JP2007086367A - Optical pin, optical pin connector and optical path conversion module - Google Patents

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Toshimasu Chin
利益 陳
Osamu Mikami
修 三上
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical pin in which the fitness between a metallic layer and an optical fiber is excellent, the peeling of the metallic layer is prevented and the transmission of optical signal is excellent. <P>SOLUTION: The optical pin 10 is provided with: a first light input/output face 12 located at the end part of an optical fiber 11 having a core 11a which extends in axial direction and a clad 11b which encloses the core 11a; a light reflecting face 13 located at the other end part of the optical fiber 11; the metallic layer 14 which clads the optical reflecting face 13, substantially clads the core 11a at the central part and also clads the one side face of the optical fiber over the length L<SB>0</SB>by being made contact with the outer peripheral part of the light reflecting face 13; and a second light input/output face 15 which is adjacent to the other end of the optical fiber 11 and exposes the optical fiber 11. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、光ピン、光ピンコネクタ及び光路変換用モジュールに関する The present invention relates to an optical pin, an optical pin connector, and an optical path conversion module.

光ファイバに金属ミラーを形成する技術として、光ファイバの表面をSnFで増感し、PdCl/HClで活性化した後、光ファイバの端部表面に、光ファイバへの金の接着性を強化するには充分であるが、金の薄膜層の照射透過に対する障害として作用するには、不充分な厚さのNi−Pの接着剤層を鍍着し、その後、この接着剤層を介して金層(金属ミラー)を形成する技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平8−271707号公報
As a technique for forming a metal mirror on an optical fiber, after sensitizing the surface of the optical fiber with SnF 2 and activating with PdCl 2 / HCl, the adhesion of gold to the optical fiber is applied to the end surface of the optical fiber. It is sufficient to strengthen, but to act as an obstacle to the radiation transmission of the gold thin film layer, a Ni—P adhesive layer of insufficient thickness is deposited and then passed through this adhesive layer. A technique for forming a gold layer (metal mirror) is disclosed (for example, see Patent Document 1).
JP-A-8-271707

しかしながら、特許文献1に開示された技術により、光ファイバの端面に金属ミラーを形成する場合、光ファイバと金属層との間に接着剤層を形成する必要があるため、金属ミラーの形成に煩雑な工程を要し、さらに、形成した金属ミラーの接着性も充分とはいえず、剥離が発生することがあった。 However, when the metal mirror is formed on the end face of the optical fiber by the technique disclosed in Patent Document 1, it is necessary to form an adhesive layer between the optical fiber and the metal layer. In addition, the metal mirror formed may not have sufficient adhesiveness, and peeling may occur.

本願発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討し、光ファイバの端面及び側面の一部に金属層を形成することより、光ファイバとの接着性に優れた金属ミラーを有する光ピンとなることを見出し、本発明の光ピンを完成した。
さらに、上記光ピンを用いた本発明の光ピンコネクタ及び光路変換用モジュールも併せて完成した。
The inventor of the present application diligently studied to solve the above-mentioned problems, and forms an optical pin having a metal mirror excellent in adhesion to the optical fiber by forming a metal layer on part of the end face and side face of the optical fiber. As a result, the optical pin of the present invention was completed.
Furthermore, the optical pin connector and optical path conversion module of the present invention using the optical pin were also completed.

本発明に係る光ピンは、軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有する光ファイバの端部に位置する第1の光入出力面、光ファイバの他端部に位置する光反射面、該光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、光ファイバの他端部に隣接し、光ファイバを露出させた第2の光入出力面、を備えることを要旨とする。 An optical pin according to the present invention includes a first light input / output surface located at an end portion of an optical fiber having a core extending in the axial direction and a clad surrounding the core, and light located at the other end portion of the optical fiber. A reflective surface, a metal layer that covers the light reflecting surface and that also touches the outer edge of the light reflecting surface and covers one side of the optical fiber, and an optical fiber that is adjacent to the other end of the optical fiber and exposes the optical fiber The gist is to provide the second light input / output surface.

本発明に係る光ピンコネクタは、軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有する光ファイバの端部に位置する第1の光入出力面、光ファイバの他端部に位置する光反射面、該光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、光ファイバの他端部に隣接し、光ファイバを露出させた第2の光入出力面、を有する光ピンと、軸方向が並列に配置される複数の光ピンに対応する複数の貫通孔及び該貫通孔を軸方向に対して垂直方向に横断するスリット部を有し、光ピンを貫通孔に挿入するコネクタ本体と、スリット部に充填され、光ピンをコネクタ本体に固定する接着剤と、を備えることを要旨とする。 The optical pin connector according to the present invention is positioned at the first light input / output surface located at the end of the optical fiber having a core extending in the axial direction and the clad surrounding the core, and at the other end of the optical fiber. A light reflection surface, a metal layer that covers the light reflection surface and that also contacts the outer edge of the light reflection surface and covers one side surface of the optical fiber; and an optical fiber adjacent to the other end of the optical fiber, The optical pin having the exposed second light input / output surface, the plurality of through holes corresponding to the plurality of optical pins arranged in parallel in the axial direction, and the through hole are traversed in a direction perpendicular to the axial direction. The gist of the invention is to include a connector main body having a slit portion and inserting the optical pin into the through hole, and an adhesive filling the slit portion and fixing the optical pin to the connector main body.

本発明に係る光路変換用モジュールは、軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有する光ファイバの端部に位置する第1の光入出力面、光ファイバの他端部に位置する光反射面、該光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、光ファイバの他端部に隣接し、光ファイバを露出させた第2の光入出力面、を有する光ピンと、光ピンに対する光信号を発光又は受光する光学素子と、光学素子に電気的に接続され、該光学素子を駆動する駆動集積回路と、軸方向が並列に配置される複数の光ピンに対応する複数の貫通孔、該貫通孔を軸方向に対して垂直方向に横断するスリット部、光ピンを貫通孔に挿入するコネクタ本体及び貫通孔の列に隣接しコネクタ本体から突設する複数のガイドピンを有し、スリット部に接着剤を充填し、光ピンをコネクタ本体に固定する光ピンコネクタと、複数のガイドピンに夫々対応して設けられたガイド孔を有し、光学素子及び駆動集積回路を実装し、ガイド孔にガイドピンを挿通させて光学素子と光ピンとの間に光信号の伝送位置決めをする回路基板と、を備えることを要旨とする。 An optical path conversion module according to the present invention includes a first light input / output surface located at an end of an optical fiber having a core extending in the axial direction and a clad surrounding the core, and located at the other end of the optical fiber. A light reflecting surface, a metal layer covering the light reflecting surface and in contact with the outer edge of the light reflecting surface and covering one side surface of the optical fiber, and an optical fiber adjacent to the other end of the optical fiber, An optical pin having a second light input / output surface exposed, an optical element that emits or receives an optical signal to the optical pin, and a drive integrated circuit that is electrically connected to the optical element and drives the optical element A plurality of through-holes corresponding to a plurality of optical pins arranged in parallel in the axial direction, a slit portion that crosses the through-hole in a direction perpendicular to the axial direction, a connector body that inserts the optical pin into the through-hole, and a through Projecting from the connector body adjacent to the row of holes Optical pin connector for fixing the optical pin to the connector body, and a guide hole provided corresponding to each of the plurality of guide pins. The gist of the present invention is to provide a circuit board on which an element and a driving integrated circuit are mounted, and a guide pin is inserted into the guide hole to position and transmit an optical signal between the optical element and the optical pin.

本発明の光ピンは、光反射面に金属層が形成されているため、光反射面において、確実に光路を変換することができ、加えて、光反射面と光ファイバの側面の一部とを覆う金属層を備えているため、金属層と光ファイバとの接着性が高く、金属層の剥離を回避することができる。従って、本発明の光ピンは、光信号伝送性において信頼性に優れるものである。 In the optical pin of the present invention, since the metal layer is formed on the light reflecting surface, the light path can be reliably converted on the light reflecting surface, and in addition, the light reflecting surface and a part of the side surface of the optical fiber Since the metal layer which covers is provided, the adhesiveness between the metal layer and the optical fiber is high, and peeling of the metal layer can be avoided. Therefore, the optical pin of the present invention has excellent reliability in terms of optical signal transmission.

また、本発明の光ピンコネクタでは、複数本の光ピンがコネクタ本体に接着剤により固定されており、所定の位置に光ピンを配設することができると共に、光ピンを介して、光路を変換しつつ、確実に光信号を伝送することができる。 Further, in the optical pin connector of the present invention, a plurality of optical pins are fixed to the connector body with an adhesive, and the optical pins can be disposed at predetermined positions, and the optical path is routed through the optical pins. An optical signal can be reliably transmitted while converting.

また、本発明の光路変換用モジュールでは、光学素子と光ピンコネクタ(光ピン)との間で確実に光信号の伝送を行うことができる。
また、光学素子と光ピンコネクタ(光ピン)との位置合わせをパッシブアライメントで行うことができるため、製造が容易であり、また、光ピンコネクタ等の交換作業も容易である。
In the optical path conversion module of the present invention, an optical signal can be reliably transmitted between the optical element and the optical pin connector (optical pin).
Further, since the alignment between the optical element and the optical pin connector (optical pin) can be performed by passive alignment, manufacturing is easy, and replacement work of the optical pin connector and the like is also easy.

本発明の第1の実施形態に係る光ピンについて、図面を参照しながら説明する。
例えば、図1に示すように、光ピン10は、軸方向に延在するコア11a及び該コア11aを包囲するクラッド11bを有する光ファイバ11の端部に位置する第1の光入出力面12、光ファイバ11の他端部に位置する光反射面13、該光反射面13を被覆すると共に、該光反射面13の外縁部と接して、中心部のコア11aを実質的に覆い長さLに亘って光ファイバの片側面をも被覆する金属層14、光ファイバ11の他端部に隣接し、光ファイバ11を露出させた第2の光入出力面15、を備える。
図1(a)は、本発明の実施形態に係る光ピンの側面図であり、(b)は(a)に示した光ピンの正面図であり、(c)は(a)のA−A線断面図である。
An optical pin according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
For example, as shown in FIG. 1, the optical pin 10 includes a first light input / output surface 12 positioned at an end of an optical fiber 11 having a core 11a extending in the axial direction and a clad 11b surrounding the core 11a. The light reflecting surface 13 located at the other end of the optical fiber 11, covers the light reflecting surface 13, contacts the outer edge of the light reflecting surface 13, and substantially covers the core 11 a at the center. A metal layer 14 that also covers one side of the optical fiber over L 0 and a second light input / output surface 15 that is adjacent to the other end of the optical fiber 11 and exposes the optical fiber 11 are provided.
1A is a side view of an optical pin according to an embodiment of the present invention, FIG. 1B is a front view of the optical pin shown in FIG. 1A, and FIG. It is A sectional view.

このような光ピン10は、光信号を伝送することができると共に、その光路の角度を90°変換することができる。
具体的には、LD等の光源(図示せず)から照射した光信号を、第1の光入出力面12から入射した場合、光信号は光ファイバ11のコア11aを介して光反射面13に向かって伝送された後、光反射面13で反射により光路が90°変換され、第2の光入出力面15から出射されることとなり、光信号をPD等の光学部品(図示せず)に伝送することができる。
なお、ここでは、第1の光入出力面12から入射した光が、第2の光入出力面15から出射する光路を説明したが、光ピン10では、これとは逆の光路、すなわち、第2の光入出力面15から入射した光が、第1の光入出力面12から出射する光路でも、光信号を伝送することができると共に、その光路の角度を90°変換することができる。
また、光ピン10では、光反射面13がコア11aと45°の角度を成しているため、光路は90°変換されることとなるが、本発明の実施形態の光ピンにおいて、光反射面とコアとの成す角は45°に限定されず、この角を任意に設定することにより、所望の角度で光路を変換することが可能となる。
Such an optical pin 10 can transmit an optical signal and can change the angle of the optical path by 90 °.
Specifically, when an optical signal irradiated from a light source (not shown) such as an LD is incident from the first light input / output surface 12, the optical signal is reflected on the light reflecting surface 13 via the core 11 a of the optical fiber 11. After being transmitted toward the optical path, the optical path is converted by 90 ° by reflection at the light reflecting surface 13 and emitted from the second light input / output surface 15, and an optical signal (not shown) such as a PD is transmitted. Can be transmitted.
Here, the optical path in which the light incident from the first light input / output surface 12 is emitted from the second light input / output surface 15 has been described. However, in the optical pin 10, the opposite optical path, that is, Even when the light incident from the second light input / output surface 15 is emitted from the first light input / output surface 12, an optical signal can be transmitted and the angle of the light path can be converted by 90 °. .
Further, in the optical pin 10, since the light reflecting surface 13 forms an angle of 45 ° with the core 11a, the optical path is converted by 90 °. However, in the optical pin according to the embodiment of the present invention, the light reflection is performed. The angle formed by the surface and the core is not limited to 45 °, and the optical path can be converted at a desired angle by arbitrarily setting this angle.

