JP4720374B2 - Optical module - Google Patents

Optical module Download PDF

Info

Publication number
JP4720374B2
JP4720374B2 JP2005244629A JP2005244629A JP4720374B2 JP 4720374 B2 JP4720374 B2 JP 4720374B2 JP 2005244629 A JP2005244629 A JP 2005244629A JP 2005244629 A JP2005244629 A JP 2005244629A JP 4720374 B2 JP4720374 B2 JP 4720374B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical element
waveguide substrate
core
optical waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005244629A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007004101A (en
Inventor
信行 朝日
卓也 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2005244629A priority Critical patent/JP4720374B2/en
Publication of JP2007004101A publication Critical patent/JP2007004101A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4720374B2 publication Critical patent/JP4720374B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

本発明は、光モジュールに関する。   The present invention relates to an optical module.

従来、図18に示すように、光モジュール8は、光素子5と、この光素子5と光学的に結合する光導波路基板3と、光素子5と光導波路基板3とを実装する配線基板7とを備えている。光導波路基板3は、光を導波するコア2がクラッド1a,1bの内部に構成されている。光導波路基板3を支持する基板4には、光素子5と光導波路基板3とを低損失で光学的に結合させるために、ヒートシンク6に埋め込まれた光素子5の位置決めを行うための段差または溝からなる位置決め部4aが設けられている。具体的には、位置決め部4aは、光素子5の光軸中心と光入出力部2aにおけるコア2の光軸中心とが一致する位置に、基板4を介して光導波路基板3を位置決めするものである(特許文献1参照)。
特開2004−233687号公報
Conventionally, as shown in FIG. 18, an optical module 8 includes an optical element 5, an optical waveguide substrate 3 optically coupled to the optical element 5, and a wiring substrate 7 on which the optical element 5 and the optical waveguide substrate 3 are mounted. And. The optical waveguide substrate 3 includes a core 2 that guides light inside clads 1a and 1b. In order to optically couple the optical element 5 and the optical waveguide substrate 3 with low loss, a step for positioning the optical element 5 embedded in the heat sink 6 is provided on the substrate 4 that supports the optical waveguide substrate 3. A positioning portion 4a made of a groove is provided. Specifically, the positioning unit 4a positions the optical waveguide substrate 3 through the substrate 4 at a position where the optical axis center of the optical element 5 coincides with the optical axis center of the core 2 in the light input / output unit 2a. (See Patent Document 1).
JP 2004-233687 A

しかしながら、前記背景技術では、光導波路基板3と光素子5との位置決めは、光素子5が埋め込まれたヒートシンク6と基板4の位置決め部4aとの間で行うために、光素子5をヒートシンク6に埋め込む際に位置ずれが生じると、光素子5とコア2との光軸中心にずれが発生する。   However, in the background art, the positioning of the optical waveguide substrate 3 and the optical element 5 is performed between the heat sink 6 in which the optical element 5 is embedded and the positioning portion 4a of the substrate 4. If a positional shift occurs during embedding, the optical axis center between the optical element 5 and the core 2 is shifted.

また、基板4の位置決め部4aは、後加工で形成されるので、位置決めの精度は加工精度が大きく影響するため、高精度の位置決めが期待できない。   In addition, since the positioning portion 4a of the substrate 4 is formed by post-processing, high-precision positioning cannot be expected because the processing accuracy greatly affects the positioning accuracy.

さらに、基板4の位置決め部4aは、段差または溝であるために、光素子5の発熱あるいは周辺温度変化に対して位置ずれが生じやすい。特に、光素子5がガラス等のヒートシンク6に埋め込まれているので、温度変化に対して、線膨張係数の差から位置ずれが生じやすい。   Further, since the positioning portion 4a of the substrate 4 is a step or a groove, a positional shift is likely to occur due to heat generation of the optical element 5 or a change in ambient temperature. In particular, since the optical element 5 is embedded in a heat sink 6 such as glass, a positional shift is likely to occur due to a difference in linear expansion coefficient with respect to a temperature change.

本発明は、前記問題を解消するためになされたもので、光素子と光導波路基板のコアとの光軸中心を高精度で位置決めできる光モジュールを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an optical module capable of positioning the optical axis center between the optical element and the core of the optical waveguide substrate with high accuracy.

前記課題を解決するために、本発明の光モジュールは、発光部または受光部を有する光素子と、この光素子と光学的に結合する光導波路基板と、前記光素子が実装され、前記光導波路基板と接合される配線基板とを備えた光モジュールであって、前記光素子は、四角形状であり、配線基板上に実装され、前記光導波路基板は、コアと、コアを内部に構成するクラッドとを備え、コアの延在方向の一端部のクラッドの端部は、45度でカットして、90度反射のミラー部を形成して、前記光導波路基板は、光素子の発光部または受光部の光軸中心と、ミラー部で90度反射されたコアの光軸中心とを一致させるように、光素子の上にセットするとともに、前記光導波路基板のクラッドの下部に、四角形状である光素子の対向する端部に直接嵌合して係合する凹部である位置決め部を一体形成して、この位置決め部により、光素子が発光または受光する方向と直交する一方向で位置決めを行うことを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, an optical module of the present invention includes an optical element having a light emitting part or a light receiving part, an optical waveguide substrate optically coupled to the optical element, and the optical element mounted thereon. An optical module including a wiring board to be bonded to a board, wherein the optical element is rectangular and mounted on the wiring board, and the optical waveguide board includes a core and a clad that constitutes the core inside. The end of the clad at one end in the extending direction of the core is cut at 45 degrees to form a mirror section reflecting at 90 degrees, and the optical waveguide substrate is a light emitting section or a light receiving section of an optical element. The center of the optical axis is set on the optical element so that the center of the optical axis of the core reflected by 90 degrees on the mirror part coincides, and the lower part of the clad of the optical waveguide substrate has a rectangular shape. Fitting directly to the opposite end of the optical element Integrally forming a positioning portion is a recess that engages Te, by the positioning unit, in which the optical device is characterized in that for positioning in one direction perpendicular to the direction in which the light-emitting or receiving.

光素子と光導波路基板との光結合効率を向上させるために、前記コアは、光入出力部を備え、この光入出力部から光素子の近傍まで延在する延在コアを設けた構成とすることが好ましい。   In order to improve the optical coupling efficiency between the optical element and the optical waveguide substrate, the core includes an optical input / output unit, and an extended core extending from the optical input / output unit to the vicinity of the optical element is provided. It is preferable to do.

光素子と光導波路基板との光結合効率を向上させるために、前記光素子と光導波路基板とは、光素子を封止する封止剤を利用して直接接合する構成とすることが好ましい。   In order to improve the optical coupling efficiency between the optical element and the optical waveguide substrate, it is preferable that the optical element and the optical waveguide substrate are directly bonded using a sealing agent that seals the optical element.

光導波路基板の取り扱いを容易にするために、前記光導波路基板は、フレキシブルなフィルム状である構成とすることが好ましい。   In order to facilitate handling of the optical waveguide substrate, the optical waveguide substrate is preferably configured to be a flexible film.

光結合効率を向上させるために、前記光導波路基板の光素子と反対側の端部に、他の光導波路基板を接続するときに、この反対側の端部にコネクタ部を一体成形するとともに、他の光導波路基板の端部にコネクタ部を一体成形して、両光導波路基板のコアの光軸中心が一致するように各コネクタを結合する構成とすることが好ましい。   In order to improve the optical coupling efficiency, when another optical waveguide substrate is connected to the end of the optical waveguide substrate opposite to the optical element, a connector portion is integrally formed at the opposite end, It is preferable that the connector portion is integrally formed at the end portion of the other optical waveguide substrate, and the connectors are coupled so that the optical axis centers of the cores of both optical waveguide substrates coincide.

光結合効率を向上させるために、前記光導波路基板の光素子と反対側の端部に、他の光素子を接続するときに、前記光導波路基板に、前記他の光素子と直接係合する位置決め部を一体形成するとともに、光素子と他の光素子との間を少なくとも1本のコアで接続する構成とすることが好ましい。   In order to improve the optical coupling efficiency, when another optical element is connected to the end of the optical waveguide substrate opposite to the optical element, the optical waveguide substrate is directly engaged with the other optical element. It is preferable that the positioning portion is integrally formed and at least one core connects between the optical element and another optical element.

位置ずれが発生しても光結合効率の低下を抑制するために、前記位置決め部は、前記光素子が発光または受光する方向と直交する一方向で位置決めを行うものであり、前記コアを、前記光素子に近づくに連れて前記一方向と略直交する方向の寸法が大きくなるような形状にすることが好ましい。   In order to suppress a decrease in optical coupling efficiency even if a positional deviation occurs, the positioning unit performs positioning in one direction orthogonal to the direction in which the optical element emits light or receives light, and the core is It is preferable to make the shape such that the dimension in the direction substantially perpendicular to the one direction increases as the optical element is approached.

