JP4733550B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4733550B2 JP4733550B2 JP2006098459A JP2006098459A JP4733550B2 JP 4733550 B2 JP4733550 B2 JP 4733550B2 JP 2006098459 A JP2006098459 A JP 2006098459A JP 2006098459 A JP2006098459 A JP 2006098459A JP 4733550 B2 JP4733550 B2 JP 4733550B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- cleaning
- vibration
- plate
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 title claims description 32
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 78
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 33
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
Images
Description
従来、超音波洗浄装置では、超音波振動を発生させる超音波振動素子の材質として、圧電セラミック等が用いられている。更に、超音波振動素子が発する超音波振動を洗浄装置内の洗浄液に伝達させる振動板の材質として、一般に市販されているステンレス板を用いる場合が多い。
この振動板は洗浄する対象物である被洗浄物の大きさに合わせて作られ、適当な大きさの超音波振動素子を複数枚組み合わせて、これらを振動板に貼り合わせている。
振動板の振動により、洗浄液が振動して、従来の被洗浄物に対しては、満遍なく超音波振動が照射されるように構成されていた。
例として、超音波振動素子とステンレス製の振動板との共振周波数が1MHz程度の超音波洗浄装置であれば、振動板の板厚が0.01mm変化すると、共振周波数が3KHz程度変化することが知られている。このような共振周波数のばらつきが洗浄面に対して洗浄強度のばらつきを生じさせる原因となっていることが分かっている。
従来の市販のステンレス板の購入状態で用いたとき、板厚公差が実質±7.5%程度あるので共振周波数は、±150KHz程度のばらつきが生じることがある。
ところが、年々、半導体ウエハーに代表されるように、被洗浄物の大きさが大きくなる上、回路パターンは微細化が進み高密度回路が形成されるようになり、半導体の製造過程に組み入れられる洗浄装置にもますます洗浄むらを発生させない均一な高精密の洗浄が行える洗浄装置が求められるようになってきた。
このとき各超音波振動素子と振動板との共振周波数は、超音波振動素子11での共振周波数の測定値は1055kHzであり、超音波振動素子12での共振周波数の測定値は1036kHzであり、超音波振動素子13での共振周波数の測定値は935kHzである。
従って、振動板の共振周波数のばらつきに換算すると120kHzとなる。
一般的な半導体ウエハーの洗浄には石英槽が用いられており、1MHz程度の超音波エネルギーは石英槽を透過した分が洗浄に寄与することになり、石英槽を透過できる振動周波数対超音波エネルギー透過率の理論特性曲線は、図3の特性図に示されるようなa点(振動板の厚み測定部位4aでの測定値)、b点(振動板の厚み測定部位4bでの測定値)およびc点(振動板の厚み測定部位4cでの測定値)の実測点を有し、最悪の場合、超音波エネルギー透過率は52.4%(a点)になり、半分近くの超音波エネルギーが無駄にされ、洗浄の均一性の観点からも問題視される。
そこで、超音波振動の均一性は、用いられる振動板の板厚の均一性に負うところが大ききことが分かっている。
振動板に用いられる市販されているステンレスの板は、公称板厚に対して実質的には、±7.5%程度の許容差が存在し、例として、公称板厚3mmであれば2.73mm〜3・17mmの範囲程度の板が購入され、超音波洗浄装置の振動板として組み立てられた後も、1枚の振動板の振動部位での板厚むら、購入板毎の板厚差異があり、洗浄対象物の大型化、微細化の進みに対して対応しきれない状況となってきた。
前記超音波振動体は、複数枚の平板状超音波振動素子が振動板上に並べた複合素子配置構造体を有し、
前記洗浄槽の材質が石英であり、
前記複数枚の平板状の超音波振動素子のおのおのは、所定の対象洗浄領域に対して平坦状の超音波放射特性を持つ形状を有し、
前記超音波振動の石英エネルギー透過率を80%超とするために、前記振動板の振動部位の板厚差が±3%の範囲内のものとする。
半導体ウエハーの洗浄に用いられる石英槽での超音波エネルギー透過率は、従来の20%の損失点を有するものがあったが、これを極めてゼロに近い点に集約できるものとした。
本発明を実施すれば、超音波洗浄装置が洗浄対象物の大型化、微細化の進みに対応した均一な洗浄を得ることができ、かつ、複数の超音波洗浄装置間の洗浄精度のばらつき差を低減させ、常に洗浄むらのない安定した超音波洗浄装置である。
1は1MHz程度の超音波を発振させる複数の超音波振動素子である。例示では、3つの超音波振動素子で構成されている。
2は超音波振動素子を振動板に密着させた接着部である。3は純水が溜められた外槽である。4は超音波振動素子とともに振動し、純水に振動を伝達させる洗浄槽3の一部を構成する振動板である。5は半導体ウエハーなどを収容して洗浄液に浸すための容器としての石英槽である。6は振動板の振動によって洗浄液が振動する状態を示す超音波振動であり、外槽3内に溜められた純水中を伝搬し、石英槽5の底面を透過して被洗浄物まで到達する。7は洗浄液である。8は半導体ウエハー等の被洗浄物である。9は超音波振動素子を励振させる高周波励振電源である。