光ピン10は、光反射面13及び光ファイバ11の側面の一部を覆う金属層14を備えている。光反射面13を覆うように、金属層14を形成することにより、光反射面13で光が透過することがなく、確実に光路を変換することができる。
また、光ピン10では、光反射面13と共に、光ファイバ11の側面の一部にも金属層14が形成されている。このように、光反射面13のみならず、光ファイバ11の一部にも一体的に金属層14を形成することにより、金属層14と光ファイバ11との接着性が向上することとなり、金属層14の剥離を回避することが可能となる。
The optical pin 10 includes a metal layer 14 that covers a part of the side surface of the light reflecting surface 13 and the optical fiber 11. By forming the metal layer 14 so as to cover the light reflecting surface 13, light is not transmitted through the light reflecting surface 13, and the optical path can be reliably converted.
In the optical pin 10, a metal layer 14 is formed on a part of the side surface of the optical fiber 11 together with the light reflecting surface 13. Thus, by forming the metal layer 14 integrally not only on the light reflecting surface 13 but also on a part of the optical fiber 11, the adhesion between the metal layer 14 and the optical fiber 11 is improved. It is possible to avoid peeling of the layer 14.

金属層14の材質としては、特に限定されず、種々の金属を使用することが可能であるが、反射率が高く、安定した特性の金属層を作製しやすい点からAuが望ましい。
金属層14の形成位置は、光反射面13及び光ファイバ11の側面の一部であるが、光ファイバ11の側面における金属層14の形成位置は、第2の光入出力面15以外の領域であればよく、第2の光入出力面15と重ならない領域であれば、光ファイバの側面のどのような範囲に形成されていてもよい。
なお、第2の光入出力面15とは、光反射面13を構成するコア11a端面の下方投影面であって、光ファイバの側面における投影面のことをいう。
The material of the metal layer 14 is not particularly limited, and various metals can be used. However, Au is desirable because it has a high reflectance and a metal layer having stable characteristics can be easily produced.
The formation position of the metal layer 14 is a part of the side surface of the light reflecting surface 13 and the optical fiber 11, but the formation position of the metal layer 14 on the side surface of the optical fiber 11 is a region other than the second light input / output surface 15. As long as it is a region that does not overlap the second light input / output surface 15, it may be formed in any range on the side surface of the optical fiber.
The second light input / output surface 15 is a lower projection surface of the end surface of the core 11a constituting the light reflection surface 13, and is a projection surface on the side surface of the optical fiber.

また、光ファイバ11の側面における金属層14の形成位置は、光ピン10のA−A線断面において、円周の1/2以上を占める円弧となるような位置に形成されていることが望ましく、図1(b)に示すように、コアの中心を通る仮想水平線より、金属層14の両端部が下に位置するように形成されていることがより望ましい。
このような位置に形成することにより、光ファイバとの接着性がより向上することとなり、金属層の剥離をより確実に回避することができるからである。
Further, the formation position of the metal layer 14 on the side surface of the optical fiber 11 is desirably formed in a position that forms an arc that occupies 1/2 or more of the circumference in the cross section along the line AA of the optical pin 10. As shown in FIG. 1B, it is more desirable that both end portions of the metal layer 14 are located below the virtual horizontal line passing through the center of the core.
By forming in such a position, adhesiveness with the optical fiber is further improved, and peeling of the metal layer can be avoided more reliably.

また、光ファイバ11の側面部分の金属層14の長さは、光反射面13の最も長い部分の長さよりも長いことが望ましい。
金属層14をこのように形成することにより、光ファイバとの接着性がより向上することとなり、金属層の剥離をより確実に回避することができるからである。
なお、光ファイバ11の側面部分の金属層14の長さとは、光ファイバ11の側面において光ファイバの軸方向に最も短い部分の長さをいい、図1(a)では、Lの部分の長さをいう。
The length of the metal layer 14 on the side surface of the optical fiber 11 is preferably longer than the length of the longest portion of the light reflecting surface 13.
This is because by forming the metal layer 14 in this manner, the adhesion to the optical fiber is further improved, and the peeling of the metal layer can be avoided more reliably.
The length of the metal layer 14 of the side surface portion of the optical fiber 11 and refers to the length of the shortest portion in the axial direction of the optical fiber on the side surface of the optical fiber 11, in FIG. 1 (a), part of the L 0 Say length.

また、金属層14の厚さは特に限定されないが、通常、0.1〜1.0μmの範囲である。望ましくは、0.3〜0.5μmの範囲が好ましい。
金属層の厚さが薄すぎると、金属層にピンホールが形成され、確実にミラーとして機能しない場合があり、一方、厚さを厚くしても、コストが増加すると共に、形成に時間を要するだけで、光ファイバとの接着性等の向上は望むことが難しいからである。
金属層14の形成方法は後に詳述するが、金属層14の材質がAuである場合、スパッタリング等により形成することができる。
The thickness of the metal layer 14 is not particularly limited, but is usually in the range of 0.1 to 1.0 μm. Desirably, the range of 0.3 to 0.5 μm is preferable.
If the metal layer is too thin, pinholes are formed in the metal layer, which may not function reliably as a mirror. On the other hand, even if the thickness is increased, the cost increases and time is required for formation. This is because it is difficult to desire an improvement in adhesiveness with an optical fiber.
A method of forming the metal layer 14 will be described in detail later, but when the material of the metal layer 14 is Au, it can be formed by sputtering or the like.

光ファイバ11としては特に限定されず、その具体例としては、例えば、石英ガラス(SiO)を主成分とする石英系光ファイバ、ソーダ石灰、ガラス、ホウ硅ガラス等を主成分とする多成分系光ファイバ、シリコーン樹脂やアクリル樹脂等のプラスチックを主成分とするプラスチック系光ファイバ等が挙げられる。 The optical fiber 11 is not particularly limited, and specific examples thereof include, for example, a multi-component mainly composed of silica-based optical fiber mainly composed of quartz glass (SiO 2 ), soda lime, glass, borosilicate glass and the like. Examples thereof include plastic optical fibers mainly composed of plastics such as silicone resins and acrylic resins.

ここまで説明した本発明の実施形態の光ピンは、単芯の光ピンであるが、本発明の実施形態の光ピンは、複数本の光ピンを並列させて多芯の光ピンとしても使用することができる。 The optical pins of the embodiments of the present invention described so far are single-core optical pins, but the optical pins of the embodiments of the present invention are also used as multi-core optical pins by arranging a plurality of optical pins in parallel. can do.

次に、本発明の実施形態の光ピンを製造する方法について、図面を参照しながら説明する。
ここでは、光ファイバリボンを出発材料に、多芯の光ピンを製造する場合を例に製造方法を説明する。
図2(a)〜(c)は、本発明の実施形態に係る光ピンを製造する工程を示した模式図である。
Next, a method for manufacturing the optical pin of the embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
Here, a manufacturing method will be described by taking as an example the case of manufacturing a multi-core optical pin using an optical fiber ribbon as a starting material.
2A to 2C are schematic views showing a process for manufacturing an optical pin according to an embodiment of the present invention.

(1)まず、図2(a)に示したような、一方の端部付近の被覆を除去した光ファイバリボン20(多芯光ファイバ)を準備する。
そして、この光ファイバリボン20をV溝が形成されたガラス基板21に載置し、さらに、光ファイバリボン20上に蓋基板22を載置した後、接着剤23を充填し、ガラス基板21と蓋基板22とで挟んで、接着剤23で光ファイバリボン20を固定する(図2(b−1)参照)。
(1) First, as shown in FIG. 2A, an optical fiber ribbon 20 (multi-core optical fiber) from which the coating near one end is removed is prepared.
Then, the optical fiber ribbon 20 is placed on the glass substrate 21 with the V-groove formed thereon, and further, the lid substrate 22 is placed on the optical fiber ribbon 20, and then the adhesive 23 is filled. The optical fiber ribbon 20 is fixed with an adhesive 23 by being sandwiched between the lid substrate 22 (see FIG. 2B-1).

(2)次に、光ファイバリボン20の一方(被覆を除去した側)の端部に研磨処理を施し、光反射面を形成する(図2(b−2)参照)。この研磨処理では、例えば、粗い研磨と仕上げ研磨とをこの順で行えばよい。
なお、ガラス基板21及び蓋基板22は、その端面の一つに底面とのなす角が45°の傾斜となるように研磨される。
このような45°の傾斜のガラス基板21及び蓋基板22に挟まれた光ファイバリボン20には、45°の光反射面を形成することができる。
ガラス基板21及び蓋基板22の傾斜は、45°に限定されるわけではなく、任意の角度であればよい。
(2) Next, a polishing process is performed on one end (side from which the coating is removed) of the optical fiber ribbon 20 to form a light reflecting surface (see FIG. 2B-2). In this polishing process, for example, rough polishing and finish polishing may be performed in this order.
The glass substrate 21 and the lid substrate 22 are polished so that one of the end surfaces forms an inclination of 45 ° with the bottom surface.
A 45 ° light reflecting surface can be formed on the optical fiber ribbon 20 sandwiched between the glass substrate 21 and the lid substrate 22 inclined at 45 °.
The inclination of the glass substrate 21 and the lid substrate 22 is not limited to 45 °, and may be any angle.

(3)次に、光ファイバリボン20をガラス基板21、蓋基板22及び接着剤23から取り外し、必要に応じて、光ファイバに付着した不純物(例えば、接着剤等)を超音波洗浄(例えば、5分間)等により除去する。
このような研磨及び洗浄の処理を行うことにより、光反射面を表面粗さ10nm程度の平坦な面とすることができる。
(3) Next, the optical fiber ribbon 20 is removed from the glass substrate 21, the lid substrate 22 and the adhesive 23, and if necessary, impurities (for example, adhesive) attached to the optical fiber are subjected to ultrasonic cleaning (for example, For 5 minutes).
By performing such polishing and cleaning treatments, the light reflecting surface can be a flat surface having a surface roughness of about 10 nm.

(4)次に、光ファイバリボン20の光反射面を被覆すると共に、光ファイバリボン20側面の一部であって光反射面の外縁部と接して形成される帯状金属層を形成する。
図2(c)に示すように、光ファイバリボン20をV溝付ガラス基板24に搭載し、さらに、光ファイバの光反射面と帯状金属層形成領域を露出させるように、光ファイバリボン20上面に難燃性の固定テープ25を貼着し、光ファイバリボン20をV溝付ガラス基板24に固定する。
(4) Next, the light reflecting surface of the optical fiber ribbon 20 is covered, and a band-shaped metal layer is formed that is a part of the side surface of the optical fiber ribbon 20 and is in contact with the outer edge of the light reflecting surface.
As shown in FIG. 2 (c), the optical fiber ribbon 20 is mounted on a glass substrate 24 with a V-groove, and the upper surface of the optical fiber ribbon 20 is exposed so that the light reflecting surface of the optical fiber and the band-shaped metal layer forming region are exposed. A flame-retardant fixing tape 25 is adhered to the optical fiber ribbon 20 and the optical fiber ribbon 20 is fixed to the V-grooved glass substrate 24.

なお、光ファイバリボン20の端部をV溝付ガラス基板24の端部傾斜面に合致させて固定した状態を図示したが、本工程は、端部傾斜面に光ファイバリボン20の端部を合致させる工程に限定されず、例えば、光ファイバリボン20の端部をV溝付ガラス基板24の長手方向に延在するV溝の中間領域に位置させ、固定テープ25により光ファイバリボン20をV溝付ガラス基板24に固定してもよい。 Although the state in which the end of the optical fiber ribbon 20 is fixed in alignment with the end inclined surface of the V-grooved glass substrate 24 is illustrated, in this step, the end of the optical fiber ribbon 20 is attached to the end inclined surface. For example, the end portion of the optical fiber ribbon 20 is positioned in the middle region of the V groove extending in the longitudinal direction of the glass substrate 24 with the V groove, and the optical fiber ribbon 20 is fixed to the V by the fixing tape 25. You may fix to the glass substrate 24 with a groove | channel.

