲をある程度大きく取る必要があるが、半導体レーザ素子1より上側には配線が存在しなくなるので、光取り出し効率が上昇する。
図9および図10は、参考形態5にかかる光源装置の概略図である。この参考形態は、上記実施の形態1と比較して、大きく異なる点が2つある。1つめの相違点は帯状金属配線5の厚さを、参考形態1に比べて数倍厚くしたことである。具体的には帯状金属配線5の厚みを25μm、50μmと100μmとした3つの場合について検討した。もう1つの相違点は、ザグリ穴2に金属メッキをする際にメッキをしないライン状の絶縁部分18を残すことによって、ザグリ穴2の内面に、金属反射膜を兼ねる第1の電極と、第2の電極とを形成して、帯状金属配線5の長さを短くしたことである。この構成を採用することにより、帯状金属配線5による光の取り出しロスを少なくできる。
図12は、参考形態6で使用した光源装置の概略図である。この参考形態は、上記参考形態2のように帯状金属配線5を3本とし、上記参考形態5のように側面側から伸ばした帯状金属配線5と第2電極とのコンタクトを取るために、ザグリ穴2表面に、第1の電極と、第2の電極と、これらを絶縁する絶縁ライン18とを、図12のように形成した点である。この絶縁ライン18は、実装された半導体レーザ素子1の側面のうち、発光面(図面右側面)を除く三面に沿うように形成される。この参考形態では、帯状配線の厚さが25μmと100μmの場合について検討している。
図13〜図15は、本実施の形態にかかる光源装置の概略図である。配線に帯状のものを用いると放熱性は格段によくなることは上記の参考形態1〜6よりわかるが、帯状配線の幅や厚さが大きくなると半導体レーザ素子の上端面と配線の接着時に加えるエネルギーも増加する。
この参考形態では、青色半導体レーザ(波長400nm帯)を用いた照明装置について説明する。図16は、青色アレイ半導体レーザ素子を用いた照明装置の基板部分である。同図(b)は、基板の概観図であり、同図(a)は参考形態1で説明した光源単位ユニットの詳細図である。
よって、薄型で、高輝度、高強度であり且つ輝度のムラを押さえた照明装置を実現できる。また、放熱性に優れるため、大型化しても長期信頼性が低下することがない。
1a・・・レーザ素子活性層(熱源)
1b・・・レーザ素子基板部の熱抵抗
2・・・ザグリ穴
2a・・・第1の電極(金属反射膜)
3・・・光散乱粒子
4・・・シリコーン系低硬度樹脂
5・・・帯状金属配線
R5a〜R5c・・・帯状金属配線の熱抵抗
6・・・第2の電極
7・・・ワイヤ
8・・・IC
9・・・基板
10・・・レンズ
11・・・保護膜
12・・・ザグリ穴表面と外部の間の熱抵抗
13・・・外部電極と外部の間の熱抵抗
14・・・絶縁膜(帯状配線のザグリ穴側に設けられたもの)
15・・・帯状金属配線
16・・・絶縁膜
17・・・金属蒸着膜
18・・・絶縁ライン(絶縁部分)
19・・・絶縁性樹脂
20・・・導電性樹脂
21・・・蛍光体
Claims (11)
- 基板と、
前記基板表面に形成された凹状のザグリ穴と、
前記ザグリ穴の表面の少なくとも一部に設けられた金属反射膜を兼ねる第1の電極と、を備え、
前記ザグリ穴内に、前記半導体レーザ素子と、当該半導体レーザ素子の周囲に配置された光散乱媒体とが、前記半導体レーザ素子と前記第1の電極とが電気的に接続された状態で収容された半導体レーザ光源装置において、
前記基板上に第2の電極が設けられ、
前記半導体レーザ素子と、前記第2の電極とが、帯状の配線によって接続されており、
前記帯状配線材料が、導電性樹脂である、
ことを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
帯状配線の断面積が2000μm2以上であることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
前記第1の電極と、前記半導体レーザ素子とが直接接触することを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
前記帯状配線の前記ザグリ穴側の面に、絶縁膜が形成されていることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
前記第1の電極は、前記ザグリ穴表面全てに形成され、
前記第1の電極の表面の一部が絶縁膜により被覆され、当該絶縁膜上に前記帯状配線が形成されていることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
前記ザグリ穴表面であって、前記第1の電極が形成されていない部分に、前記帯状配線が形成されていることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
前記帯状配線は、複数本であり、
前記帯状配線の数に対応した数の前記第2の電極が前記基板上に形成され、
前記複数の第2の電極は、基板内部において電気的に接続されていることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1に記載の半導体レーザ光源装置において、
前記ザグリ穴の表面には、前記金属反射膜を兼ねる第1の電極と、前記第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極とを電気的に絶縁する絶縁部分と、が形成されており、
前記半導体レーザ素子が第1の電極が形成された領域上に実装されていることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 上記請求項1ないし8のいずれかに記載の半導体レーザ光源装置において、
前記導電性樹脂の厚みが、10μm以上であることを特徴とする半導体レーザ光源装置。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の半導体レーザ光源装置を用いた通信機器。
- 請求項1ないし9のいずれかに記載の半導体レーザ光源装置を用いた照明機器。
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