外槽3内の純水に500kHz以上の超音波振動6を伝搬させるため複数の超音波振動素子1と振動板4とで超音波振動体が形成される。この超音波振動体は、複数枚の平板状超音波振動素子が振動板上に並べて接着された複合素子配置構造体を有している。
複数の超音波振動素子1のおのおのは、平板状であり、決められた対象洗浄領域に対して平坦状の超音波放射特性を持つ形状を有している。
半導体ウエハー等の被洗浄物8が石英槽5に収容されて、洗浄液7が満たされ、石英槽5が振動板4と一体化された外槽3に浸されている状態で、高周波励振電源9が超音波振動素子1を励振させ、これにともない振動板4が共振し、さらに、振動板4の振動によって外槽3内の純水が振動して、石英槽5内の洗浄液7に超音波振動6を得る。
洗浄液7の超音波振動6は、石英槽5の底面を透過して被洗浄物8の対象洗浄領域に均等に振動が当てられ、被洗浄物8の表面に付着した微細なごみを被洗浄物8から除去させる。
複数枚の平板状の超音波振動素子1が振動板4の上に並べて接着されて複合素子配置構造体に形成された超音波振動体であり、複数枚の平板状超音波振動素子1のおのおのが所定の対象洗浄領域に対して平坦状の超音波放射特性を持つ形状に形成される。
超音波振動6の周波数ばらつきを抑えて超音波振動体の全面において実質上均一な超音波放射特性が得られるように振動板4の表面を研磨して振動部位の板厚差1%以下の板厚精度に形成する。
外槽の底部を成す振動板4の板厚加工については、公称板圧3mm程度の市販ステンレス板を用いたとき、現在の機械加工技術によれば、この市販ステンレス板に対して研削・研磨加工を加えれば±0.02mm程度の精度に厚さの仕上げを行うことが可能である。
これによって振動板の各部位での板厚(d)のばらつきを±0.02mm程度以内に、また、量産したときの、各装置の振動板の板厚(d)のばらつきをも±0.02mm程度以内に抑えることの板厚の精度管理が行える。
図2は、本発明の超音波洗浄装置の超音波振動素子と振動板とが密着された平面図であり、複数の超音波振動素子(11,12,13)が1枚の振動板(4)に密着されたものである。4a’、4b’、4c’は超音波振動素子(11,12,13)に対応して振動板の厚み(図1(d))の各測定部位の例を示す。
測定部位4a’の板厚d=2.930mm、測定部位4b’の板厚d=2.960mmおよび測定部位4c’の板厚d=2.980mmであり、板厚のばらつきは最大0.05mm(厚みむら:1.7%)である。
このとき各超音波振動素子(11,12,13)と振動板との共振周波数は、超音波振動素子11での共振周波数の測定値は990kHz、超音波振動素子12での共振周波数の測定値は980kHz、超音波振動素子13での共振周波数の測定値は973kHzである。従って、振動板の共振周波数のばらつきは17kHzとなる。
現在、多くの半導体ウエハーの洗浄には石英槽が用いられており、超音波エネルギーは石英槽を透過した分が被洗浄物の洗浄に寄与することになり、石英槽を透過できる振動周波数対超音波エネルギー透過率の理論特性曲線は、図3の特性曲線に示される。
本発明での実験値として、a’点は測定部位4a’における超音波エネルギー透過率が99.6%、b’点 は測定部位4b’における超音波エネルギー透過率が99.5%およびc’点 は測定部位4c’における超音波エネルギー透過率が97.4%で示される。
この時の超音波エネルギー透過率は最悪でも97.4%であり、これであれば、ほとんど減衰なく、良好に透過し、均一な洗浄が行える。
このようにして、超音波振動の周波数ばらつきを抑えて超音波振動体の全面において実質上均一な超音波放射特性が得られるように石英エネルギー透過率が80%を超えることを最低限の条件とし、振動板の振動部位の板厚差±3%以下のものとする振動板とした。
なお、振動板の板厚の管理精度を更に向上させれば、更なる、微細加工された被洗浄物に対応させることが可能である。いずれの管理精度を選択するかは。コスト/パフォーマンスを考慮すればよい。洗浄用途の違い毎に、どれくらいの管理精度が必要であるか十分に見極めて板厚制度を±3%に条件付けたり、±1%に条件付けたり、価格と性能のトレードオフを考慮して決めればよい。
1は1MHz程度の超音波を発振させる図示してはいないが複数の超音波振動素子で構成された振動素子幅(2e)の複合された超音波振動素子である。
4は超音波振動素子とともに振動し、洗浄液に振動を伝達させる振動板である。
6は振動板の振動によって洗浄液が振動する状態を示す超音波振動であり、洗浄液溜槽内に流水となって溜められた洗浄液中を伝搬し、噴射口から洗浄液が噴出して被洗浄物まで到達する。
7は洗浄液である。
8は噴射された洗浄液が洗浄面に突き当り、移動させながら洗浄が行われる半導体ウエハー等の被洗浄物である。
10は、複合された超音波振動素子と振動板4とを内蔵させ、水圧かけられた洗浄液を注ぎ込む給液口10aと超音波振動が伴った圧力が掛けられた洗浄液を噴射させる噴射口10bが配設され、振動板4の底面から噴射口10bの内壁面までの距離(L)を有する洗浄液溜槽である。
図示してはいないが超音波振動素子を励振させる高周波励振電源を外部に有する。
半導体ウエハー等の被洗浄物8が本発明の流水型の超音波洗浄装置の洗浄溜槽10に有する噴射口10bの下部に配置されて、水圧がかけられた洗浄液7が給液口10aから注ぎ込まれた状態で、図4には図示していない高周波励振電源9は超音波振動素子1を励振させると振動板4が共振し、さらに、この振動によって洗浄液が振動して、洗浄液の超音波振動6を得る。