引き続き、逆スパッタリング工程を実施する。本発明の実施の形態では、逆スパッタリング工程は、真空チャンバ内にV溝付ガラス基板24に固定された光ピンとしての光ファイバリボン20を導入し、光ファイバリボン20に付着した水分及び/又は不純物を除去する工程に該当する。 Subsequently, a reverse sputtering process is performed. In the embodiment of the present invention, the reverse sputtering process introduces the optical fiber ribbon 20 as an optical pin fixed to the V-grooved glass substrate 24 into the vacuum chamber, and the moisture and / or adhering to the optical fiber ribbon 20 is introduced. This corresponds to the step of removing impurities.

逆スパッタリング工程では、例えば、大気圧の状態で真空チャンバ内を130℃で10分程度の高温状態に保ち真空チャンバ内の水分などを除去した後に昇温工程を解除する。その後、真空チャンバ内が高温状態から常温に変化した段階で、不図示の真空ポンプで真空チャンバ内を真空状態に変化させる。 In the reverse sputtering process, for example, the inside of the vacuum chamber is kept at a high temperature of about 10 minutes at 130 ° C. under atmospheric pressure, and after the moisture in the vacuum chamber is removed, the temperature raising process is canceled. Thereafter, when the inside of the vacuum chamber is changed from a high temperature state to a normal temperature, the inside of the vacuum chamber is changed to a vacuum state by a vacuum pump (not shown).

真空チャンバ内は、約8時間連続して真空ポンプを稼動させた場合、真空度が8.98×10−4Paに変化する。
この状態で外部から真空チャンバ内にアルゴン(Ar)ガスを導入し、真空チャンバ内でプラズマを発生させArガス雰囲気中に晒された光ファイバリボン20に活性化されたArイオンを衝突させる。プラズマの発生期間を約10分間に設定し光ファイバリボン20から水分及び/又は不純物を除去する。この場合、真空チャンバ内は常温に設定されているが、光ファイバリボン20表面がプラズマ照射期間において約30℃〜40℃の範囲で温度が上昇する。
When the vacuum pump is operated continuously for about 8 hours in the vacuum chamber, the degree of vacuum changes to 8.98 × 10 −4 Pa.
In this state, argon (Ar) gas is introduced from the outside into the vacuum chamber, plasma is generated in the vacuum chamber, and activated Ar + ions collide with the optical fiber ribbon 20 exposed to the Ar gas atmosphere. The plasma generation period is set to about 10 minutes to remove moisture and / or impurities from the optical fiber ribbon 20. In this case, the inside of the vacuum chamber is set to room temperature, but the temperature of the surface of the optical fiber ribbon 20 rises in the range of about 30 ° C. to 40 ° C. during the plasma irradiation period.

このような逆スパッタリングを行うことにより、Au膜を形成する領域の水分及び/又は不純物をより確実に除去することができ、さらに、Au膜を形成する領域の表面粗さが大きくなり、その結果、アンカー効果によりAu膜の接着性がより向上することとなる。 By performing such reverse sputtering, moisture and / or impurities in the region where the Au film is formed can be more reliably removed, and the surface roughness of the region where the Au film is formed is increased. The adhesion of the Au film is further improved by the anchor effect.

その後、Auスパッタリングを行うことにより、光ファイバリボン20の光反射面と側面の一部とに金属層(Au膜)を形成する。
上記Auスパッタリングの条件としては特に限定されず、形成するAu膜の厚さ等を考慮して適宜設定すればよいが、例えば、Au膜の厚さを0.5μmとする場合、ガス:Ar、時間:15分間、真空度:8.98×10−4Paで処理することによりAu膜を形成することができる。
このようなAuスパッタリングを行うことにより、光ファイバ11の光反射面13を含む光ファイバ11の端部近傍を覆うようにAu膜を形成することができ、このようなAu膜は、光ファイバと優れた接着性を有することとなる。
Thereafter, Au sputtering is performed to form a metal layer (Au film) on the light reflecting surface and part of the side surface of the optical fiber ribbon 20.
The Au sputtering conditions are not particularly limited, and may be set as appropriate in consideration of the thickness of the Au film to be formed. For example, when the thickness of the Au film is 0.5 μm, the gas: Ar, Time: 15 minutes, degree of vacuum: 8.98 × 10 −4 Pa, an Au film can be formed.
By performing such Au sputtering, an Au film can be formed so as to cover the vicinity of the end portion of the optical fiber 11 including the light reflecting surface 13 of the optical fiber 11. It will have excellent adhesion.

光ファイバリボン20を用い、逆スパッタリング工程及びAuスパッタリング工程を経ることにより、実施の形態に係る光ピンを製造することができる。
また、ここでは、光ファイバリボンを用いて、多芯の光ピンを製造する方法について説明したが、単芯の光ファイバを出発材料とすれば、単芯の光ピンも同様の方法で製造することができる。
The optical pin according to the embodiment can be manufactured by using the optical fiber ribbon 20 through the reverse sputtering process and the Au sputtering process.
In addition, here, a method for manufacturing a multi-core optical pin using an optical fiber ribbon has been described. However, if a single-core optical fiber is used as a starting material, a single-core optical pin is also manufactured by a similar method. be able to.

次に、本発明の第2の実施形態に係る光ピンコネクタについて説明する。
光ピンコネクタ30は、軸方向に延在するコア11a及び該コア11aを包囲するクラッド11bを有する光ファイバ11の端部に位置する第1の光入出力面12、光ファイバ11の他端部に位置する光反射面13、該光反射面13を被覆すると共に、該光反射面13の外縁部と接して光ファイバ11の片側面をも被覆する金属層14、光ファイバ11の他端部に隣接し、光ファイバ11を露出させた第2の光入出力面15、を有する光ピン10と、軸方向が並列に配置される複数の光ピン10a〜10dに対応する複数の貫通孔33a〜33d、及び、該貫通孔33a〜33dを軸方向に対して垂直方向に横断するスリット部34を有し、光ピン10を貫通孔に挿入するコネクタ本体31と、スリット部34に充填され、光ピン10をコネクタ本体31に固定する接着剤32と、を備える。
Next, an optical pin connector according to a second embodiment of the present invention will be described.
The optical pin connector 30 includes a first light input / output surface 12 positioned at an end of the optical fiber 11 having a core 11a extending in the axial direction and a clad 11b surrounding the core 11a, and the other end of the optical fiber 11. A light reflecting surface 13 positioned at the surface, a metal layer 14 that covers the light reflecting surface 13 and also covers one side of the optical fiber 11 in contact with the outer edge of the light reflecting surface 13, and the other end of the optical fiber 11. And a plurality of through holes 33a corresponding to the plurality of optical pins 10a to 10d arranged in parallel in the axial direction, and the second optical input / output surface 15 exposing the optical fiber 11. 33d and a slit body 34 that crosses the through holes 33a to 33d in a direction perpendicular to the axial direction, and the connector body 31 that inserts the optical pin 10 into the through hole, and the slit section 34 are filled, Connect optical pin 10 It includes an adhesive 32 for fixing the motor body 31, a.

図3−1(a)は、本発明の実施形態に係る光ピンコネクタの一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示した光ピンコネクタの正面図であり、(c)は、(a)に示した光ピンコネクタの平面図である。
図3−2(d)は、図3−1(a)のB−B線断面図であり、(e)は、(a)に示した光ピンコネクタを構成するコネクタ本体のみを示す斜視図である。
3-1 (a) is a perspective view showing an example of an optical pin connector according to an embodiment of the present invention, (b) is a front view of the optical pin connector shown in (a), (c) ) Is a plan view of the optical pin connector shown in FIG.
3D is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 3A, and FIG. 3E is a perspective view showing only the connector main body that constitutes the optical pin connector shown in FIG. It is.

図3−1、2に示すように、光ピンコネクタ30は、複数本の第1の実施形態に係る光ピン(多芯の光ピン)10(10a〜10d)と、その内部を貫通する複数の貫通孔33と、貫通孔33の少なくとも一部を横断するように設けられたスリット部34とを有し、光ピン10が、貫通孔33内に挿通されて並列に配設されたコネクタ本体31と、スリット部34に充填され、光ピン10をコネクタ本体31に固定する接着剤32とを備えている。
なお、光ピンコネクタ30が備える光ピンの本数は4本であるが、本発明の実施形態の光ピンコネクタが備える光ピンの本数は4本に限定されず、何本であってもよい。
As shown in FIGS. 3A and 3B, the optical pin connector 30 includes a plurality of optical pins (multi-core optical pins) 10 (10a to 10d) according to the first embodiment and a plurality of optical pins penetrating through the optical pins. Connector body having a through hole 33 and a slit portion 34 provided so as to cross at least a part of the through hole 33, and the optical pin 10 is inserted into the through hole 33 and arranged in parallel. 31 and an adhesive 32 that fills the slit portion 34 and fixes the optical pin 10 to the connector main body 31.
In addition, although the number of the optical pins with which the optical pin connector 30 is provided is four, the number of the optical pins with which the optical pin connector of embodiment of this invention is provided is not limited to four, Any number may be sufficient.

コネクタ本体31には、図3−2(e)に示すように、光ピン10を保持するための貫通孔33(33a〜33d)が形成されており、この貫通孔33内に光ピン10が挿通されることとなる。また、コネクタ本体31には、貫通孔33を横断するようにスリット部34が設けられている。そしてこのスリット部34には、光ピンを固定するための接着剤32が充填されている。 As shown in FIG. 3-2 (e), the connector body 31 is formed with through holes 33 (33 a to 33 d) for holding the optical pins 10, and the optical pins 10 are inserted into the through holes 33. It will be inserted. The connector main body 31 is provided with a slit portion 34 so as to cross the through hole 33. The slit portion 34 is filled with an adhesive 32 for fixing the optical pin.

ここに示したコネクタ本体31では、貫通孔33全体を横断するようにスリット部34が形成されているが、本発明の実施形態の光ピンコネクタにおいて、スリット部は、貫通孔の一部のみを横断するように形成されていてもよい。
すなわち、光ピンコネクタ30では、スリット部の34の底面が、貫通孔33よりも下側に位置するように形成されているが、スリット部の底面は、貫通孔内に位置するように形成されていてもよい。
また、スリット部34の幅(図中、L)は、接着剤32をスリット部34内に確実に充填することができる大きさであれば特に限定されず、通常、150〜400μm程度である。
In the connector main body 31 shown here, the slit portion 34 is formed so as to traverse the entire through-hole 33. However, in the optical pin connector according to the embodiment of the present invention, the slit portion has only a part of the through-hole. You may form so that it may cross.
That is, in the optical pin connector 30, the bottom surface of the slit portion 34 is formed to be positioned below the through hole 33, but the bottom surface of the slit portion is formed to be positioned in the through hole. It may be.
The width of the slit portion 34 (in the figure, L 1), if it is large enough to be able to be reliably filled with the adhesive 32 in the slit portion 34 is not particularly limited, usually, is about 150~400μm .

また、コネクタ本体31としては、例えば、MTコネクタ(Mechanically Transferable Connector)を利用することができ、MTコネクタにスリット部を切削加工で形成することにより、コネクタ本体31とすることができる。
上記MTコネクタは、例えば、2本のガイドピンを備えており、このようなガイドピンを備えたMTコネクタの一部を、コネクタ本体として利用することは、後述する光路変換用モジュールに用いる光ピンコネクタとする点で有用である。
As the connector body 31, for example, an MT connector (Mechanically Transferable Connector) can be used. By forming a slit portion in the MT connector by cutting, the connector body 31 can be obtained.
The MT connector includes, for example, two guide pins, and the use of a part of the MT connector including such guide pins as a connector main body is an optical pin used for an optical path conversion module described later. This is useful in terms of a connector.

また、MTコネクタのなかには、光ファイバを挿通する貫通孔と共に、光ファイバを固定するための接着剤を充填するための接着剤充填部を備えるものもあり、この接着剤充填部は、本発明の実施形態の光ピンコネクタを構成するスリット部として機能しうる。
しかしながら、このMTコネクタでは、光ピンの光反射面が突出することとなる面と、接着材充填部との距離が長くなっている(概ね、2〜3mm)。
一方、光ピンコネクタ等の各種光学部品は、装置の小型化に対応すべく、小型であることが望まれている。そして、本発明の実施形態の光ピンコネクタでは、その機能や構成、取り扱い性等を考慮した場合、コネクタ本体の長さ(貫通孔形成方向の長さ)を2〜3mm程度に小型化することが望ましい。従って、本発明の実施形態の光ピンコネクタを構成するコネクタ本体として、MTコネクタを利用する場合には、その一部のみを利用し、上記光スリット部を別途形成することが望ましい。
In addition, some MT connectors include an adhesive filling portion for filling an adhesive for fixing an optical fiber together with a through hole through which the optical fiber is inserted. It can function as a slit portion constituting the optical pin connector of the embodiment.
However, in this MT connector, the distance between the surface from which the light reflecting surface of the optical pin protrudes and the adhesive filling portion is long (approximately 2 to 3 mm).
On the other hand, various optical components such as an optical pin connector are desired to be small in order to cope with downsizing of the apparatus. In the optical pin connector according to the embodiment of the present invention, the length of the connector body (the length in the through-hole forming direction) is reduced to about 2 to 3 mm in consideration of the function, configuration, handleability, and the like. Is desirable. Therefore, when the MT connector is used as the connector main body constituting the optical pin connector of the embodiment of the present invention, it is desirable to use only a part thereof and separately form the optical slit portion.

接着剤32としては、例えば、熱硬化性樹脂、熱硬化性樹脂の一部が感光化された樹脂、感光性樹脂等からなるものが挙げられる。
具体的には、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂等の熱硬化性樹脂や、紫外線硬化型樹脂等を用いることができる。
Examples of the adhesive 32 include a thermosetting resin, a resin in which a part of the thermosetting resin is sensitized, and a photosensitive resin.
Specifically, for example, a thermosetting resin such as an epoxy resin, a phenol resin, or a silicone resin, an ultraviolet curable resin, or the like can be used.

貫通孔33のサイズ(直径)は特に限定されず、挿入する光ピンを構成する光ファイバのサイズを考慮して適宜選択すればよい。
具体的には、例えば、光ピンを構成する光ファイバの直径が125μmである場合には、
それよりも少し大きい126μm程度の直径を有する貫通孔を形成すればよい。なお、金属層の厚さに対応させて、光ファイバと貫通孔33とのクリアランスを0.3〜0.5μmの範囲で設定すればよい。
貫通孔33のサイズが光ファイバのサイズに比べて大きすぎると、貫通孔33で光ピン10が位置ずれを起こしてしまうおそれがあるからである。
The size (diameter) of the through hole 33 is not particularly limited, and may be appropriately selected in consideration of the size of the optical fiber constituting the optical pin to be inserted.
Specifically, for example, when the diameter of the optical fiber constituting the optical pin is 125 μm,
A through hole having a slightly larger diameter of about 126 μm may be formed. In addition, what is necessary is just to set the clearance of an optical fiber and the through-hole 33 in the range of 0.3-0.5 micrometer according to the thickness of a metal layer.
This is because if the size of the through hole 33 is too large compared to the size of the optical fiber, the optical pin 10 may be displaced in the through hole 33.

光ピンコネクタ30において、光ピン10の光反射面側のコネクタ本体からの突出長さは特に限定されず、設計に応じて適宜選択すればよい。
また、光ピンコネクタ30において、光ピン10の第1の光入出力面側のコネクタ本体からの突出長さは特に限定されず、上記第1の光入出力面とコネクタ本体側面とが同一面を構成(突出せず長さが0)していてもよいし、所定の長さ突出していてもよい。
In the optical pin connector 30, the protruding length from the connector main body on the light reflection surface side of the optical pin 10 is not particularly limited, and may be appropriately selected according to the design.
Further, in the optical pin connector 30, the protruding length of the optical pin 10 from the connector body on the first light input / output surface side is not particularly limited, and the first light input / output surface and the connector body side surface are the same surface. (The length does not protrude and the length is 0), or may protrude by a predetermined length.

光ピンコネクタ30において、各光ピン10a〜10dで変換される光路は、変換角度が90度で、かつ、変換方向も同一(第1の光入出力面から入力された場合、全て下方向に変換される。)であるが、本発明の実施形態の光ピンコネクタでは、光ピン毎に、変換角度や変換方向が異なっていてもよい。 In the optical pin connector 30, the optical path converted by each of the optical pins 10a to 10d has a conversion angle of 90 degrees and the same conversion direction (when input from the first light input / output surface, all are downward. However, in the optical pin connector according to the embodiment of the present invention, the conversion angle and the conversion direction may be different for each optical pin.

また、本発明の実施形態の光ピンコネクタでは、並列に配設された複数本の光ピンが、2段以上に積み重ねられていてもよい。
図3−3(a)は、本発明の実施形態に係る光ピンコネクタの別の一例を模式的に示す斜視図であり、(b)は、(a)のC−C線断面図である。
In the optical pin connector of the embodiment of the present invention, a plurality of optical pins arranged in parallel may be stacked in two or more stages.
3-3 (a) is a perspective view schematically showing another example of the optical pin connector according to the embodiment of the present invention, and (b) is a cross-sectional view taken along the line CC of (a). .

図3−3に示すように、光ピンコネクタ40では、複数本の第1の実施形態に係る光ピン(多芯の光ピン)10(10a〜10h)と、光ピン10を並列に配設した状態で保持するコネクタ本体41と、光ピン10をコネクタ本体41に固定する接着剤42と、コネクタ本体41を貫通するように設けられ、その内部に光ピン10を保持する貫通孔と、貫通孔の少なくとも一部を横断するように設けられ、内部に接着剤42が充填されたスリット部とを備えている。
ここで、光ピン10は、光ピン10a〜10dが一組として並列に配設されており、光ピン10e〜10hが別の一組として並列に配設されている。そして、光ピン10a〜10dが上段に、光ピン10e〜10hが下段に固定されている。
このように、本発明の実施形態の光ピンコネクタは、並列に配設された光ピンが複数段に積み重ねられていてもよい。
As shown in FIG. 3C, in the optical pin connector 40, a plurality of optical pins (multi-core optical pins) 10 (10a to 10h) according to the first embodiment and the optical pins 10 are arranged in parallel. A connector body 41 that is held in a state in which it is held, an adhesive 42 that fixes the optical pin 10 to the connector body 41, a through-hole that is provided so as to penetrate the connector body 41, and holds the optical pin 10 therein, and a through hole And a slit portion that is provided so as to cross at least a part of the hole and is filled with an adhesive 42 therein.
Here, in the optical pin 10, the optical pins 10a to 10d are arranged in parallel as one set, and the optical pins 10e to 10h are arranged in parallel as another set. The optical pins 10a to 10d are fixed to the upper stage, and the optical pins 10e to 10h are fixed to the lower stage.
Thus, in the optical pin connector according to the embodiment of the present invention, the optical pins arranged in parallel may be stacked in a plurality of stages.

また、光ピンコネクタ40では、光ピン10a〜10dの光反射面側のコネクタ本体41からの突出長さが、光ピン10e〜10hの光反射面側のコネクタ本体41からの突出長さよりも長くなるように構成されている。このような構成とすることにより、各光ピンで光路を変換した光信号が、他の光ピンにより伝送を阻害されることを防止することができる。
なお、光ピンコネクタ40の構成は並列に配設された光ピンが複数段に積み重ねられている以外は、図3−1、2に示した光ピンコネクタ30と同一であるため、その他の構成部材の説明を省略する。
このような構成の光ピンコネクタにおいても、上述した本発明の光ピンコネクタの機能及び効果を享受することができる。
In the optical pin connector 40, the protruding length of the optical pins 10a to 10d from the connector main body 41 on the light reflecting surface side is longer than the protruding length of the optical pins 10e to 10h from the connector main body 41 on the light reflecting surface side. It is comprised so that it may become. By adopting such a configuration, it is possible to prevent an optical signal whose optical path has been converted by each optical pin from being inhibited from being transmitted by other optical pins.
The configuration of the optical pin connector 40 is the same as the optical pin connector 30 shown in FIGS. 3A and 3B except that the optical pins arranged in parallel are stacked in a plurality of stages. Explanation of the members is omitted.
Even in such an optical pin connector, the functions and effects of the optical pin connector of the present invention described above can be enjoyed.

また、光ピンコネクタ40のような、並列に配設された光ピンが複数段に積み重ねられている構成においても、各光ピンの変換角度や変換方向は、全て同一であってもよいし、各光ピン毎に異なっていてもよい。
例えば、第1の光入出力面から入力された場合に、上段の光ピンでは上方向に光路が変換され、下段の光ピンでは下方向に光路が変換されるような構成としてもよい。そして、この場合は、上下段の光ピンの光反射面側のコネクタ本体からの突出長さが同一であってもよい。
In addition, in the configuration in which the optical pins arranged in parallel, such as the optical pin connector 40, are stacked in a plurality of stages, the conversion angle and the conversion direction of each optical pin may all be the same, It may be different for each optical pin.
For example, when the light is input from the first light input / output surface, the optical path may be converted upward in the upper optical pin, and the optical path may be converted downward in the lower optical pin. In this case, the protrusion length from the connector main body on the light reflection surface side of the upper and lower optical pins may be the same.

次に、本発明の実施形態の光ピンコネクタを製造する方法について説明する。
ここでは、MTコネクタを利用する方法を例に、光ピンコネクタの製造方法について説明する。
多芯の光ピンと、光ピンを挿通することが可能なMTコネクタとを用意する。
まず、MTコネクタを所定の大きさに切断し、さらに切削加工によりスリット部を形成する。上述したように、スリット部は、貫通孔全体を横断するように形成してもよいし、貫通孔の一部のみを横断するように形成してもよい。
Next, a method for manufacturing the optical pin connector of the embodiment of the present invention will be described.
Here, a method for manufacturing an optical pin connector will be described using a method using an MT connector as an example.
A multi-core optical pin and an MT connector through which the optical pin can be inserted are prepared.
First, the MT connector is cut into a predetermined size, and a slit portion is formed by cutting. As described above, the slit portion may be formed so as to cross the entire through hole, or may be formed so as to cross only a part of the through hole.

次に、この多芯の光ピンを構成する各光ピンをMTコネクタの貫通孔内に挿入する。
上述した方法で製造した多芯の光ピンは、各光ピン間のピッチの不整合や、長さのバラツキが生じている場合があるが、MTコネクタを用いることにより、各光ピン間のピッチを揃えることができる。
なお、各ピン間の長さのバラツキの調整(位置精度の調整)については、自動調芯機を用いて行うことができる。ここで、自動調芯機としては、1μm程度の調芯精度を有するものを用いることが望ましい。
Next, each optical pin constituting this multi-core optical pin is inserted into the through hole of the MT connector.
The multi-core optical pins manufactured by the above-described method may have pitch mismatch or length variation between the optical pins. However, by using the MT connector, the pitch between the optical pins can be reduced. Can be aligned.
The adjustment of the length variation between the pins (positional accuracy adjustment) can be performed using an automatic aligner. Here, it is desirable to use an automatic aligner having an alignment accuracy of about 1 μm.

その後、スリット部に未硬化の接着剤を充填し、加熱、紫外線照射等の所定の条件で、未硬化の接着剤を硬化させることにより、多芯の光ピンをコネクタ本体に固定する。
このような工程を経ることにより、本発明の実施形態の光ピンコネクタを製造することができる。
Thereafter, the uncured adhesive is filled in the slit portion, and the uncured adhesive is cured under predetermined conditions such as heating and ultraviolet irradiation, thereby fixing the multi-core optical pins to the connector body.
By passing through such a process, the optical pin connector of embodiment of this invention can be manufactured.

次に、本発明の第3の実施形態に係る光路変換用モジュールについて説明する。
光路変換用モジュール100は、軸方向に延在するコア11a及び該コア11aを包囲するクラッド11bを有する光ファイバ11の端部に位置する第1の光入出力面12、光ファイバ11の他端部に位置する光反射面13、該光反射面13を被覆すると共に、該光反射面13の外縁部と接して光ファイバ11の片側面をも被覆する金属層14、並びに、光ファイバ11の他端部に隣接し、光ファイバ11を露出させた第2の光入出力面15、を有する光ピン10と、光ピン10に対する光信号を発光又は受光する光学素子102と、光学素子102に電気的に接続され、該光学素子102を駆動する駆動集積回路103と、軸方向が並列に配置される複数の光ピン10に対応する複数の貫通孔33、該貫通孔33を軸方向に対して垂直方向に横断するスリット部34、光ピン10を貫通孔に挿入するコネクタ本体31、及び、貫通孔33の列に隣接しコネクタ本体31から突設する複数のガイドピン39を有し、スリット部34に接着剤32を充填し、光ピン10をコネクタ本体31に固定する光ピンコネクタ30と、複数のガイドピン39に夫々対応して設けられたガイド孔112cを有し、光学素子102及び駆動集積回路103を実装し、ガイド孔112cにガイドピン39を挿通させて光学素子102と光ピン10との間に光信号の伝送位置決めをする回路基板101と、を備える。
Next, an optical path conversion module according to a third embodiment of the present invention will be described.
The optical path conversion module 100 includes a first light input / output surface 12 located at an end of an optical fiber 11 having a core 11a extending in the axial direction and a clad 11b surrounding the core 11a, and the other end of the optical fiber 11. A light reflection surface 13 positioned at the portion, a metal layer 14 that covers the light reflection surface 13 and also covers one side surface of the optical fiber 11 in contact with the outer edge of the light reflection surface 13, and the optical fiber 11 An optical pin 10 having a second light input / output surface 15 adjacent to the other end and exposing the optical fiber 11, an optical element 102 for emitting or receiving an optical signal to the optical pin 10, and an optical element 102 A driving integrated circuit 103 that is electrically connected and drives the optical element 102, a plurality of through-holes 33 corresponding to a plurality of optical pins 10 that are arranged in parallel in the axial direction, and the through-holes 33 with respect to the axial direction. Vertical Adhering to the slit portion 34 is a crossing slit portion 34, a connector main body 31 for inserting the optical pin 10 into the through hole, and a plurality of guide pins 39 protruding from the connector main body 31 adjacent to the row of the through holes 33. The optical pin connector 30 that fills the agent 32 and fixes the optical pin 10 to the connector main body 31, and the guide holes 112 c provided respectively corresponding to the plurality of guide pins 39, the optical element 102 and the drive integrated circuit 103. And a circuit board 101 for positioning the optical signal between the optical element 102 and the optical pin 10 by inserting the guide pin 39 into the guide hole 112c.

図4−1(a)は、本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、(a)のD−D線断面図である。
図4−2(c)は、図4−1(a)に示した光路変換用モジュールを構成するインターポーザーの部分斜視図であり、(d)は、図4−1(a)に示した光路変換用モジュールを構成するレンズアレイの斜視図である。
4A is a cross-sectional view schematically illustrating an example of the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG.
4-2 (c) is a partial perspective view of the interposer constituting the optical path changing module shown in FIG. 4-1 (a), and (d) is shown in FIG. 4-1 (a). It is a perspective view of the lens array which comprises the module for optical path conversion.

図4−1、2に示すように、光路変換用モジュール100は、光学素子102及び駆動集積回路103と、上述した第2の実施形態に係る光ピンコネクタ30と、導体回路101bと絶縁層101aとが積層されてなる回路基板101とを備えている。
回路基板101の一方の表面には、半田バンプ104により光学素子102が、ワイヤボンディング105により駆動集積回路103が実装されている。また、回路基板101の他方の面には、ソルダーレジスト層108と半田バンプ109とが形成されている。なお、図中103aは、ダイパッドである。
As shown in FIGS. 4A and 4B, the optical path conversion module 100 includes an optical element 102 and a driving integrated circuit 103, the optical pin connector 30 according to the second embodiment described above, a conductor circuit 101b, and an insulating layer 101a. And a circuit board 101 that is laminated.
On one surface of the circuit board 101, an optical element 102 is mounted by solder bumps 104, and a driving integrated circuit 103 is mounted by wire bonding 105. A solder resist layer 108 and solder bumps 109 are formed on the other surface of the circuit board 101. In the figure, reference numeral 103a denotes a die pad.

回路基板101の光学素子102等を実装した側には、回路基板101全体を覆うように、インターポーザー110が取り付けられており、インターポーザー110の内側(回路基板101と対向する側)には、レンズアレイ111が固定されている。さらにインターポーザー110には、光ピンコネクタ30が取り付けられている。
ここで、光ピンコネクタ30は、2本のガイドピン39を備えており、また、回路基板101、レンズアレイ111及びインターポーザー110は、それぞれ2箇所ずつガイド孔112a〜112cを備えており、ガイドピン39は、インターポーザー110、レンズアレイ111及び回路基板101のそれぞれが備えるガイド孔112a〜112cにこの順で挿通されている。従って、ガイドピン39により、インターポーザー110、レンズアレイ111及び回路基板101は位置合わせがなされており、回路基板101に実装された光学素子102は、レンズ111aを介して、光ピンコネクタ30を構成する光ピン10との間で、光信号の伝送を行うことができる。
An interposer 110 is attached to the side of the circuit board 101 on which the optical element 102 and the like are mounted so as to cover the entire circuit board 101, and on the inner side of the interposer 110 (side facing the circuit board 101) The lens array 111 is fixed. Further, the optical pin connector 30 is attached to the interposer 110.
Here, the optical pin connector 30 includes two guide pins 39, and the circuit board 101, the lens array 111, and the interposer 110 include guide holes 112 a to 112 c at two locations, respectively. The pins 39 are inserted through guide holes 112a to 112c provided in the interposer 110, the lens array 111, and the circuit board 101 in this order. Therefore, the interposer 110, the lens array 111, and the circuit board 101 are aligned by the guide pins 39, and the optical element 102 mounted on the circuit board 101 constitutes the optical pin connector 30 via the lens 111a. The optical signal can be transmitted to and from the optical pin 10 to be transmitted.

そして、光路変換用モジュール100では、インターポーザー110、レンズアレイ111及び回路基板101の所定の位置にガイド孔112a〜112cを形成すると共に、回路基板101の所定の位置に光学素子を実装しておくことにより、光ピンコネクタ30に取り付けたガイドピン39を、ガイド孔112a〜112cに差し込むだけで、光学素子と光ピンコネクタ(光ピン)との位置合わせを行うことができる。
すなわち、光路変換用モジュール100では、光学素子102と光ピンコネクタ30(光ピン10)との位置合わせをパッシブアライメントで行うことができるのである。
従って、本発明の実施形態の光路変換用モジュールは、アクティブアライメントによる位置合わせを必要としないためその製造が容易であり、また、光ピンコネクタ等の交換作業も容易となる。
さらに、本発明の実施形態の光路変換用モジュールでは、光ピンコネクタの着脱が容易であり、複数の回路基板に対して、光ピンコネクタを適宜差し替えることも可能である。
In the optical path conversion module 100, guide holes 112a to 112c are formed at predetermined positions of the interposer 110, the lens array 111, and the circuit board 101, and optical elements are mounted at predetermined positions of the circuit board 101. Accordingly, the optical element and the optical pin connector (optical pin) can be aligned only by inserting the guide pin 39 attached to the optical pin connector 30 into the guide holes 112a to 112c.
That is, in the optical path conversion module 100, the alignment between the optical element 102 and the optical pin connector 30 (optical pin 10) can be performed by passive alignment.
Therefore, the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention does not require alignment by active alignment, so that it can be easily manufactured, and an optical pin connector or the like can be easily replaced.
Furthermore, in the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention, the optical pin connector can be easily attached and detached, and the optical pin connector can be appropriately replaced with respect to a plurality of circuit boards.

光路変換用モジュール100を構成する光ピンコネクタ30は、上述した第2の実施形態に係る光ピンコネクタである。
そして、この光ピンコネクタ30には、2本のガイドピン39が取り付けられている。ここで、ガイドピンの本数は特に限定されるわけではなく、2本以上であればよい。
上記ガイドピンの取り付け態様は特に限定されないが、光ピンを構成するコネクタ本体に挟み込まれて固定されている態様が望ましい。確実にガイドピンが固定されることとなるからである。
従って、本発明の実施形態の光路変換用モジュールを構成する光ピンコネクタのコネクタ本体は、既に説明したように、MTコネクタの一部を利用したものであることが望ましい。
The optical pin connector 30 constituting the optical path conversion module 100 is the optical pin connector according to the second embodiment described above.
Two guide pins 39 are attached to the optical pin connector 30. Here, the number of guide pins is not particularly limited, and may be two or more.
The manner in which the guide pins are attached is not particularly limited, but an embodiment in which the guide pins are fixed by being sandwiched between connector bodies constituting the optical pins is desirable. This is because the guide pin is securely fixed.
Therefore, it is desirable that the connector main body of the optical pin connector constituting the optical path changing module according to the embodiment of the present invention uses a part of the MT connector as described above.

また、上記光路変換用モジュールを構成する光ピンコネクタにおいて、各光ピンの第1の光入出力面は、コネクタ本体の側面と同一平面を形成していてもよいし、コネクタ本体の側面から突出していてもよい。どちらを選択するかは光路変換用モジュールの光路変換用モジュールの設計に応じて選択すればよい。
また、上記第1の光入出力面が、コネクタ本体の側面から突出している場合、その長さは任意であり、例えば、図4−1、2に示した光路変換用モジュール100では、インターポーザー110の光ピンコネクタ30を取り付ける領域(図4−2(c)中、110a参照)の厚さと同一である。
Further, in the optical pin connector constituting the optical path conversion module, the first light input / output surface of each optical pin may form the same plane as the side surface of the connector body, or protrude from the side surface of the connector body. It may be. Which one should be selected may be selected according to the design of the optical path conversion module of the optical path conversion module.
Further, when the first light input / output surface protrudes from the side surface of the connector body, the length thereof is arbitrary. For example, in the optical path conversion module 100 shown in FIGS. It is the same as the thickness of a region for attaching 110 optical pin connectors 30 (see 110a in FIG. 4-2 (c)).

光路変換用モジュール100を構成する回路基板101は、その両面に導体回路101bが形成された絶縁層101aの両側に、さらに絶縁層101aと導体回路101bとが積層形成され、加えて、一方の最外層にソルダーレジスト層108と半田バンプ109とが
形成されたものである。また、階層の異なる導体回路101b間は、スルーホール101cを介して電気的に接続されている。
本発明の実施形態の光路変換用モジュールを構成する回路基板は、ガイド孔が形成されていれば、このような構造に限定されるものではなく、例えば、パッケージ基板にガイド孔を形成したものを使用することができる。従って、導体回路や絶縁層の総数は任意であり、また、ソルダーレジスト層の有無も任意である。
The circuit board 101 constituting the optical path conversion module 100 is formed by laminating an insulating layer 101a and a conductor circuit 101b on both sides of an insulating layer 101a having a conductor circuit 101b formed on both sides thereof. A solder resist layer 108 and solder bumps 109 are formed on the outer layer. In addition, the conductor circuits 101b at different levels are electrically connected through the through holes 101c.
The circuit board constituting the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention is not limited to such a structure as long as the guide hole is formed. For example, a circuit board in which a guide hole is formed in a package substrate. Can be used. Therefore, the total number of conductor circuits and insulating layers is arbitrary, and the presence or absence of a solder resist layer is also arbitrary.

光路変換用モジュール100には、光学素子102及び駆動集積回路103が実装されている。
上記光学素子としては、受光素子や発光素子等を用いることができる。
上記受光素子としては、例えば、PD(フォトダイオード)、APD(アバランシェフォトダイオード)等が挙げられる。
これらは、上記光路変換用モジュールの構成や、要求特性等を考慮して適宜使い分ければよい。
上記受光素子の材料としては、Si、Ge、InGaAs等が挙げられる。
これらのなかでは、受光感度に優れる点からInGaAsが望ましい。
An optical element 102 and a driving integrated circuit 103 are mounted on the optical path conversion module 100.
As the optical element, a light receiving element, a light emitting element, or the like can be used.
Examples of the light receiving element include PD (photodiode), APD (avalanche photodiode), and the like.
These may be properly used in consideration of the configuration of the optical path conversion module, required characteristics, and the like.
Examples of the material for the light receiving element include Si, Ge, and InGaAs.
Of these, InGaAs is desirable because of its excellent light receiving sensitivity.

上記発光素子としては、例えば、LD(半導体レーザ)、DFB−LD(分布帰還型−半導体レーザ)、LED(発光ダイオード)、インフラ型または酸化狭窄型のVCSEL(面発光半導体レーザ)等が挙げられる。
これらは、上記光路変換用モジュールの構成や要求特性等を考慮して適宜使い分ければよい。
Examples of the light emitting element include LD (semiconductor laser), DFB-LD (distributed feedback type-semiconductor laser), LED (light emitting diode), infrastructure type or oxide constriction type VCSEL (surface emitting semiconductor laser). .
These may be properly used in consideration of the configuration and required characteristics of the optical path conversion module.

上記発光素子の材料としては、ガリウム、砒素およびリンの化合物(GaAsP)、ガリウム、アルミニウムおよび砒素の化合物(GaAlAs)、ガリウムおよび砒素の化合物(GaAs)、インジウム、ガリウムおよび砒素の化合物(InGaAs)、インジウム、ガリウム、砒素およびリンの化合物(InGaAsP)等が挙げられる。
これらは、通信波長を考慮して使い分ければよく、例えば、通信波長が0.85μm帯の場合にはGaAlAsを使用することができ、通信波長が1.3μm帯や1.55μm帯の場合には、InGaAsやInGaAsPを使用することができる。
Examples of the material of the light emitting element include a compound of gallium, arsenic and phosphorus (GaAsP), a compound of gallium, aluminum and arsenic (GaAlAs), a compound of gallium and arsenic (GaAs), a compound of indium, gallium and arsenic (InGaAs), Indium, gallium, arsenic and phosphorus compounds (InGaAsP) can be used.
These may be properly used in consideration of the communication wavelength. For example, when the communication wavelength is 0.85 μm band, GaAlAs can be used, and when the communication wavelength is 1.3 μm band or 1.55 μm band. InGaAs or InGaAsP can be used.

また、これらの発光素子および受光素子のそれぞれは、シングルチャンネルの素子であってもよいし、マルチチャンネルのアレイ素子であってもよく、どちらを選択するかは、光ピンコネクタが有する光ピンの本数等を考慮して適宜選択すればよい。勿論、シングルチャンネルの素子やマルチチャンネルのアレイ素子が、それぞれ複数個実装されていてもよい。
また、上記駆動集積回路としては、上記光学素子(受光素子や発光素子)を駆動するのに適したものを用いればよい。
Each of these light-emitting elements and light-receiving elements may be a single channel element or a multi-channel array element. Which one is selected depends on the optical pin of the optical pin connector. What is necessary is just to select suitably in consideration of the number etc. Of course, a plurality of single-channel elements and multi-channel array elements may be mounted.
As the driving integrated circuit, a circuit suitable for driving the optical element (light receiving element or light emitting element) may be used.

図4−1、2に示した光路変換用モジュール100では、光学素子及び駆動集積回路がそれぞれ1つずつ実装されているだけであるが、本発明の実施形態の光路変換用モジュールにおいて、回路基板に実装される光学素子及び駆動集積回路の個数は特に限定されるわけではなく、一の回路基板に複数の光学素子が実装されていてもよい。
例えば、一の回路基板に受光素子と発光素子とが実装されている場合には、光路変換用モジュールを介して、光信号の送信と受信とを行うことができる。
In the optical path conversion module 100 shown in FIGS. 4A and 4B, only one optical element and one driving integrated circuit are mounted, but in the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention, a circuit board is provided. The number of optical elements and driving integrated circuits mounted on the circuit board is not particularly limited, and a plurality of optical elements may be mounted on one circuit board.
For example, when a light receiving element and a light emitting element are mounted on one circuit board, transmission and reception of an optical signal can be performed via an optical path conversion module.

また、このように受光素子と発光素子とが実装されている場合には、それぞれに対応した光ピンコネクタを備えた構成を有していてもよいし、多芯の光ピンを備えた光ピンコネクタを1つ備えており、上記光ピンのうち一部の光ピンが受光素子に対応し、残りの光ピンが発光素子に対応する構成を有していてもよい。
後者の具体例としては、例えば、光ピンコネクタとして、図3−3に示したような、並列に配設された複数本の光ピン10が2段に積み重ねられた光ピンコネクタ40を用い、下段に属する光ピン10e〜10hで受光素子に対応し、上段に属する光ピン10a〜10dで発光素子に対応する構成等が挙げられる。
In addition, when the light receiving element and the light emitting element are mounted in this way, it may have a configuration provided with an optical pin connector corresponding to each, or an optical pin provided with a multi-core optical pin One connector may be provided, and some of the optical pins may correspond to light receiving elements, and the remaining optical pins may correspond to light emitting elements.
As a specific example of the latter, for example, as an optical pin connector, as shown in FIG. 3-3, an optical pin connector 40 in which a plurality of optical pins 10 arranged in parallel are stacked in two stages is used. Examples include a configuration in which the optical pins 10e to 10h belonging to the lower stage correspond to the light receiving elements, and the optical pins 10a to 10d belonging to the upper stage correspond to the light emitting elements.

光路変換用モジュール100を構成するインターポーザー110は、必ず備える必要はなく、必要に応じて備えればよいものであるが、例えば、インターポーザー110のような箱状のインターポーザー(図4−1、4−2(a)参照)を配設することにより、光学素子及び駆動集積回路を樹脂封止することなく保護することができ、光ピンコネクタを取り付ける際に光学素子等と接触するおそれを回避することができる。従って、インターポーザーを介して光ピンコネクタを取り付けることにより、光ピンコネクタの取り付け、取り外しが容易になる。 The interposer 110 constituting the optical path conversion module 100 is not necessarily provided, but may be provided as necessary. For example, a box-shaped interposer such as the interposer 110 (FIG. 4A). 4-2 (a)), the optical element and the driving integrated circuit can be protected without resin sealing, and there is a risk of contact with the optical element or the like when the optical pin connector is attached. It can be avoided. Therefore, by attaching the optical pin connector via the interposer, the optical pin connector can be easily attached and detached.

また、光路変換用モジュール100では、インターポーザー110の内側に空隙が構成されているが、この部分は、空隙のままであってもよいし、例えば、光信号の伝送を阻害しない、通信波長に対して透明な樹脂等で充填されていてもよい。
また、光路変換用モジュール100では、インターポーザー110には、特に導体回路等は形成されていないが、上記インターポーザーには、必要に応じて、導体回路やパッドが形成されていてもよい。これにより、インターポーザー側で他の回路基板や、光学部品、電子部品と接続可能になるからである。
上記インターポーザーの材質としては特に限定されず、例えば、樹脂やセラミック等が挙げられる。
Further, in the optical path conversion module 100, a gap is formed inside the interposer 110. However, this portion may remain as it is, for example, at a communication wavelength that does not hinder transmission of an optical signal. On the other hand, it may be filled with a transparent resin or the like.
Further, in the optical path conversion module 100, no conductor circuit or the like is particularly formed in the interposer 110, but a conductor circuit or a pad may be formed in the interposer as necessary. This is because the interposer side can be connected to other circuit boards, optical components, and electronic components.
The material of the interposer is not particularly limited, and examples thereof include resin and ceramic.

光路変換用モジュールを構成するレンズアレイ111は必ず配設する必要はなく、必要に応じて備えればよいが、レンズアレイ111を配設することにより、伝送光の広がりを抑えたり、伝送光を集光させたりすることができるため、より確実に光信号を伝送することができる。 The lens array 111 constituting the optical path conversion module is not necessarily provided, and may be provided as necessary. However, by providing the lens array 111, the spread of the transmission light can be suppressed or the transmission light can be reduced. Since it can be condensed, an optical signal can be transmitted more reliably.

上記レンズアレイの材質としては特に限定されず、通常、光学レンズに使用されているもの等が挙げられ、その具体例としては、例えば、光学ガラス、光学レンズ用樹脂等が挙げられる。
また、上記光学レンズ用樹脂としては、通信波長帯での吸収が少ないものであれば特に限定されず、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、感光性樹脂、熱硬化性樹脂の一部が感光化された樹脂等が挙げられる。
具体的には、例えば、PMMA(ポリメチルメタクリレート)、重水素化PMMA、重水素フッ素化PMMA等のアクリル樹脂;フッ素化ポリイミド等のポリイミド樹脂;エポキシ樹脂;UV硬化性エポキシ樹脂;重水素化シリコーン樹脂等のシリコーン樹脂;ベンゾシクロブテンから製造されるポリマー等が挙げられる。
The material of the lens array is not particularly limited, and examples thereof include those usually used for optical lenses. Specific examples thereof include optical glass and optical lens resins.
The resin for optical lenses is not particularly limited as long as it absorbs less in the communication wavelength band. For example, a part of a thermosetting resin, a thermoplastic resin, a photosensitive resin, or a thermosetting resin may be used. Examples include sensitized resins.
Specifically, for example, acrylic resins such as PMMA (polymethyl methacrylate), deuterated PMMA, deuterated fluorinated PMMA; polyimide resins such as fluorinated polyimide; epoxy resins; UV curable epoxy resins; Examples thereof include silicone resins such as resins; polymers produced from benzocyclobutene.

また、上記レンズアレイには、樹脂粒子、無機粒子、金属粒子等の粒子が含まれていてもよい。
粒子を含ませることにより、レンズアレイの強度が向上し、形状がより確実に維持されることとなると共に、上記インターポーザーや光ピンコネクタを構成するコネクタ本体等との間で熱膨張係数を整合させることができ、熱膨張係数の差に起因した位置ズレ等が発生しにくくなるからである。
The lens array may include particles such as resin particles, inorganic particles, and metal particles.
By including particles, the strength of the lens array is improved and the shape is more reliably maintained, and the coefficient of thermal expansion is matched with the connector body constituting the interposer and optical pin connector. This is because misalignment or the like due to the difference in thermal expansion coefficient is less likely to occur.

上記レンズアレイに粒子が含まれている場合、該レンズアレイの本体の屈折率と、上記粒子の屈折率とは同程度であることが望ましい。そのため、上記レンズアレイに含まれる粒子は、屈折率の異なる2種類以上の粒子を混ぜ合わせて、粒子の屈折率が樹脂成分の屈折率と同程度になるようにしたものであることが望ましい。
具体的には、例えば、該レンズアレイの本体が屈折率1.53のエポキシ樹脂である場合、上記粒子は、屈折率が1.46のシリカ粒子と屈折率が2.65のチタニア粒子とを混ぜ合わせて、溶解して粒子としたもの等が望ましい。
なお、粒子を混ぜ合わせる方法としては、混練する方法、2種類以上の粒子を溶かして混ぜ合わせた後、粒子状にする方法等が挙げられる。
When the lens array includes particles, it is desirable that the refractive index of the lens array body and the refractive index of the particles be approximately the same. Therefore, it is desirable that the particles included in the lens array are obtained by mixing two or more kinds of particles having different refractive indexes so that the refractive index of the particles is approximately the same as the refractive index of the resin component.
Specifically, for example, when the main body of the lens array is an epoxy resin having a refractive index of 1.53, the particles include silica particles having a refractive index of 1.46 and titania particles having a refractive index of 2.65. It is desirable to mix and dissolve to form particles.
Examples of the method of mixing the particles include a kneading method, a method of dissolving two or more types of particles and mixing them, and then forming particles.

上記レンズアレイの屈折率は特に限定されず、光路変換用モジュールの設計を考慮して適宜選択すればよい。具体的には、例えば、レンズアレイの屈折率と、光ピンコネクタを構成する光ファイバのコアの屈折率とを同一にした場合には、両者の界面での光の反射を回避することができる。 The refractive index of the lens array is not particularly limited, and may be appropriately selected in consideration of the design of the optical path conversion module. Specifically, for example, when the refractive index of the lens array is the same as the refractive index of the core of the optical fiber constituting the optical pin connector, reflection of light at the interface between the two can be avoided. .

上記レンズアレイを作製する方法としては、上記レンズの材質がガラスや石英の場合には、例えば、異方性エッチングやフォトリソグラフィ等を用いることができ、上記レンズの材質が樹脂の場合には、金型に材料樹脂を流し込み、熱と荷重とを加えて作製する方法等を用いることができる。
その他、ガラスや石英、樹脂等からなる板状体に、ディスペンサー等で未硬化の樹脂を滴下、その後、滴下した樹脂を硬化させることによりレンズを形成してもよい。
また、上記レンズアレイには、ガイド孔を形成する必要があるが、上記ガイド孔は、レンズの形成と同時に形成してもよいし、レンズを形成した後に形成してもよい。
As a method for producing the lens array, when the material of the lens is glass or quartz, for example, anisotropic etching or photolithography can be used, and when the material of the lens is resin, For example, a method in which a material resin is poured into a mold and heat and a load are applied can be used.
In addition, the lens may be formed by dropping uncured resin onto a plate-like body made of glass, quartz, resin, or the like with a dispenser or the like, and then curing the dropped resin.
Further, it is necessary to form a guide hole in the lens array. However, the guide hole may be formed simultaneously with the formation of the lens or after the lens is formed.

図5は、本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの別の一例を模式的に示す断面図である。
図5に示す光路変換用モジュール200の形態は、レンズアレイが配設されておらず、光ピンコネクタ30を構成する光ピン10の第1の光入出力面12が、光学素子202に向かって延設されている以外は、図4−1、2に示した光路変換用モジュール100の構成と同様である。ここでは、他の構成部材の説明は省略する。
なお、図5において、符号の下二桁、又は、符号の下二桁とアルファベットとが図4−1、2と同一のものは、同一の部材を指す。
このような光路変換用モジュール200においても、本発明の光路変換用モジュールとしての機能(光信号の送受信を行うと共に、光信号の光路を変換する機能)を有すると共に、上述した本発明の光路変換用モジュールの効果を享受することができる。
FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing another example of the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention.
The optical path conversion module 200 shown in FIG. 5 has no lens array, and the first light input / output surface 12 of the optical pin 10 constituting the optical pin connector 30 faces the optical element 202. Except for the extension, it is the same as the configuration of the optical path conversion module 100 shown in FIGS. Here, description of other components is omitted.
In FIG. 5, the last two digits of the reference numeral or the last two digits of the reference numeral and the alphabet are the same as those in FIGS.
Such an optical path conversion module 200 also has a function as an optical path conversion module of the present invention (a function of transmitting and receiving an optical signal and converting an optical path of an optical signal), and the optical path conversion of the present invention described above. The effect of the module for use can be enjoyed.

本発明の実施形態の光路変換用モジュールは、図4−1、2や図5に示したものに限定されるわけではなく、例えば、以下に説明する構成を有するものであってもよい。
図6は、本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの別の一例を模式的に示す断面図である。
図6に示すように、光路変換用モジュール300は、光学素子302及び駆動集積回路303と、上述した第2の実施形態に係る光ピンコネクタ30と、導体回路301bと絶縁層301aとが積層されてなる回路基板301とを備えている。
回路基板301は、その中央部が凹部形状を有する回路基板301であり、この凹部内に、半田バンプ304により光学素子302が、ワイヤボンディング305により駆動集積回路303が実装されている。なお、図中303aは、ダイパッドである。
The optical path conversion module according to the embodiment of the present invention is not limited to the modules shown in FIGS. 4-1, 2 and 5 and may have, for example, the configuration described below.
FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing another example of the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 6, the optical path conversion module 300 includes an optical element 302 and a driving integrated circuit 303, the optical pin connector 30 according to the second embodiment described above, a conductor circuit 301b, and an insulating layer 301a. The circuit board 301 is provided.
The circuit board 301 is a circuit board 301 having a concave shape at the center, and an optical element 302 is mounted by solder bumps 304 and a driving integrated circuit 303 is mounted by wire bonding 305 in the recess. In the figure, reference numeral 303a denotes a die pad.

回路基板301の中央部には、上記凹部を塞ぐようにインターポーザー310が取り付けられており、インターポーザー310の内側(凹部側)には、レンズアレイ311が固定されている。さらにインターポーザー310には、光ピンコネクタ30が取り付けられている。
ここで、光ピンコネクタ30は、図4(a)に示した光路変換用モジュール100と同様、2本のガイドピン(図示せず)を備えており、また、回路基板301、レンズアレイ311及びインターポーザー310は、それぞれ2箇所ずつガイド孔(図示せず)を備えており、上記ガイドピンは、インターポーザー310、レンズアレイ311及び回路基板301のそれぞれが備えるガイド孔(図示せず)にこの順で挿通されている。従って、上記ガイドピンにより、インターポーザー310、レンズアレイ311及び回路基板301は位置合わせがなされており、回路基板301に実装された光学素子は、レンズ311aを介して、光ピンコネクタ30を構成する光ピン10との間で、光信号の伝送を行うことができる。
An interposer 310 is attached to the central portion of the circuit board 301 so as to close the concave portion, and a lens array 311 is fixed to the inner side (the concave portion side) of the interposer 310. Further, the optical pin connector 30 is attached to the interposer 310.
Here, the optical pin connector 30 includes two guide pins (not shown) like the optical path changing module 100 shown in FIG. 4A, and also includes a circuit board 301, a lens array 311 and Each of the interposers 310 includes guide holes (not shown) at two locations, and the guide pins are formed in guide holes (not shown) provided in each of the interposer 310, the lens array 311 and the circuit board 301. It is inserted in order. Therefore, the interposer 310, the lens array 311 and the circuit board 301 are aligned by the guide pins, and the optical elements mounted on the circuit board 301 constitute the optical pin connector 30 via the lens 311a. Optical signals can be transmitted to and from the optical pin 10.

さらに、光路変換用モジュール300では、回路基板301のインターポーザー310を備えた側の外周近傍部にソルダーレジスト層308と半田バンプ309とが形成されている。
従って、光路変換用モジュール300では、光ピンコネクタを取り付けた側で、マザーボード用基板等の外部基板と接続することができる(下記図7参照)。
このような構成を有する光路変換用モジュール300においても、上述した本発明の光路変換用モジュールの機能及び効果を享受することができる。
Further, in the optical path conversion module 300, a solder resist layer 308 and solder bumps 309 are formed in the vicinity of the outer periphery of the circuit board 301 on the side provided with the interposer 310.
Therefore, the optical path conversion module 300 can be connected to an external substrate such as a motherboard substrate on the side where the optical pin connector is attached (see FIG. 7 below).
Also in the optical path conversion module 300 having such a configuration, the functions and effects of the optical path conversion module of the present invention described above can be enjoyed.

図7は、本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールをマザーボード用基板に実装した態様の一例を示す断面図である。
図7に示す態様では、光路変換用モジュール300が、光導波路が内部に形成されたマザーボード用基板500に半田バンプ509を介して実装されている。
マザーボード用基板500は、絶縁層501aと導体回路501bとが積層形成されて回路基板501を成すと共に、その内部にコア部520aとクラッド部520bとからなる光導波路520が形成され、一方の最外層にソルダーレジスト層508と半田バンプ509とが形成されている。なお、図中501cは、スルーホールである。
また、マザーボード用基板500には、光導波路520の内側の端部が露出するように、光路用有底孔530が形成されている。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of an aspect in which the optical path changing module according to the embodiment of the present invention is mounted on a motherboard.
In the embodiment shown in FIG. 7, the optical path conversion module 300 is mounted via a solder bump 509 on a motherboard 500 having an optical waveguide formed therein.
The motherboard 500 is formed by laminating an insulating layer 501a and a conductor circuit 501b to form a circuit board 501, and an optical waveguide 520 including a core portion 520a and a cladding portion 520b is formed therein, and one outermost layer is formed. A solder resist layer 508 and solder bumps 509 are formed. In the figure, reference numeral 501c denotes a through hole.
In addition, a bottom hole 530 for the optical path is formed in the mother board 500 so that the inner end of the optical waveguide 520 is exposed.

そして、このようなマザーボード用基板500に光路変換用モジュール300を実装するに際して、光路用有底孔530内に、光路変換用モジュール300を構成する光ピンコネクタ30の光ピン10が挿入されるように、光路変換用モジュールが実装されている。
ここで、光ピン10の第2の光出力面15と、光導波路520のコア520aとが対向するように光ピン10を挿入することにより、光路変換用モジュール300を構成する光学素子302とマザーボード用基板500に形成された光導波路520との間で、光ピンコネクタ30(光ピン10)を介して光信号の伝送を行うことができる。
この際、光路用有底孔530内には、マッチングオイルが充填されていてもよい。マッチングオイルを充填することにより、光ピンと光導波路との間の伝送損失をより軽減することができるからである。
また、マザーボード用基板には、光路用有底孔に代えて、マザーボード用基板全体を貫通する光路用貫通孔を形成してもよい。
また、マザーボード用基板500では、光導波路は、内側の階層の一部にのみ形成されているが、内側の一の階層全体が光導波路から構成されていてもよい。
When the optical path conversion module 300 is mounted on such a motherboard 500, the optical pins 10 of the optical pin connector 30 constituting the optical path conversion module 300 are inserted into the optical path bottomed hole 530. In addition, an optical path conversion module is mounted.
Here, by inserting the optical pin 10 so that the second light output surface 15 of the optical pin 10 and the core 520a of the optical waveguide 520 face each other, the optical element 302 and the motherboard constituting the optical path conversion module 300 An optical signal can be transmitted between the optical waveguide 520 formed on the substrate 500 and the optical pin connector 30 (optical pin 10).
At this time, the bottom of the optical path bottom hole 530 may be filled with matching oil. This is because the transmission loss between the optical pin and the optical waveguide can be further reduced by filling the matching oil.
In addition, instead of the bottomed hole for the optical path, an optical path through hole that penetrates the entire motherboard substrate may be formed in the motherboard for the motherboard.
In the mother board 500, the optical waveguide is formed only in a part of the inner layer, but the entire inner layer may be formed of the optical waveguide.

また、このような態様で光路変換用モジュール300を実装する場合、光路変換用モジュールが備えるガイドピン39を、光ピンコネクタ30のコネクタ本体31を貫通するように(コネクタ本体31の回路基板301側のみならず、外部基板と対向する側にも突出するように)配設しておき、マザーボード用基板にガイド孔を形成しておけば、ガイドピンをガイド孔に挿入することにより、光路変換用モジュールとマザーボード用基板との位置合わせを行うことができる。
なお、当然のことではあるが、本発明の実施の態様は、図7に示した態様に限定されるわけではなく、その他、種々の態様で実装することができる。
Further, when the optical path conversion module 300 is mounted in such a manner, the guide pins 39 included in the optical path conversion module are inserted through the connector main body 31 of the optical pin connector 30 (on the circuit board 301 side of the connector main body 31). If the guide hole is formed in the motherboard substrate, the guide pin can be inserted into the guide hole to change the optical path. The module and the motherboard substrate can be aligned.
As a matter of course, the embodiment of the present invention is not limited to the embodiment shown in FIG. 7 and can be implemented in various other modes.

図8は、本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの別の一例を模式的に示す断面図である。
図8に示した光路変換用モジュール400は、図6に示した光路変換用モジュール300と比べて、外部基板等との接続端子が異なる以外、その他の構成は同様である。
すなわち、光路変換用モジュール300では、回路基板301に半田バンプ309が形成されている(BGA構造)のに対し、光路変換用モジュール400では、回路基板401に半田バンプに代えて電気ピン409が形成されている(PGA構造)。
このような構造の光路変換用モジュール400でも、本発明の光路変換用モジュールの機能と効果を享受することができる。
なお、光路変換用モジュール400は、外部接続端子以外の構成部材は、光路変換用モジュール300と同様であるため、その説明を省略する。図8において、符号の下二桁、又は、符号の下二桁とアルファベットとが図6と同一のものは、同一の部材を指す。
FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing another example of the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention.
The optical path changing module 400 shown in FIG. 8 has the same configuration as the optical path changing module 300 shown in FIG. 6 except for the connection terminals to the external substrate and the like.
That is, in the optical path conversion module 300, solder bumps 309 are formed on the circuit board 301 (BGA structure), whereas in the optical path conversion module 400, electric pins 409 are formed on the circuit board 401 instead of the solder bumps. (PGA structure).
Even the optical path conversion module 400 having such a structure can enjoy the functions and effects of the optical path conversion module of the present invention.
Since the optical path conversion module 400 is the same as the optical path conversion module 300 except for the external connection terminals, the description thereof is omitted. In FIG. 8, the last two digits of the reference numeral or the last two digits of the reference numeral and the alphabet are the same as those in FIG.

次に、本発明の実施形態の光路変換用モジュールの製造方法について簡単に説明しておく。
まず、サブトラクティブ法、フルアディティブ法、セミアディティブ法、一括形成法、コンフォーマル法等の方法を利用して回路基板を作製する。
その後、回路基板に形成された認識マークを基準に、ドリル加工やレーザ加工により所定の位置にガイド孔を形成する。
次に、上記回路基板に光学素子と駆動集積回路とを実装する。ここで、実装方法としては、ワイヤボンディングやフリップチップボンディング等の実装方法を用いることができる。
Next, a method for manufacturing the optical path conversion module according to the embodiment of the present invention will be briefly described.
First, a circuit board is manufactured using methods such as a subtractive method, a full additive method, a semi-additive method, a batch formation method, and a conformal method.
Thereafter, a guide hole is formed at a predetermined position by drilling or laser processing based on the recognition mark formed on the circuit board.
Next, an optical element and a driving integrated circuit are mounted on the circuit board. Here, a mounting method such as wire bonding or flip chip bonding can be used as the mounting method.

次に、所定の位置にガイド孔が形成されたインターポーザーを用意し、このインターポーザーを、回路基板に形成された認識マークを基準にして上記回路基板に取り付ける。
また、レンズアレイを備えた光路変換用モジュールを作製する場合には、上記インターポーザーを回路基板に取り付ける前に、ガイド孔が形成されたレンズアレイをインターポーザーに固定しておく。なお、この場合、インターポーザーのガイド孔とレンズアレイのガイド孔とが丁度連通するように、レンズアレイを取り付ける。
Next, an interposer having guide holes formed at predetermined positions is prepared, and the interposer is attached to the circuit board with reference to a recognition mark formed on the circuit board.
Further, when an optical path conversion module including a lens array is manufactured, the lens array in which the guide holes are formed is fixed to the interposer before the interposer is attached to the circuit board. In this case, the lens array is attached so that the guide hole of the interposer and the guide hole of the lens array are just in communication.

最後に、ガイドピンが取り付けられた光ピンコネクタを、上記ガイドピンが、インターポーザー、レンズアレイ及び回路基板のガイド孔内に挿通されるように取り付けて本発明の実施形態の光路変換用モジュールを完成する。
本発明の光路変換用モジュールでは、ガイドピンを挿入して光ピンコネクタを取り付けることにより、光ピンコネクタを構成する光ピンと、回路基板に実装された光学素子との位置合わせがなされることとなる。
Finally, the optical pin connector to which the guide pins are attached is attached so that the guide pins are inserted into the guide holes of the interposer, the lens array, and the circuit board. Complete.
In the optical path conversion module of the present invention, by inserting the guide pin and attaching the optical pin connector, the optical pin constituting the optical pin connector and the optical element mounted on the circuit board are aligned. .

本発明の光ピン、光ピンコネクタ及び光路変換用モジュールは、光通信分野で好適に使用することができる。 The optical pin, the optical pin connector, and the optical path changing module of the present invention can be suitably used in the field of optical communication.

(a)は、本発明の実施形態に係る光ピンの側面図であり、(b)は(a)に示した光ピンの正面図であり、(c)は(a)のA−A線断面図である。(A) is a side view of the optical pin which concerns on embodiment of this invention, (b) is a front view of the optical pin shown to (a), (c) is the AA line of (a). It is sectional drawing. (a)〜(c)は、本発明の実施形態に係る光ピンを製造する工程を示した模式図である。(A)-(c) is the schematic diagram which showed the process of manufacturing the optical pin which concerns on embodiment of this invention. (a)は、本発明の実施形態に係る光ピンコネクタの一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示した光ピンコネクタの正面図であり、(c)は、(a)に示した光ピンコネクタの平面図である。(A) is a perspective view which shows an example of the optical pin connector which concerns on embodiment of this invention, (b) is a front view of the optical pin connector shown to (a), (c) is ( It is a top view of the optical pin connector shown to a). (d)は、図3−1(a)のB−B線断面図であり、(e)は、(a)に示した光ピンコネクタを構成するコネクタ本体のみを示す斜視図である。(D) is a BB line sectional view of Drawing 3-1 (a), and (e) is a perspective view showing only a connector main part which constitutes an optical pin connector shown in (a). (a)は、本発明の実施形態に係る光ピンコネクタの別の一例を模式的に示す斜視図であり、(b)は、(a)のC−C線断面図である。(A) is a perspective view which shows typically another example of the optical pin connector which concerns on embodiment of this invention, (b) is CC sectional view taken on the line of (a). (a)は、本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの一例を模式的に示す断面図であり、(b)は、(a)のD−D線断面図である。(A) is sectional drawing which shows typically an example of the module for optical path conversion which concerns on embodiment of this invention, (b) is the DD sectional view taken on the line of (a). (c)は、図4−1(a)に示した光路変換用モジュールを構成するインターポーザーの部分斜視図であり、(d)は、図4−1(a)に示した光路変換用モジュールを構成するレンズアレイの斜視図である。(C) is the fragmentary perspective view of the interposer which comprises the module for optical path conversion shown to Fig.4-1 (a), (d) is the module for optical path conversion shown to Fig.4-1 (a) It is a perspective view of the lens array which comprises. 本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the module for optical path conversion which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the module for optical path conversion which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールをマザーボード用基板に実装した態様の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the aspect which mounted the optical path conversion module which concerns on embodiment of this invention in the board | substrate for motherboards. 本発明の実施形態に係る光路変換用モジュールの別の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the module for optical path conversion which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 光ピン
11 光ファイバ
12 第1の光入出力面
13 光反射面
14 金属層
15 第2の光入出力面
30、40 光ピンコネクタ
31、41 コネクタ本体
32、42 接着剤
33、43 貫通孔
34、44 スリット部
100、200、300、400 光路変換用モジュール
101、201、301、401 回路基板
102、202、302、402 光学素子
103、203、303、403 駆動集積回路
110、210、310、410 インターポーザー
111、311、411 レンズアレイ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical pin 11 Optical fiber 12 1st light input / output surface 13 Light reflection surface 14 Metal layer 15 2nd light input / output surface 30, 40 Optical pin connector 31, 41 Connector main body 32, 42 Adhesive 33, 43 Through-hole 34, 44 Slit unit 100, 200, 300, 400 Optical path conversion module 101, 201, 301, 401 Circuit board 102, 202, 302, 402 Optical element 103, 203, 303, 403 Drive integrated circuit 110, 210, 310, 410 Interposer 111, 311, 411 Lens array

Claims (4)

軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有する光ファイバの端部に位置する第1の光入出力面、前記光ファイバの他端部に位置する光反射面、該光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して前記光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、前記光ファイバの他端部に隣接し、前記光ファイバを露出させた第2の光入出力面、を備えることを特徴とする光ピン。 A first light input / output surface located at an end of an optical fiber having a core extending in the axial direction and a clad surrounding the core, a light reflecting surface located at the other end of the optical fiber, and the light reflecting surface And a metal layer that contacts the outer edge of the light reflecting surface and covers one side of the optical fiber, and a second layer that is adjacent to the other end of the optical fiber and exposes the optical fiber. An optical pin comprising: an optical input / output surface. 軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有し、光信号を伝送する光ファイバ、前記光ファイバの端部に位置し、光信号を入出力する第1の光入出力面、前記第1の光入出力面に対向する前記光ファイバの他端部に位置し、光信号の光路角度を90度に変更する光反射面、前記光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して前記光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、前記光ファイバの他端部に隣接し、露出させた前記光ファイバの側面から光信号を入出力する第2の光入出力面、を備えることを特徴とする光ピン。 An optical fiber having an axially extending core and a clad surrounding the core, and transmitting an optical signal; a first optical input / output surface positioned at an end of the optical fiber for inputting / outputting an optical signal; A light reflecting surface that is located at the other end of the optical fiber facing the first light input / output surface and changes an optical path angle of an optical signal to 90 degrees, covers the light reflecting surface, and the light reflecting surface A metal layer that contacts the outer edge of the optical fiber and covers one side surface of the optical fiber; and a second layer that inputs and outputs an optical signal from the exposed side surface of the optical fiber adjacent to the other end portion of the optical fiber. An optical pin comprising an optical input / output surface. 軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有する光ファイバの端部に位置する第1の光入出力面、前記光ファイバの他端部に位置する光反射面、該光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して前記光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、前記光ファイバの他端部に隣接し、前記光ファイバを露出させた第2の光入出力面、を有する光ピンと、
前記軸方向が並列に配置される複数の前記光ピンに対応する複数の貫通孔及び該貫通孔を前記軸方向に対して垂直方向に横断するスリット部を有し、前記光ピンを前記貫通孔に挿入するコネクタ本体と、
前記スリット部に充填され、前記光ピンを前記コネクタ本体に固定する接着剤と、
を備えることを特徴とする光ピンコネクタ。
A first light input / output surface located at an end of an optical fiber having a core extending in the axial direction and a clad surrounding the core, a light reflecting surface located at the other end of the optical fiber, and the light reflecting surface And a metal layer that contacts the outer edge of the light reflecting surface and covers one side of the optical fiber, and a second layer that is adjacent to the other end of the optical fiber and exposes the optical fiber. An optical pin having a light input / output surface of
A plurality of through-holes corresponding to the plurality of optical pins arranged in parallel in the axial direction, and a slit portion that crosses the through-holes in a direction perpendicular to the axial direction; A connector body to be inserted into,
An adhesive that fills the slit portion and fixes the optical pin to the connector body;
An optical pin connector comprising:
軸方向に延在するコア及び該コアを包囲するクラッドを有する光ファイバの端部に位置する第1の光入出力面、前記光ファイバの他端部に位置する光反射面、該光反射面を被覆すると共に、該光反射面の外縁部と接して前記光ファイバの片側面をも被覆する金属層、並びに、前記光ファイバの他端部に隣接し、前記光ファイバを露出させた第2の光入出力面、を有する光ピンと、
前記光ピンに対する光信号を発光又は受光する光学素子と、
前記光学素子に電気的に接続され、該光学素子を駆動する駆動集積回路と、
前記軸方向が並列に配置される複数の前記光ピンに対応する複数の貫通孔、該貫通孔を前記軸方向に対して垂直方向に横断するスリット部、前記光ピンを前記貫通孔に挿入するコネクタ本体及び前記貫通孔の列に隣接し前記コネクタ本体から突設する複数のガイドピンを有し、前記スリット部に接着剤を充填し、前記光ピンを前記コネクタ本体に固定する光ピンコネクタと、
前記複数のガイドピンに夫々対応して設けられたガイド孔を有し、前記光学素子及び駆動集積回路を実装し、前記ガイド孔に前記ガイドピンを挿通させて前記光学素子と前記光ピンとの間に光信号の伝送位置決めをする回路基板と、
を備えることを特徴とする光路変換用モジュール。
A first light input / output surface located at an end of an optical fiber having a core extending in the axial direction and a clad surrounding the core, a light reflecting surface located at the other end of the optical fiber, and the light reflecting surface And a metal layer that contacts the outer edge of the light reflecting surface and covers one side of the optical fiber, and a second layer that is adjacent to the other end of the optical fiber and exposes the optical fiber. An optical pin having a light input / output surface of
An optical element that emits or receives an optical signal to the optical pin;
A driving integrated circuit electrically connected to and driving the optical element;
A plurality of through-holes corresponding to the plurality of optical pins arranged in parallel in the axial direction, a slit portion that crosses the through-holes in a direction perpendicular to the axial direction, and the optical pins are inserted into the through-holes. An optical pin connector that has a plurality of guide pins adjacent to the connector main body and the row of the through holes, protrudes from the connector main body, is filled with an adhesive in the slit portion, and fixes the optical pin to the connector main body; ,
A guide hole provided corresponding to each of the plurality of guide pins; the optical element and the driving integrated circuit are mounted; the guide pin is inserted into the guide hole; A circuit board for optical signal transmission positioning,
An optical path conversion module comprising:
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