本発明によれば、光導波路基板のクラッドの凹部である位置決め部を、配線基板上に実装された四角形状の光素子の対向する端部に直接係合(嵌合)させるようにセットするだけで、この位置決め部により、光素子が発光または受光する方向と直交する一方向で位置決めを行うことができるから、光素子の発光部または受光部の光軸中心とコアの光軸中心とを一致させて、高精度で位置決めできるようになるので、光素子と光導波路基板との光結合効率が向上するようになる。 According to the present invention, the positioning portion, which is the concave portion of the clad of the optical waveguide substrate, is only set so as to be directly engaged (fitted) with the opposing end portions of the rectangular optical element mounted on the wiring substrate. in, this positioning part, because the optical element can be positioned in one direction perpendicular to the direction in which the light-emitting or receiving, coincide with the center of the optical axis of the optical axis center and the core of the light-emitting portion or the light receiving portion of the optical element As a result, positioning can be performed with high accuracy, so that the optical coupling efficiency between the optical element and the optical waveguide substrate is improved.

以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、第1実施形態の光モジュール10Aであり、(a)は側面図、(b)は平面図である。図2は、光素子12と光導波路基板15であり、(a)は分解状態の斜視図、(b)は結合状態の斜視図である。   1A and 1B show an optical module 10A according to the first embodiment, where FIG. 1A is a side view and FIG. 1B is a plan view. 2A and 2B show the optical element 12 and the optical waveguide substrate 15, wherein FIG. 2A is a perspective view in an exploded state and FIG. 2B is a perspective view in a combined state.

光モジュール10Aは、光素子12と光導波路基板15とプリント配線基板11とを備えて構成されている(後述の実施形態に係る各光モジュールでも同様。)。   The optical module 10 </ b> A includes an optical element 12, an optical waveguide substrate 15, and a printed wiring board 11 (the same applies to each optical module according to an embodiment described later).

プリント配線基板11上の所定位置に実装される光素子12は、例えば、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)である。このVCSELは、例えば、外径寸法が0.27×0.22mm、高さ0.185mm、発光エリアが15μmφで、発振波長が850nmである。   The optical element 12 mounted at a predetermined position on the printed wiring board 11 is, for example, a VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser). This VCSEL has, for example, an outer diameter of 0.27 × 0.22 mm, a height of 0.185 mm, a light emitting area of 15 μmφ, and an oscillation wavelength of 850 nm.

光素子12のボンディングパッド12aは、プリント配線基板11上の電気配線11aにワイヤーボンディング13で電気的に接続されている。   The bonding pad 12 a of the optical element 12 is electrically connected to the electric wiring 11 a on the printed wiring board 11 by wire bonding 13.

光導波路基板15は、コア16とクラッド17とを備え、ミラー部15aと位置決め部15bとが形成されている。光を導波するコア16は、クラッド17の内部に構成されている。コア16の屈折率は、例えば1.53、クラッド17の屈折率は、例えば1.51である。   The optical waveguide substrate 15 includes a core 16 and a clad 17, and a mirror portion 15a and a positioning portion 15b are formed. The core 16 that guides light is formed inside the clad 17. The refractive index of the core 16 is 1.53, for example, and the refractive index of the clad 17 is 1.51, for example.

コア16は、例えば40μm□である。クラッド17の厚みは、例えば光素子12に近い下部分が20μm、上部分が40μmである。光導波路基板15の幅は例えば200μmである。このように、光導波路基板15の厚みが薄いと、フレキシブルなフィルム状になるので、曲げることも可能となる。   The core 16 is, for example, 40 μm □. The thickness of the clad 17 is, for example, 20 μm at the lower part close to the optical element 12 and 40 μm at the upper part. The width of the optical waveguide substrate 15 is, for example, 200 μm. Thus, when the thickness of the optical waveguide substrate 15 is thin, it becomes a flexible film and can be bent.

コア16の延在方向の一端部(図1では左端部)のクラッド17の端部は、45度でカットして、90度反射のミラー部15aを形成している。このカット面に金属膜や誘電体膜をコートして反射率を向上させている。   The end of the clad 17 at one end in the extending direction of the core 16 (left end in FIG. 1) is cut at 45 degrees to form a mirror portion 15a reflecting 90 degrees. The cut surface is coated with a metal film or a dielectric film to improve the reflectance.

光素子12の発光部12b〔図2(a)参照〕の光軸中心と、ミラー部15aで90度反射されたコア16の光軸中心とを一致させるように、光素子12の上に光導波路基板15をセットすると、光素子12と光導波路基板15とが光学的に結合されるようになる。そして、発光部12bから真上に発光された光は、矢印で示すように、ミラー部15aで90度方向に反射されて、コア16内をコア16の延在方向の他端部(図1では右端部)の方向に伝搬されるようになる。   The optical axis center of the light emitting part 12b of the optical element 12 (see FIG. 2A) and the optical axis center of the core 16 reflected by 90 degrees on the mirror part 15a are aligned on the optical element 12. When the waveguide substrate 15 is set, the optical element 12 and the optical waveguide substrate 15 are optically coupled. The light emitted right above the light emitting portion 12b is reflected by the mirror portion 15a in the 90-degree direction as indicated by an arrow, and the other end portion in the core 16 extending direction in the core 16 (FIG. 1). Then, it is propagated in the direction of the right end).

ここで、発光部12bの光軸中心とコア16の光軸中心とを一致させるために、クラッド17の下部には、光素子12と直接係合する位置決め部15bを一体形成している。この位置決め部15bは、四角形状の光素子12の対向する端部12c,12dに直接係合(嵌合)する凹部である。すなわち、位置決め部15bは、光素子12が発光する方向と直交する一方向(本実施形態ではコア16の延在方向)で位置決めを行うものである。   Here, in order to make the optical axis center of the light emitting part 12 b coincide with the optical axis center of the core 16, a positioning part 15 b that is directly engaged with the optical element 12 is integrally formed under the cladding 17. The positioning portion 15b is a recess that directly engages (fits) the opposing end portions 12c and 12d of the rectangular optical element 12. That is, the positioning portion 15b performs positioning in one direction (in this embodiment, the extending direction of the core 16) orthogonal to the direction in which the optical element 12 emits light.

そして、光導波路基板15のクラッド17の凹部である位置決め部15bを、プリント配線基板11上に実装された四角形状の光素子12の対向する端部12c,12dに直接係合(嵌合)させるようにセットするだけで、この位置決め部15bにより、光素子12が発光する方向と直交する一方向で位置決めを行うことができるから、光素子12の発光部12bの光軸中心とコア16の光軸中心とを一致させて、高精度で位置決めできるようになるので、光素子12と光導波路基板15との光結合効率が向上するようになる。 And the positioning part 15b which is the recessed part of the clad | crud 17 of the optical waveguide board | substrate 15 is directly engaged (fitted) with the edge parts 12c and 12d which the square-shaped optical element 12 mounted on the printed wiring board 11 opposes. Since the positioning unit 15b can be positioned in one direction orthogonal to the direction in which the optical element 12 emits light, the center of the optical axis of the light emitting unit 12b of the optical element 12 and the light of the core 16 can be obtained. and it is matched with the axial center, so it becomes possible to position with high accuracy, the optical coupling efficiency between the optical element 12 and the optical waveguide substrate 15 is improved.

光導波路基板15は、フレキシブルなフィルム状であるので、光導波路基板15の取り扱いが容易になる。すなわち、プリント配線基板11上にある他の実装部品と干渉することなく光導波路基板15を光素子12に実装することが可能となる。   Since the optical waveguide substrate 15 is a flexible film, the optical waveguide substrate 15 can be easily handled. In other words, the optical waveguide substrate 15 can be mounted on the optical element 12 without interfering with other mounting components on the printed wiring board 11.

図3は、第1実施形態の変形例の光モジュール10A´の側面図であり、光導波路基板15の上下を逆にしてプリント配線基板11上にセットしたものである。この場合、光素子12は、プリント配線基板11上の電気配線11aにバンプ18等で電気的に接続すれば良い。   FIG. 3 is a side view of an optical module 10A ′ according to a modification of the first embodiment, and is set on the printed wiring board 11 with the optical waveguide board 15 turned upside down. In this case, the optical element 12 may be electrically connected to the electric wiring 11a on the printed wiring board 11 by the bump 18 or the like.

各光モジュール10A,10A´において、光素子12は、プリント配線基板11に実装した後に、信頼性を確保する目的で封止剤で封止するのが一般的である(後述の実施形態に係る光モジュールでも同様。)。この封止剤は、光学的特性も求められるが、光が伝搬される距離は数百μmレベルであるので、光学特性が極端に悪くなければ、この封止剤を利用して、光素子12と光導波路基板15とを直接接合すると、光素子12と光導波路基板15との光結合効率が向上するようになる。   In each of the optical modules 10A and 10A ′, the optical element 12 is generally sealed with a sealant for the purpose of ensuring reliability after being mounted on the printed wiring board 11 (according to embodiments described later). The same applies to optical modules.) This sealant is also required to have optical characteristics. However, since the distance through which light is propagated is on the order of several hundred μm, if the optical characteristics are not extremely bad, the optical element 12 can be obtained using this sealant. When the optical waveguide substrate 15 and the optical waveguide substrate 15 are directly joined, the optical coupling efficiency between the optical element 12 and the optical waveguide substrate 15 is improved.

