JP4725108B2 - カラー固体撮像素子 - Google Patents
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Description
前記緑色着色層は、該基板上に形成された第1の緑色着色層と、該第1の緑色着色層上に形成され、該第1の緑色着色層の面積よりも狭い面積を有する第2の緑色着色層とを含む段差のある側端部を持つ二層構成を有し、前記青色着色層は、その側端部が該段差のある側端部と接触して形成されることにより、その上端の一部が該第1の緑色着色層上に延出した延出部を有し、該第1の緑色着色層の厚さは該第2の緑色着色層の厚さよりも薄くすることを特徴とする。
前記緑色着色層は、該基板上に形成された第1の緑色着色層と、該第1の緑色着色層上に形成され、該第1の緑色着色層の面積よりも狭い面積を有する第2の緑色着色層とからなる二層構成を有し、前記青色着色層は、その側端部が該第1の緑色着色層の側端部と接触し、かつ該第2の緑色着色層の側端部と間隔をおいて形成され、該第1の緑色着色層の厚さは該第2の緑色着色層の厚さよりも薄くすることを特徴とする。
れにくい場合には、第2の平坦化層18上に、各光電変換素子15R、15G、15Bに対応した図示しないマイクロレンズを形成することもできる。
キノン系染料、ニトロソ系染料、ニトロ系染料、アゾ系染料(即ち、モノアゾ系染料、ジ
アゾ系染料、トリアゾ系染料、ポリアゾ系染料等)、アゾイック系染料、スチルベン系染
料、カロテノイド系染料、ジフェニルメタン系染料、トリアリルメタン系染料、キサンテ
ン系染料、アクリジン系染料、キノリン系染料、メチン系染料、ポリメチン系染料、チア
ゾール系染料、インダミン系染料、インドフェノール系染料、アジン系染料、オキサジン
系染料、チアジン系染料、サルファー系染料、ラクトン系染料、アミノケトン系染料、ヒ
ドロキシケトン系染料、インジゴイド系染料、フタロシアニン系染料、天然有機色素物、
酸化物系、無機色素物系等から適宜選択して使用することができる。また重合可能な官能
基を持たない染料には官能基を導入して使用することができる。
実施例1
本発明の第1の観点に係るカラー固体撮像素子として、図1及び図2に示すカラー固体撮像素子の顔料分散法を用いた製造方法の一例について説明する。
アクリル樹脂溶液…40部
分散液…1部
シクロヘキサノン…48部
に、着色剤として以下の顔料を分散させ、ロールミルで混練して緑色分散体を得た。
C. I. Pigment Yellow 139…2部
(2)緑色レジストの調製
このようにして調製した緑色分散体と、さらに以下の材料を混ぜ合わせ、第1及び第2の緑色レジスト層となる緑色レジストを得た。
アクリル樹脂…14部
アクリルモノマー…4.15部
開始剤…0.7部
増感剤…0.4部
シクロヘキサノン…27部
PGMAC(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)…10.9部
(1)青色分散体の調製
アクリル樹脂溶液…40部
分散液…1部
シクロヘキサノン…48部
に、着色剤として以下の顔料を分散させ、ロールミルで混練して青色分散体を得た。
C.I.Pigment Violet 23…1部
(2)青色レジストの調製
このようにして調製した青色分散体と、さらに以下の材料を混ぜ合わせ、青色レジスト層となる青色レジストを得た。
アクリル樹脂…14部
アクリルモノマー…4.15部
開始剤…0.7部
増感剤…0.4部
シクロヘキサノン…27部
PGMAC…10.9部
(1)赤色分散体の調製
アクリル樹脂溶液…40部
分散液…1部
シクロヘキサノン…48部
に、着色剤として以下の顔料を分散させ、ロールミルで混練して赤色分散体を得た。
C.I.Pigment RED 177…0.5部
C.I.Pigment Yellow 139…2部
(2)赤色レジストの調製
このようにして調製した赤色分散体と、さらに以下の材料を混ぜ合わせ、赤色レジスト層となる赤色レジストを得た。
アクリル樹脂…14部
アクリルモノマー…4.15部
開始剤…0.7部
増感剤…0.4部
シクロヘキサノン…27部
PGMAC…10.9部
次いで、緑色レジストをスピンコート法により約1μmの厚さで塗布し、第1の緑色レジスト層を形成した。
ジスト層を熱硬化することにより、厚さ1μm、幅10μmのストライプ状の第1の緑色着色層と、第1の緑色着色層の両側に8μm間隔をあけて、厚さ1μm、幅5μmのストライプ状の第1の額縁パターンを形成した。
図4及び図5に示すカラー固体撮像素子の顔料分散法を用いた製造方法について、説明する。
ジスト層を熱硬化することにより、図4の22に示すような配列で、第1の緑色着色層を形成した。
緑色着色層を2層構成にしないこと以外は実施例1と同様にし、次のように、緑色レジスト層を塗布、露光、及び現像した。まず、実施例1と同様の緑色顔料を含む緑色レジスト層をスピンコート法により約2.5μmの厚さで塗布形成した。続いて、80℃のホットプレート上で1分間プリベークした後、ニコン社製i線ステッパーを使用して、上記第1の実施例と同様のマスクを介し2000mJ/cm2の露光量を照射した。次いで、TMAHを主成分とする有機アルカリ水溶液の現像液によって1分スプレー現像した後、純水リンス、スピン乾燥させた。
比較例1の露光量を2000mJ/cm2以上の通常のステッパ装置の限界まで上げて照射する以外は比較例1と同様にした。現像後の緑色着色層を観察したが、緑色着色層は部分的に形成されているだけで、そのほとんどは剥離していた。2000mJ/cm2を超える露光量の照射によっても硬化が不十分な部分が発生するためと考えられる。
比較例1の現像時間を比較例1における1分から30秒に短縮し、現像後の緑色着色層を観察した。緑色着色層はパターニングできているものの、目視で平坦化層が着色しているのが観察できる程残さが多く、また、緑色着色層のエッジ底部にシミが発生していた。現像時間が短いため、緑色のカラーレジストの除去が十分に行われないためと考えられる。
Claims (2)
- 複数の光電変換素子が配置された基板上に、該複数の光電変換素子にそれぞれ対応して互いに隣接して形成された、赤色、緑色、および青色着色層を有するカラーフィルターが設けられ、該カラーフィルターはi線を露光源とするリソグラフィーにより形成されたカラー固体撮像素子において、
前記緑色着色層は、該基板上に形成された第1の緑色着色層と、該第1の緑色着色層上に形成され、該第1の緑色着色層の面積よりも狭い面積を有する第2の緑色着色層とを含む段差のある側端部を持つ二層構成を有し、前記青色着色層は、その側端部が該段差のある側端部と接触して形成されることにより、その上端の一部が該第1の緑色着色層上に延出した延出部を有し、該第1の緑色着色層の厚さは該第2の緑色着色層の厚さよりも薄くすることを特徴とするカラー固体撮像素子。 - 複数の光電変換素子が配置された基板上に、該複数の光電変換素子にそれぞれ対応して互いに隣接して形成された、赤色、緑色、および青色着色層を有するカラーフィルターが設けられ、該カラーフィルターはi線を露光源とするリソグラフィーにより形成されたカラー固体撮像素子において、
前記緑色着色層は、該基板上に形成された第1の緑色着色層と、該第1の緑色着色層上に形成され、該第1の緑色着色層の面積よりも狭い面積を有する第2の緑色着色層とからなる二層構成を有し、前記青色着色層は、その側端部が該第1の緑色着色層の側端部と接触し、かつ該第2の緑色着色層の側端部と間隔をおいて形成され、該第1の緑色着色層の厚さは該第2の緑色着色層の厚さよりも薄くすることを特徴とするカラー固体撮像素子。
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