JP4718717B2 - 携帯用情報機器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタ(以下、TFTという)で構成された回路を有する半導体装置(特に、液晶表示装置もしくは液晶表示装置を用いた携帯用情報機器)に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話、モバイルコンピュータなどの携帯通信装置を使用したインターネットによる通信技術が急速に発展してきている。これまでのインターネットは企業や家庭において、パソコンに電話回線を接続してサーバーから情報提供を受けていた。
【0003】
現在は、情報量が増え、一般の人の間でもインターネットや電子メールの送受信ができる携帯電話やPDA(携帯用情報機器)が普及し、情報の提供や交換が行える場所や時間に制限がなくなってきた。これらの携帯用情報機器の簡便さをさらに向上させるため、小型化、軽量化が求められている。
【0004】
バッテリーでの駆動が基本となっている携帯用情報機器は、低消費電力である必要がある。このため、表示部には、最も電力を消費するバックライトを常時用いる必要がない反射型液晶表示装置を用いた携帯用情報機器が増えてきている。
【0005】
しかし、液晶表示装置の作製工程は複雑で歩留りが悪いため、製造コストがかかってしまう。また液晶表示装置自体の価格が高いと、その液晶表示装置を用いた携帯用情報機器自体の価格も高くなってしまう。誰でも情報の提供や交換ができるようにするために、安価でさらに、持ち運びに便利な携帯用情報機器を提供する方法が求められている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示装置は作製工程が複雑でコストがかかり歩留まりが悪いという問題があった。また、携帯用情報機器は低消費電力が求められるため、表示部に消費電力の高いバックライトを設ける必要のない反射型液晶表示装置を用いると、反射型液晶表示装置の暗所での視認性が悪いことが大きな問題になった。
【0007】
本発明では、携帯用情報機器の表示部に適応するための視認性の高い液晶表示装置を工程を増やすことなく作製する方法を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の特徴は、視認性に課題を有する反射型の液晶表示装置の作製工程において、有効画素領域を広げるために、ブラックマトリクスを用いることなくTFTおよび画素間を遮光する画素構造を有することである。画素間を遮光するため、ゲート配線とソース配線を同じ絶縁膜上に形成し、画素電極をゲート配線またはソース配線と重ねて配置している。さらに、画素電極の表面が凹凸を有するような構造にして、光散乱性を向上させることができる。
【0009】
また、TFTを遮光するための遮光膜として、対向基板上に着色層(赤色着色層、または赤色着色層と青色着色層の積層膜)をTFT基板のTFTと重ねて配置している。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態について、以下に説明する。
【0011】
本発明は、表示部に図1に示すような反射型液晶表示装置およびフロントライトを表示部に用いた携帯用情報機器に関するものである。
【0012】
携帯用情報機器の表示部に用いられる液晶表示装置としては、透過型液晶表示装置、半透過型液晶表示装置、反射型液晶表示装置がある。透過型液晶表示装置および反透過型液晶表示装置を用いた場合、バックライトが必要である。しかし、情報携帯端末のような低消費電力化が求められる携帯用情報機器に用いる液晶表示装置は、反射型液晶表示装置を用いることが好ましいとされている。
【0013】
しかし、反射型液晶表示装置は、暗い場所で使用する場合には視認性に問題があるため、光源が必要になる。
【0014】
また、表示部に用いた反射型液晶表示装置の作製工程において、通常と比較
してマスク数が少ないことを特徴としている。さらに、ソース配線と画素電極とが、層間絶縁膜を介して重なっており、半導体層とゲート電極との間にゲート絶縁膜、またゲート電極とゲート配線との間に層間絶縁膜を介して、半導体層とゲート電極とゲート配線とが重なっていることを特徴としている。このような構造にすることで、有効画素領域が広くなって視認性の向上につながる。
【0015】
さらに、本発明の携帯用情報機器の表示部に用いられた液晶表示装置は、薄膜トランジスタを有しており、前記薄膜トランジスタは、半導体層に、チャネル形成領域、前記チャネル形成領域に接するn型不純物領域(b)、前記n型不純物領域(b)に接するn型不純物領域(a)を有しており、
前記ゲート電極は第1の導電層および第2の導電層の積層からなり、
前記第1の導電層は、前記n型不純物領域(b)の一部と前記ゲート絶縁膜を介して重なり、前記第2の導電層は、前記チャネル形成領域と前記ゲート絶縁膜を介して重なっていることを特徴とする。
【0016】
光源1702には、LEDまたは冷陰極管が用いられる。図2に示すように、光源1702は、導光板1701の側面に沿って配置され、光源1702の背後にはリフレクタ1703が設けられている。
光源1702は、2つの光源を対向して設けてもよい。ここで、本明細書中では、導光板の上面1701cとは、使用者に対面する側の平面、下面1701dとは、上面の対面側の面を指すこととする。また、光源1702、リフレクタ1703および導光板1701をあわせてフロントライトと呼ぶこととする。
【0017】
また、導光板1701の材料としては、石英やホウケイ酸ガラス等の無機ガラス(屈折率1.42〜1.7、透過率80〜91%)や、プラスチック材料(樹脂材料)を用いることができる。プラスチックとしては、メタクリル樹脂(代表的にはアクリルで知られるポリメチルメタクリレート:屈折率1.49、透過率92〜93%)、ポリカーボネート(屈折率1.59、透過率88〜90%)、ポリアリレート(屈折率1.61、透過率85%)、ポリー4―メチルベンテンー1(屈折率1.46、透過率90%)、AS樹脂[アクリロトリル・スチレン重合体](屈折率1.57、透過率90%)、MS樹脂[メチルメタクリレート・スチレン重合体](屈折率1.56、透過率90%)、これらの樹脂を混合した材料を用いることができる。
【0018】
導光板の下面側には本発明によって作製された反射型液晶表示装置が配置され、反射型液晶表示装置の下面側にはアルミ膜等の反射板が配置される。また、図示していないが、駆動回路および画素部に形成されたTFTに光源からの光もしくは外光が当たらないようにするため、対向基板側もしくは素子基板のTFT上にBM(ブラックマトリクス)が形成されている。
【0019】
本実施形態で用いた反射型液晶表示装置には、画素部1301および駆動回路1302が形成され、シール剤1306により対向基板1304が接着され、その間に液晶層1305が形成されている。
【0020】
光源から照射された光は、リフレクタによって効率よく導光板の側面から内部に入射すると、表面に設けられた特殊なプリズム加工面で反射され、反射型液晶表示装置に入射・透過し、反射型液晶表示装置の下面に設けられた反射膜で反射した後、再び反射型液晶表示装置と導光板を透過した光が使用者の眼に到達する。
【0021】
また、導光板の形状として、本出願人による特願平11−227976号に記載されたような形状を採用してもよい。図2に示すように、導光板は直方体状の透明材料からなる平板であり、4つの側面とも短辺が長辺に比べて非常に短い長方形である直方体である。導光板の材料は上述したような材料でよい。この導光板の下面にコリメータシート1704が設けられている。
【0022】
コリメータシート1704は、ベースフィルム1705とベースフィルム1705上に平行に配列された複数の柱状レンズ1706とでなる。図2(C)、(D)に示すように裁断面が等脚台形である多角形状である。なお、本明細書中では柱状レンズの側面の4つのうち、等脚台形の上底1706wが含まれる側面を上面1706aとし、下底1706xが含まれる側面を下面1706bとし、脚1706y、1706zが含まれる側面を側面1706c、1706dとする。
【0023】
コリメータシート1704において、柱状レンズ1706はベースフィルム1705に下面が接して配置されている。また、コリメータシート1704は上面1706aが導光板1701の下面1701dに密着するように設けられている。ベースフィルム1705と反射型液晶表示装置は必ずしも密着させなくてもよいが、柱状レンズ1706と導光板1701はその間に他の媒介を介さずに密着させることが重要である。
【0024】
ベースフィルム1705の材料にはPET等の可視光の透過率が80%以上の樹脂フィルムが好ましい。また、柱状レンズ1706の材料には導光板1701と同じく可視光に対する透過率(全光線透過率)が80%、好ましくは85%以上であって、屈折率が1.4〜1.7の範囲にある材料を選ぶ。上述した導光板1701の材料を用いればよい。
【0025】
さらに、実施例1にしたがって作製された反射型液晶表示装置と特開平11−184386号公報または特開平11−218757号公報に記載されたフロントライトとを組み合わせて使用してもよい。
【0026】
画素電極とソース配線とが重ねられて設けられたことで有効画素領域が広くなり、かつ効果的に光を散乱させることができる反射型液晶表示装置とフロントライトとを組み合わせて携帯用情報機器の表示部に利用することで、光利用効率をあげることができ、低消費電力な携帯用情報機器を得ることができる。
【0027】
以上の構成でなる本発明について、以下に示す実施例でもってさらに詳細な説明を行う。
【0028】
【実施例】
[実施例1]
本発明の携帯用情報機器の表示部に用いる反射型液晶表示装置の作製工程について図4〜6を用いて説明する。ここでは、画素部とその周辺に設けられる駆動回路のTFTを同時に作製する方法について説明する。
【0029】
まず、図4(A)に示すように、ガラス基板101上に酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などの絶縁膜からなる下地膜102を形成する。例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜102aを10〜200nm(好ましくは50〜100nm)形成し、同様にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素化シリコン膜102bを50〜200nm(好ましくは、100〜150nm)の厚さに積層形成する。本実施例では下地膜102を2層構造として示したが、前記絶縁膜の単層膜または2層以上積層させた構造として形成してもよい。
【0030】
次に、下地膜102の上に50nmの厚さの非晶質シリコン膜を公知の成膜法で形成する。なお、非晶質シリコン膜に限定する必要はなく、非晶質構造を含む半導体膜(微結晶半導体膜を含む)であればよい。さらに非晶質シリコンゲルマニウム膜などの非晶質構造を含む化合物半導体膜でもよい。また、膜厚は20〜100nmの厚さであればよい。
【0031】
そして、特開平7−130652号公報に記載の技術により非晶質シリコン膜を結晶化し、結晶質シリコン膜(多結晶シリコン膜もしくはポリシリコン膜ともいう)103を形成する。本実施例では、結晶化を促進する元素としてニッケルを用いている。もちろん、他の結晶化方法として公知のレーザ光を用いたレーザアニール結晶化法を用いれば、例えばポリエチレンテレフタラート(PET)もしくはポリエーテルスルホン(PES)といったプラスチック基板を用いることが可能になり、液晶表示装置を軽量化することができる。
【0032】
次に、図4(B)に示すように、結晶質シリコン膜103を1回目のフォトリソグラフィ工程によりエッチングして島状の半導体膜104〜108を形成する。これらは後にTFTの活性層となる半導体膜である。
【0033】
ここで、本実施例では、半導体膜104〜108上に酸化シリコン膜からなる保護膜(図示せず)を130nmの厚さに形成する。この保護膜は不純物を添加する際に結晶質シリコン膜が直接プラズマに曝されないようにするためと、微妙な濃度制御を可能にするために設ける。
【0034】
ここで、本実施例では半導体膜104〜108に、半導体をp型半導体とする不純物元素(以下、p型不純物元素という)を半導体膜104〜108に添加する。p型不純物元素としては周期表の13族に属する元素(典型的にはボロンもしくはガリウム)を用いることができる。このとき添加されるp型不純物元素の濃度は、1×1015〜5×1017/cm3(代表的には1×1016〜1×1017/cm3)とすればよい。この濃度で添加されたp型不純物元素はnチャネル型TFTのしきい値電圧の調節に用いられる。
【0035】
次に、半導体膜104〜108を覆ってゲート絶縁膜109を形成する。ゲート絶縁膜109としては、10〜200nm(好ましくは50〜150nm)の厚さのシリコンを含む絶縁膜を用いればよい。これは単層構造でも積層構造でもよい。本実施例では115nm厚の窒化酸化シリコン膜を用いる。
【0036】
次に、第1の導電膜110として30nm厚の窒化タンタル膜を形成し、さらに第2の導電膜111として370nm厚のタングステン膜を形成する。これらの金属膜は、スパッタ法で形成すればよい。また、スパッタガスとしてXe、Ne等の不活性ガスを添加すると応力による膜剥がれを防止することができる。また、タングステンターゲットの純度を99.9999%とすることで、抵抗率が20mΩcm以下の低抵抗なタングステン膜を形成することができる。
【0037】
次に、レジストマスク112〜117を形成し、第1の導電膜110および第2の導電膜111をエッチングする。なお、本明細書ではここで行うエッチング処理を第1のエッチング処理と呼ぶ。
【0038】
本実施例では、ICP(Inductively Coupled Plasma:誘導結合型プラズマ)エッチング法を採用する。エッチングガスとしては、四フッ化炭素(CF4)ガスと塩素(Cl2)ガスを用い、それぞれのガス流量比を25/25/10(SCCM)とし、1Paの圧力でコイル型の電極に500WのRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを生成してエッチングを行った。基板側(試料ステージ)にも20WのRF(13.56MHz)電力を投入し、実質的に負の自己バイアス電圧を印加する。この第1のエッチング条件によりW膜をエッチングして第1の導電層の端部をテーパー形状とする。
【0039】
こうして第1のエッチング処理で、第1の形状の第1の導電膜119a〜124aおよび第1の形状の第2の導電膜119b〜124bが形成される。本実施例では、ゲート電極は第1の導電膜と第2の導電膜との積層構造である。ゲート絶縁膜118の第1の形状のゲート電極119〜124で覆われない領域は20〜50nm程度エッチングされ、薄くなった領域が形成される。
【0040】
次いで、レジストからなるマスク112〜117を除去せずに第1のドーピング処理を行い、半導体層104〜108に半導体をn型半導体とする不純物元素(以下、n型不純物元素という)を添加する。ドーピング処理は、イオンドープ法もしくはイオン注入法で行えばよい。n型不純物元素としては、周期表の15族に属する元素(典型的にはリン(P)または砒素(As))を用いることができる。本実施例では、リン(P)を用いた。この場合、第1の形状のゲート電極119〜124がn型不純物元素に対するマスクとなり、自己整合的にn型不純物領域(a)125〜129が形成される。n型不純物領域(a)125〜129には1×1020〜1×1021/cm3の濃度範囲でn型不純物元素が添加される。
【0041】
次に、レジストからなるマスク112〜117を除去せずに第2のエッチング処理を行う。エッチングガスに四フッ化炭素(CF4)ガス、塩素(Cl2)ガスおよび酸素(O2)ガスを用い、W膜を選択的にエッチングする。この時第2のエッチング処理により第2の形状の第2の導電層119d〜124dを形成する。一方、第1の導電層119a〜124aはほとんどエッチングされず、第2の形状の第1の導電層119c〜124cを形成する。次いで、第2のドーピング処理を行って図5(A)の状態を得る。ドーピングは第2の導電層119d〜124dを不純物元素に対するマスクとして用い、第1の導電層のテーパー部下方の半導体層にn型不純物元素が添加されるようにドーピングする。こうして、第1の導電層と重なるn型不純物領域(b)130〜134を形成する。この不純物領域へ添加されたリン(P)の濃度は、第1の導電層のテーパー部の膜厚にしたがって緩やかな濃度勾配を有している。なお、第1の導電層のテーパ−部と重なる半導体層において、第1の導電層のテーパー部の端部から内側に向かって若干、不純物濃度が低くなっているものの、ほぼ同程度の濃度である。また、n型不純物領域(a)125〜129にもn型不純物元素が添加され、n型不純物領域(a)125a〜129aを形成する。
【0042】
次いで、レジストからなるマスクを除去せずに第3のエッチング処理を行う。この第3のエッチング処理では第2の形状の第1の導電層119c〜124cのテーパー部を部分的にエッチングして、半導体層と重なる領域を縮小するために行われる。第3のエッチングは、エッチングガスにCHF3を用い、反応性イオンエッチング(RIE法)を用いて行う。第3のエッチングにより、第3の形状の第1の導電層119e〜124eが形成される。この時、同時にゲート絶縁膜118もエッチングされてゲート絶縁膜118aが形成される。
【0043】
上記第3のエッチングによって、第3の形状の第1の導電層119e〜124eと重ならないn型不純物領域(b:LDD領域)130a〜134aが形成される。なお、n型不純物領域(b:GOLD領域)130b〜134bは、第3の形状の第1の導電層119e〜124eと重なったままである。なお、n型不純物領域(b)および(c)のn型不純物元素の濃度は1×1017〜1×1018/cm3程度である。
【0044】
このようにすることにより、第3の形状の第1の導電層119e〜124eと重なるn型不純物領域(b:GOLD領域)130b〜134bにおける不純物濃度と第3の形状の第1の導電層119e〜124eと重ならないn型不純物領域(c:LDD領域)130a〜134aとにおける不純物濃度の差を小さくすることができ、信頼性を向上させることができる。
【0045】
次いで、レジストからなるマスクを除去した後、新たにレジストからなるマスク135〜137を形成して第3のドーピング処理を行う。この第3のドーピング処理により、pチャネル型TFTの活性層となる半導体層にp型不純物元素が添加されたp型不純物領域139〜144を形成する。第3の形状の第2の導電層120fおよび123fを不純物元素に対するマスクとして用い、p型を付与する不純物元素を添加して自己整合的に不純物領域を形成する。本実施例では、p型不純物領域139〜144はジボラン(B2H6)を用いたイオンドープ法で形成する。この第3のドーピング処理の際には、nチャネル型TFTを形成する半導体層はレジストからなるマスク135〜137で覆われている。第1のドーピング処理及び第2のドーピング処理によって、p型不純物領域139〜144にはそれぞれ異なる濃度でリンが添加されているが、そのいずれの領域においてもp型を付与する不純物元素の濃度を2×1020〜2×1021/cm3となるようにドーピング処理することにより、pチャネル型TFTのソース領域およびドレイン領域として機能するために何ら問題は生じない。本実施例では、pチャネル型TFTの活性層となる半導体層の一部が露呈しているため、不純物元素(ボロン)を添加しやすい利点を有している。
【0046】
以上までの工程でそれぞれの半導体層に不純物領域が形成される。
【0047】
次いで、レジストからなるマスク135〜137を除去して無機絶縁膜145を形成する。この無機絶縁膜145としては、プラズマCVD法またはスパッタ法を用い、厚さを100〜200nmとしてシリコンを含む絶縁膜で形成する。本実施例では、プラズマCVD法により膜厚150nmの酸化窒化シリコン膜を形成した。もちろん無機絶縁膜145は酸化窒化シリコン膜に限定されるものでなく、窒化シリコン膜や他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積層構造として用いても良い。
【0048】