超音波振動6が収束距離(L)を経て収束されて、スリット状をした噴射口10bからの超音波振動6を伴う洗浄液が、被洗浄物8の対象洗浄領域に噴射して噴射口10bのスリット方向に均一な振動が当てられ、さらに被洗浄物8は矢印の方向に移動することによって、被洗浄物8の洗浄面に均等に噴射されて、被洗浄物8の表面に付着した微細なごみを被洗浄物8から除去させる。
なお、洗浄溜槽10内に配設された振動板4の板厚の精度向上の加工については、実施例1の超音波洗浄装置の振動板4の板厚を管理するための機械加工に関しての説明と同様であるのでその説明は省略する。
超音波を効率よく噴射させるために、振動素子幅に比較して狭い噴射口(スリット)にすることにより、収束させた超音波を噴射させることができる。
この超音波の収束は、振動素子の振動面の幅および振動面から噴射口までの距離を所定の値にすることにより行われる。
収束距離を求める関係式として、先ず、振動板の板厚と共振周波数との関係式を(1)式に、流水型洗浄機の収束距離Lの関係式を(2)式を示す。この関係式によって得られた各値を表1に示す。
共振周波数と集束距離の関係から得られた計算表である表1に示す値から次のことが説明できる。
板厚偏差が±7.5%の振動板(従来)では、±値それぞれの収束距離(L)の差は92.2−79.4=12.8mmとなるのに対して、本願発明のように板厚偏差が±3%であれば、収束距離(L)の差は88.4−83.2=5.2mmとなる。さらに板厚偏差が±1%であれば、収束距離(L)の差は86.7−85=1.7mmとなり、洗浄の均一性に大きく影響していることは明らかである。
2 接着部
3 外槽
4 振動板
4a、4b、4c、4a’、4b’、4c’ 振動板部位
5 石英槽
6 超音波振動
7 洗浄液
8 被洗浄物
9 高周波励振電源
10 洗浄液溜槽
10a 給液口
10b 噴射口
Claims (2)
- 洗浄液が溜められた洗浄槽と、該洗浄槽内の該洗浄液に500kHz以上の超音波振動を伝搬させるための超音波振動体とを備えた超音波洗浄装置であって、
前記超音波振動体は、複数枚の平板状超音波振動素子が振動板上に並べた複合素子配置構造体を有し、
前記複数枚の平板状の超音波振動素子のおのおのは、所定の対象洗浄領域に対して平坦状の超音波放射特性を持つ形状を有し、
前記洗浄槽の材質が石英であり、
前記超音波振動の石英エネルギー透過率を80%超とするために、前記振動板の振動部位の板厚差が±3%の範囲内のものとすることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記洗浄液が溜められた洗浄槽が流水型であることを特徴とする請求項1に記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006098459A JP4733550B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006098459A JP4733550B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 超音波洗浄装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007268448A JP2007268448A (ja) | 2007-10-18 |
JP2007268448A5 JP2007268448A5 (ja) | 2008-10-16 |
JP4733550B2 true JP4733550B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=38671796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006098459A Active JP4733550B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4733550B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102515305A (zh) * | 2012-01-18 | 2012-06-27 | 天津壹帆水务有限公司 | 超声波清洗紫外消毒装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4932818B2 (ja) * | 2008-11-26 | 2012-05-16 | 株式会社山形信越石英 | ガラス洗浄槽及び超音波洗浄装置 |
CN104137180B (zh) * | 2011-12-28 | 2017-04-05 | Hoya株式会社 | 信息记录介质用玻璃基板的制造方法 |
CN104998858B (zh) * | 2015-07-01 | 2017-06-13 | 佛山市灿东模具技术有限公司 | 用于轮毂模具粘铝清洗的装置 |
CN104998859B (zh) * | 2015-07-01 | 2017-03-01 | 佛山市灿东模具技术有限公司 | 轮毂模具粘铝清洗装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0556285U (ja) * | 1992-01-07 | 1993-07-27 | 株式会社カイジョー | 超音波洗浄装置 |
JP2003158110A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-05-30 | Alps Electric Co Ltd | ウエット処理用ノズルおよびウエット処理装置 |
JP2004249212A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Kokusai Electric Alhpa Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
-
2006