次に、第1実施形態の光モジュール10Aの製造方法を図4および図5を用いて説明する。なお、クラッド17に使用する樹脂(例えば、エポキシ系樹脂やフッ素ポリイミド樹脂)によって、用いるベース基板20(A,B)が異なるので、光硬化性樹脂使用の場合と、熱硬化性樹脂使用の場合とに分けて説明する。   Next, a method for manufacturing the optical module 10A of the first embodiment will be described with reference to FIGS. Since the base substrate 20 (A, B) to be used differs depending on the resin used for the clad 17 (for example, epoxy resin or fluorine polyimide resin), the case of using a photocurable resin and the case of using a thermosetting resin This will be explained separately.

(光硬化性樹脂使用の場合)
ベース基板20(A,B)には平面性と透明性とが要求されるので、鏡面加工した石英ガラスを用いるのが好ましい。また、クラッド17の樹脂の種類は、制御する光信号の波長により選択する必要があり、例えば600〜1000μmの波長では、エポキシ樹脂を用い、例えば1300〜1600μmでは、シロキサン樹脂を用いることが好ましい。
(When using photo-curing resin)
Since the base substrate 20 (A, B) is required to have flatness and transparency, it is preferable to use mirror-finished quartz glass. Moreover, it is necessary to select the resin type of the clad 17 according to the wavelength of the optical signal to be controlled. For example, an epoxy resin is used at a wavelength of 600 to 1000 μm, and a siloxane resin is preferably used at 1300 to 1600 μm.

(1)図4(a)のように、下ベース基板20A上に下部のクラッド17用の樹脂を塗布する。   (1) As shown in FIG. 4A, a resin for the lower clad 17 is applied on the lower base substrate 20A.

(2)図4(b)のように、コア16の溝パターン21aが形成された成形用型21を下部のクラッド17用の樹脂に押付けて、この状態で下ベース基板20A側から紫外線を例えば30mW/cmの強度で10分間照射して、下部のクラッド17用の樹脂を硬化させ、その後、成形用型21を離型させる。なお、使用する樹脂によっては、下部のクラッド17とコア16と上部のクラッド17の各層間で密着性が問題となることがある。この層間での剥離発生を抑制するために、各樹脂の硬化後にプラズマ処理を行って、各層間の密着性を向上させる方法をとることが好ましい。プラズマの条件として、例えば、樹脂表面を荒らさない程度で、例えばAr雰囲気中、10Pa、100W、90秒の条件が適当である。 (2) As shown in FIG. 4B, the molding die 21 in which the groove pattern 21a of the core 16 is formed is pressed against the resin for the lower clad 17, and in this state, ultraviolet rays are emitted from the lower base substrate 20A side, for example. The resin for the lower clad 17 is cured by irradiation for 10 minutes with an intensity of 30 mW / cm 2 , and then the molding die 21 is released. Depending on the resin used, adhesion between the lower clad 17, the core 16, and the upper clad 17 may become a problem. In order to suppress the occurrence of delamination between the layers, it is preferable to take a method of improving the adhesion between the respective layers by performing plasma treatment after curing of each resin. As the plasma conditions, for example, the conditions of 10 Pa, 100 W, and 90 seconds in an Ar atmosphere are appropriate so as not to roughen the resin surface.

(3)図4(c)のように、下部のクラッド17に形成されたコア16の溝パターン内に、コア16用の樹脂を充填して、ブレード22で過剰樹脂をスキージングにより排出した後に、前記(2)の工程と同条件で下ベース基板20A側から紫外線を照射して、コア16用の樹脂を硬化させる。   (3) After filling the resin for the core 16 into the groove pattern of the core 16 formed in the lower clad 17 and discharging the excess resin by squeezing with the blade 22 as shown in FIG. The resin for the core 16 is cured by irradiating ultraviolet rays from the lower base substrate 20A side under the same conditions as in the step (2).

(4)図4(d)のように、下部のクラッド17の上に、上部のクラッド17用の樹脂を塗布した後に、上部のクラッド17用の樹脂に上ベース基板20Bを押し当てた状態で、前記(2)の工程と同条件で上ベース基板20B側から紫外線を照射して、上部のクラッド17用の樹脂を硬化させる。   (4) As shown in FIG. 4D, after the resin for the upper clad 17 is applied on the lower clad 17, the upper base substrate 20B is pressed against the resin for the upper clad 17 The resin for the upper clad 17 is cured by irradiating ultraviolet rays from the upper base substrate 20B side under the same conditions as in the step (2).

(5)図5(a)のように、上下のベース基板20A,20Bを下部のクラッド17と上部のクラッド17とから剥離させて、ミラー部15aや位置決め部15b等の形状を切削加工と研磨により機械加工する。また、ミラー部15aに金属膜や誘電体膜をコートする。   (5) As shown in FIG. 5A, the upper and lower base substrates 20A and 20B are separated from the lower clad 17 and the upper clad 17, and the shapes of the mirror portion 15a, the positioning portion 15b, etc. are cut and polished. Machining with Further, a metal film or a dielectric film is coated on the mirror portion 15a.

(6)図5(b)のように、プリント配線基板11に光素子12を実装する。実装は、例えばダイボンディングとワイヤーボンディングとで行う。   (6) The optical element 12 is mounted on the printed circuit board 11 as shown in FIG. Mounting is performed by, for example, die bonding and wire bonding.

(7)図5(c)のように、プリント配線基板11に実装された光素子12に、前記(5)の工程で製造した光導波路基板15をセットする。この光素子12と光導波路基板15とは、光学接着剤を用いて接着するか、前述した光素子12の封止剤を兼ねた樹脂を接着剤代わりとして接着する。なお、光学接着剤もエポキシ樹脂の光硬化性接着剤を使用することが好ましく、その屈折率をクラッド樹脂に合わせることが好ましい。   (7) As shown in FIG. 5C, the optical waveguide substrate 15 manufactured in the step (5) is set on the optical element 12 mounted on the printed wiring board 11. The optical element 12 and the optical waveguide substrate 15 are bonded using an optical adhesive, or the resin serving as the sealing agent of the optical element 12 described above is bonded instead of the adhesive. In addition, it is preferable to use the photocurable adhesive agent of an epoxy resin as an optical adhesive agent, and it is preferable to match | combine the refractive index with clad resin.

(熱硬化性樹脂使用の場合)
ベース基板には、透明性が要求されないので、鏡面加工したシリコン基板を用いるのが好ましい。なお、樹脂材料や光導波路基板の厚み等は、前記光硬化性樹脂使用の場合と同じである。前記(1)の工程は同じである。前記(2)の工程において、コア16の溝パターンが形成された成形用型21を下部のクラッド17用の樹脂に押付けた状態で、例えば100℃、1時間オーブン中で加熱して、下部のクラッド17用の樹脂を硬化させ、その後、成形用型21を離型させる。
(When using thermosetting resin)
Since the base substrate is not required to be transparent, it is preferable to use a mirror-finished silicon substrate. The thickness of the resin material and the optical waveguide substrate is the same as in the case of using the photocurable resin. The step (1) is the same. In the step (2), the molding die 21 in which the groove pattern of the core 16 is formed is pressed against the resin for the lower clad 17 and heated in an oven at 100 ° C. for 1 hour, for example. The resin for the clad 17 is cured, and then the molding die 21 is released.

前記(3)の工程において、下部のクラッド17に形成されたコア16の溝パターン内に、コア16用の樹脂を充填して、ブレード22で過剰樹脂をスキージングにより排出した後に、例えば100℃、1時間オーブン中で加熱して、コア16用の樹脂を硬化させる。   In the step (3), the resin for the core 16 is filled in the groove pattern of the core 16 formed in the lower clad 17, and excess resin is discharged by squeezing with the blade 22. The resin for the core 16 is cured by heating in an oven for 1 hour.

前記(4)の工程において、下部のクラッド17の上に、上部のクラッド17用の樹脂を塗布した後に、上部のクラッド17用の樹脂に上ベース基板20Bを押し当てた状態で、例えば100℃、1時間オーブン中で加熱して、上部のクラッド17用の樹脂を硬化させる。前記(5)〜(7)の工程は同じである。   In the step (4), after the resin for the upper clad 17 is applied on the lower clad 17, the upper base substrate 20B is pressed against the resin for the upper clad 17 and, for example, 100 ° C. Heat in an oven for 1 hour to cure the resin for the upper clad 17. The steps (5) to (7) are the same.

光素子12と光導波路基板15とを光学的に結合させる光モジュール10Aの製造方法をまとめると、成形用型21を用いて下部のクラッド17とともに、下部のクラッド17にコア16用の溝を形成する工程と、このコア16用の溝でコア16を形成する工程と、コア16の上に上部のクラッド17を形成する工程と、端面加工をしてミラー部15aを形成する工程と、下部のクラッド17を加工して位置決め部15bを形成する工程と、位置決め部15bに光素子12を接合するように、光素子12と光導波路基板15とプリント配線基板11とを接合する工程とを含むものである。   When the manufacturing method of the optical module 10A for optically coupling the optical element 12 and the optical waveguide substrate 15 is summarized, a groove for the core 16 is formed in the lower clad 17 together with the lower clad 17 using the molding die 21. A step of forming the core 16 with the groove for the core 16, a step of forming the upper clad 17 on the core 16, a step of forming an end face to form the mirror portion 15a, It includes a step of forming the positioning portion 15b by processing the clad 17, and a step of bonding the optical element 12, the optical waveguide substrate 15 and the printed wiring board 11 so as to bond the optical element 12 to the positioning portion 15b. .

なお、最後の工程は、光導波路基板15と光素子12とを予め接合した後に、プリント配線基板11と接合する方法、光導波路基板15とプリント配線基板11とを予め接合した後に、光素子12を接合する方法、光素子12とプリント配線基板11とを予め接合した後に、光導波路基板15を接合する方法のいずれであっても良い。   The last step is a method of joining the optical waveguide substrate 15 and the optical element 12 in advance and then joining to the printed wiring board 11, and the optical element 12 after joining the optical waveguide substrate 15 and the printed wiring board 11 in advance. Any of a method of bonding the optical waveguide substrate 15 after the optical element 12 and the printed wiring board 11 are bonded in advance may be used.

図6は、第2実施形態の光モジュール10Bの側面図である。第1実施形態の光モジュール10Aと相違するのは、光入出力部16aから光素子12の近傍まで延在する延在コア16´を設けたことである。   FIG. 6 is a side view of the optical module 10B of the second embodiment. The difference from the optical module 10 </ b> A of the first embodiment is that an extended core 16 ′ extending from the light input / output unit 16 a to the vicinity of the optical element 12 is provided.

すなわち、第1実施形態の光モジュール10Aのように、ミラー部15aと光素子12との間が下部のクラッド17だけであると、下部のクラッド17中で光が広がって、光結合効率が低下する。そこで、光入出力部16aから光素子12の近傍まで延在する延在コア16´を設けることで、下部のクラッド17中で光が広がらないので、光素子12と光導波路基板15との光結合効率が向上するようになる。   That is, as in the optical module 10A of the first embodiment, when only the lower clad 17 is between the mirror portion 15a and the optical element 12, light spreads in the lower clad 17 and the optical coupling efficiency is lowered. To do. Therefore, by providing the extended core 16 ′ extending from the light input / output unit 16 a to the vicinity of the optical element 12, light does not spread in the lower clad 17, so that the light between the optical element 12 and the optical waveguide substrate 15 can be reduced. The coupling efficiency is improved.

第2実施形態の光モジュール10Bの製造方法は、第1実施形態の光モジュール10Aの製造方法と同じであるが、前記(2)の工程の成形用型21には、図8(a)のように、コア16の溝パターン21aと延在コア16´の穴パターン21bとがそれぞれ形成されている。   The manufacturing method of the optical module 10B of the second embodiment is the same as the manufacturing method of the optical module 10A of the first embodiment. However, the molding die 21 in the step (2) includes a molding die 21 shown in FIG. Thus, the groove pattern 21a of the core 16 and the hole pattern 21b of the extended core 16 ′ are formed, respectively.

また、前記(3)の工程で、特に延在コア16´の穴パターンに樹脂を充填する際は、気泡が入らないように時間をかけることが好ましい〔図8(b)参照〕。場合によっては、樹脂を塗布した後、真空チャンバー内で脱泡しても良い。前記(4)の工程は、図8(c)に示し、前記(5)の工程は、図8(d)に示す。前記(6)(7)の工程は同じである。   Further, in the step (3), when filling the hole pattern of the extended core 16 'with resin, it is preferable to take time so that bubbles do not enter (see FIG. 8B). In some cases, after applying the resin, defoaming may be performed in a vacuum chamber. The step (4) is shown in FIG. 8C, and the step (5) is shown in FIG. 8D. The steps (6) and (7) are the same.

図7は、第2実施形態の変形例の光モジュール10B´の側面図であり、光導波路基板15を光素子12と垂直となるように配置して、コア16,16´とともに略90度で曲げたものである。なお、光素子12の発光方向とコア16,16´の光伝搬方向とが一致する場合には、二点鎖線aで示すように、光導波路基板15を曲げる必要は無い。   FIG. 7 is a side view of an optical module 10B ′ according to a modification of the second embodiment, in which the optical waveguide substrate 15 is disposed so as to be perpendicular to the optical element 12 and is approximately 90 degrees together with the cores 16 and 16 ′. It is bent. In the case where the light emitting direction of the optical element 12 and the light propagation direction of the cores 16 and 16 ′ coincide, it is not necessary to bend the optical waveguide substrate 15 as indicated by a two-dot chain line a.

この場合、第1実施形態の光モジュール10Aで説明したように、光導波路基板15の厚みが薄いと、フレキシブルなフィルム状になるので、曲げることが可能であるが、曲げる場合は、コア16,16´とクラッド17との屈折率の差によっては光が漏洩することがあるので、例えばコア16,16´の屈折率は、1.56、クラッド17の屈折率は、1.51として、屈折率の差を大きくすることが好ましい。この屈折率の差によって、例えば曲げ半径R=10mmでも光の漏洩が無く、良好な光伝搬特性を得ることができる。   In this case, as described in the optical module 10A of the first embodiment, if the thickness of the optical waveguide substrate 15 is thin, it becomes flexible and can be bent. Depending on the difference in refractive index between 16 'and clad 17, light may leak. For example, the refractive index of cores 16 and 16' is 1.56 and the refractive index of clad 17 is 1.51. It is preferable to increase the difference in rate. Due to this difference in refractive index, for example, even when the bending radius is R = 10 mm, there is no light leakage, and good light propagation characteristics can be obtained.

この光モジュール10B´であれば、光入出力部16aにミラー部15aが不要であるために、ミラー部15aが有る場合に生じる光損失が無いため、高効率に光を取り出すことが可能となる。   With this optical module 10B ′, the light input / output unit 16a does not require the mirror unit 15a, and therefore there is no light loss that occurs when the mirror unit 15a is provided, so that light can be extracted with high efficiency. .

ここで第1、第2実施形態の光モジュール10A,10Bの製造方法では、前記(5)の工程において、位置決め部15bの形状を切削加工と研磨により機械加工するものであったが、図9に示すように、前記(1)の工程において、下ベース基板20A上に下部のクラッド17用の樹脂を塗布する際に、位置決め部15bを同時に形成することができる。   Here, in the manufacturing method of the optical modules 10A and 10B of the first and second embodiments, the shape of the positioning portion 15b is machined by cutting and polishing in the step (5). As shown in FIG. 5, in the step (1), when the resin for the lower clad 17 is applied on the lower base substrate 20A, the positioning portion 15b can be formed at the same time.

すなわち、図9(a)のように、下ベース基板20Aの上に位置決め部15bを成形する凹凸部20aを予め形成しておく。この凹凸部20aは、機械加工で施す方法や下ベース基板20A上にレジストを塗布して、パターンを露光・現像する方法で形成することができる。   That is, as shown in FIG. 9A, an uneven portion 20a for forming the positioning portion 15b is formed in advance on the lower base substrate 20A. The concavo-convex portion 20a can be formed by a method of machining or a method of applying a resist on the lower base substrate 20A and exposing and developing a pattern.

そして、前記(1)の工程のように、下ベース基板20A上に下部のクラッド17用の樹脂を塗布する。特に凹凸部20aに樹脂を充填する際は、気泡が入らないように時間をかけることが好ましい。場合によっては、樹脂を塗布した後、真空チャンバー内で脱泡しても良い。   Then, as in the step (1), a resin for the lower clad 17 is applied on the lower base substrate 20A. In particular, when filling the concavo-convex portion 20a with resin, it is preferable to take time so that bubbles do not enter. In some cases, after applying the resin, defoaming may be performed in a vacuum chamber.

ついで、図9(b)に示すように、前記(2)の工程のように、コア16の溝パターン21aが形成された成形用型21を下部のクラッド17用の樹脂に押付ける。この場合、クラッド17の厚みは、成形用型21と下ベース基板20Aとの間の隙間を管理して、一定になるように制御する。この隙間の管理は、成形用型21の周囲のスペーサ部21cを用いた管理でも良いし、成形用型21の昇降位置を検出する方法でも良い。   Next, as shown in FIG. 9B, as in the step (2), the molding die 21 in which the groove pattern 21a of the core 16 is formed is pressed against the resin for the lower clad 17. In this case, the thickness of the clad 17 is controlled to be constant by managing the gap between the molding die 21 and the lower base substrate 20A. The management of the gap may be management using the spacer portion 21c around the molding die 21 or a method of detecting the elevation position of the molding die 21.

前記(3)の工程は、図9(c)に示し、前記(4)の工程は、図9(d)に示し、前記(5)の工程は、図9(e)に示す。前記(6)(7)の工程は同じである。   The step (3) is shown in FIG. 9 (c), the step (4) is shown in FIG. 9 (d), and the step (5) is shown in FIG. 9 (e). The steps (6) and (7) are the same.

このように、下ベース基板20A上に下部のクラッド17用の樹脂を塗布する際に、位置決め部15bを同時に形成することで、製造工程を削減することができる。   Thus, when the resin for the lower clad 17 is applied onto the lower base substrate 20A, the manufacturing process can be reduced by simultaneously forming the positioning portion 15b.

ここで第1、第2実施形態の光モジュール10A,10Bの製造方法では、前記(5)の工程において、ミラー部15aの形状を切削加工と研磨により機械加工するものであったが、図10に示すように、前記(1)の工程において、成形用型21を下部のクラッド17用の樹脂に押付ける際に、ミラー部15aを同時に形成することができる。   Here, in the manufacturing method of the optical modules 10A and 10B of the first and second embodiments, the shape of the mirror portion 15a is machined by cutting and polishing in the step (5). As shown in FIG. 5, in the step (1), when the molding die 21 is pressed against the resin for the lower clad 17, the mirror portion 15a can be formed simultaneously.

すなわち、図10(a)のように、成形用型21にミラー部15aを成形するミラー用傾斜部21dを予め形成しておく。そして、前記(2)の工程のように、コア16の溝パターン21aとミラー用傾斜部21dとが形成された成形用型21を下部のクラッド17用の樹脂に押付ける。   That is, as shown in FIG. 10A, a mirror inclined portion 21d for forming the mirror portion 15a on the forming die 21 is formed in advance. Then, as in the step (2), the molding die 21 in which the groove pattern 21 a of the core 16 and the mirror inclined portion 21 d are formed is pressed against the resin for the lower clad 17.

前記(3)の工程は、図10(b)に示し、前記(4)の工程は、図10(c)に示す。前記(5)〜(7)の工程は同じである。   The step (3) is shown in FIG. 10B, and the step (4) is shown in FIG. 10C. The steps (5) to (7) are the same.

このように、成形用型21を下部のクラッド17用の樹脂に押付ける際に、ミラー部15aを同時に形成することで、製造工程を削減することができる。   In this way, when the molding die 21 is pressed against the resin for the lower clad 17, the manufacturing process can be reduced by forming the mirror portion 15a at the same time.

なお、図10(d)に、ミラー部15aとコア16との関係を拡大して示すように、成形の都合からコア16の端部とミラー部15aとの間にクラッド17の樹脂bがある状態となるが、矢印、つまりA部拡大図で示すように、コア16を伝搬してきた光は、クラッド17の樹脂bで僅かに反射されるが、大部分はクラッド17に伝搬してミラー部15aで反射されるので問題とならない。   As shown in FIG. 10 (d), the relationship between the mirror portion 15a and the core 16 is enlarged, and there is a resin b of the clad 17 between the end portion of the core 16 and the mirror portion 15a for convenience of molding. As shown in the arrow, that is, the enlarged view of the portion A, the light propagating through the core 16 is slightly reflected by the resin b of the clad 17, but most of the light propagates to the clad 17 and becomes a mirror portion. Since it is reflected at 15a, there is no problem.

図11(a)は、第1実施形態の光モジュール10Aの光導波路基板15に、他の光導波路基板を接続した〔光素子/光導波路基板/光導波路基板(光ファイバー)〕第3実施形態の光モジュール10Cであり、図11(b)は、第1実施形態の光モジュール10Aの光導波路基板15に、他の光素子を接続した(光素子/光導波路基板/光素子)第4実施形態の光モジュール10Dであって、これらの接続では、他の部分との光結合効率が問題となる。   FIG. 11A shows another optical waveguide substrate connected to the optical waveguide substrate 15 of the optical module 10A of the first embodiment [optical element / optical waveguide substrate / optical waveguide substrate (optical fiber)] of the third embodiment. FIG. 11B shows an optical module 10C, and FIG. 11B shows a fourth embodiment in which another optical element is connected to the optical waveguide substrate 15 of the optical module 10A of the first embodiment (optical element / optical waveguide substrate / optical element). In these optical modules 10D, the optical coupling efficiency with other parts becomes a problem in these connections.

図11(a)の第3実施形態の光モジュール10Cでは、コア16の延在方向の他端部(右端部)に、クラッド17と同じ材質でコネクタ部15Aを一体成形して、コア16をコネクタ部15Aの右端部まで延在させるとともに、光ファイバー24の端部に、クラッド17と同じ材質でコネクタ部24Aを一体成形して、ファイバー25をコネクタ部24Aの左端部まで延在させる。   In the optical module 10 </ b> C of the third embodiment in FIG. 11A, the connector 16 </ b> A is integrally formed of the same material as that of the clad 17 at the other end (right end) in the extending direction of the core 16. The connector portion 15A is extended to the right end portion of the connector portion 15A, and the connector portion 24A is integrally formed at the end portion of the optical fiber 24 with the same material as that of the clad 17 so that the fiber 25 extends to the left end portion of the connector portion 24A.

各コネクタ部15A,24Aには、ガイド穴15c,24aをそれぞれ形成して、各ガイド穴15c,24aにガイドピン26を差し込みながら、各コネクタ部15A,24Aを接近させることで、各コネクタ部15A,24Aを結合することができる。このコネクタ結合部では、コア16とファイバー25との光軸中心を高精度で位置決めすることができる。   Guide holes 15c and 24a are formed in the connector parts 15A and 24A, respectively, and the connector parts 15A and 24A are brought close to each other while the guide pins 26 are inserted into the guide holes 15c and 24a. , 24A can be combined. In this connector coupling portion, the center of the optical axis between the core 16 and the fiber 25 can be positioned with high accuracy.

図11(b)の第4実施形態の光モジュール10Dでは、プリント配線基板11を光導波路基板15のコア16の延在方向に長くして、プリント配線基板11の一側(左側)に光素子(例えば発光素子であるVCSEL)12を配置するとともに、他側(右側)に光素子〔例えば受光素子であるPD(フォトダイオード)〕12´を配置して、この間を少なくとも1本のコア16で接続する。この光導波路基板15では、コア16が少なくとも1本であるから、光軸中心の不一致の問題が生じない。なお、1つの信号を分岐して2つ以上のディテクタに信号を送る場合には、コア16が2本以上の場合がある。   In the optical module 10D of the fourth embodiment shown in FIG. 11B, the printed wiring board 11 is elongated in the extending direction of the core 16 of the optical waveguide board 15, and an optical element is formed on one side (left side) of the printed wiring board 11. (For example, a VCSEL as a light emitting element) 12 is disposed, and an optical element [for example, a PD (photodiode) as a light receiving element] 12 ′ is disposed on the other side (right side), and at least one core 16 is interposed therebetween. Connecting. In this optical waveguide substrate 15, since there is at least one core 16, the problem of mismatch of the optical axis centers does not occur. Note that when one signal is branched and a signal is sent to two or more detectors, there may be two or more cores 16.

図12(a)は、第5実施形態の光モジュール10Eの平面図であり、図12(b)は、(a)のA−A線断面図である。なお、本実施形態では、図12(a)の左右方向を前後方向、上下方向を左右方向と称して説明する。   FIG. 12A is a plan view of an optical module 10E according to the fifth embodiment, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. In the present embodiment, the left-right direction in FIG. 12A is referred to as the front-rear direction, and the up-down direction is referred to as the left-right direction.

この光モジュール10Eにおいては、光導波路基板15が配線基板11を保持するようになっている。具体的には、光導波路基板15には、上面から平面視で略矩形状で窪む窪み部15hが形成されており、この窪み部15hに配線基板11が嵌り込んでいる。   In the optical module 10 </ b> E, the optical waveguide substrate 15 holds the wiring substrate 11. Specifically, the optical waveguide substrate 15 is formed with a recess portion 15h that is recessed in a substantially rectangular shape in plan view from the upper surface, and the wiring substrate 11 is fitted into the recess portion 15h.

配線基板11は、図13に示すように、3mm□程度の断面形状で左右方向に延びる直方体状をなしており、前面(図13では右側面)には、光素子12,12´が左右に並んで実装されている。なお、配線基板11の上面には、PD用のアンプ31とVCSEL用のIC32が実装されており、これらの各々が電気配線11aによって光素子12,12´に電気的に接続されている。また、配線基板11の下面には、前面から後方に所定長さで延びるとともに下方に開口する溝状の凹部11bが左右に並んで設けられている。   As shown in FIG. 13, the wiring board 11 has a rectangular parallelepiped shape having a cross-sectional shape of about 3 mm □ and extending in the left-right direction. Implemented side by side. A PD amplifier 31 and a VCSEL IC 32 are mounted on the upper surface of the wiring board 11, and each of them is electrically connected to the optical elements 12 and 12 'by an electric wiring 11a. Further, on the lower surface of the wiring substrate 11, groove-shaped recesses 11 b that extend backward from the front surface by a predetermined length and open downward are provided side by side.

窪み部15hの左右方向の寸法は、配線基板11の左右方向の寸法よりも僅かに大きく設定されているが、前後方向の寸法は、配線基板11の前後方向の寸法に対して大きめの程度に設定されている。そして、窪み部15hの前側の縁部には、光素子12,12´に対応する位置に一対の突出部15jが設けられていて、この突出部15jに位置決め部15bが形成されている。   The horizontal dimension of the hollow portion 15 h is set slightly larger than the horizontal dimension of the wiring board 11, but the front-rear dimension is larger than the front-rear dimension of the wiring board 11. Is set. A pair of protrusions 15j are provided at positions corresponding to the optical elements 12 and 12 'on the front edge of the recess 15h, and a positioning part 15b is formed on the protrusion 15j.

位置決め部15bは、光素子12,12´の上端部および下端部に直接係合(嵌合)する凹部であって、上下方向の位置決めを行うものである。そして、この位置決め部15bからコア16が前方に延在している。なお、位置決め部15bの上側突部および下側突部の突出量は僅かであり、配線基板11を上方から窪み部15hに無理嵌めすれば、光素子12,12´が位置決め部15bの上側突部を通過して、当該位置決め部15bに光素子12,12´が直接係合(嵌合)するようになる。   The positioning portion 15b is a concave portion that directly engages (fits) with the upper end portion and the lower end portion of the optical elements 12, 12 ′, and performs positioning in the vertical direction. The core 16 extends forward from the positioning portion 15b. Note that the protruding amount of the upper and lower protrusions of the positioning portion 15b is small. If the wiring board 11 is forcibly fitted into the recess 15h from above, the optical elements 12 and 12 ′ are protruded from the upper protrusion of the positioning portion 15b. The optical elements 12 and 12 ′ are directly engaged (fitted) with the positioning portion 15 b through the portion.

コア16は、上下方向の寸法(高さ寸法)は一定であるが、光素子12,12´の近傍では光素子12,12´に近づくに連れて左右方向の寸法(幅寸法)が大きくなるテーパー状に形成されている。具体的には、コア16の高さ寸法およびテーパー部分以外の部分の幅寸法は、約100μmに設定されており、テーパー部分の長さは約1mm、最大幅寸法は約200μmに設定されている。   The core 16 has a constant vertical dimension (height dimension), but in the vicinity of the optical element 12, 12 ′, the horizontal dimension (width dimension) increases as the optical element 12, 12 ′ is approached. It is formed in a taper shape. Specifically, the height dimension of the core 16 and the width dimension of parts other than the taper part are set to about 100 μm, the length of the taper part is set to about 1 mm, and the maximum width dimension is set to about 200 μm. .

また、窪み部15hの底面には、配線基板11の凹部11bに対応する位置に、前後方向に延びる突条の配線基板係合用位置決め部15iが設けられている。この配線基板係合用位置決め部15iは、凹部11bに嵌り込んで係合するようになっており、これにより配線基板11と光導波路基板15とが、換言すれば、光素子12,12´とコア16とが左右方向で位置決めされることになる。   Further, on the bottom surface of the hollow portion 15h, a wiring board engaging positioning portion 15i having a ridge extending in the front-rear direction is provided at a position corresponding to the concave portion 11b of the wiring board 11. The wiring board engaging positioning portion 15i is fitted into and engaged with the concave portion 11b, so that the wiring board 11 and the optical waveguide substrate 15 are in other words, the optical elements 12, 12 'and the core. 16 is positioned in the left-right direction.

このように、本実施形態の光モジュール10Eでは、位置決め部15bと配線基板係合用位置決め部15iにより、光素子12,12´と光導波路基板15とを前後方向および左右方向で位置決めすることができるので、光素子12,12´とコア16との光軸中心をさらに高精度で位置決めできるようになる。   As described above, in the optical module 10E of the present embodiment, the optical elements 12, 12 ′ and the optical waveguide substrate 15 can be positioned in the front-rear direction and the left-right direction by the positioning portion 15b and the wiring board engaging positioning portion 15i. Therefore, the optical axis centers of the optical elements 12, 12 ′ and the core 16 can be positioned with higher accuracy.

また、コア16を光素子12,12´に近づくに連れて幅寸法が大きくなるテーパー状にしたから、たとえ光素子12,12´と光導波路基板15とが左右方向に位置ずれしたとしても、そのテーパー部分によって光素子12,12´から発光される光の大部分がコア16内に導かれるため、位置ずれによる光結合効率の低下を抑制することができる。   Further, since the core 16 is tapered so that the width dimension increases as it approaches the optical elements 12 and 12 ′, even if the optical elements 12 and 12 ′ and the optical waveguide substrate 15 are displaced in the left-right direction, Since most of the light emitted from the optical elements 12 and 12 ′ is guided into the core 16 by the tapered portion, it is possible to suppress a decrease in the optical coupling efficiency due to the position shift.

なお、光モジュール10Eでは、配線基板11を窪み部15hに無理嵌めするようにしているが、図14に示す変形例の光モジュール10E´のように、突出部15jが上下方向にフレキシブルになっていれば、光素子12,12´と位置決め部15bとを予め直接係合しておき、その状態のまま窪み部15hに嵌め込むことができる。   In the optical module 10E, the wiring board 11 is forcibly fitted in the recess 15h. However, like the optical module 10E ′ of the modification shown in FIG. 14, the protruding portion 15j is flexible in the vertical direction. Then, the optical elements 12 and 12 'and the positioning portion 15b can be directly engaged with each other in advance, and can be fitted into the recessed portion 15h in this state.

このように、突出部15jを上下方向にフレキシブルとするには、図14に示すように突出部15jの下側に前方に延びる切り込みを入れればよい。あるいは導波路基板15を、窪み部15hが形成された本体部と、コア16を有するフレシキブルなフィルム状の導波路部との2分割構造として、この導波路部を窪み部15hの縁から突出するように本体部に接合してもよい。   Thus, in order to make the protrusion 15j flexible in the vertical direction, it is only necessary to make a cut extending forward on the lower side of the protrusion 15j as shown in FIG. Or the waveguide board | substrate 15 is made into 2 division structure of the main-body part in which the hollow part 15h was formed, and the flexible film-like waveguide part which has the core 16, and this waveguide part protrudes from the edge of the hollow part 15h. As such, it may be joined to the main body.

また、前記実施形態では、配線基板係合用位置決め部15iが突条となっているが、配線基板11の下面に凸部が設けられていて、配線基板係合用位置決め部15iはこの凸部に係合可能な凹状となっていてもよい。   In the embodiment, the wiring board engaging positioning portion 15i is a protrusion, but a convex portion is provided on the lower surface of the wiring substrate 11, and the wiring board engaging positioning portion 15i is engaged with the convex portion. It may be a concave shape.

図15は、第6実施形態の光モジュール10Fの分解斜視図であり、図16(a)は、平面図、(b)は側面図である。この光モジュール10Fでは、光導波路基板15が光素子12と他の光導波路基板34とを接続するコネクタの役割を果している。   FIG. 15 is an exploded perspective view of the optical module 10F of the sixth embodiment, FIG. 16 (a) is a plan view, and FIG. 15 (b) is a side view. In this optical module 10 </ b> F, the optical waveguide substrate 15 serves as a connector for connecting the optical element 12 and another optical waveguide substrate 34.

具体的には、光導波路基板15の外形寸法は、長さ5mm、幅2mm、厚み150μmとなっている。そして、コア16の延在方向の中央部は幅1mmに設定されたくびれ部となっていて、くびれ部よりも一方(左側)の端部に位置決め部15bが形成され、他方(右側)の端部がコネクタ部15Aとなっている。位置決め部15bは、コア16の延在する方向と直交する方向で位置決めするようにその方向に延びる溝状の凹部となっており、コネクタ部15Aのコア16の延在方向と直交する方向の断面形状は、底辺が上辺よりも短い台形状となっている。   Specifically, the outer dimensions of the optical waveguide substrate 15 are 5 mm in length, 2 mm in width, and 150 μm in thickness. The central portion of the core 16 in the extending direction is a constricted portion set to a width of 1 mm. The positioning portion 15b is formed at one end (left side) of the constricted portion, and the other (right side) end. The portion is a connector portion 15A. The positioning portion 15b is a groove-like recess extending in that direction so as to be positioned in a direction orthogonal to the extending direction of the core 16, and a cross section in a direction orthogonal to the extending direction of the core 16 of the connector portion 15A. The shape is a trapezoid whose bottom is shorter than the top.

光導波路基板34は、光導波路基板15と同様に、コア35とクラッド36とで構成されている。この光導波路基板34の一端部(左端部)には、当該一端部が切り欠かれてコネクタ部34Aが形成されている。このコネクタ部34Aの両側面は傾斜面となっていて、コネクタ部34Aに光導波路基板15のコネクタ部15Aが上方から嵌り込んで係合することが可能となっており、その係合状態では、コア16,35の光軸中心が一致するようになっている。   Similar to the optical waveguide substrate 15, the optical waveguide substrate 34 includes a core 35 and a clad 36. One end portion (left end portion) of the optical waveguide substrate 34 is cut out to form a connector portion 34A. Both side surfaces of the connector portion 34A are inclined surfaces, and the connector portion 15A of the optical waveguide substrate 15 can be fitted into and engaged with the connector portion 34A from above. In the engaged state, The optical axis centers of the cores 16 and 35 coincide with each other.

そして、配線基板11と光導波路基板34とを並列配置した状態で、その上に光導波路基板15を配置して、位置決め部15bを光素子12に直接係合させるとともに、コネクタ部15Aをコネクタ部34Aに嵌め込むことにより、光導波路基板15を介して光導波路基板34と光素子12とが光結合されるようになる。なお、光導波路基板15,34同士は、光導波路基板15を配置した後に、アクリレート系の光学接着剤を用いて固定する。この光学接着剤としては、コア16と同じ屈折率のものを用いる。   And in the state which arranged the wiring board 11 and the optical waveguide board | substrate 34 in parallel, while arrange | positioning the optical waveguide board | substrate 15 on it, the positioning part 15b is directly engaged with the optical element 12, and the connector part 15A is connected to the connector part. By fitting into 34 </ b> A, the optical waveguide substrate 34 and the optical element 12 are optically coupled via the optical waveguide substrate 15. The optical waveguide substrates 15 and 34 are fixed using an acrylate-based optical adhesive after the optical waveguide substrate 15 is disposed. As this optical adhesive, one having the same refractive index as that of the core 16 is used.

くびれ部は、フレキシブルなフィルム状になっており、光素子12や光導波路基板34との結合のための位置合わせを容易にする構造となっている。すなわち、光素子12や光導波路基板34との位置ズレが発生しても、くびれ部が可動することで、全体的な位置ズレが生じない構造となっている。   The constricted portion is in the form of a flexible film and has a structure that facilitates alignment for coupling with the optical element 12 and the optical waveguide substrate 34. That is, even if a positional deviation with respect to the optical element 12 or the optical waveguide substrate 34 occurs, the constricted portion moves, so that the overall positional deviation does not occur.

このようにすれば、コネクタやガイドピンを用いることなく、光導波路基板15,34同士を安価に光学的に結合することができる。また、光導波路基板15,34のコネクタ部15A,34A同士の嵌合により高精度で位置決めできるため、それらの結合においても光結合効率を向上させることができる。なお、第6実施形態では、光導波路基板15のコア16は、ストレート状になっているが、第5実施形態の光モジュール10E等と同様に、テーパー状としても良い。   In this way, the optical waveguide substrates 15 and 34 can be optically coupled at low cost without using connectors or guide pins. Further, since the connector portions 15A and 34A of the optical waveguide substrates 15 and 34 can be positioned with high accuracy, the optical coupling efficiency can be improved also in the coupling. In the sixth embodiment, the core 16 of the optical waveguide substrate 15 has a straight shape, but may have a tapered shape as in the optical module 10E of the fifth embodiment.

図17は、第6実施形態の変形例の光モジュール10F´の側面図であり、光導波路基板34の他端部(右端部)にもコネクタ部34Aが形成されており、このコネクタ部34Aに、光素子12´に光学的に結合された光導波路基板15のコネクタ部15Aが嵌め込まれている。このように、他の光導波路基板34の両端部にコネクタ部34Aを形成することにより、光素子12,12´同士の間を光導波路基板15および光導波路基板34で接続することも可能である。   FIG. 17 is a side view of an optical module 10F ′ according to a modification of the sixth embodiment. A connector portion 34A is also formed on the other end portion (right end portion) of the optical waveguide substrate 34. The connector portion 15A of the optical waveguide substrate 15 optically coupled to the optical element 12 ′ is fitted. As described above, by forming the connector portions 34A at both ends of the other optical waveguide substrate 34, the optical elements 12 and 12 'can be connected by the optical waveguide substrate 15 and the optical waveguide substrate 34. .

本発明の第1実施形態に係る光モジュールであり、(a)は側面図、(b)は平面図である。It is an optical module which concerns on 1st Embodiment of this invention, (a) is a side view, (b) is a top view. 光素子と光導波路基板であり、(a)は分解状態の斜視図、(b)は結合状態の斜視図である。It is an optical element and an optical waveguide board, (a) is a perspective view of an exploded state, and (b) is a perspective view of a combined state. 第1実施形態の変形例の光モジュールの側面図である。It is a side view of the optical module of the modification of 1st Embodiment. (a)〜(d)は、第1実施形態に係る光モジュールの製造方法の前半工程図である。(A)-(d) is the first half process drawing of the manufacturing method of the optical module which concerns on 1st Embodiment. (a)〜(c)は、第1実施形態に係る光モジュールの製造方法の後半工程図である。(A)-(c) is the latter-half process drawing of the manufacturing method of the optical module which concerns on 1st Embodiment. 本発明の第2実施形態に係る光モジュールの側面図である。It is a side view of the optical module which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 第2実施形態の変形例の光モジュールの側面図である。It is a side view of the optical module of the modification of 2nd Embodiment. (a)〜(d)は、第2実施形態に係る光モジュールの製造方法の要部工程図である。(A)-(d) is a principal part process drawing of the manufacturing method of the optical module which concerns on 2nd Embodiment. (a)〜(e)は、光導波路基板の位置決め部を同時に形成する工程図である。(A)-(e) is process drawing which forms the positioning part of an optical waveguide board | substrate simultaneously. (a)〜(c)は、光導波路基板のミラー部を同時に形成する工程図、(d)は(c)のA部拡大図である。(A)-(c) is process drawing which forms the mirror part of an optical waveguide board | substrate simultaneously, (d) is the A section enlarged view of (c). (a)は、第3実施形態の光モジュールの側面図、(b)は、第4実施形態の光モジュールの側面図である。(A) is a side view of the optical module of 3rd Embodiment, (b) is a side view of the optical module of 4th Embodiment. (a)は、本発明の第5実施形態に係る光モジュールの平面図、(b)は、(a)のA−A線断面図である。(A) is a top view of the optical module which concerns on 5th Embodiment of this invention, (b) is the sectional view on the AA line of (a). 配線基板を概略的に示した斜視図である。It is the perspective view which showed the wiring board schematically. 第5実施形態の変形例の光モジュールの分解断面図である。It is an exploded sectional view of the optical module of the modification of a 5th embodiment. 本発明の第6実施形態に係る光モジュールの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the optical module which concerns on 6th Embodiment of this invention. (a)は、第6実施形態の光モジュールの平面図、(b)は第6実施形態の光モジュールの側面図である。(A) is a top view of the optical module of 6th Embodiment, (b) is a side view of the optical module of 6th Embodiment. 第6実施形態の変形例の光モジュールの側面図である。It is a side view of the optical module of the modification of 6th Embodiment. 従来の光モジュールの側面図である。It is a side view of the conventional optical module.

符号の説明Explanation of symbols

10A,10A´,10B,10B´,10C,10D,10E,10E´,10F,10F´ 光モジュール
11 プリント配線基板
11b 凹部
12 光素子(VCSEL)
12´ 光素子〔PD(フォトダイオード)〕
15 光導波路基板
15a ミラー部
15b 位置決め部
15A コネクタ部
15h 窪み部
15i 配線基板係合用位置決め部
16 コア
16´ 延在コア
16a 光入出力部
17 クラッド
24 光ファイバー
24A コネクタ部
34 光導波路基板
34A コネクタ部
10A, 10A ', 10B, 10B', 10C, 10D, 10E, 10E ', 10F, 10F' Optical module 11 Printed wiring board 11b Recess 12 Optical element (VCSEL)
12 'optical element [PD (photodiode)]
15 Optical waveguide substrate 15a Mirror portion 15b Positioning portion 15A Connector portion 15h Depression portion 15i Positioning portion for wiring board engagement 16 Core 16 ′ Extension core 16a Light input / output portion 17 Clad 24 Optical fiber 24A Connector portion 34 Optical waveguide substrate 34A Connector portion

Claims (7)