次いで、図6(B)に示すように、それぞれの半導体層に添加された不純物元素を活性化処理する工程を行う。この活性化工程は炉を用いる熱処理(ファーネスアニール法)で行う。熱処理の条件としては、酸素濃度が1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素雰囲気中で400〜700℃、代表的には500〜550℃で行えばよく、本実施例では550℃、4時間の熱処理で活性化処理を行った。なお、上記の熱処理の他にレーザアニール法、またはラピッドサーマルアニール法(RTA法)を適用することができる。
【0049】
なお、本実施例では、上記活性化処理と同時に、結晶化の際に触媒として使用したニッケルが高濃度のリンを含むn型不純物領域(a)125〜129、139、142にゲッタリングされ、主にチャネル形成領域となる半導体層中のニッケル濃度が低減される。このようにして作製したチャネル形成領域を有するTFTはオフ電流値が下がり、結晶性が良いことから高い電界効果移動度が得られ、良好な特性を達成することができる。
【0050】
また、無機絶縁膜145を形成する前に活性化処理を行っても良い。ただし、用いた配線材料が熱に弱い場合には、本実施例のように配線等を保護するため絶縁膜(シリコンを主成分とする絶縁膜、例えば窒化珪素膜)を形成した後で活性化処理を行うことが好ましい。
【0051】
さらに、3〜100%の水素を含む雰囲気中で、300〜550℃で1〜12時間の熱処理を行い、半導体層を水素化する工程を行う。本実施例では水素を約3%の含む窒素雰囲気中で410℃、1時間の熱処理を行った。この工程は無機絶縁膜に含まれる水素により半導体層のダングリングボンドを終端する工程である。水素化の他の手段として、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水素を用いる)を行っても良い。
【0052】
また、活性化処理としてレーザアニール法を用いる場合には、上記水素化を行った後、エキシマレーザーやYAGレーザ等のレーザ光を照射することが望ましい。
【0053】
次いで、無機絶縁膜145上に有機絶縁材料からなる有機絶縁膜146を形成する。本実施例では、膜厚1.6μmのアクリル樹脂膜を形成したが、その他のポリイミド、ポリアミドなどの樹脂からなる絶縁膜を形成してもよい。なお、本明細書中では、無機絶縁膜145と有機絶縁膜146との積層からなる絶縁膜を層間絶縁膜とよぶこととする。そして、ソース配線124に達するコンタクトホールと各不純物領域に達するコンタクトホールを形成するためのパターニングを行う。
【0054】
そして、駆動回路406において、n型不純物領域(a)またはp型不純物領域とそれぞれ電気的に接続する配線150〜158を形成する。なお、これらの配線は下層側から50nm厚のチタン膜、200nm厚のチタンを含むアルミニウム膜をスパッタ法で連続形成した積層膜とする。
【0055】
また、画素部407においては、画素電極158、ゲート配線157、接続電極156を形成する。この接続電極156により、ソース配線124は、画素TFT404と電気的な接続が形成される。また、ゲート配線157は第1の電極(第3の形状の導電層123)と電気的な接続が形成され、さらに保持容量を形成する一方の電極として機能する半導体層と電気的な接続が形成される。また、画素電極158としては、アルミニウム(Al)または銀(Ag)を主成分とする膜、またはそれらの積層膜等の反射性の優れた材料を用いることが望ましい。
【0056】
以上のようにして、nチャネル型TFT401、pチャネル型TFT402、nチャネル型TFT403を有する駆動回路406と画素TFT404、保持容量405とを有する画素部407を同一基板上に形成することができる。本明細書ではこのような基板を便宜上、アクティブマトリクス基板と呼ぶ。
【0057】
駆動回路406のnチャネル型TFT401はチャネル形成領域160、ゲート電極を形成する第3の形状の第1の導電層119eと重なるn型不純物領域(b:GOLD領域)130b、ゲート電極の外側に形成されるn型不純物領域(b:LDD領域)130aとソース領域またはドレイン領域として機能するn型不純物領域(a)125aを有している。pチャネル型TFT402にはチャネル形成領域161、ゲート電極を形成する第3の形状の第1の導電層120eと重なるp型不純物領域141、ゲート電極の外側に形成されるp型不純物領域140、ソース領域またはドレイン領域として機能するp型不純物領域139を有している。nチャネル型TFT403にはチャネル形成領域162、ゲート電極を形成する第3の形状の第1の導電層121eと重なるn型不純物領域(b:GOLD領域)132b、ゲート電極の外側に形成されるn型不純物領域(b:LDD領域)132aとソース領域またはドレイン領域として機能するn型不純物領域(a)127aを有している。
【0058】
画素部の画素TFT404にはチャネル形成領域163、ゲート電極を形成する第3の形状の第1の導電層122eと重なるn型不純物領域(b:GOLD領域)133b、ゲート電極の外側に形成されるn型不純物領域(c:LDD領域)133aとソース領域またはドレイン領域として機能するn型不純物領域(a)128aを有している。また、保持容量405の一方の電極として機能する半導体層142〜144にはp型不純物領域と同じ濃度で、それぞれp型不純物元素が添加されている。保持容量405は、絶縁膜(ゲート絶縁膜と同一膜)を誘電体として、第2の電極123と、半導体層142〜144とで形成している。
【0059】
また、本実施例の画素構造は、ブラックマトリクスを用いることなく、画素電極間の隙間が遮光されるように、画素電極の端部をソース配線と重なるように配置形成する。
【0060】
本実施例で作製するアクティブマトリクス基板の画素部の上面図を図7に示す。本実施例で示す工程に従えば、アクティブマトリクス基板の作製に必要なフォトマスクの数を5枚(半導体層パターンマスク、第1配線パターンマスク(第1の電極122、第2の電極123、ソース配線124を含む)、p型TFTのソース領域及びドレイン領域形成のパターンマスク、コンタクトホール形成のパターンマスク、第2配線パターンマスク(画素電極158、接続電極156、ゲート配線157を含む))とすることができる。その結果、工程を短縮し、製造コストの低減及び歩留まりの向上に寄与することができる。
【0061】
本実施例を用いて作製された液晶表示装置を携帯用情報機器の表示部に適応することができる。
【0062】
[実施例2]
本実施例では、実施例1で作製したアクティブマトリクス基板から、アクティブマトリクス型液晶表示装置を作製する工程を以下に説明する。説明には図8を用いる。
【0063】
まず、実施例1に従い、図6(C)の状態のアクティブマトリクス基板を得た後、アクティブマトリクス基板上に配向膜408を形成しラビング処理を行う。なお、本実施例では配向膜408を形成する前に、アクリル樹脂膜等の有機樹脂膜をパターニングすることによって基板間隔を保持するための柱状のスペーサを所望の位置に形成した。また、柱状のスペーサに代えて、球状のスペーサを基板全面に散布してもよい。
【0064】
次いで、対向基板410を用意する。対向基板410上に着色層411、412、平坦化膜413を形成する。赤色の着色層411と青色の着色層412とを一部重ねて、第2遮光部を形成する。なお、図8では図示しないが、赤色の着色層と緑色の着色層とを一部重ねて、第1遮光部を形成する。
【0065】
次いで、対向電極414を画素部に形成し、対向基板の全面に配向膜415を形成し、ラビング処理を施した。
【0066】
そして、画素部と駆動回路が形成されたアクティブマトリクス基板と対向基板とをシール剤で貼り合わせる。シール剤にはフィラーが混入されていて、このフィラーと柱状スペーサによって均一な間隔を持って2枚の基板が貼り合わせられる。その後、両基板の間に液晶材料409を注入し、封止剤(図示せず)によって完全に封止する。液晶材料409には公知の液晶材料を用いれば良い。このようにして図8に示すアクティブマトリクス型液晶表示装置が完成する。
【0067】
本実施例では、実施例1に示すアクティブマトリクス基板を用いている。従って、実施例1の画素部の上面図を示す図8では、少なくともゲート配線157と画素電極158の間隙と、ゲート配線157と接続電極156の間隙と、接続電極156と画素電極158の間隙を遮光する必要がある。本実施例では、それらの遮光すべき位置に第1遮光部と第2遮光部が重なるように対向基板を貼り合わせた。
【0068】
なお、図8で示した液晶表示装置の画素部の一部の簡略図を図9に示す。図9で、鎖線で示した画素電極158上に着色層(B)12が重なるように形成されている。また、画素電極158と隣り合う画素電極158との間は、第2遮光部16で遮光されている。この第2遮光部16は着色層(B)と着色層(R)とを重ねて形成されている。また、この第2遮光部16は隣の画素(R)の画素TFTも遮光している。また、点線で示したソース配線124上には着色層(B)12の端部と着色層(G)11の端部とが形成されている。また、第1遮光部15は着色層(G)と着色層(R)とを重ねて形成されている。また、図9では、ソース配線と重なる着色層(B)の端部と着色層(G)の端部とが接するようにパターニングを行った。また、同様にソース配線と重なる着色層(R)の端部と着色層(G)の端部とが接するようにパターニングを行った。
【0069】
このように、ブラックマスクを形成することなく、各画素間の隙間を第1遮光部15もしくは第2遮光部16で遮光することによって工程数の低減を可能とした。
【0070】
本実施例を用いて作製された液晶表示装置を携帯用情報機器の表示部に適応することができる。
【0071】
[実施例3]
本実施例では、画素部407において、画素TFTと同時に凸部701、702を形成し、その上に形成される層間絶縁膜145の表面に凸凹をつけて、その上に形成される画素電極158にも凹凸を持たせることを特徴としている。
【0072】
この凸部701、702は、実施例1で半導体膜104〜108を形成する際に、画素部407に凸部を形成するための半導体層の形成時のマスクパターンまたはゲート配線の形成時のマスクパターンを用いて半導体膜301a〜301dを形成する(図10)。
【0073】
凸部701、702は、フォトマスクを用いて作製すると再現性の高いものが得られる。また、ここでは、凸部701、702として、画素TFTの作製時に成膜された半導体膜、絶縁膜、導電膜とを積層した例を示したが、特に限定されることなく、これらの膜の単層または組み合わせた積層を用いることができる。例えば、半導体膜と絶縁膜との積層膜からなる凸部や導電膜からなる凸部を形成することができる。即ち、工程数を増加させることなく複数種類の高さを有する凸部を形成することができる。また、相互に近接する凸部は、それぞれ0.1μm以上、好ましくは1μm以上隔離されている。
【0074】
なお、ここでは大きさの異なる凸部を形成した例を示したが、特に限定されない。なお、凸部の大きさはランダムであるほうが、より反射光を散乱させるため望ましい。例えば、径方向の断面が多角形であってもよいし、左右対称でない形状であってもよい。また、凸部を規則的に配置しても不規則に配置してもよい。なお、凸部の配置は、画素部の表示領域となる画素電極の下方にあたる領域であれば特に限定されず、凸部の大きさ(上面から見た面積)も特に限定されないが1μm2〜400μm2の範囲内、好ましくは25〜100μm2であればよい。
【0075】
こうして形成された凸部701、702を覆う絶縁膜は、表面に凸凹が形成され、その上に形成される画素電極158の表面も凸凹化される。この画素電極158の凸部の高さは0.3〜3μm、好ましくは0.5〜1.5μmである。この画素電極158の表面に形成された凸凹によって、図11に示すように入射光を反射する際に光を散乱させることができた。
【0076】
なお、絶縁膜としては、無機絶縁膜や有機樹脂膜を用いることができる。この絶縁膜の材料によって画素電極の凸凹の曲率を調節することも可能である。なお、この画素電極の凸部における曲率半径は、0.1〜4μm、好ましくは0.2〜2μmである。また、絶縁膜として有機樹脂膜を用いる場合は、粘度が10〜1000cp、好ましくは40〜200cpのものを用い、十分に凸部701、702の影響を受けて表面に凸凹が形成されるものを用いる。ただし、蒸発しにくい溶剤を用いれば、有機樹脂膜の粘度が低くても凸凹を形成することができる。
【0077】
このようにして、本発明は、作製工程数を増やすことなく、表面に凸凹を有する画素電極158を形成することができる。
【0078】
本実施例を用いて作製された液晶表示装置を携帯用情報機器の表示部に適応することができる。
【0079】
[実施例4]
本発明を実施して形成された液晶表示装置を表示部に用いた携帯用情報機器全てに本発明を実施できる。
【0080】
その様な携帯用情報機器としては、モバイルコンピュータ、携帯電話、電子書籍またはデジタルカメラなどが挙げられる。それらの例を図3に示す。
【0081】
図3(A)は携帯電話であり、3001は表示用パネル、3002は操作用パネルである。表示用パネル3001と操作用パネル3002とは接続部3003において接続されている。接続部3003における、表示用パネル3001の表示部3004が設けられている面と操作用パネル3002の操作キー3006が設けられている面との角度θは、任意に変えることができる。
さらに、音声出力部3005、操作キー3006、電源スイッチ3007、音声入力部3008を有している。本発明は、表示部3004に適用することができる。
【0082】
図3(B)は携帯書籍(電子書籍)であり、本体3101、表示部3102、3103、記憶媒体3104、操作スイッチ3105、アンテナ3106等を含む。本発明は表示部3102、3103に適用することができる。
【0083】
図3(C)はモバイルコンピュータ(モービルコンピュータ)であり、本体3201、カメラ部3202、受像部3203、操作スイッチ3204、表示部3205等を含む。本発明は表示部3205に適用できる。
【0084】
図3(D)はデジタルカメラであり、本体3301、表示部3302、接眼部3303、操作スイッチ3304、受像部(図示しない)等を含む。本発明は表示部3302に適用することができる。
【0085】
以上の様に、本発明は、小型化、軽量化かつ低消費電力化の求められる携帯用情報機器に有効に適用することができる。また、本実施例の携帯用情報機器は実施形態および実施例1〜3のどのような組み合わせからなる構成を用いても実現することができる。
【0086】
【本発明の効果】
本発明を用いて反射型液晶表示装置を作製すれば、従来技術と比較してマスク枚数を減らして、有効画素領域を広げることができる。マスク枚数の削減により、工程数が減るため、液晶表示装置の製造コストを抑えることができる。
また、本発明に従えば、工程数を増やさずに画素(反射)電極に凹凸をつけて、光を散乱させることができるため視認性のよい液晶表示装置が得られ、この液晶表示装置を表示部に用いることで、低価格で携帯用情報機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 フロントライトと反射型液晶表示装置の構成を説明する図。
【図2】 本発明の携帯用情報機器に用いたフロントライトの構成を示す図。
【図3】 表示部にフロントライトと液晶表示装置とを用いた携帯用情報機器を示す図。
【図4】 液晶表示装置の作製工程を示す図。
【図5】 液晶表示装置の作製工程を示す図。
【図6】 液晶表示装置の作製工程を示す図。
【図7】 画素上面を示す図。
【図8】 液晶表示装置の断面構造を示す図。
【図9】 画素上面を示す図。
【図10】 凸部を有する液晶表示装置の作製工程を示す図。
【図11】 凸部を有する液晶表示装置の断面構造を示す図。
Claims (8)
- 表示部に反射型の液晶表示装置及びフロントライトを用いた携帯用情報機器であって、
前記液晶表示装置は、
絶縁表面上に形成された半導体層、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜、及び前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極を有する薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタ上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成されたゲート配線、電極、及び画素電極とを有し、
前記ゲート電極と前記ゲート配線とは、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して電気的に接続され、
前記薄膜トランジスタは、ソース領域またはドレイン領域の一方が前記電極を介してソース配線に電気的に接続され、他方が前記画素電極に電気的に接続され、
前記画素電極は、前記層間絶縁膜を介して前記ソース配線と一部重なっていることを特徴とする携帯用情報機器。 - 表示部に反射型の液晶表示装置及びフロントライトを用いた携帯用情報機器であって、
前記液晶表示装置は、
絶縁表面上に形成された半導体層、前記半導体層上に形成されたゲート絶縁膜、及び前記ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極を有する薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタ上に形成された層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に形成されたゲート配線、電極、及び画素電極とを有し、
前記ゲート電極は、第1の導電層と、前記第1の導電層上に形成された第2の導電層とからなり、
前記半導体層は、チャネル形成領域と、n型の不純物元素が添加されたソース領域及びドレイン領域と、前記チャネル形成領域と前記ソース領域及び前記ドレイン領域との間にそれぞれ形成された、n型の不純物元素が添加された領域とを有し、
前記第1の導電層は、前記ゲート絶縁膜を介して前記n型の不純物元素が添加された領域の一部、及び前記チャネル形成領域と重なり、
前記第2の導電層は、前記ゲート絶縁膜を介して前記チャネル形成領域と重なり、
前記ゲート電極と前記ゲート配線とは、前記層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して電気的に接続され、
前記薄膜トランジスタは、前記ソース領域または前記ドレイン領域の一方が前記電極を介してソース配線に電気的に接続され、他方が前記画素電極に電気的に接続され、
前記画素電極は、前記層間絶縁膜を介して前記ソース配線と一部重なっていることを特徴とする携帯用情報機器。 - 請求項2において、前記ゲート絶縁膜のうち、前記第1の導電層に覆われていない領域の膜厚は、前記第1の導電層に覆われている領域の膜厚よりも薄いことを特徴とする携帯用情報機器。
- 請求項1乃至3のいずれか一において、前記ゲート電極と前記ソース配線とは、同一の工程により形成されていることを特徴とする携帯用情報機器。
- 請求項1乃至4のいずれか一において、前記層間絶縁膜は無機絶縁膜および有機絶縁膜の積層からなることを特徴とする携帯用情報機器。
- 請求項5において、前記無機絶縁膜は、窒化シリコン膜または窒化酸化シリコン膜からなり、前記有機絶縁膜は、アクリル樹脂、ポリイミド、またはポリアミドからなることを特徴とする携帯用情報機器。
- 請求項1乃至6のいずれか一において、
前記液晶表示装置は、前記薄膜トランジスタが形成された第1の基板と液晶を挟んで対向する第2の基板を有し、
前記第2の基板は、赤色、青色、及び緑色の着色層を有し、
前記赤色の着色層と前記緑色の着色層とが一部重なる第1の遮光部と、前記赤色の着色層と前記青色の着色層とが一部重なる第2の遮光部とを有し、
前記第1の遮光部及び前記第2の遮光部を用いて、前記ゲート配線及び前記画素電極の間隙と、前記ゲート配線と前記電極の間隙と、前記電極と前記画素電極の間隙とを少なくとも遮光することを特徴とする携帯用情報機器。 - 請求項1乃至7のいずれか一に記載の携帯用情報機器は、モバイルコンピュータ、携帯電話、電子書籍、またはデジタルスチルカメラであることを特徴とする携帯用情報機器。
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