- 2006-03-31 JP JP2006098459A patent/JP4733550B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0556285U (ja) * | 1992-01-07 | 1993-07-27 | 株式会社カイジョー | 超音波洗浄装置 |
JP2003158110A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-05-30 | Alps Electric Co Ltd | ウエット処理用ノズルおよびウエット処理装置 |
JP2004249212A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Kokusai Electric Alhpa Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102515305A (zh) * | 2012-01-18 | 2012-06-27 | 天津壹帆水务有限公司 | 超声波清洗紫外消毒装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007268448A (ja) | 2007-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4733550B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
KR101384595B1 (ko) | 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 방법 | |
KR20110090120A (ko) | 초음파 세정장치 및 그 방법 | |
US20020026976A1 (en) | Ultrasonic vibrator, wet-treatment nozzle, and wet-treatment apparatus | |
JP2001313537A (ja) | 圧電素子とその製造方法 | |
JP2007044662A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
JPH0234923A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
JP2004249212A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
KR100579613B1 (ko) | 초음파세정용 노즐 및 초음파세정장치 | |
JP4533406B2 (ja) | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 | |
US8652262B2 (en) | Ultrasonic cleaning method for generating ultrasonic vibrations by a frequency modulated signal | |
KR100296228B1 (ko) | 초음파세척기용 진동자구조 | |
JP5592734B2 (ja) | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄方法 | |
KR101017104B1 (ko) | 초음파 노즐 및 이를 포함하는 기판 세정 장치 | |
JP3839527B2 (ja) | 超音波処理方法および超音波処理装置 | |
JP2011131177A (ja) | 洗浄治具 | |
KR100986586B1 (ko) | 초음파 진동자 | |
JP2007050377A (ja) | 超音波洗浄機及び周波数整合方法 | |
JP2004312286A (ja) | 圧電基板の製造方法 | |
WO1995011548A1 (fr) | Lame de quartz rectangulaire a coupe at, quartz complet, oscillateur a quartz et fabrication de cette lame de quartz | |
JP2022078147A (ja) | 超音波シャワー洗浄装置 | |
JP2022080060A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP3387520B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP2007266194A (ja) | 半導体基板の洗浄方法及びそれを用いた半導体基板の洗浄装置 | |
JP2004130248A (ja) | 超音波洗浄器、超音波洗浄器用振動板、および超音波洗浄器用超音波付与装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080901 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080901 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080901 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100908 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110422 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4733550 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |