JP4706149B2 - 温度分布制御電子冷却装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は温度分布制御電子冷却装置に係り、特に、電子部品、特に光デバイスや半導体レーザの温度制御をする際、領域毎に個別に目標温度を違えて制御する温度分布制御電子冷却装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、精密な温度コントロールの必要な、半導体レーザなどの温度コントロールにおいて、ペルチェ素子を用いた電子冷却がしばしば行われている。その事例としては、例えば特開平6−89955号公報に記載が有る。これらの事例では、温度センサ1個に対して、電流制御回路は1対1で対応して設置されている。一方温度コントロールを行う対象物が、大面積の場合には、ひとつのペルチェモジュールでは、十分な温度制御有効範囲が得られないので、複数のペルチェモジュールを使用する場合がある。たとえば、特開2000−180071号公報には、複数のペルチェモジュールを利用する熱処理装置が開示されている。ここで、ペルチェモジュールとは、図2に示すように、複数のペルチェ素子エレメントをユニット化したものとして言及している。すなはち、p型、n型のエレメント(図中記号13)が交互に配列され、各端子が電極11を介して電気的に直列に接続されている。図では簡略化のため、エレメント13は1列に配置されているが、実際は2次元的にマトリクス状に配列されており、エレメントの個数の多いものも有る。機械的な強度を確保するため、上下をセラミクスの板12a,12bで挟んだものが市販されている。また、上下をセラミクスで挟む代わりに、中間に樹脂板を設けたものも市販されている。これらのペルチェモジュールは、一般的には、モジュール毎に、それぞれ直流電流を導入して駆動されるが、特に複数のペルチェモジュールを使用する特開2000−180071号公報の例では、ペルチェモジュール個々のばらつきや、取りつけ状態の違いを補正するため補正回路を介して電源回路に並列に接続することが開示されている。一方大面積の温度均一化という目的とは異なるが、ペルチェ素子に補正回路を付加して、電流制御部の台数を削減する事例として、特開平11−326063号公報がある。本事例では、ペルチェモジュールを多段に積み重ねて温度制御する際に、上下の段のペルチェモジュールの特性が違うことを補償するため、容量が小さい側のペルチェモジュールに補正回路として、バイパス回路を設け、大電流が流れるのを回避し、全体の特性を確保している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら特開平6−89955号公報に開示された従来の方法では、温度センサに対して、ペルチェモジュールの電流コントローラを1対1対応で準備する。この場合には、電流コントローラが複数必要になるが、電流コントローラは、しばしばアナログ増幅器で構成されるので、機器自体が大型化して大きな場所を占有すると共に、電流消費が増大しするという問題点が有る。
【0004】
一方、特開2000−180071号公報や、特開平11−326063号公報に記載の方法では、電流コントローラの個数は1台にすることができるが、領域別に目標温度を設定する方式については開示されておらず、個別に温度設定をすることができない。
【0005】
したがって本発明の目的は、面内で領域を設定し、領域毎に違う目標温度を設定して制御する有効な温度分布制御電子冷却装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の温度分布制御電子冷却装置は、複数のペルチェ素子を直列に接続して構成したペルチェモジュール2個以上と、前記ペルチェモジュール毎に設置された温度を計測する温度センサと、前記温度センサのうち一つの出力に基づいて、前記ペルチェモジュール全てに電流を供給する電流制御部と、前記ペルチェモジュールのうちいくつかに設置されたバイパス回路を含んで構成され、前記バイパス回路の電流は、それが並列接続された部分のペルチェモジュールに対応する温度センサの出力によって制御されることにより、結果的に対応するペルチェモジュールの電流を制御し、システム全体としては、電流制御部1台で多点の温度制御ができることを特徴としている。
【0007】
ここで、前記バイパス回路の駆動電源として外部に電源を設けず、バイパスするペルチェ素子両端の電圧で動作をすることができる。また、前記バイパス回路は、前記温度センサと調整用抵抗と第1及び第2の抵抗によるブリッジ回路、前記ブリッジ回路に接続されたコンパレータ、前記コンパレータに接続された積分回路および前記積分回路に接続された出力側の電界効果トランジスタとを具備して構成されていることができる。さらに、2個以上の前記ペルチェモジュールが同一品種であり、前記ペルチェモジュール全てに電流制御に関係する前記温度センサの目標温度よりも、前記バイパス回路の電流制御に関係する前記温度センサの目標温度を室温に近くすることが好ましい。あるいは、異なった種類のペルチェモジュールを組み合わせることにより目標温度の制限を緩和することができる。また、前記温度センサが取り付けられて温度制御される被温度制御物は電子部品自体であることができる。あるいは、前記温度センサが取り付けられて温度制御される被温度制御物は電子部品を搭載するステージであることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態の一例を示す温度分布制御電子冷却装置の構成図である。図1において、被温度制御物2a、2bのそれぞれにペルチェモジュール(断面)1a、1bが当接し、また被温度制御物2a、2bのそれぞれに温度センサ3a、3bが当接している。
【0009】
ペルチェモジュール1a,1bの構成は、たとえば図2で示されたものに該当する。図2のペルチェモジュールは、一般に市販されている構造を示しており、それはペルチェエレメント13が縦横マトリクス状に並べられて、電極11が一筆書きになるように各エレメント上下面に設置され、上下をセラミクス板12a,12bで挟んだ構造を成している。
【0010】
図1にもどって、センサ3aは温度センサであり、Vcc(+電源電圧)およびVss(−電源電圧あるいは接地電位)が入力する電流コントローラ4に接続されている。温度センサは、白金抵抗体やサーミスタなどの感温素子を用いる。電流コントローラ4は、例えばPIDコントローラと電流アンプにより構成され、フードバック制御により、センサ3aの温度が目標に合致するように、ペルチェモジュールに電流を供給する。PIDコントローラや電流アンプは市販品があるため、ここでは詳細には述べない。
【0011】
なお、ペルチェモジュール1a,1bは直列に接続されているので、電流コントローラ4の出力は、2個のペルチェモジュール1a,1bに供給される。
【0012】
バイパス回路5はペルチェモジュール1bに並列に接続されており、電流コントローラ4から供給された電流のうち、一部を流すことによって、結果的にペルチェモジュール1bに流れる電流をコントロールする。バイパス回路5には、温度センサ3bが接続されており、被温度制御物の2b側の温度を検知する。放熱部6は例えば放熱フィンとそれに風を吹き付けるファンで構成され、ペルチェモジュールを経由して、被温度制御物から伝達された熱を排熱する。
【0013】
被温度制御物2a,2bは温度コントロールされるべき電子部品それ自身かあるいは、電子部品を取りつけるステージである。電子部品を取りつけるステージである場合は、伝熱特性を高めるため、熱伝達率の高い金属の板に温度センサ3a,3bを埋めこんで用いる。この際、温度センサ3a,3bの目標温度が2〜3℃以上大きく違う場合は、金属板を一体とせず、2部品に分割して隙間を設ける。
【0014】
次にバイパス回路5の構成について説明する。図3はバイパス回路の一実施例を示す図である。図の回路で、サーミスタ22は、感温素子22で、図1におけるセンサ3bに該当する。サーミスタ22と、抵抗値を調整することができる調整用抵抗(トリマ抵抗)24と、抵抗値が固定な固定抵抗23,25とによりブリッジ回路を構成しており、(固定抵抗23の抵抗値)×(調整抵抗値24の抵抗値)=(固定抵抗25の抵抗値)×(サーミスタ22の抵抗値)の条件が成り立つとき、コンパレータ21の2つの入力の入力電圧差は0となる。この状態を、サーミスタ22が目標温度に合致した状態とする。サーミスタの抵抗値は、一般的に温度が高い程抵抗値が低くなるので、温度が目標温度より高くなると、コンパレータ21の入力電圧は+端子が正になる。従って、オペアンプ28とコンデンサ27と固定抵抗26を具備して構成された積分回路の入力は正になるので、次第に積分回路の出力は、0に近づいて行く。オペアンプ28の+端子である積分回路の+端子は、定電圧ダイオード31などにより、一定電圧に保持される。
【0015】
積分回路の出力が0に近づくと、出力側の+ノードと−ノードとの間に調整用抵抗(トリマ抵抗)30と直列接続されたパワーMOSFET29の、ゲート電圧が0に近づくので、バイパス電流が減少する。結果的に、ペルチェ1bに流れる電流は増加するので、ペルチェモジュール1bの吸熱作用が強まって、温度センサ3bの温度は低下する方向に働く。
【0016】
温度が目標温度より低くなると、バイパス回路の電流は増加する方向に働くので、ペルチェモジュール1bに流れる電流は減少し、温度センサ3bの温度は上昇する方向に働く。従って、バイパス回路の働きによって、電流コントローラ4の出力が変動しても、目標温度3bをコントロールすることができる。なお、定常的にバイパス回路に電流が流れている状態にしないと、制御性能がとれないため、目標温度の設定には制限が発生する。
【0017】
ペルチェモジュール1aと1bとして同一品種を用いた場合は、センサ3bの目標温度は、センサ3aの目標温度に比べてより室温に近い温度にしなければならない。たとえばセンサ3aの温度が0℃とすると、センサ3bの目標温度は、0℃より高い温度から室温の間となる。目標温度の制限を緩和したい場合は、異なった種類のペルチェモジュールを組み合わせる。
【0018】
なお、図3では省略しているが、電源投入/遮断時の突入電流を保護する保護回路や、コンパレータ、積分回路を動作させるための、電源の配線が存在する。なお回路の調整を容易にするため、コンパレータ/積分回路においては、オフセット補正ができるだけ簡素にできるオペアンプを選定する。また、異常発振が発生しないように、ループゲインを適正化するための抵抗等を必要に応じて回路に挿入する。
【0019】
さらに、バイパス回路をより簡略化したい場合は、コンパレータ/積分回路に使用するオペアンプとして、単電源のものを使用し、そのオペアンプの電源をバイパス回路の出力端子から取る。
【0020】
すなわち、ペルチェモジュール1bに定常的に電流が流れる状況では、端子間に電圧が発生するので、その電圧でバイパス回路自身を駆動する。この場合の制限は、単電源オペアンプの動作可能電源電圧より大きい電圧が、定常的にペルチェモジュール1bの端子に発生するような、動作状態になる目標温度で使用するということであり、おおむね3V程度以上必要である。なおブリッジ回路の性質により、バイパス回路の出力端子の電圧が少々変動しても、コンパレータの入力における電圧の極性が、温度の目標からの高低を反映しなくなることはない。
【0021】
次に図4のフローチャートにより、図1のバイパス回路の特性を調整する手順を説明する。ステップ101ではペルチェモジュール1a側の温度調節器と電流コントローラを起動させて、被温度調整物2a側が温度調節された状態にする。ステップ102では、バイパス回路のブリッジ部分の調整抵抗24の抵抗値を最小にした状態で、バイパス回路をペルチェモジュール1bに接続する。なおスイッチは特に図示していない。また、バイパス回路のゲインを決定する可変抵抗30や、図示していない回路発振防止、ゲイン制限回路は、全てゲインを絞った状態にしておく。
【0022】
ステップ103では、抵抗24の抵抗値を少し上げて安定するのを待つ。ステップ104では、温度センサ3bの温度を測定し、目標温度に達しているか判定する。温度センサ3b自身から、並列に線を引き出して、温度表示器で温度を表示させることもできるが、稼働状態の回路と異なってしまうので、別の温度測定手段で測定するのが望ましい。温度センサ3bが目標温度に到達したら、ステップ105に移る。ここでは、被温度測定物2a側に、実稼働状態で想定される外乱を設定し、2b側の温度が安定を保持できるか観測する。2a側の外乱を補償するために、電流が変動するが、それに伴って、2b側も温度変動してしまう場合は、ゲインを高くして行く。ゲインを高くしすぎると、振動が起こるので、振動が起こらない範囲で調整を終了する。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の温度分布制御電子冷却装置によると、個別のペルチェモジュール毎に目標温度を設定する際、電流コントローラは1台で、他は簡易なバイパス回路を使用するので、システムの小型、軽量化が図れ、システムの価格を低減できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の温度分布制御電子冷却装置の構成図である。
【図2】図1に含まれるペルチェモジュールの一例である。
【図3】図1に含まれるバイパス回路の一実施例である。
【図4】図1のシステムの目標温度を設定する手順を示す図である。
【符号の説明】
1a,1b ペルチェモジュール
2a,2b 被温度制御物
3a,3b 温度センサ
4 電流コントローラ
5 バイパス回路
6 放熱部
11 電極
12a,12b セラミック板
13 ペルチェ素子エレメント
21 コンパレータ
22 感温素子
23,25,26 固定抵抗
24、30 調整用抵抗(トリマ抵抗)
27 コンデンサ
28 オペアンプ
29 パワーMOSFET
Claims (6)
- 電子部品の温度分布をコントロールする電子冷却装置において、複数のペルチェ素子を直列に接続して構成したペルチェモジュール2個以上と、前記ペルチェモジュール毎に設置された温度を計測する温度センサと、前記温度センサのうち一つの出力に基づいて、前記ペルチェモジュール全てに電流を供給する電流制御部と、前記ペルチェモジュールのうちいくつかに設置されたバイパス回路を含んで構成され、前記バイパス回路の電流は、並列接続された部分のペルチェモジュールに対応する温度センサの出力によって制御されることにより対応するペルチェモジュールの電流を制御し、システム全体としては、電流制御部1台で多点の温度制御ができ、
前記バイパス回路は、前記温度センサと調整用抵抗と第1及び第2の抵抗によるブリッジ回路、前記ブリッジ回路に接続されたコンパレータ、前記コンパレータに接続された積分回路および前記積分回路に接続された出力側の電界効果トランジスタとを具備して構成されている温度分布制御電子冷却装置。 - 前記バイパス回路の駆動電源として外部に電源を設けず、バイパスするペルチェ素子両端の電圧で動作することを特徴とする請求項1に記載の温度分布制御電子冷却装置。
- 2個以上の前記ペルチェモジュールが同一品種であり、前記ペルチェモジュール全てに電流制御に関係する前記温度センサの目標温度よりも、前記バイパス回路の電流制御に関係する前記温度センサの目標温度を室温に近くすることを特徴とする請求項1又は2に記載の温度分布制御電子冷却装置。
- 異なった種類のペルチェモジュールを組み合わせることにより目標温度の制限を緩和したことを特徴とする請求項1又は2に記載の温度分布制御電子冷却装置。
- 前記温度センサが取り付けられて温度制御される被温度制御物は電子部品自体であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の温度分布制御電子冷却装置。
- 前記温度センサが取り付けられて温度制御される被温度制御物は電子部品を搭載するステージであることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の温度分布制御電子冷却装置。
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