JP4706086B2 - スペーサ付カバーガラスの洗浄方法 - Google Patents
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- 固体撮像装置に組み込まれるスペーサ付カバーガラスの洗浄方法であって、
前記スペーサ付カバーガラスは、
ガラス基板にスペーサ基材を接着剤で貼付する工程と、
スペーサ基材にフォトレジストを塗布する工程と、
フォトマスクを用いてフォトレジストを露光及び現像してスペーサ基材上に前記スペーサに対応したエッチングマスクを形成する工程と、
スペーサ基材をドライエッチングしてガラス基板上にスペーサを形成する工程と、を含む工程によって製造されたものであり、
前記ドライエッチング後のスペーサ上のエッチングマスク及びガラス基板上に露出した接着剤をアッシングして除去するスペーサ付カバーガラスの洗浄方法において、
バレル型アッシング装置を用いて前記エッチングマスク及び前記接着剤を除去する工程を備え、
前記バレル型アッシング装置は、円筒型のチャンバの軸方向が水平に設置された横バレル型プラズマアッシング装置であり、
前記スペーサ付カバーガラスを前記チャンバ内に水平に支持するとともに、
プラズマの流れを整えるプラズマ整流板を、前記スペーサ付カバーガラスを挟んで所定間隔で立設させた、ことを特徴とするスペーサ付カバーガラスの洗浄方法。 - 前記プラズマ整流板を、前記チャンバの軸線に対して垂直に、且つ前記チャンバの内径と略同じ間隔で立設させたことを特徴とする請求項1に記載のスペーサ付カバーガラスの洗浄方法。
- 前記ガラス基板とスペーサとの間の接着剤の水平方向除去量を5〜25μmとすることを特徴とする請求項1又は2に記載のスペーサ付カバーガラスの洗浄方法。
- 前記バレル型アッシング装置のチャンバ内の温度を150〜300℃とすることを特徴とする請求項1、2、又は3のうちいずれか1項に記載のスペーサ付カバーガラスの洗浄方法。
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