JP4711554B2 - 加圧プレート用反転機構を備えた平面研磨装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハや液晶ガラス等のワークを加圧プレートにより定盤に押し付けて研磨する平面研磨装置に関するものであり、さらに詳しくは、ワークの着脱時に上記加圧プレートを反転させる機構を備えた平面研磨装置に関するものである平面研磨装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、この種の平面研磨装置としては、図１０及び図１１に示すものが知られている。
図１０に示す平面研磨装置において、機台１上には、上面に研磨布２が貼着された水平回転盤３が水平方向に回転可能に軸支されると共に、第１のシリンダ４が第１の支持部材５によって所定角傾斜した形で支持されている。
研磨布２の直上には、垂直方向に上下動する第２のシリンダ６が、第２の支持部材７によって支持され、この第２の支持部材７の一端部は、第１の支持部材５に軸着され、上記第２のシリンダ６のピストンロッド６ａの一端部には、上記研磨布２に対面するように円盤状の加圧プレート８が取り付けられている。
【０００３】
上記加圧プレート８の下面には、ワークを取り付けて保持するための保持枠９が装着され、第１のシリンダ４のピストンロッド４ａの一端部が第２の支持部材７の他端部に軸着され、第１のシリンダ４の伸縮によって加圧プレート８を水平状及び前傾状に傾斜させ、第２のシリンダ６の伸縮によって加圧プレート８を上下動させるようになっている。
【０００４】
図１１に示す平面研磨装置では、機台１１上の支持アーム１２にカム１３溝が設けられると共に、シリンダ１４のピストンロッド１４ａに接触子１５が設けられていて、上記ピストンロッド１４ａの伸縮によって接触子１５がカム溝１３に沿って誘導され、ピストンロッド１４ａの下部に取り付けられた加圧プレート１６が水平状及び前傾状に傾斜させられるものである。
かくして、図１０及び図１１において、ワークの研磨は、ワークが加圧プレート８，１６によって加圧された状態で行われ、ワークを加圧プレート８，１６に保持させる場合には、加圧プレート８，１６を反転させ、前傾状に傾斜させた状態で行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の如き図１０に示す平面研磨装置では、加圧プレート８の上下動に第２のシリンダ６を使用し、加圧プレート８の反転動作に第１のシリンダ４を用いており、加圧プレート８の上下動と反転動作とが２つのシリンダ４，６によって個別に行われているので、切り換えに手間や時間が掛かり、２つのシリンダを要することで、コスト高になるという問題点がある。
【０００６】
また、図１１に示す平面研磨装置は、加圧プレート１６の上下動及び反転動作が、カム溝１３を用いたことで、１つのシリンダ１４によって一連の動作として可能になっているが、反転時に加圧プレート１６の重量がピストンロッド１４ａと接触子１５及びカム溝１４とに直接作用するため、装置が大型である場合に耐久性の問題があるとか、加圧プレートにかかる前後方向の力を受ける特別な工夫が必要であるとか、加圧プレートの反転位置が高くなり易いといったような問題が生じる。
【０００７】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、１つのシリンダを用いて、大重量の加圧プレートであってもその重量を確実に支持しながら、該加圧プレートの垂直上昇と反転動作とを短時間で効率良く行うことができる平面研磨装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明に係る平面研磨装置は、機体に水平面内で回転自在なるように設置された研磨用定盤と、垂直なプレート軸の下端に取り付けられ、保持したワークを上記定盤に押し付ける加圧プレートと、上記機体上の支持フレームに共通の水平軸線の回りに相対的に回動自在なるように支持された反転アーム及びガイドアームと、このガイドアームに取り付けられて上記プレート軸が摺動自在に貫通する軸ガイドと、上記反転アームを上記水平軸線の回りに一定角度回動させる反転用シリンダと、上記反転アームの回動動作を上記プレート軸及び加圧プレートの垂直上昇と反転動作とに変換する変換機構とを有し、上記変換機構が、上記反転アームに取り付けられて該反転アームの回動により待機位置と反転位置との間を変移するカムと、上記プレート軸の上端部に設けられ、上記カムが待機位置から反転位置へと変移するとき該カムに当接して一緒に変移することにより、上記プレート軸及び加圧プレートを垂直上昇させたあと上記水平軸線を中心として反転させる第１係止部と、上記プレート軸の下端部に設けられ、該プレート軸の垂直上昇終了時に上記軸ガイドに係止することによって上記反転アームとガイドアームとを一体化させ、このガイドアームが反転アームと一緒に反転するのを可能にする第２係止部とを有することを特徴とするものである。
【０００９】
従って、本発明では、ワークの研磨が終了したあと、シリンダのピストンロッドを短縮させて反転アームを水平軸線を中心に回転させると、上記カムが待機位置から反転位置へと回動するが、その回動初期に該カムは、プレート軸上端の第１係止部に当接して該プレート軸を押し上げることにより、このプレート軸をその下端の第２係止部がガイドアームの軸ガイド下端に当たる位置まで垂直上昇させ、それに伴って加圧プレートも垂直上昇する。
【００１０】
この位置からさらに上記ピストンロッドを短縮させて反転アームを回転させると、上記第２係止部が軸ガイド下端へ係止することによって該反転アームとガイドアームとが一体化しているため、上記カムの更なる変移によってこれらの反転アームとガイドアームとが一緒に反転を開始し、上記カムが反転位置へ変移したとき、上記加圧プレートが正面視前傾状となる位置で反転を終了する。
【００１１】
ここで、上記加圧プレートの反転時に、上記ガイドアームが反転アームと一体となって反転することにより、このガイドアームで加圧プレートの重量が支持されることとなり、大重量の加圧プレートであってもその重量を確実に支持しながら反転動作を行うことができる。しかも、１つのシリンダを用いて反転アームを一定角度回動させる中で上記加圧プレートの垂直上昇と反転動作とを連続的に行うことができるため、それらの動作を短時間で効率良く行うことができ、装置の構造も簡単である。また、上記加圧プレートの垂直上昇は、その後の反転動作時に該加圧プレートの端部が定盤に接触しないようにするためのものであり、従ってその垂直上昇ストロークは、加圧プレートの直径に応じて必要な大きさに設定される。この場合に好ましくは、上記垂直上昇ストロークを必要最小限の大きさに設定することであり、これにより、反転終了時の加圧プレートの位置を低くしてワークの交換作業を容易にすることができる。
【００１２】
ワークの交換を終わって上記加圧プレートを研磨位置に復帰させるときは、上記ピストンロッドを伸長させて上記反転アーム及びガイドアームを反転方向とは逆方向に回転させることにより、上記加圧プレートは、プレート軸が垂直姿勢になる位置まで回転したあと、さらに垂直下降し、保持したワークを定盤に押し付ける。
【００１３】
本発明の具体的な実施形態によれば、上記ガイドアームが、基端部を上記支持フレーム上の水平支持軸に相対回転可能なるように取り付けられた左右一対の側枠部材と、これらの側枠部材の先端部間に設けられた前枠部材とを有していて、この前枠部材に上記軸ガイドが取り付けられ、上記反転アームは、上記ガイドアームの一対の側枠部材間において上記水平支持軸に基端部を固定され、先端部に左右一対の上記カムを有し、また、上記プレート軸の上端部の第１係止部は円形フランジ形をしていて、このフランジの下面に上記一対のカムがプレート軸の両側において係止するように構成されている。
【００１４】
本発明において好ましくは、上記加圧プレートが垂直上昇を終了するまではガイドアームを拘束することによって反転動作を規制する反転規制手段を設けることである。
これにより、プレート軸と軸ガイドとの間の摺動抵抗が大きいために該プレート軸の垂直上昇が最後まで完全に行われない場合に、加圧プレートの不時の反転動作を確実に防止することができる。
【００１５】
上記反転規制手段の具体的構成としては、上記支持フレームに固定されたストッパーと、上記ガイドアームに回動自在に軸着されて上記ストッパーに係脱自在の係止レバーと、該係止レバーと上記反転アームとの間に連結されて該反転アームの回動により作動し、上記加圧プレートの垂直上昇終了時に上記係止レバーをストッパーへの係止状態から解放する連結棒とを含むことが望ましい。
【００１６】
本発明においては、上記ストッパーが、上記加圧プレートが反転位置から復帰して垂直姿勢になる位置で上記ガイドアームに当接し、このガイドアームのそれ以上の変移を規制する復帰位置規制手段を兼ねている。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る平面研磨装置の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、平面研磨装置の一部を切り欠いて図示したものであり、半導体ウエハや液晶ガラス等のワークＷの片面を平面研磨している状態を示している。装置の機体２１上には、水平面内で回転する研磨用の定盤２２が設けられ、この定盤２２は、機体２１の内部に設置されたモータ等の駆動源に駆動軸を介して連結され、中央部上面にスラリー状の研磨剤を供給するための供給孔２２ａを備えている。
【００１８】
上記定盤２２の上方には、上記ワークＷを保持してこの定盤２２に押し付けるための加圧プレート２３が配設されている。この加圧プレート２３は円盤形をしていて、垂直なプレート軸２４の下端部にベアリング２５を介して回転自在に取り付けられ、自重によりワークＷを加圧するものである。
【００１９】
また、上記機体２１上には、上記定盤２２の側方位置にスタンド２６が立設され、このスタンド２６上には、図２からも分かるように支持フレーム２７が固定され、この支持フレーム２７は、間隔をおいて平行に延びる左右一対のフレーム部材２７ａ，２７ａを備えている。この支持フレーム２７には、空気圧等の流体圧によって往復動作する反転用のシリンダ２８が、そのピストンロッド２８ａを定盤２２側に向けて傾斜した状態に配置され、支軸２９でブラケット３０に回動自在なるように取り付けられている。
【００２０】
上記支持フレーム２７における左右のフレーム部材２７ａ，２７ａ間には、支持軸３２が水平に架け渡されていて、この支持軸３２の両端は、各フレーム部材２７ａ，２７ａに取り付けられた軸受部材３３で回転自在に支持されている。そして、この支持軸３２には、反転アーム３４とガイドアーム３５とが取り付けられている。
【００２１】
上記ガイドアーム３５は、互いに平行に延びる左右一対の側枠部材３５ａ，３５ａと、これらの側枠部材３５ａ，３５ａの先端部間に取り付けられた前枠部材３５ｂと、この前枠部材３５ｂの全面中央部に垂直に固定された軸ガイド３６とを有していて、上記側枠部材３５ａ，３５ａの基端部が上記支持軸３２に、ベアリング３７を介して回転自在なるように支持されている。上記軸ガイド３６は角柱形をなしていて、その内部に丸い軸穴３６ａを有し、この軸穴３６ａ内に上記加圧プレート２３のプレート軸２４が、スライドブッシュ３８を介して軸線方向に摺動自在なるように貫通している。
【００２２】
一方の上記反転アーム３４は、上記ガイドアーム３５における左右の側枠部材３５ａ，３５ａ間の中間位置に配置されていて、上記支持軸３２にボルト４０ａで固定された固定部４０と、該固定部４０から上方に延出する第１端４１と、固定部４０からプレート軸２４に向けて前方に延出する第２端４２とを、実質的に三角形の頂点に有するような形状をなし、上記第１端４１に上記反転シリンダ２８のピストンロッド２８ａが連結され、第２端４２にローラー状のカム４５が取り付けられている。図３から分かるように、上記第２端４２は二股状に分かれていて、各分枝４２ａにそれぞれ上記カム４５が、ボルト４６で回転自在なるように取り付けられている。そして、上記反転シリンダ２８のピストンロッド２８ａの伸縮により該反転アーム３４が、上記支持軸３２を中心にして一定角度揺動回転し、それによって上記カム４５が、図１に示す待機位置Ａと、図９に示す反転位置Ｂとの間を変移するようになっている。なお、この反転アーム３４と上記ガイドアーム３５とは、上記支持軸３２を中心にして相対的に回動自在となっている。
【００２３】
上記プレート軸２４には、上記軸ガイド３６の軸穴３６ａから上方に突出する上端部近くに、円形フランジ状をした第１係止部４７が形成され、軸ガイド３６の下端より所定距離を置いた下端部近くには、同様の第２係止部４８が形成されている。そして、上記第１係止部４７の下面側に上記一対のカム４５，４５が、プレート軸２４の両側においてこの第１係止部４７に当接するように配設されている。
【００２４】
上記カム４５，４５と第１係止部４７及び第２係止部４８とは、上記反転シリンダ２８による回動される反転アーム３４の回動動作を、上記プレート軸２４及び加圧プレート２３の垂直上昇と反転動作とに変換するための変換機構を構成するもので、その動作の詳細は次のとおりである。すなわち、図１に示す状態からワークＷの研磨が終了したあと、シリンダ２８のピストンロッド２８ａを短縮させて反転アーム３４を支持軸３２を中心に時計回りに回転させると、上記カム４５が図１の待機位置Ａから図９の反転位置Ｂへと回動するが、その回動初期に該カム４５は、図５〜図７に示すように、プレート軸２４上端の第１係止部４７の下面に当接して該プレート軸２４を押し上げることにより、このプレート軸２４をその下端の第２係止部４８がガイドアーム３５の軸ガイド３６下端に当たる位置まで垂直上昇させ、それに伴ってプレート軸２４及び加圧プレート２３も垂直上昇する。
【００２５】
この位置から更に上記ピストンロッド２８ａを短縮させて反転アーム３４を回転させると、上記第２係止部４８が軸ガイド３６の下端へ係止することによって該反転アーム３４とガイドアーム３５とが一体化しているため、図８に示すように、上記カム４５及び第１係止部４７の更なる変移によってこれらの反転アーム３４とガイドアーム３５とが上記支持軸３２を中心にして一緒に反転を開始し、それに追随して上記プレート軸２４及び加圧プレート２３も反転を行い、図９に示すように上記カム４５が反転位置Ｂへ変移したとき、上記加圧プレート２３が正面視前傾状となる位置で反転を終了する。
【００２６】
このように、上記加圧プレート２３の反転時に、軸ガイド３６を備えた上記ガイドアーム３５が反転アーム３４と一体となって反転することにより、このガイドアーム３５で加圧プレート２３の重量が支持されることとなり、大重量の加圧プレート２３であってもその重量を確実に支持しながら反転動作を行うことができ、耐久性を高めることができる。しかも、１つのシリンダ２８を用いて反転アーム３４を一定角度回動させる中で上記プレート軸２４及び加圧プレート２３の垂直上昇と反転動作とを連続的に行うことができるため、それらの動作を短時間で効率良く行うことができ、装置の構造も簡単である。
【００２７】
また、上記加圧プレート２３の垂直上昇は、その後の反転動作時に該加圧プレート２３の端部が定盤２２に接触しないようにするためのものであり、従ってその垂直上昇ストロークＳは、加圧プレート２３の直径に応じて必要な大きさに設定される。この場合に好ましくは、上記垂直上昇ストロークＳを必要最小限の大きさに設定することであり、これにより、反転終了時の加圧プレート２３の位置を低くしてワークＷの交換作業を容易にすることができる。
【００２８】
ワークＷの交換を終わって上記加圧プレート２３を研磨位置に復帰させるときは、図９の状態から上記ピストンロッド２８ａを伸長させて上記反転アーム３４及びガイドアーム３５を反時計回りに回転させることにより、上記加圧プレート２３は、プレート軸２４が垂直姿勢になる図７の位置まで回転したあと、さらに垂直下降し、保持したワークＷを定盤２２に押し付ける図１の状態に復帰する。このとき上記ガイドアーム３５は、上記プレート軸２４が垂直姿勢になる位置で停止するようになっている。
【００２９】
上記研磨装置には、上記加圧プレート２３の反転時に、該加圧プレート２３が垂直上昇を終了するまではその反転動作が行われないように規制する反転規制手段５１と、該加圧プレート２３が反転位置Ｂから復帰して垂直姿勢になったあとは、ガイドアーム３５のそれ以上の過剰復帰を規制する復帰位置規制手段５２とが設けられている。
【００３０】
上記反転規制手段５１は、図１、図２、図４、図５から分かるように、上記支持フレーム２７の前面下端部中央に固定されたストッパー５４と、上記ガイドアーム３５の下端部の位置に回動自在に軸着されてこのストッパー５４に係脱自在の係止レバー５５と、該係止レバー５５と上記反転アーム３４との間に連結されて該係止レバー５５をストッパー５４に係脱させる連結棒５６とを有している。上記係止レバー５５は、矩形の棒状をしていて、その基端部が上記ガイドアーム３５の一方の側枠部材３５ａに軸５８で回転自在に取り付けられ、円弧状をした先端面５６ａが上記ストッパー５４の背面に当接するようになっている。また、上記連結棒５６は、その基端部に軸線方向に長径の長穴５６ａを有し、この長穴５６ａ内に反転アーム３４に固定されたピン５９を係合させることにより該反転アーム３４に連結され、反対側の先端部は、上記係止レバー５５の先端部近くに連結ピン６０で回転自在に連結されている。
【００３１】
上記反転規制手段５１において、ワークＷの加工時に加圧プレート２３が垂直姿勢にある図１の状態では、上記係止レバー５５の先端面５５ａが上記ストッパー５４の背面に当接している。また、反転アーム３４のピン５９は、連結棒５６の長穴５６ａの下端部に位置しており、係止レバー５５に反転アーム３４からの力は作用しない。
【００３２】
上記反転アーム３４が加圧プレート２３を垂直上昇させるために回動を始めると、図５及び図６に示すように、上記ピン５９が長穴５６ａに係止して連結棒５６を引き上げるため、係止レバー５５も先端部側が徐々に引き上げられていき、図７に示すように、第２係止部４８が軸ガイド３６の下端に当接して加圧プレート２３の垂直上昇が終了した時点で、上記係止レバー５５の先端部５５ａがストッパー５４から外れて支持フレーム２７に対するガイドアーム３５の係止が解除される。これによりこのガイドアーム３５は、反転アーム３４と一体となって反転することができ、その反転によって上記プレート軸２４及び加圧プレート２３が反転する。
【００３３】
上記プレート軸２４と軸ガイド３６との間の摺動抵抗が大きいために該プレート軸２４の垂直上昇が正常に終了できない場合には、上記係止レバー５５のストッパー５４への係止が解除されないため、ガイドアーム３５は反転動作を行うことができない。このため、中途半端な位置からの加圧プレート２３の反転によってそのエッジが定盤２２に衝突し、該加圧プレート２３及び定盤２２を破損するような事故は未然に防止される。
【００３４】
上記加圧プレート２３を反転位置から加工位置に復帰させる場合には、該加圧プレート２３が図７に示す垂直上昇ストローク端に復帰した位置から、図１に示す加工位置まで下降する間に、上記係止レバー５５は連結棒５６により押し下げられ、その先端部５５ａがストッパー５４の背面に当接する。
【００３５】
一方、上記復帰位置規制手段５２は、図２から分かるように、上記ストッパー５４と、ガイドアーム３５における前枠部材３５ｂの背面中央部に固定された当接部材６２とによって構成されている。そして、上記ストッパー５４の前面にはＶ字形をした嵌合溝５４ａが縦向きに形成され、一方の上記当接部材６２は、半円柱状に形成されて、上記ガイドアーム３５に縦向きに固定されており、上記加圧プレート２３が反転位置から復帰して垂直姿勢になったとき、上記当接部材６２がストッパー５４の嵌合溝５４ａに嵌合状態に当接してそれ以上の過剰復帰が規制されるようになっている。従って上記ストッパー５４は、上記反転規制手段５１と復帰位置規制手段５２の両方を兼ねるものである。
【００３６】
【発明の効果】
以上の説明から理解されるように、本発明によれば、加圧プレートの垂直上昇及び反転動作が、１つのシリンダによる反転アームの回転操作のみで連続して行われるため、非常に効率的で作業時間を短縮することができ、装置の構造も簡単でコスト低減を図ることができる。
また、上記加圧プレートは、プレート軸を支持する軸ガイドを備えたガイドアームと共に反転するので、このガイドアームでその重量を支持されながら反転軌道を安定的に移動することができ、大重量の加圧プレートであってもその重量を確実に支持することができて装置の耐久性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態である平面研磨装置のワーク研磨時の状態を一部切り欠いて側面からみた要部断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った要部平面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【図５】図１の平面研磨装置の加圧プレートの垂直上昇開始時の状態を側面からみた要部断面図である。
【図６】図１の平面研磨装置の加圧プレートの垂直上昇中の状態を側面からみた要部断面図である。
【図７】図１の平面研磨装置の加圧プレートの反転開始時の状態を側面からみた要部断面図である。
【図８】図１の平面研磨装置の加圧プレートの反転中の状態を側面からみた要部断面図である。
【図９】図１の平面研磨装置の加圧プレートの反転終了時の状態を側面からみた要部断面図である。
【図１０】従来の平面研磨装置の要部側面図である。
【図１１】従来の他の平面研磨装置の要部側面図である。
【符号の説明】
２１ 機体
２２ 定盤
２３ 加圧プレート
２４ プレート軸
２７ 支持フレーム
２８ 反転用シリンダー
３２ 支持軸
３４ 反転アーム
３５ ガイドアーム
３５ａ 側枠部材
３５ｂ 前枠部材
３６ 軸ガイド
４５ カム
４７ 第１係止部
４８ 第２係止部
５１ 反転規制手段
５２ 復帰位置規制手段
５４ ストッパー
５５ 係止レバー
５６ 連結棒

Claims (5)

1. 機体に水平面内で回転自在なるように設置された研磨用定盤と、垂直なプレート軸の下端に取り付けられ、保持したワークを上記定盤に押し付ける加圧プレートと、上記機体上の支持フレームに共通の水平軸線の回りに相対的に回動自在なるように支持された反転アーム及びガイドアームと、このガイドアームに取り付けられて上記プレート軸が摺動自在に貫通する軸ガイドと、上記反転アームを上記水平軸線の回りに一定角度回動させる反転用シリンダと、上記反転アームの回動動作を上記プレート軸及び加圧プレートの垂直上昇と反転動作とに変換する変換機構と、を有し、
   上記変換機構が、上記反転アームに取り付けられて該反転アームの回動により待機位置と反転位置との間を変移するカムと、上記プレート軸の上端部に設けられ、上記カムが待機位置から反転位置へと変移するとき該カムに当接して一緒に変移することにより、上記プレート軸及び加圧プレートを垂直上昇させたあと上記水平軸線を中心として反転させる第１係止部と、上記プレート軸の下端部に設けられ、該プレート軸の垂直上昇終了時に上記軸ガイドに係止することによって上記反転アームとガイドアームとを一体化させ、このガイドアームが反転アームと一緒に反転するのを可能にする第２係止部と、を有することを特徴とする加圧プレート用反転機構を備えた平面研磨装置。
2. 上記ガイドアームが、基端部を上記支持フレーム上の水平な支持軸に相対回転可能なるように取り付けられた左右一対の側枠部材と、これらの側枠部材の先端部間に設けられた前枠部材とを有していて、この前枠部材に上記軸ガイドが取り付けられ、上記反転アームは、上記ガイドアームの一対の側枠部材間において上記支持軸に基端部を固定され、先端部に左右一対の上記カムを有し、また、上記プレート軸の上端部の第１係止部は円形フランジ形をしていて、このフランジの下面に上記一対のカムがプレート軸の両側において係止するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の平面研磨装置。
3. 上記加圧プレートが垂直上昇を終了するまではガイドアームを拘束することによって反転動作を規制する反転規制手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の平面研磨装置。
4. 上記反転規制手段が、上記支持フレームに固定されたストッパーと、上記ガイドアームに回動自在に軸着されて上記ストッパーに係脱自在の係止レバーと、該係止レバーと上記反転アームとの間に連結されて該反転アームの回動により作動し、上記加圧プレートの垂直上昇終了時に上記係止レバーをストッパーへの係止状態から解放する連結棒とを含むことを特徴とする請求項３に記載の平面研磨装置。
5. 上記ストッパーが、上記加圧プレートが反転位置から復帰して垂直姿勢になる位置で上記ガイドアームに当接し、このガイドアームのそれ以上の変移を規制する復帰位置規制手段を兼ねていることを特徴とする請求項４に記載の平面研磨装置。

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