発光部または受光部を有する光素子と、この光素子と光学的に結合する光導波路基板と、前記光素子が実装され、前記光導波路基板と接合される配線基板とを備えた光モジュールであって、
前記光素子は、四角形状であり、配線基板上に実装され、前記光導波路基板は、コアと、コアを内部に構成するクラッドとを備え、
コアの延在方向の一端部のクラッドの端部は、45度でカットして、90度反射のミラー部を形成して、
前記光導波路基板は、光素子の発光部または受光部の光軸中心と、ミラー部で90度反射されたコアの光軸中心とを一致させるように、光素子の上にセットするとともに、前記光導波路基板のクラッドの下部に、四角形状である光素子の対向する端部に直接嵌合して係合する凹部である位置決め部を一体形成して、この位置決め部により、光素子が発光または受光する方向と直交する一方向で位置決めを行うことを特徴とする光モジュール。
An optical module comprising: an optical element having a light emitting part or a light receiving part; an optical waveguide substrate optically coupled to the optical element; and a wiring board on which the optical element is mounted and joined to the optical waveguide substrate. And
The optical element has a quadrangular shape and is mounted on a wiring board, and the optical waveguide substrate includes a core and a clad that constitutes the core inside.
The end of the clad at one end in the extending direction of the core is cut at 45 degrees to form a mirror part that reflects 90 degrees,
The optical waveguide substrate is set on the optical element so that the optical axis center of the light emitting part or the light receiving part of the optical element coincides with the optical axis center of the core reflected by 90 degrees on the mirror part. the bottom of the cladding of the optical waveguide substrate, and integrally forming a positioning portion is a recess that engages directly fitted to the opposite ends of the optical element is a rectangular shape, by the positioning unit, the optical element emits light or An optical module characterized in that positioning is performed in one direction orthogonal to a light receiving direction.
前記コアは、光入出力部を備え、この光入出力部から光素子の近傍まで延在する延在コアを設けたことを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the core includes an optical input / output unit, and an extended core extending from the optical input / output unit to the vicinity of the optical element is provided. 前記光素子と光導波路基板とは、光素子を封止する封止剤を利用して直接接合することを特徴とする請求項1または2に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the optical element and the optical waveguide substrate are directly bonded using a sealant that seals the optical element. 前記光導波路基板は、フレキシブルなフィルム状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the optical waveguide substrate has a flexible film shape. 前記光導波路基板の光素子と反対側の端部に、他の光導波路基板を接続するときに、この反対側の端部にコネクタ部を一体成形するとともに、他の光導波路基板の端部にコネクタ部を一体成形して、両光導波路基板のコアの光軸中心が一致するように各コネクタを結合するようにしたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光モジュール。   When another optical waveguide substrate is connected to the end of the optical waveguide substrate opposite to the optical element, a connector portion is integrally formed at the opposite end, and at the end of the other optical waveguide substrate. 5. The light according to claim 1, wherein the connectors are integrally formed so that the connectors are coupled so that the optical axis centers of the cores of both optical waveguide substrates coincide. module. 前記光導波路基板の光素子と反対側の端部に、他の光素子を接続するときに、前記光導波路基板に、前記他の光素子と直接係合する位置決め部を一体形成するとともに、光素子と他の光素子との間を少なくとも1本のコアで接続するようにしたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の光モジュール。   When connecting another optical element to the end of the optical waveguide substrate opposite to the optical element, a positioning portion that is directly engaged with the other optical element is integrally formed on the optical waveguide substrate, The optical module according to any one of claims 1 to 5, wherein the element and another optical element are connected by at least one core. 前記位置決め部は、前記光素子が発光または受光する方向と直交する一方向で位置決めを行うものであり、前記コアを、前記光素子に近づくに連れて前記一方向と略直交する方向の寸法が大きくなるような形状にしたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の光モジュール。   The positioning portion performs positioning in one direction orthogonal to the direction in which the optical element emits light or receives light, and the dimension of the core in a direction substantially orthogonal to the one direction as approaching the optical element. The optical module according to any one of claims 1 to 6, wherein the optical module has a shape that increases.
JP2005244629A 2005-05-24 2005-08-25 Optical module Expired - Fee Related JP4720374B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005244629A JP4720374B2 (en) 2005-05-24 2005-08-25 Optical module

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005150694 2005-05-24
JP2005150694 2005-05-24
JP2005244629A JP4720374B2 (en) 2005-05-24 2005-08-25 Optical module

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007004101A JP2007004101A (en) 2007-01-11
JP4720374B2 true JP4720374B2 (en) 2011-07-13

Family

ID=37689756

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005244629A Expired - Fee Related JP4720374B2 (en) 2005-05-24 2005-08-25 Optical module

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4720374B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010015618A (en) * 2008-07-01 2010-01-21 Nitto Denko Corp Suspension board with circuit, and method for manufacturing the same
JP5467826B2 (en) * 2009-09-16 2014-04-09 日東電工株式会社 Opto-electric hybrid module and manufacturing method thereof
JP5674516B2 (en) * 2011-03-14 2015-02-25 日東電工株式会社 Opto-electric hybrid board and manufacturing method thereof
JP6123271B2 (en) * 2012-12-14 2017-05-10 富士通株式会社 Method for manufacturing photoelectric composite substrate
JP6210797B2 (en) * 2013-08-26 2017-10-11 オリンパス株式会社 Endoscope

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513749A (en) * 1991-06-28 1993-01-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical connection circuit
JPH06313817A (en) * 1993-04-30 1994-11-08 Hitachi Cable Ltd Synthetic resin light transmission body
JP2000292658A (en) * 1999-04-09 2000-10-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Light interface connector, its manufacture package with light interface connector setting frame and light i/o interface module
JP2001507814A (en) * 1996-12-31 2001-06-12 ハネウエル・インコーポレーテッド Flexible optical connector assembly
JP2001188146A (en) * 2000-01-04 2001-07-10 Canon Inc Optical coupling method and optical circuit
JP2001221933A (en) * 2000-02-07 2001-08-17 Nec Corp Optical fiber and its manufacturing method
JP2003315578A (en) * 2002-04-23 2003-11-06 Mitsubishi Electric Corp Optical path converting device and manufacturing method thereof
JP2004191564A (en) * 2002-12-10 2004-07-08 Mitsubishi Electric Corp Optical path converting connector
JP2004233894A (en) * 2003-01-31 2004-08-19 Ricoh Co Ltd Optical wiring substrate, its manufacturing method, and manufacturing method of optical element of optical wiring substrate
JP2004265987A (en) * 2003-02-28 2004-09-24 Citizen Electronics Co Ltd Optical fiber module
JP2004348123A (en) * 2003-04-30 2004-12-09 Fujikura Ltd Optical transceiver

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0513749A (en) * 1991-06-28 1993-01-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical connection circuit
JPH06313817A (en) * 1993-04-30 1994-11-08 Hitachi Cable Ltd Synthetic resin light transmission body
JP2001507814A (en) * 1996-12-31 2001-06-12 ハネウエル・インコーポレーテッド Flexible optical connector assembly
JP2000292658A (en) * 1999-04-09 2000-10-20 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Light interface connector, its manufacture package with light interface connector setting frame and light i/o interface module
JP2001188146A (en) * 2000-01-04 2001-07-10 Canon Inc Optical coupling method and optical circuit
JP2001221933A (en) * 2000-02-07 2001-08-17 Nec Corp Optical fiber and its manufacturing method
JP2003315578A (en) * 2002-04-23 2003-11-06 Mitsubishi Electric Corp Optical path converting device and manufacturing method thereof
JP2004191564A (en) * 2002-12-10 2004-07-08 Mitsubishi Electric Corp Optical path converting connector
JP2004233894A (en) * 2003-01-31 2004-08-19 Ricoh Co Ltd Optical wiring substrate, its manufacturing method, and manufacturing method of optical element of optical wiring substrate
JP2004265987A (en) * 2003-02-28 2004-09-24 Citizen Electronics Co Ltd Optical fiber module
JP2004348123A (en) * 2003-04-30 2004-12-09 Fujikura Ltd Optical transceiver

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007004101A (en) 2007-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5280742B2 (en) Mounting structure and mounting method of optical waveguide holding member
US7627210B2 (en) Manufacturing method of optical-electrical substrate and optical-electrical substrate
US8041159B2 (en) Optical/electrical hybrid substrate and method of manufacturing the same
JP4704126B2 (en) Optical module
JP6051697B2 (en) Connector, manufacturing method thereof, and optical communication system
US8512500B2 (en) Manufacturing method of optical waveguide
JP5386290B2 (en) Optical coupling structure and optical transceiver module
JP2011095295A (en) Optical fiber block of optical module and method of manufacturing the same
JP4720374B2 (en) Optical module
JP2005195651A (en) Optical connection substrate, optical transmission system, and manufacturing method
US7616852B2 (en) Optical substrate, optical waveguide, and optical waveguide substrate
JP4845333B2 (en) Photoelectric conversion element package, manufacturing method thereof, and optical connector
JP5130731B2 (en) OPTICAL MODULE, OPTICAL TRANSMISSION DEVICE, AND OPTICAL MODULE MANUFACTURING METHOD
US20130259421A1 (en) Method of manufacturing optical waveguide device and optical waveguide device
US6775441B2 (en) Optical waveguide connecting structure, optical element mounting structure and optical fiber mounting structure
JP2007086367A (en) Optical pin, optical pin connector and optical path conversion module
JP4609311B2 (en) Optical transceiver
JP2004037776A (en) Optical waveguide and optical waveguide device
JP5047591B2 (en) Flexible optical waveguide and optical waveguide module
JP4427646B2 (en) Optical device provided with optical connecting means and method for manufacturing the same
JP2011095294A (en) Optical module
JP2008185601A (en) Optical module, optical transmission apparatus, and manufacturing method of the optical module
JP7331508B2 (en) Optical module and method for manufacturing optical module
JP5994525B2 (en) Optical module
WO2024105846A1 (en) Optical element and method for manufacturing same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080513

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100208

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100223

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100421

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101214

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110214

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110308

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110321

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees